JP4762801B2 - センサ、センシング装置 - Google Patents
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Description
θ > tan-1(r/L)・・・(1)
(式中Lは前記窓における前記出射光の出射点と前記出射光を検出する検出器の検出面中心との距離、rは該検出器の検出面の半径と反射光のビーム径の半径との和である。)
また、前記センサデバイスとしては、前記測定光の入射側から、半透過半反射性を有する第1の反射体と、透光体と、反射性有する第2の反射体とを順次備えた光共振体からなるセンサデバイスであり、前記測定光が前記光共振体に入射させられると共に、前記光共振体の構造に応じて特定波長の光を吸収する吸収特性を示す、干渉吸収センサデバイスが挙げられる。
本明細書において、「主成分」は、含量90質量%以上の成分と定義する。
「センサ」
図1を参照して、本発明に係る一実施形態のセンサについて説明する。図1はセンサ1及び後記するセンシング装置2の構成を示す概略図である。図1では、視認しやすくするために構成要素の縮尺は実際のものとは適宜異ならせてある。
θ > tan-1(r/L)・・・(1)
式(1)において、検出器31の検出面31sの形状が円でない場合、rは、検出面31sの分離方向の幅の半分の値と、反射光L3のビーム径の半径との和となる。また、反射光L3のビーム径は、例えば、ビームプロファイルがガウス分布である場合は、半値幅に相当する。
センサデバイス10が、測定光入射面S及び/又はデバイス内部に、入射した測定光L1を回折させる構造を有している場合は、出射光L2に回折光成分を含んで一定方向にビーム径が広がるため、センサ1は、その広がりが小さくなる方向に出射光L2と反射光L3が分離されている構成であることが好ましい。
局在プラズモン共鳴は、任意の金属において生じるので、微細孔61に充填される金属は制限されないが、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)等が好ましく、金(Au)、銀(Ag)が特に好ましい。
d=(m+1)λr/2(n2−ik2)
(式中、dは透光体60の厚み、λrは共振波長、n2−ik2は透光体60内の平均複素屈折率、mは整数である。)
透光体60が透光性微細孔体からなるので、「透光体60内の平均複素屈折率」とは、透光性微細孔体の複素屈折率とその微細孔内の物質(微細孔内の充填金属及び、試料等)の屈折率とを合わせて平均化した平均複素屈折率を意味する。
センサデバイス3は以上のように構成されている。
局在プラズモンセンサとしては、(A)表面に局在プラズモン共鳴を起こす金属薄膜(金、銀等)が成膜されたもの(特開平9−257699号公報等)、(B)表面に微細な凹凸構造を有し、少なくともこの表面凹凸構造部が局在プラズモン共鳴を起こす金属からなるものが挙げられる。特に、表面凹凸構造部を有するタイプ(B)は、凸部の自由電子が光の電場に共鳴して振動することで、凸部周辺に強い電場が生じ、局在プラズモン共鳴が効果的に起こるとされている。
センサ1は、センサデバイス10が複数試料を同時に分析することが可能なマルチチャンネルセンサである場合にも適用することができる。この場合、センサ1は、分析を行うすべての領域からの出射光L2と反射光L3が分離されている構成となる。
図1を参照して、本発明に係る一実施形態のセンシング装置について説明する。
図1に示す如く、本実施形態のセンシング装置2は、本発明のセンサ1と、センサ1に測定光L1を照射する測定光照射手段20と、出射光L2と反射光L3とをそれぞれ検出器31と検出器32とにより区別して検出する検出手段30と、測定光L1の出力変動による出射光L2の出力誤差を、検出器32により検出される反射光L3の光強度により規格化する補正手段40及びデータ処理部41とから構成されている。
光源21としては特に制限されず、単波長光でもブロード光でもよく、複数の光源から構成されていてもよい。一般的にセンサの光源としては出力安定性の良好な光源の方が好ましいとされているが、本実施形態のセンシング装置2は、出力安定性の良好でない光源を用いた場合にも、出力変動による測定誤差の補正手段40を備えているため、高い測定精度を維持することができる。従って、光源21として、発光ダイオード、スーパールミネッセンスダイオード、端面発光ダイオードのいずれか又はその組み合わせからなる光源を用いることもできる。
図8(a)〜(c)に示すセンシング装置4〜6はいずれも、図1と同様、本発明のセンサ1と、センサ1に測定光L1を照射する測定光照射手段20と、出射光L2の物理特性を検出する検出器31と反射光L3の光強度を検出する検出器32とからなる検出手段30と、測定光L1の出力変動による出射光L2出力誤差を、検出器32により検出される反射光L3の光強度により規格化する補正手段40及びデータ処理部41から構成されており、測定光照射手段20と検出手段30の組合せが各々異なっている(センサ1の構成については図示略)。図1においては測定光照射手段20の構成要素に光学手段22が含まれているが、光学手段22は必要に応じて備えられればよいので、図8においては省略する。図8(a)〜(c)において図1と同じ構成要素には同じ参照符号を付して説明は省略する。
ブロード光源を選択した場合には、検出器31は分光器であり、出射光L2の分光スペクトルから、センサ1により吸収される光の吸収ピーク波長λ又は基準条件からの吸収ピーク波長λのシフトを検出して、試料の分析を行うことができる。(分光スペクトル及び吸収ピーク波長λは図7を参照)。
2、4〜6 センシング装置
10 光反射型センサデバイス
11 試料セル
12 窓
12s 測定光が入射する側の面
12r センサデバイス側の面
20 測定光照射手段
21 光源
22 光学手段
30 検出手段
31 検出器
32 検出器
33 分波手段
40 補正手段
3 干渉吸収センサデバイス(光共振体)
50 第1の反射体
52 微細孔
60 透光体
61 微細孔
70 第2の反射体
80 被陽極酸化金属体
81 金属酸化物体
82 非陽極酸化部分
L1 測定光
L2 出射光
L3 反射光
θ 出射光と反射光の光軸同士のなす角
X 試料
S 測定光入射面
Claims (14)
- 測定光入射面を有し、該測定光入射面上に接触させた試料によって、前記測定光入射面に入射した光を異なる物理特性を呈する出射光として出射する光反射型センサデバイスと、
該センサデバイスを備え、前記測定光と前記出射光を透過させる窓を有する試料セルとからなるセンサにおいて、
前記出射光が、前記測定光の前記窓における反射光と区別して、検出器により検出されるように、前記測定光入射面と前記窓とが非平行に配置されており、
前記センサデバイスが、前記測定光入射面及び/又は前記センサデバイス内部において、前記測定光を回折させる構造を有し、前記出射光に回折光成分を含むセンサデバイスであり、前記出射光の前記回折光成分の広がりが小さくなる方向に、前記反射光と前記出射光とが分離されていることを特徴とするセンサ。 - 前記反射光と前記出射光の光軸同士がなす角度θが、下記式(1)を充足することを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
θ > tan-1(r/L)・・・(1)
(式中Lは前記窓における前記出射光の出射点と前記出射光を検出する検出器の検出面の中心との距離、rは該検出器の検出面の半径と前記反射光のビーム径の半径との和である。) - 前記窓は、該窓の前記測定光が入射する側の面が反射防止加工されており、
前記反射光は、前記窓の前記センサデバイス側の面で反射されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ。 - 前記センサデバイスが、局在プラズモンセンサデバイスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセンサ。
- 前記センサデバイスが、
前記測定光の入射側から、半透過半反射性を有する第1の反射体と、透光体と、反射性有する第2の反射体とを順次備えた光共振体からなるセンサデバイスであり、
前記測定光が前記光共振体に入射させられると共に、前記光共振体の構造に応じて特定波長の光を吸収する吸収特性を示す、干渉吸収センサデバイスであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のセンサ。 - 前記透光体が、前記第1の反射体側の面において開口した前記測定光の波長よりも小さい径の複数の微細孔を有する透光性微細孔体からなり、前記第1の反射体は、前記透光体の表面形状に沿って複数の微細孔を有して形成された金属層から成ることを特徴とする請求項5に記載のセンサ。
- 前記透光体は、被陽極酸化金属体の一部を陽極酸化して得られる金属酸化物体からなり、前記第2の反射体は前記被陽極酸化金属体の非陽極酸化金属部分からなり、前記第1の反射体は、前記透光体に成膜された金属層からなることを特徴とする請求項6に記載のセンサ。
- 前記透光性微細孔体の前記複数の微細孔の少なくとも一部に、金属が充填されていることを特徴とする請求項6又は7に記載のセンサ。
- 前記透光性微細孔体の前記複数の微細孔の底部に、金属が充填されていることを特徴とする請求項6又は7に記載のセンサ。
- 前記被陽極酸化金属体が、Alを主成分とする材料により構成されていることを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載のセンサ。
- 請求項1〜10のいずれかに記載のセンサと、
前記センサに前記測定光を照射する測定光照射手段と、
前記出射光の前記物理特性を検出する検出器とを備えたことを特徴とするセンシング装置。 - 前記センサは、前記出射光が前記反射光と区別して検出されるものであり、前記反射光を検出する検出器と、該検出器からの出力を用いて前記測定光照射手段の出力変動による前記出射光の出力誤差を補正する補正手段とを設けたことを特徴とする請求項11に記載のセンシング装置。
- 前記測定光照射手段が光源を含み、該光源が発光ダイオード、スーパールミネッセンスダイオード、端面発光型発光ダイオードのいずれか又はその組み合わせからなることを特徴とする請求項11又は12に記載のセンシング装置。
- 前記光源が、複数の波長ピークを有する一つの光又は複数の光で構成されていることを特徴とする請求項11〜13のいずれかに記載のセンシング装置。
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