JPS6052744A - 分光透過率測定装置 - Google Patents
分光透過率測定装置Info
- Publication number
- JPS6052744A JPS6052744A JP16038283A JP16038283A JPS6052744A JP S6052744 A JPS6052744 A JP S6052744A JP 16038283 A JP16038283 A JP 16038283A JP 16038283 A JP16038283 A JP 16038283A JP S6052744 A JPS6052744 A JP S6052744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrating sphere
- inside wall
- luminous flux
- center
- spectral transmittance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/255—Details, e.g. use of specially adapted sources, lighting or optical systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は収斂性又は発散性を有するレンズ系の分光透過
率測定装置に係シ、特に測定値が、レンズ系の屈折力の
影響を受け嬬い分光透過率測定装置に関する。
率測定装置に係シ、特に測定値が、レンズ系の屈折力の
影響を受け嬬い分光透過率測定装置に関する。
従来、光学系に用いられて来た分光透過率測定装置の一
般的な構造を第１図に示す。以下、分光透過率の測定原
理について、第１図に沿って説明する。
般的な構造を第１図に示す。以下、分光透過率の測定原
理について、第１図に沿って説明する。
第１図において、１は単色光源である。１より出た単色
光束２は、途中でビームスプリッタ５で光束３と光束４
に分けられる。このビームスｊ ＩＪフッタを第２図に
示す。ビームスプリンタ５は、半円が表面反射鏡１３と
、他の半円がぐシ抜き部１４の円板形状でちり、別途に
設けた電動機等の回転動力（図示せず）により同期回転
するものである。
光束２は、途中でビームスプリッタ５で光束３と光束４
に分けられる。このビームスｊ ＩＪフッタを第２図に
示す。ビームスプリンタ５は、半円が表面反射鏡１３と
、他の半円がぐシ抜き部１４の円板形状でちり、別途に
設けた電動機等の回転動力（図示せず）により同期回転
するものである。
出合光束２がビームスグリツタ５の表河反射鏡面に入射
すると、単色光束２は反射して光束３となって反射器６
、参照光束入射窓８を経て積分球１０に入射する。ビー
ムスプリッタ５が回転動力により半回転すると≠色光束
２はビームスプリッタのくり抜き部分を通り光束４とな
りて反射器６により光束方向を変え試験し／ズ７に入射
する。試験レンズ７に入射した光束は測定光束入射窓９
を独て積分球１０に入射する。
すると、単色光束２は反射して光束３となって反射器６
、参照光束入射窓８を経て積分球１０に入射する。ビー
ムスプリッタ５が回転動力により半回転すると≠色光束
２はビームスプリッタのくり抜き部分を通り光束４とな
りて反射器６により光束方向を変え試験し／ズ７に入射
する。試験レンズ７に入射した光束は測定光束入射窓９
を独て積分球１０に入射する。
ビームスプリッタ５は、光束２を、光束３と光束４に切
換える作用をする。ビームスグリツタ５の回転に同期し
て積分球１０ ｉＣ取付けた光量検出素子１１により得
られる測定電流をサンブリングすることで、を束３、光
束４による光量に比例した電流値を独立に得ている。
換える作用をする。ビームスグリツタ５の回転に同期し
て積分球１０ ｉＣ取付けた光量検出素子１１により得
られる測定電流をサンブリングすることで、を束３、光
束４による光量に比例した電流値を独立に得ている。
分光透過率は、上記測定電！ｔｔり次のようにめる。ま
ず、試験レンズ７を取り付ける前の光束３による電流値
をＱ＋、同じく光束４による電流値をハとする。次・て
、試洟レンズ７を取り付けた後の光束３による１流雀を
Ｊｌ＋’、同じく爪束４による電流・電？Ｌ２′とする
。ここで、分光濃。
ず、試験レンズ７を取り付ける前の光束３による電流値
をＱ＋、同じく光束４による電流値をハとする。次・て
、試洟レンズ７を取り付けた後の光束３による１流雀を
Ｊｌ＋’、同じく爪束４による電流・電？Ｌ２′とする
。ここで、分光濃。
過率を、試験レンズの有る時の光量の伝達率で定義する
と、上記電流値より分光透過率Ｔを（１）式のようにめ
る。
と、上記電流値より分光透過率Ｔを（１）式のようにめ
る。
’ｒ＝（Δ１・ 震 ／ｊ１・ 盲 ）／（Ａ −／’
Ｉ ） ・・・ ・・・・・・・・ （１）ここで、
試験レンズ７の有無によって、参照光束３は影響を受け
ないので、単色光束２の光量が一定ならば、Ｌｌ＋＝ａ
ｊｌ である。しかし、試験レンズ７の屈折力によって
、光束４は、積分球１０の内壁で広がる。真の透過率が
一定の下に、この広が９量１２に係わらずに測定電流値
、。
Ｉ ） ・・・ ・・・・・・・・ （１）ここで、
試験レンズ７の有無によって、参照光束３は影響を受け
ないので、単色光束２の光量が一定ならば、Ｌｌ＋＝ａ
ｊｌ である。しかし、試験レンズ７の屈折力によって
、光束４は、積分球１０の内壁で広がる。真の透過率が
一定の下に、この広が９量１２に係わらずに測定電流値
、。
バが一定である積分球なら問題はないが、現実には広が
り量によってＬｘが変動する。従来のこの種の方式では
、測定精度が問題であった。
り量によってＬｘが変動する。従来のこの種の方式では
、測定精度が問題であった。
この解決策として考案された積分球を第３図に示す。こ
れは、積分球１０の光束入射窓ｔＳＣ球の中心に対する
部位に酸化アルミニウムの円板状の板１６（以下白板と
略す）を設け、試験レンズ１７等による光束の広が９を
、白板の上に限シ許容するものである。従って、ｆ−１
０■以下の屈折力の強いレンズ、凹レンズ等は、光束を
発散させるため、光束を白板の面の内側に保てないため
、再現性の良い測定が困難であった。
れは、積分球１０の光束入射窓ｔＳＣ球の中心に対する
部位に酸化アルミニウムの円板状の板１６（以下白板と
略す）を設け、試験レンズ１７等による光束の広が９を
、白板の上に限シ許容するものである。従って、ｆ−１
０■以下の屈折力の強いレンズ、凹レンズ等は、光束を
発散させるため、光束を白板の面の内側に保てないため
、再現性の良い測定が困難であった。
本発明の目的は、分光透過率のかり定装置において、被
測定Ｖンズ系の屈折力の影響を受け難い分光透過率測定
装置を提供することにある。
測定Ｖンズ系の屈折力の影響を受け難い分光透過率測定
装置を提供することにある。
本発明は、測定光が、試験レンズの屈折力に係わらずに
ほぼ同一の面積にて、積分球内壁を照射し、屈折力によ
る測定値の変動を小さくしたものである。
ほぼ同一の面積にて、積分球内壁を照射し、屈折力によ
る測定値の変動を小さくしたものである。
本発明の原理を第４図に示す。積分球１０は、従来の積
分球の内側に、測定光束入射窓側に開いた円錐台状の筒
１９を吹シ付けた構造になって１いる。
分球の内側に、測定光束入射窓側に開いた円錐台状の筒
１９を吹シ付けた構造になって１いる。
円錐音状のｍ１９の内壁２０は、銀鏡による表面反射鏡
となっており、外筒は、積分球内壁と同じ材質である廃
酸バリウムで塗布しである。
となっており、外筒は、積分球内壁と同じ材質である廃
酸バリウムで塗布しである。
平行光束２１が、試験し／ズ２２に入射すると円錐台形
状のｍ１９の内壁２０により、繰り返し反射して、終端
２３を経て、積分球の内壁照射面２４を照射する。この
内壁照射面２４の面積は、１終端２３の中心によって定
まる円２５を上限とする。従来、白板を用いて、有効照
射面を現定していたが、本考案によれば、円２５を白板
の面積。
状のｍ１９の内壁２０により、繰り返し反射して、終端
２３を経て、積分球の内壁照射面２４を照射する。この
内壁照射面２４の面積は、１終端２３の中心によって定
まる円２５を上限とする。従来、白板を用いて、有効照
射面を現定していたが、本考案によれば、円２５を白板
の面積。
とすることで、試験し／ズの屈折力に係わらず。
に試験レンズ２２を通過した光量を光量検出素子１１の
出力電流Ｌ２として得ることができる。 。
出力電流Ｌ２として得ることができる。 。
一方、円錐台状の筒１９の内壁は、銀鏡等の高４反射率
材料であるが、実際には１００％反射面ではないため、
反射損失を考慮する必要がある。
材料であるが、実際には１００％反射面ではないため、
反射損失を考慮する必要がある。
試験レンズ玉の焦点距離が定まれば、光束の径は一定で
あるから、透過光束の実効反射回数が実験的に決めるこ
とができ、これによって定まる光量損失を補正した電流
値を計算して改めてＬ２ とし、式（１）によって分光
透過率をめる。
あるから、透過光束の実効反射回数が実験的に決めるこ
とができ、これによって定まる光量損失を補正した電流
値を計算して改めてＬ２ とし、式（１）によって分光
透過率をめる。
以下、本発明の一実施例を第５図によシ説明する。本実
施列では、第１図に示した従来の構成因のうち、積分球
１０以外の構成は共通に用い、以下の説明は、積分球の
溝造を中心に行なう。
施列では、第１図に示した従来の構成因のうち、積分球
１０以外の構成は共通に用い、以下の説明は、積分球の
溝造を中心に行なう。
積分球１０において、円錐台状の筒１９の底面の内周は
測定光束入射窓９の内周と一致している。また、この円
錐台状の筒９は、積分球１０の内側に向けて凸である。
測定光束入射窓９の内周と一致している。また、この円
錐台状の筒９は、積分球１０の内側に向けて凸である。
筒９の回転中心線は積分球１０の中心を通る。また、（
笥９の頂点１ｌＩ８ｃ切断面は、積分球１０の内壁に接
しない部分で中心線に直角に切断し、立置は、切断面を
中心軸に直角に広げた時に１．積分球１０の内壁に測定
光束入射窓９の直径の２倍の円で接する位置とした。こ
れにより入射光束の収斂程度によらな−で積分球内壁の
光束照射面積を一定に保つ効果、一度積分球内に入射し
先光束が、外部に漏れて測定出力信号の損失が生ずるこ
とも減り、感度を高める効果が１停られる。
笥９の頂点１ｌＩ８ｃ切断面は、積分球１０の内壁に接
しない部分で中心線に直角に切断し、立置は、切断面を
中心軸に直角に広げた時に１．積分球１０の内壁に測定
光束入射窓９の直径の２倍の円で接する位置とした。こ
れにより入射光束の収斂程度によらな−で積分球内壁の
光束照射面積を一定に保つ効果、一度積分球内に入射し
先光束が、外部に漏れて測定出力信号の損失が生ずるこ
とも減り、感度を高める効果が１停られる。
参照光束３１．ｉ１参照元束入射窓８より入射する。こ
の時、光束３は、円筒台状の筒１９の外壁と、積分球内
壁を照射する。しかし、参照光束３は、試験レンズ２２
の有：ｍＴ／Ｃよって全く影響を受けない。従って参照
光束３による出力電流ＬＩＬ＋は一定であるため円錐台
形状の筒１？は、測定精度の劣化要因にはならない３ ここで、本実施例の運朋法について説明する。
の時、光束３は、円筒台状の筒１９の外壁と、積分球内
壁を照射する。しかし、参照光束３は、試験レンズ２２
の有：ｍＴ／Ｃよって全く影響を受けない。従って参照
光束３による出力電流ＬＩＬ＋は一定であるため円錐台
形状の筒１？は、測定精度の劣化要因にはならない３ ここで、本実施例の運朋法について説明する。
筒１９の内壁は、銀鏡を用いても反射率は約９８チ（可
視域）である。また、波長によって反射率が変化するた
め、測定値はそのまま透過率を意味していない。従って
、先ず、分光透過率、及び焦点距離のわかっている数個
のレンズを測定し、装置内又は装、姪外に、焦点距離と
波長の補正テーブルを作成する。
視域）である。また、波長によって反射率が変化するた
め、測定値はそのまま透過率を意味していない。従って
、先ず、分光透過率、及び焦点距離のわかっている数個
のレンズを測定し、装置内又は装、姪外に、焦点距離と
波長の補正テーブルを作成する。
以上説明した。１由によシ本装置で測定するに；ｌ）た
シ、得られた測定値に対して、補正係数を掛は合せるこ
とに、屈折力について考慮しなくても良い、）重用にお
いて無調整型の分光透過率」り定装置を・潜ること、が
できた。
シ、得られた測定値に対して、補正係数を掛は合せるこ
とに、屈折力について考慮しなくても良い、）重用にお
いて無調整型の分光透過率」り定装置を・潜ること、が
できた。
本范明によれば、本質的には、レンズ系の分光、透過率
の測定の可、否は、レンズ系の焦点距離によらず測定可
能となり、また光束の広がりによる精度の劣化も生じな
い分光透過率測定装置が可能となった。その結果、多品
種のレンズの測定においても使用者側にとってみれば、
同一品種のレンズの測定と同じ作業内容で、！りｂ、測
定の効率が上昇する。
の測定の可、否は、レンズ系の焦点距離によらず測定可
能となり、また光束の広がりによる精度の劣化も生じな
い分光透過率測定装置が可能となった。その結果、多品
種のレンズの測定においても使用者側にとってみれば、
同一品種のレンズの測定と同じ作業内容で、！りｂ、測
定の効率が上昇する。
はビームスプリッタの説明図、第６図は白板を用いた分
光透過率測定装置の構成図、第４図は本発明の積分球の
構成図、第５図は本発明の一実施例の積分球の外形図で
ある。
光透過率測定装置の構成図、第４図は本発明の積分球の
構成図、第５図は本発明の一実施例の積分球の外形図で
ある。
１０・・・積分球本体
１１・・−光ｔＷｋ出素子
１９・・・円錐台状の筒
２３・・・円錐台犬の筒端面っ
讃１国
カ ２図
矛３圀
署４図
第５
−２゜
Claims (1)
- ｔ 試料を通過した光束を積分球に入射させ、該積分球
に附属する光量検出素子で入射した光量を計測する方式
の分光透過率測定装置に詮いて、前記積分球に設けた円
形の光束入射窓を底面とし、該入射窓の中心と前記積分
球の中心を通る直線を回転中心とする前記入射窓より前
記積分球の中心側に頂点を有する円錐台状の肉薄の筒を
有し、核部の内面は銀鏡等の表面反射鏡であり、外面は
硫酸バリウム、又は酸化マグネシウム等の光を散乱させ
る塗装が施こされており、円錐台状の筒の頂点側の切断
面は、前記積分球の内壁に接することなく、かつ前記切
断面の中心位置は該切断面を中心軸に直角方向に一様に
広げたときに前記積分球の内壁に前記入射窓の直径の２
倍以下で接するような筒を設けた積分球を有することを
特徴とする分光透過率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16038283A JPS6052744A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 分光透過率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16038283A JPS6052744A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 分光透過率測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052744A true JPS6052744A (ja) | 1985-03-26 |
Family
ID=15713751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16038283A Pending JPS6052744A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 分光透過率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052744A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0708106A1 (en) | 1994-10-20 | 1996-04-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Novel silacyclohexane compounds, a liquid crystal composition comprising the same and a liquid crystal device comprising the composition |
| US5597237A (en) * | 1995-05-30 | 1997-01-28 | Quantum Logic Corp | Apparatus for measuring the emissivity of a semiconductor wafer |
| WO1997020192A1 (en) * | 1995-11-27 | 1997-06-05 | Schmitt Measurement Systems, Inc. | Methods and apparatus for characterizing a surface |
| US6078391A (en) * | 1998-11-17 | 2000-06-20 | Schmitt Measurement Systems, Inc. | Method and system for segmented scatter measurement |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP16038283A patent/JPS6052744A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0708106A1 (en) | 1994-10-20 | 1996-04-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Novel silacyclohexane compounds, a liquid crystal composition comprising the same and a liquid crystal device comprising the composition |
| US5650092A (en) * | 1994-10-20 | 1997-07-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silacyclohexane compounds, a liquid crystal composition comprising the same and a liquid crystal device comprising the composition |
| US5597237A (en) * | 1995-05-30 | 1997-01-28 | Quantum Logic Corp | Apparatus for measuring the emissivity of a semiconductor wafer |
| WO1997020192A1 (en) * | 1995-11-27 | 1997-06-05 | Schmitt Measurement Systems, Inc. | Methods and apparatus for characterizing a surface |
| US6078391A (en) * | 1998-11-17 | 2000-06-20 | Schmitt Measurement Systems, Inc. | Method and system for segmented scatter measurement |
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