JPH0328812A - ミラー支持装置 - Google Patents

ミラー支持装置

Info

Publication number
JPH0328812A
JPH0328812A JP1163464A JP16346489A JPH0328812A JP H0328812 A JPH0328812 A JP H0328812A JP 1163464 A JP1163464 A JP 1163464A JP 16346489 A JP16346489 A JP 16346489A JP H0328812 A JPH0328812 A JP H0328812A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
gravity
center
lever
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1163464A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2625547B2 (ja
Inventor
Noboru Ito
昇 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1163464A priority Critical patent/JP2625547B2/ja
Priority to US07/540,724 priority patent/US5035497A/en
Priority to DE4020299A priority patent/DE4020299C2/de
Publication of JPH0328812A publication Critical patent/JPH0328812A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2625547B2 publication Critical patent/JP2625547B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1827Motorised alignment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Telescopes (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、重力の影響を補償することにより,鏡面を
所定の形状に保ちながら,ミラーを任意の姿勢に支持す
るためのミラー支持装置に関するものである. 〔従来の技術〕 第10図は従来のミラー支持装置を用いたミラー支持シ
ステムを示す構成図、第11図は上記ミラー支持装置に
より任意の傾き角θで支持されるミラーを示す平面図,
第12図は従来のミラー支持装置を示す構或図である. 第10図において、1は鏡面が凹面に形戊されたガラス
製の円形のミラーで、第illにも示すように、中央に
孔1aを有すると共に,3つの固定点a,b,Qで固定
されている.,2はミラー1を支持するミラーセル、3
はミラーセル2上でミラー1を任意の姿勢で支持する複
数個のミラー支持装置、4はミラーセル2上でミラーl
を上記固定点a,b,cで固定するミラー固定機構,5
は各ミラー支持装置3に設けられた後述するアキシャル
方向支持力検出器の検出信号と力指令値とに基づいて各
ミラー支持装1i13の支持力を制御する複数の力制御
装置、6は上記傾き角θに応じて各力制御装置5に与え
る上記力指令値を算出する力指令値算出装置である. 次に、上記ミラー支持装W3を示す第12図において、
1bはミラー1の裏面に設けられた凹部、2aはミラー
セル2に設けられた凹部、7は凹部2aに設けられ、凹
部1bに延長されたてこ,8はてと7の一端に設けられ
たカウンタウェイト,12は凹部2a内にてこ7のアキ
シャル方向に移動可能に設けられたガイド機構,13は
てこ7の中間部をガイド機構12に接続する自在継手、
14はガイド機構工2に接続されたばね,15は第10
図の力制御装[15により制御され、ばね14を介して
ガイド機構12をてこ7と共に移動させるモータ付ボー
ルネジ装置、9は凹部1b内にてこ7のアキシャル方向
に移動可能に設けられたガイド機構、1oはガイド機構
9にてこ7の他端をミラーエの重心gで接続する自在継
手、11は凹部1b内に設けられてアキシャル方向の支
持力を検出するアキシャル方向支持力検出器である.次
に動作について説明する. まず、第11図において、ミラーエはミラー固定機構4
により3点a,b,aでミラーセル2に固定されている
.ミラー1の重力による自重変形を防ぐために、自重を
打消す方向の力を発生させるミラー支持装置3が複数個
設けられている.このミラー支持装113は与えられた
力指令値に対応する力を出すように力制御装置5により
制御される.各ミラー支持装!3にどのような支持力を
発生すべきかは、ミラーlの傾き角θに応じて力指令値
算出装置6により決定される. 次に,第12図に示すミラー支持装置3の原理を説明す
る. ミラー1は任意の姿勢に傾くので、2方向の力をミラー
1の自重を打消す方向に加える必要がある.そのlつは
ミラーlと直内方向の力(アキシYルカ)と、もう1つ
はミラー1の面内方向の力(ラジアルカ)である.まず
,ラジアル力がどのように発生されるかを説明する. 各ミラー支持装置3が受け持つミラー1の重量をWとす
ると、このWと等しい力が出るように、てこ7のてこ比
(自在継手10と自在継手13間の距離と自在継手13
とカウンタウェイト8間の距離との比)と、カウンタウ
ェイト8の重量とが決められている.また、各自在継手
10は各々が受け持つミラー1の重心gに位置するよう
に,ミラー1に設けられた凹部1b内で支持することに
より,ミラー1に作用するラジアルカを打消すことがで
きる. アキシャル力については、ばね14とモータ付ボールネ
ジ装置15により力を発生させ、これをガイド機構12
,自在継手13、てこ7、自在継手10、ガイド機構9
及びアキシャル方向支持力検出器11を介してミラー1
に伝えるようになされている.アキシマル力はアキシャ
ル方向支持力検出器11の検出信号が力制゜御装115
にフィードバックされると共に、力指令値に等しくなる
ようにモータ付ボールネジ装[l15が制御されるよう
になされている. 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のミラー支持装置3は以上のように構成されている
ので、ミラー1の重心g部を支えるためにミラーlに凹
部1bを設けなければならず、ガラス製のミラーlに穴
をあけて凹部1bを形或するという困難な加工が必要と
され、また、加工後もクラックが残り,強度に関する信
頼度が著しく低下する等の問題点があった. この発明は上記のような問題を解消するためになされた
もので、ミラーに穴をあけずにミラムの重心を支えたの
と同じ効果が得られるミラー支持装置を得ることを目的
とする. 〔課題を解決するための手段〕 請求項1の発明に係るミラー支持装置は,てこがミラー
の重心を中心として回転するような運動が得られる連.
結手段をミラーの厚みの外に設けたものである. 請求項2の発明に係る旦ラー支持装置は,ミラーに新た
なカウンタウェイトを取付け,ミラーとこのカウンタウ
ェイトとを組み合せた全体の重心をミラーの厚み外に位
置するようにしたものである. 〔作用〕 請求項1の発明におけるミラー支持装置は、てこがミラ
ーの重心を中心として回転する運動を行うことにより,
ミラーの重心に自在継手を設けたのと全く同じ運動をて
こがミラーに対して行うため,ミラーに穴をあけなくて
も、従来の機構と同じ効果が得られる. 請求項2の発明におけるミラー支持装置は、ミラーにカ
ウンタウェイトを固定することにより、これらの重心を
ミラーの厚みの外に位置させ且つこの点を支持するため
,従来のようにミラーの重心を自在継手で支えるのと同
じ効果が得られる.〔実施例〕 以下、この発明の第1〜第6の実施例を図について説明
する.なお、第1〜9図においては、第10〜12図及
び互いに対応する部分には同一符号を付して重復する説
明を省略する. 第1図及び第2図は第1の実施例を示し,gはミラー1
の重心,23はミラー1の裏面に固着された支持部材で
、内部にアキシャル方向支持力検出器11が設けられる
と共に,ガイド機4i!9がアキシャル方向に移動自在
に取付けられている。なお,第l図のガイド機構9は第
11図のガイド機構9とは異る形状で図示されているが
機能は同じである.24はてこ7の先端に設けられた支
持台,21はガイド機構3の裏面の3個所に第2図に示
すように設けられた球面軸受,22は支持台24の3個
所に第2図に示すように設けられた球面軸受、20は球
面軸受21.22を接続するリンクである.なお、第2
図においては、ガイド機構9はその一部のみが図示され
ている.また、上記各リンク20はそれらの延長線、即
ち、2つの球面軸受21.22を結ぶ線が,ミラー1の
重心gで交わるように配されている. なお、ガイド機構9,リンク20、球面軸受21,22
及び支持台24により、てこ7がミラー1の重心gを中
心として回転自在となるように、このてこ7と支持部材
23とを連結する連結手段を構戒している. 次に動作について説明する. 第l図及び第2図において、支持部材23に取付けられ
たガイド機構9と、てこ7に設けられた支持台24とは
,3組の球面軸受21.22及びリンク20を介して回
転自在に連結され、且つ各リンク20の延長線がミラー
1の重心gに交わるようになされている.これによって
、てこ7はミラー1の重心gを中心として回転運動する
ことになり、従来と同等の効果が得られる.即ち、従来
は第12図のように,ミラー1の重心gに自在継手10
を配し、てこ7を接続しているが,これと実質的に同じ
作用が行わ・れることになる.第3図は第2の実施例を
示す. 支持台24とガイド機構9とは第1図の場合と同様にし
て2つの球面軸受21.22及びリンク20を介して回
転自在に連結されている.なお、?の第3図では第1図
の支持部材23が省略され、また連結の状態も第l図と
は若干異っているが,両者は実質的に同一構成である.
また,第1図の自在継手13が省略されており,てこ7
は、ガイド機構12に設けられた複数の球面軸受25と
支持台24に設けられた球面軸受26と球面軸受25,
26を接続するリンク27とを介して回転自在にガイド
機構9に連結されている.また,各リンク27の延長線
はガイド機構9内の1点dで交わるようになされている
. なお,この第2の実施例では、ガイド機構9,支持台2
4、リンク20,27.球面軸受21,22,25.2
6により、前記連結手段が構戊されている. 上記構成によれば,第1の実施例と同様の効果が得られ
ると共に、上記d点がてこ7の近似的な支点となり,こ
のd点とミラーlの重心g間の距離a■とd点とカウン
タウェイト8間の距離a,とのてこ比Q,:A,を大き
く選ぶことにより,カウンタウェイト8の重量を減らす
ことができる.第4図及び第5図は第3の実施例を示す
.この実施例では,支持台24は断面コ字状に形成され
ており、その内部に支持板28が配されている.この支
持板28は.この支持板28に設けられた複数個のビン
継手29と支持台24に設けられたピン継手30とこれ
らのビン継手29,30を接続するリンク3lとを介し
て支持台24に連結されている。この連結により、支持
板28はミラー1の重心gを中心として、第5図の矢印
Aで示す上下方向に近似的に回転自在になされている,
さらに支持板28は、この支持板28に設けられた複数
個のビン継手32とガイド機構9に設けられたピン継手
33とこれらのピン継手32,33を接続するリンク3
4とを介してガイド機構9に連結されている.この連結
により,てこ7及び支持台24はミラー1の重心gを中
心として,第5図の矢印Bで示す左右方向に回転自在に
なされている。なお、各リンク34の延長線は上記重心
gで交わる. なお、この第3の実施例では、ガイド機構9、支持台2
4、支持板28、リンク31.34.ビン継手29,3
0,32.33により前記連結手段が構成されている. 上記構成によれば,てこ7はミラー1の重心gを中心と
して上下左右に回転することができる.第6図は第4の
実施例を示す。
この第4の実施例は第3の実施例の応用例であり,第4
図及び第5図におけるビン継手29,30,32,33
.リンク31,34、支持板28,支持台24及びガイ
ド機#49等の機能と同じ機能部分を1個の弾性体35
により一体的に或形したものである. 弾性体35において、36はてこ7の取付部、37は支
持部材23の取付部、38はガイド部で、支持部材23
に取付けられたアキシャル方向支持力検出器11の一部
が当接している.39はラジアル方向に平行に設けられ
た2本のリンク、4oはリンク39の両端部に設けられ
た切欠き部、41はそれらの延長線がミラー1の重心g
で交わるように設けられたリンク、42はリンク4oの
両端部に般けられた切欠き部である. なお、この第4の実施例では、弾性体35及びこの弾性
体35に一体或形された各部により、前記連結手段が構
戊される. 上記構成によれば、各リンク39.41に設けられた切
欠き部40.42の部分が変形することにより、これら
の切欠き部40.42がピン継手と同等に作用する.ま
た,ガイド部38はアキシャル方向に移動変形すること
により、上記ガイド機構9と同等に作用する.従って,
てこ7は重心gを中心として上下左右に回転することが
できる.また、この実施例によれば、部品点数を削減す
ることができる. 第7図は第5の実施例を示す. この実施例においては、ガイド機n9内に互いに平行な
且つ重心gを中心とする球面43.44を設け、この球
面43.44の間に支持台24をころがり機構45を介
して配している。
なお、ガイド機a9,球面43,44、支持台24及び
ころがり機構45により前記連結手段が?成される。
上記のように構成することにより、てこ7はミラーlの
重心gを中心として回転するため、従来装置のように、
ミラーlに穴をあけ、その重心g部に自在継手10を設
け,てこ7がミラー1の重心gを中心として回転するの
と同じ効果が得られる. 第8図及び第9図は第6の実施例を示す.この実施例に
おいては,支持部材23の内部にガイド機構9及びアキ
シャル方向支持黍力検出泌11を設けている.また、支
持部材23にはカウンタウェイト46が設けられている
. また,ミラー1の重さをWM、支持部材23とカウンタ
ウェイト46との重さをweとすると、wM+wcに等
しい力を出力させるように、てこ比(党■:党2)とカ
ウンタウェイト46の重さとが設定されている。また、
第9図のように、自在継手10の回転中心eは,ミラー
l,支持部材23及びカウンタウェイト46の重心に位
置するようになされている. なお,この第6の実施例では、ガイド機構9及び自在継
手10により,前記連結手段が構威されている. この実施例は、ミラー1と支持部材23とカウンタウェ
イト46とを組み合わせたものが,従来装置の場合のミ
ラーと想定すれば、従来装置と同様の効果が得られるの
は明らかである.即ち,定量的に見れば、ミラー1の裏
面にはt WMのせん断力とWM+2 (ここで、tはミラー1の
板厚)のモーメントとが加わってミラー上の自重を打消
すことになるが、実際にそうなっていることを第9図に
基づいて説明する. まず、ミラー1に支持部材23から伝わるせん断力Fは
、 F”FA  W(: ここで、F^:ミラー支持装置3が出すラジアルカ ところが,ミラー支持装置3が出すラジアル力FAはW
H+Weとなるように設定されているので,F=(WM
+WC)  We=Ws となる.次にミラーエに支持部材23から伝わるモーメ
ントMは、 t ”WcX122  WMXQ1+WHX−2 ところが、自在継手10の回転中心eに,ミラー1と支
持部材23とカウンタウェイト46の重心が位置してい
るため, ’qJcX I2,−Wp4X Q*= O
となる.従って, t M=WMX− 2 となり、ミラー1に作用する重力を打消すことがわかる
. 〔発明の効果〕 以上のように、請求項1の発明によれば,てこがミラー
の重心を中心として回転することができる連結手段をミ
ラーの厚みの外側に支持部材を介して設けるように構成
したので、ミラーの厚みの内側に自在継手を設けること
なく、ミラーの重心を支えたのと同じ効果が得られるの
で,ミラーの穴あけ加工が不要となり,ミラーの強度に
関して信頼性を高くすることができる効果が得られる。
また、請求項2の発明によれば5ミラーにカウンタウェ
イトを支持部材を介して設け、これらの二者を合わせた
ものの重心がミラーの厚みの外側に来るようにすると共
に,この重心を連結手段により回転自在に支持するよう
に構成したので、上記と同様にミラーの穴あけ加工が不
要となり、且つ信頼性を高める効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の第1の実施例によるミラー支持装置
を示す構成図、第2図は同装置の要部斜視図,第3図は
この発明の第2の実施例によるミラー支持装置を示す構
或図、第4図はこの発明の第3の実施例によるミラー支
持装置を示す構成図、第5図は同装置の要部斜視図、第
6図及び第7図はこの発明の第4及び第5の実施例によ
るミラー支持装置を示す構成図、第8図はこの発明の第
6の実施例によるミラー支持装置を示す構成図、第9図
は同装置の要部の構成図、第10図は従来のミラー支持
システムを示す構戒図、第11図はミラーの平面図、第
12図は従来のミラー支持装置を示す構或図である。 1はミラー,2はミラーセル,3はミラー支持装置,7
はてこ、9はガイド機構、20はリンク、21.22は
球面軸受、23は支持部材、24は支持台.25.26
は球面軸受、27はリンク、28は支持板、29,30
,32.33はピン継手,31.34はリンク、35は
弾性体、36,37は取付部、38はガイド部、39.
41はリンク、40.42は切欠き部,43.44は球
面、45はころがり機構、46はカウンタウェイト、g
はミラーの重心、eは回転中心。 なお、図中、同一符号は同一,又は相当部分を示す. 3゛ミラー支椅裟置 7:てこ 9:力゛イト申瞥9啄 28:1措級 22:珪面軸受 23:支持科杖 24:奎倚色 45:こう力Vり卆k1鼻 第 8 図 第 9 図 e:@卑云キヘン 第 11 図 第12図 11

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ミラーの裏面に設けられた支持部材と、上記支持
    部材と対向配置されたミラーセルと、上記ミラーセルに
    設けられ上記ミラーの重心に向って延長されたてこと、
    上記てこが上記ミラーの重心を中心として回転自在とな
    るようにこのてこと上記支持部材とを連結する連結手段
    とを備えたミラー支持装置。
  2. (2)ミラーの裏面に設けられた支持部材と、上記支持
    部材に設けられ上記ミラー及び支持部材を組合わせた全
    体の重心が上記ミラーの外側に存在するように設けられ
    たカウンタウェイトと、上記支持部材及びカウンタウェ
    イトと対向配置されたミラーセルと、上記ミラーセルに
    設けられ上記重心に向って延長されたてこと、上記てこ
    が上記重心を中心として回転自在となるようにこのてこ
    と上記支持部材とを連結する連結手段とを備えたミラー
    支持装置。
JP1163464A 1989-06-26 1989-06-26 ミラー支持装置 Expired - Lifetime JP2625547B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1163464A JP2625547B2 (ja) 1989-06-26 1989-06-26 ミラー支持装置
US07/540,724 US5035497A (en) 1989-06-26 1990-06-20 Mirror supporting device
DE4020299A DE4020299C2 (de) 1989-06-26 1990-06-26 Spiegelhaltevorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1163464A JP2625547B2 (ja) 1989-06-26 1989-06-26 ミラー支持装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0328812A true JPH0328812A (ja) 1991-02-07
JP2625547B2 JP2625547B2 (ja) 1997-07-02

Family

ID=15774375

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1163464A Expired - Lifetime JP2625547B2 (ja) 1989-06-26 1989-06-26 ミラー支持装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5035497A (ja)
JP (1) JP2625547B2 (ja)
DE (1) DE4020299C2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006276738A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Mitsubishi Electric Corp 鏡アライメントシステム
JP2010020319A (ja) * 2008-07-11 2010-01-28 Thales 望遠鏡のミラーの光学的欠陥を修正するための装置
JP2014507786A (ja) * 2010-12-20 2014-03-27 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 光学素子を取り付ける配置構成

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5151809A (en) * 1990-07-10 1992-09-29 Carl-Zeiss-Stiftung Mirror support arrangement for a primary mirror of a telescope
DE4208229A1 (de) * 1992-03-14 1993-09-16 Krupp Industrietech Formeinstellbarer teleskopspiegel
US5461515A (en) * 1992-07-07 1995-10-24 Eastman Kodak Company Assembly defining a tetrahedral geometry for mounting an optical element
JP2891074B2 (ja) * 1993-12-10 1999-05-17 三菱電機株式会社 反射鏡固定装置
JP3039607B2 (ja) * 1994-12-20 2000-05-08 三菱電機株式会社 反射鏡支持機構
DE29603024U1 (de) * 1996-02-21 1996-04-18 Fa. Carl Zeiss, 89518 Heidenheim Spannungsfreie Lagerung
US6043863A (en) * 1996-11-14 2000-03-28 Nikon Corporation Holder for reflecting member and exposure apparatus having the same
US5949593A (en) * 1998-03-16 1999-09-07 Eastman Kodak Company Off-loaded strut joint mirror support system
DE19938929C2 (de) * 1999-08-17 2002-04-18 Siemens Ag Anordnung zum Verschwenken eines Spiegels
JP3814460B2 (ja) * 2000-04-13 2006-08-30 三菱電機株式会社 反射鏡調整機構
JP3816490B2 (ja) * 2001-12-28 2006-08-30 三菱電機株式会社 反射鏡支持構造およびその調整方法
JP2006096147A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Murakami Corp ミラー及び角度検出装置
JP5634521B2 (ja) 2009-09-08 2014-12-03 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 表面外形(surfacefigure)変形の少ない光学素子
AU2010342008B2 (en) * 2010-01-18 2014-09-25 Hitachi Zosen Corporation Solar light collecting device and solar heat collecting facility
JPWO2014119200A1 (ja) * 2013-01-31 2017-01-26 ギガフォトン株式会社 ミラー装置
US20170055731A1 (en) * 2015-08-26 2017-03-02 Raytheon Company Mirror Mount

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4500170A (en) * 1982-06-14 1985-02-19 Ford Aerospace & Communications Corporation Gravity and temperature compensating reflector support actuator
US4664488A (en) * 1985-11-21 1987-05-12 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Light reflecting apparatus including a multi-aberration light reflecting surface
IT1213930B (it) * 1987-11-09 1990-01-05 Ansaldo Componenti Spa Dispositivo di posizionamento dello specchio secondario di un telescopio
DE8808506U1 (de) * 1988-07-02 1988-11-10 Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen Einrichtung zur entlasteten Lagerung von hochpräzisen schwenkbaren Reflektoren oder Spiegeln für Teleskope

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006276738A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Mitsubishi Electric Corp 鏡アライメントシステム
JP4554417B2 (ja) * 2005-03-30 2010-09-29 三菱電機株式会社 鏡アライメントシステム
JP2010020319A (ja) * 2008-07-11 2010-01-28 Thales 望遠鏡のミラーの光学的欠陥を修正するための装置
JP2014507786A (ja) * 2010-12-20 2014-03-27 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 光学素子を取り付ける配置構成
US9448384B2 (en) 2010-12-20 2016-09-20 Carl Zeiss Smt Gmbh Arrangement for mounting an optical element

Also Published As

Publication number Publication date
US5035497A (en) 1991-07-30
JP2625547B2 (ja) 1997-07-02
DE4020299C2 (de) 2001-03-01
DE4020299A1 (de) 1991-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0328812A (ja) ミラー支持装置
US4155169A (en) Compliant assembly system device
KR970034054A (ko) 맥퍼슨식 휠 서스팬션의 스트럿과 그 조정 수단 및 그 측정 벤치
JP3814460B2 (ja) 反射鏡調整機構
CA2026145A1 (en) Tilting momentum wheel for spacecraft
JP3553806B2 (ja) パラレルメカニズム工作機械
JPH02311285A (ja) 工業用ロボット
JPH032810A (ja) 高レンジ及び分解能確定マウント及び位置決め器
JPS6339398B2 (ja)
JP3217374B2 (ja) 支持アーム機構のための傾動アダプタ
JP3247311B2 (ja) パイプベンディング装置のための揺動自動位置決め支持装置
JP2006102155A (ja) 手術顕微鏡用スタンド装置
JPS62275210A (ja) レ−ザビ−ム転向装置
JPH06130282A (ja) サポート機構
JPH079125Y2 (ja) ミラーホルダー
JPH05337846A (ja) 締めつけ工具用補助アーム及び締めつけ装置
JPS5928634A (ja) ジヤイロロ−ドセル
JP3427469B2 (ja) 支持装置
JPH08338096A (ja) パネル支持構造およびそのための締結用金具
JPS62297556A (ja) 三次元サスペンシヨンの回転支持軸
JPH0387905A (ja) 複合振子を用いる重力方向保持装置
SE8801916L (sv) Kran
JPH03178725A (ja) フローティングホルダ
JP2000356693A (ja) ステージ機構
JP2682876B2 (ja) 構造物の制振架構

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080411

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090411

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100411

Year of fee payment: 13

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100411

Year of fee payment: 13