JPH032810A - 高レンジ及び分解能確定マウント及び位置決め器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、高レンジ及び分解能の確定マウント及び位置
決め器に関するものであって、更に詳細には、歪みを発
生することなしに広い範囲に亘ってミラーなどの物体を
位置決めし且つ保持することが可能な装置に関するもの
である。

従来技術 従来可能であったものよりも広範な範囲に亘って重い物
体を極めて正確に位置決めし１１つその物体へ応力乃至
は歪みを導入することなしにこれらの物体を所定位置に
固定するために使用することが可能な装置を提供するこ
とが所望されている。

この様な装置に対する一つの適用例は、レーザが長距離
における小さな標的に当てるために使用することが可能
であるほど十分に高精度でレーザ用のミラーを位置決め
することである。

この程度の高精度且つ歪みのない位置決め動作を行なう
ためには運動学的マウントを使用せねばならない。物体
は、制御されねばならない６個の自由度を有している。

これらは、三つの直交座標系軸に沿っての並進及びこれ
らの軸の周りの回転である。

物体を正確に位置決めするためには、マウントは可及的
に少ない数の部品を有するべきである。

部品の数が多すぎると、物体に過剰な歪みを発生する場
合があり、物体の位置決めを行なうことを不必要に複雑
なものとし、且つ相互接続部品の公差に起因して位置決
めエラーが導入される。

目　　的 本発明は、以上の点に鑑みなされたものであって、上述
した如き従来技術の欠点を解消し、物体に何ら応力又は
歪みを導入することなしに広範な移動範囲に亘って可及
的に正確に物体を位置決めし且つ保持することが可能な
装置を提供することである。本発明の別の目的とすると
ころは、アクチュエータの精度を維持しながらアクチュ
エータの長さを減少することを可能とした装置を提供す
ることである。本発明の更に別の目的とするところは、
相互接続部品の機械加工における公差に起因し且つ物体
の過剰な拘束状態に起因する位置決めエラーを減少させ
るために可及的に少ない数の部品を使用することである
。本発明の更に別の目的とするところは、異なった金属
の熱膨張及び収縮に起因する位置決めエラーを減少させ
ることである。本発明の更に別の目的とするところは、
時間に関し部品の変形及び摩耗に起因するエラーを減少
し且つ製造公差からの負荷の可能性を除去することであ
る。本発明の更に別の目的とするところは、位置決め機
構の直線性及び再現性を向上し且つ該機構の寿命及び信
頼性を向上することである。本発明の更に別の目的とす
るところは、レーザ真空環境から油及びガスを除去する
ことである。

構成 本発明は、物体を運動学的に支持し且つ位置決めするた
めに３点バイボッド（三脚架台）システムを使用してい
る。各バイボッド即ち三脚架台は、一端において回転自
由度３を有しており、且つその長さに沿って約半分の撓
曲体を有している。本発明は、回転自由度３に対し二軸
一致撓曲体及びローラスリーブを使用している。可能な
最小のアクチュエータ長さで物体を正確に位置決めする
ために、ステッパーモータを具備する差動ローラスクリ
ューアクチュエータを使用している。該アクチュエータ
のシャフト及びローラスクリューは、溶むさせた二硫化
タングテンコーティングを有しており、従って該シャフ
トは潤滑する必要がない。

アクチュエータハウジングは、運動学的支持システムに
おけるバイボッド即ち三脚架台として作用する。これら
３個のアクチュエータの各々は、端部上に二軸一致撓曲
体を有しており、それは該物体に取付けられており、従
って全ての二軸撓曲点は該物体が傾斜し且つ並進する座
標軸から等距離で同一面内に存在している。該アクチュ
エータの取付は点は、物体の中心座標軸に関し二等辺三
角形を形成している。各アクチュエータは、単一輔撓曲
体を使用しており、それは該アクチュエータが、それが
支持体に取付けられている１本の軸上で回動することを
可能としている。該アクチュエータは、好適には、単一
軸撓曲体の前後にバランスがとれるように位置決めされ
る。本発明において使用される撓曲体は、高度に信頼性
があり、且つ従来のシステムと比較すると、多くの接続
部品を取除いている。該撓曲体は潤滑を必要としないの
で、レーザの環境を汚染することのある油又はグリース
は存在していない。

実施例 以下、添付の図面を参考に、本発明の具体的実施の態様
について詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例に基づいて構成された高レ
ンジ・分解能確定マウント及び位置決め器１の概略斜視
図である。第１図に示した如く、本装置によって位置決
めされ保持されるべき物体は、標的に当たるようにレー
ザビームを指向させるために使用されるミラー３である
。このミラーは、ミラー組立体２によって固定的に保持
されている。このミラー組立体は、好適には、アクチュ
エータによって発生されることのある応力又は歪みを吸
収することが可能であるように構成されており、従って
ミラーに外力が加わってミラーを歪ませることがないよ
うな構成のものである。アクチュエータ５は、ミラー組
立体を支持し且つそれを位置決めする。各アクチュエー
タ５は、二軸−致撓曲体８によってミラー組立体２へ取
付けられている。アクチュエータ５は、単一輔撓曲体７
によって支持壁４へ取付けられている。該アクチュエー
タは、好適には、単一輔撓曲体上で前後にバランスされ
ている。アクチュエータ５は、ステッパーモータ６によ
って駆動される。

二軸一致撓曲体８は、あたかも−散点において自由度２
の動作を与えている。このことは、二軸一致撓曲体の中
心におけるあたかも同一の点において動作する垂直軸及
び水平軸の周りの同時的回転を可能としている。二軸一
致撓曲体のベース１０（第４図参照）は、穴２０を貫通
して設けられたボルト（不図示）によってアクチュエー
タに取付けられている。バー１１は、ベース１０から上
方向へ延在している。バー１１は、コア部分１３から半
径方向に延在するアーム９を支持している。

このコア部分は、その中心を貫通する穴１４を有してい
る。アクチュエータ５のシャフト４３は、第１図、第３
図及び第４図に最もよく示される如く、穴１４を貫通し
て延在している。該コア部分は、ベース１０の直ぐ上の
箇所で下方向へ延在しており、ベース１０とコア部分１
３との間にギャップを形成している。一つの金属片から
この二軸一致撓曲体を形成するためには、ベース１０を
介して且つバー１１とコア１３との間においてアーム９
に達する切断部を形成する。アーム１５は、コア部分１
３のベースから半径方向外側へ延在している。アーム１
５の底部とベース１０の上部との間にギャップが設けら
れており、ベース１０の表面に当接することなしにアー
ム１５が移動することを可能としている。従って、二輪
一致撓曲体８が１２において撓曲する場合、アーム１５
は、ベース１０の上方で自由に回転することが可能であ
る。この部品に対しては小さな程度の撓曲のみが設計さ
れているに過ぎないので、ベースｌＯとアーム１５との
間のギャップは、約１／８インチ（０，３２ｃ　ｍ）程
度のものであることを必要とするに過ぎない。

バー１７は、アーム１５から上方向へ延在しており且つ
撓曲部分１６を有している。撓曲部分１２はバー１１内
に刻設されている。撓曲部分１２及び１６は、好適には
、バー１１及び１７内に連続して二つの半円形状の刻設
部を設けることによって形成する。これらの刻設部は、
バー１１及び１７が所定の一致点において撓曲すること
を可能とするように設計されている。半円形状刻設部が
好適ではあるが、所定の撓曲点を得るためにその他の形
状のものを使用することも可能である。撓曲体１２及び
１６に対する撓曲点は、同一面内にあり、従って二軸一
致撓曲体８が屈曲する穴１４の中心における点が存在す
る如くに二軸撓曲体が動作する。従って、この二軸一致
撓曲体８は、本運動学的マウント及び位置決め器に対し
自由度２を与えている。

本発明は、非常に精密な位置決め器を提供するものであ
る。従って、ミラーの位置にエラーを導入する全ての可
能な要素を除去することが重要である。この観点から、
二軸一致撓曲体８を一つの金属片から機械加工によって
形成することが望ましく、その場合には、異なった金属
を使用する場合に温度による膨張又は収縮の問題がない
ので、撓曲点が存在する箇所にエラーを発生することが
ない。二軸一致撓曲体の全体を同一の物質から形成する
場合の別の利点は、撓曲点の位置にエラーを導入する可
能性のある全ての接続部を除去することである。この様
なエラーは、精密に嵌合されていない部品によって発生
される場合がある。このことは、機械加工公差エラー、
部品の摩耗、及び温度変化などの多数の要因によって発
生される場合がある。一つの金属片から二軸一致撓曲体
を形成する別の利点は、部品間に摩擦が存在しないとい
うことであり、従って、位置にエラーを導入することの
あるステイクション乃至はバックラッシュはゼロである
。又、部品を潤滑することも必要ではない。このことは
、レーザ真空システムにおいては極めて重要なことであ
る。なぜならば、汚染物が発生すると、ミラーに対して
深刻な損傷を発生する場合があるからである。別の利点
は、このタイプの撓曲体は、部品間に入り込みｎつ物体
の位置決めに影響を与えることのある塵芥によって影響
を受けることがないということである。

本発明における二軸一致撓曲体は、長い寿命に亘って直
線性及び再現性を与えるものである。この構成の撓曲体
は、位置決め器の設計要求を充足するための広範囲なス
プリング率及びｘｊ法を有することが可能である。別の
利点は、本発明における撓曲体は、ヒステリシスが小さ
く且つ予１１１１１可能なものであるということである
。

単一軸撓曲体７は、アクチュエータ５を支持壁４へ接続
しており、且つアクチュエータが、撓曲部分３０内の撓
曲魚屑りに一軸上で回転することを可能としている。こ
の撓曲部分も、好適には、金属部品内に半円形状の切断
部乃至は刻設部を形成することによって構成する。二軸
一致撓曲体の場合に上述したのと同一の理由により、単
一輔撓曲体７を、同一物質からなる加工物がら機械加工
することが望ましい。

物体を非常に精密に位置決めするという目的は、非常に
小さく且つ正確な直線的並進ステップを形成する能力を
有するアクチュエータを必要とする。

好適には、このアクチュエータは、小さな空間内に位置
するのに十分に小さなものでなければならない。この様
な微細な程度の調節を行なうために、差動スクリューア
クチュエータ５（第２図及び第３図参照）を使用してい
る。ステッパーモータ６はこのアクチュエータを駆動す
る。ステッパーモータは、シャフト４３上のスプライン
４２と噛合う内側表面上に設けた溝４１を有する管４ｏ
を回転させる。ステッパーモータ６が回転すると、スプ
ライン４２はシャフト４３を駆動する。シャフト４３は
、二つの部分、即ち４４及び４５に分割されている。各
部分は、異なったピッチのねじを有している。螺設ロー
ラ４６がハウジング４７内に固定されている。シャフト
４３は、螺設ローラ４６と相対的に移動し、且つ管４０
内を往復移動することが可能である。螺設ローラ４８は
、二軸一致撓曲体８に取付けられている可動ハウジング
４９内に固定されている。可動ハウジング４９はローラ
スリーブ５０内に収納されている。ボール５１は、可動
ハウジング４つが、ハウジング内において前後に摺動し
且つハウジング内において回転することを可能としてお
り、従ってトルク力がミラー組立体２及び二軸一致撓曲
体８へ印加されることを防止している。好適には、アク
チュエータを損傷することを防止するために位置リミッ
トスイッチ５５が設けられている。好適には、シャフト
４３上のねじのピッチは、ねじにおける差が該二軸一致
撓曲体をステッパーモータのステップ当り４マイクロイ
ンチだけ移動させるようなものである。好適には、使用
されるアクチュエータは、１．７５インチの範囲を有し
ており［［つ約２フイートの全体的な長さを有している
。二軸一致撓曲体の撓曲点がミラーの中心軸から約６イ
ンチである本発明の実施例においては、ミラーの分解能
は０．３マイクロラジアンである。従来技術のアクチュ
エータにおいて使用されるローラボールの代わりに、本
実施例におけるアクチュエータにおいては螺設ローラを
使用している。なぜならば、ローラボール型アクチュエ
ータにおけるボールは、シャフト４３においてより幅広
の溝を必要とし、従ってリードが５倍程度粗くなるから
である。より幅広の溝を使用すると、螺設ローラの場合
と同一の直線的並進範囲を得るためには、シャフトは約
５倍長くなければならない。この様な長さは、マウント
を異常に大型化し且つ不安定なものとさせる。重量及び
空間の拘束条件のために、螺設ローラ及びシャフト４３
上のより密接して離隔したねじを使用することが望まし
い。潤滑剤の代替物として、シャフト及び螺設ローラ上
に二硫化タングステンなどのような物質を設けることが
望ましい。二硫化タングステンは、レーザの真空環境を
〆り染し■つレーザを損傷することのあるグリース又は
液体を使用することなしに、所要の潤滑特性を提供する
。

ローラボールアクチュエータの代わりに螺設ローラアク
チュエータを使用する別の理由は、螺設ローラはローラ
ボールよりも約６倍剛性が高いからである。従って、本
発明のアクチュエータは、ローラボールを使用するもの
よりも一層直線性の精度が高い。好適には、この螺設ロ
ーラは、１００万ボンド／インチの剛性を有するもので
ある。

精密光学システムのマウント即ち取付けにおいて通常必
要とされる精度のために、運動学的原理が必要とされる
ことが多い。空間内の物体は自由度６を有している。こ
れらの自由度は、三つの直交座標軸に沿っての並進及び
これらの軸の周りの回転である。これらの可能な運動の
各々が発生することが個別的に防止されている場合には
、物体は完全に拘束状態にある。特定の自由度における
運動が一つを超えるメカニズムによって防止されている
場合には、物体は過剰に拘束されており、且つその支持
システムは冗長となる。拘束条件の一つを除く全てが無
効であるか、又は物体が複数個の拘束条件によって変形
され、負荷が不定である。これらの変形に対して影響を
受けない典型的なマウントシステムは、通常、簡単化及
び低コストのための冗長な形１聾を使用する。冗長な拘
束条件なしで全ての自由度を固定する条件を充足するマ
ウントは、運動学的なものであり、■つ良好な光学的マ
ウントは、常に、その何らかの変形した形態を使用する
ものである。運動学的マウントシステムを使用すること
により、熱差動歪み及び製造公差によって相対的に影響
を受けなくなり、且つより高精度の位置決め制御が提供
される。本発明においては、２−２−２運動学的システ
ムが使用されている。三つのアクチュエータの各々は、
バイボッド即ち三脚架台として作用し、且つ自由度２の
拘束条件を有している。各アクチュエータは、二軸一致
撓曲体端部において三つの回転自由度を有している。こ
れらの自由度は、二軸一致撓曲体８の二つの輔に関して
の回転とローラスリーブ５０の回転である。物体の位置
は、全ての六つの自由度において積極的に制御すること
が可能である。３個のアクチュエータの長さを調節する
ことにより、物体に対して任意の与えられた配向即ち方
位を選択することが可能である。本実施例においては、
二軸一致撓曲体の全てがミラーの表面と同一面内で整合
され且つアクチュエータがミラ・−組立体の周りに１２
０度離隔したミラーの中心から等距離の点に取付けられ
ている場合には、ミラーの中心の表面はそのミラーが傾
斜し且つ並進する周りの点であり、標的に当てるために
ミラーを所望の方向に向けさせるのに必要なアクチュエ
ータの位置を計算することを容易とする。

この様な構成を有する撓曲体は、他の構成のものが必要
とするようなバックラッシュなしで、位置決め器を動作
させるために何らの軸方向の予備負荷を必要とするもの
ではない。アクチュエータのシャフトは、例えばボール
ローラアクチュエータなどのような他の構成のものが必
要とするような予備負荷力を必要とするものではない。

ローラスリーブ内部に予備負荷を与えることによりバッ
クラッシュが除去される。このことは、予備負荷メカニ
ズムの公差によって発生される不正確な予備負荷乃至は
エラーに起因して発生することのあるエラーを除去する
ことにより本発明の構成を一層正確なものとすることに
貢献する。

以上、本発明の具体的実施の態様について詳細に説明し
たが、本発明は、これら具体例にのみ限定されるべきも
のではなく、本発明の技術的範囲を逸脱することなしに
種々の変形が可能であることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に基づいて構成された高レン
ジ及び分解能確定マウント及び位置決め器を示した部分
断面概略斜視図、第２図は本発明の一実施例に基づいて
構成された支持壁及びミラー組立体に取付けられた２個
のアクチュエータを示した部分断面概略平面図、第３図
は本発明の一実施例に基づいて構成されたアクチュエー
タニ脚架台支持体を示した部分断面概略斜視図、第４図
は本発明の一実施例に基づいて構成された二軸−致婉曲
体を示した概略斜視図、第５図は第４図の５−５線に沿
って見た状態の二軸一致撓曲体の概略側面図、第６図は
第４図の６−６線に沿って見た状態の二軸−■撓曲体の
概略平面図、第７図は二軸一致撓曲体の概略正面図、第
８図は二軸一致撓曲体の概略背面図、第９図は本発明の
一実施例に基づいて構成された一軸撓曲体を示した概略
斜視図、第１０図は一軸撓曲体の概略側面図、第１１図
は一軸撓曲体の概略底面図、である。 （符号の説明） １：高レンジ分解能確定マウント・位置決め器２：ミラ
ー組立体 ３：ミラー ４：支持体 ５ニアクチユニータ ロ；ステッパーモータ ７：単軸撓曲体 ８：二軸一致撓曲体 ９：支持アーム １０：ベース １１：バー １３：コア １５：アーム ４３：シャフト

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高レンジ及び分解能確定マウント及び位置決め器に
   おいて、各々が二軸一致撓曲体とローラスリーブと単一
   軸撓曲体とを持った少なくとも３個のアクチュエータ、
   前記二軸一致撓曲体を位置決めすべき物体へ取付ける手
   段、単一軸撓曲体を支持体へ取付ける手段、を有するこ
   とを特徴とする高レンジ及び分解能確定マウント及び位
   置決め器。 ２、特許請求の範囲第１項において、各アクチュエータ
   は二つの端部と中間部とを有しており、前記二軸一致撓
   曲体は各アクチュエータの一端部へ取付けられているこ
   とを特徴とする高レンジ及び分解能確定マウント及び位
   置決め器。 ３、特許請求の範囲第２項において、各アクチュエータ
   の一端部に自由度３の点があり且つ中間部に単一軸撓曲
   体が設けられていることを特徴とする高レンジ及び分解
   能確定マウント及び位置決め器。 ４、特許請求の範囲第３項において、前記アクチュエー
   タの重量の半分が単一軸撓曲体のそれぞれ両側に位置す
   るように前記アクチュエータは前記単一軸撓曲体上でバ
   ランスされていることを特徴とする高レンジ及び分解能
   確定マウント及び位置決め器。 ５、特許請求の範囲第４項において、各々が前記物体の
   先端、傾斜及び並進軸から等距離で同一面内において自
   由度３の点を持っている３個のアクチュエータが設けら
   れていることを特徴とする高レンジ及び分解能確定マウ
   ント及び位置決め器。 ６、特許請求の範囲第５項において、各アクチュエータ
   が、前記アクチュエータを移動させるための差動的に螺
   合されたシャフト及びローラスクリューを使用すること
   を特徴とする高レンジ及び分解能確定マウント及び位置
   決め器。 ７、特許請求の範囲第６項において、前記シャフト及び
   螺合したローラスクリューが、潤滑剤の代替物として二
   硫化タングステンコーティングが設けられていることを
   特徴とする高レンジ及び分解能確定マウント及び位置決
   め器。 ８、特許請求の範囲第１項において、前記二軸一致撓曲
   体が、中央部と上部とを持ったベース、各々が前記ベー
   スの中央部を介しての直径線の反対端部に位置しており
   且つ前記ベースから上方向へ延在しており且つ各々が撓
   曲部分を持った第一対のバー、上部及び底部を持ったコ
   ア、各々が前記第一バーの一つを前記コアの上部へ接続
   する第一対のアーム、前記第一対のアームに対して直交
   しており且つ前記コアの底部から延在する第二対のアー
   ム、各々が前記第二対のアームの各々の上に設けられて
   おり且つ各々が撓曲部分を持った第二対のバー、を有し
   ており、全てのバーにおける撓曲部分が同一面上にある
   ことを特徴とする高レンジ及び分解能確定マウント及び
   位置決め器。 ９、特許請求の範囲第２項において、前記二軸一致撓曲
   体が、中央部及び上部を持ったベース、各々が前記ベー
   スの中央部を介しての直径線の反対端部上に設けられて
   おり且つ前記ベースから上方向へ延在し且つ各々が撓曲
   部分を持った第一対のバー、上部及び底部を持ったコア
   、各々が前記第一バーの一つを前記コアの上部へ接続す
   る第一対のアーム、前記第一対のアームに直交しており
   且つ前記コアの底部から延在する第二対のアーム、各々
   が前記第二対のアームの各々の上に設けられており且つ
   各々が撓曲部分を持った第二対のバー、を有しており、
   前記全てのバーにおける撓曲部分が同一面上にあること
   を特徴とする高レンジ及び分解能確定マウント及び位置
   決め器。 １０、特許請求の範囲第３項において、前記二軸一致撓
   曲体が、中央部及び上部を持ったベース、各々が前記ベ
   ースの中央部を介しての直径線の反対端部上に設けられ
   ており且つ前記ベースから上方向へ延在し且つ各々が撓
   曲部分を持った第一対のバー、上部及び底部を持ったコ
   ア、各々が前記第一バーの一つを前記コアの上部へ接続
   する第一対のアーム、前記第一対のアームに直交してお
   り且つ前記コアの底部から延在する第二対のアーム、各
   々が前記第二対のアームの各々の上に設けられており且
   つ各々が撓曲部分を持った第二対のバー、を有しており
   、前記全てのバーにおける撓曲部分が同一面上にあるこ
   とを特徴とする高レンジ及び分解能確定マウント及び位
   置決め器。 １１、特許請求の範囲第４項において、前記二軸一致撓
   曲体が、中央部及び上部を持ったベース、各々が前記ベ
   ースの中央部を介しての直径線の反対端部上に設けられ
   ており且つ前記ベースから上方向へ延在しており且つ各
   々が撓曲部分を持った第一対のバー、上部及び底部を持
   ったコア、各々が前記第一バーの一方を前記コアの上部
   へ接続している第一対のアーム、前記第一対のアームに
   直交しており且つ前記コアの底部から延在する第二対の
   アーム、各々が前記第二対のアームの各々の上に設けら
   れており且つ各々が撓曲部分を持った第二対のバー、を
   有しており、前記全てのバーにおける撓曲部分が同一面
   上であることを特徴とする高レンジ及び分解能確定マウ
   ント及び位置決め器。 １２、特許請求の範囲第５項において、前記二軸一致撓
   曲体が、中央部及び上部を持ったベース、各々が前記ベ
   ースの中央部を介しての直径線の反対端上に設けられて
   おり且つ前記ベースから上方向へ延在し且つ各々が撓曲
   部分を持った第一対のバー、上部及び底部を持ったコア
   、各々が前記第一バーの一つを前記コアの上部へ接続す
   る第一対のアーム、前記第一対のアームに直交しており
   且つ前記コアの底部から延在する第二対のアーム、各々
   が前記第二対のアームの各々の上に設けられており且つ
   各々が撓曲部分を持った第二対のバー、を有しており、
   前記全てのバーにおける撓曲部分が同一面上であること
   を特徴とする高レンジ及び分解能確定マウント及び位置
   決め器。 １３、特許請求の範囲第６項において、前記二軸一致撓
   曲体が、中央部及び上部を持ったベース、各々が前記ベ
   ースの中央部を介しての直径線の対向端部上に設けられ
   ており且つ前記ベースから上方向へ延在しており且つ各
   々が撓曲部分を持った第一対のバー、上部及び底部を持
   ったコア、各々が前記第一バーの一つを前記コアの上部
   へ接続する第一対のアーム、前記第一対のアームに直交
   しており且つ前記コアの底部から延在する第二対のアー
   ム、各々が前記第二対のアームの各々の上に設けられて
   おり且つ各バーが撓曲部分を持った第二対のバー、を有
   しており、前記全てのバーにおける撓曲部分が同一面上
   であることを特徴とする高レンジ及び分解能確定マウン
   ト及び位置決め器。 １４、特許請求の範囲第７項において、前記二軸一致撓
   曲体が、中央部と上部とを持ったベース、各々が前記ベ
   ースの中央部を介しての直径線の反対端上に設けられて
   おり且つ前記ベースから上方向へ延在しており且つ各々
   が撓曲部分を持った第一対のバー、上部及び底部を持っ
   たコア、各々が前記第一バーの一つを前記コアの上部へ
   接続している第一対のアーム、前記第一対のアームに直
   交しており且つ前記コアの底部から延在する第二対のア
   ーム、各々が前記第二対のアームの各々の上に設けられ
   ており且つ各々が撓曲部分を持った第二対のバー、を有
   しており、前記全てのバーにおける撓曲部分が同一面上
   にあることを特徴とする高レンジ及び分解能確定マウン
   ト及び位置決め器。