JPH03284744A - スピンコーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ガラスなどの基板面に、感光液やフォトレジ
ストなど樹脂液を塗布するためのスピンコーターに関す
る。

（従来の技術） 従来のスピンコーターは、例えば第４図に示すように、
コーティングカップｌの内側の底部中心部に回転軸２を
備え、該回転軸の上端部に水平回転テーブル３を備え、
該テーブル３上にガラスなどの基板ａを固定して、該テ
ーブル３上方よりコーティング液を供給しながらテーブ
ル３を回転させ、基板ａ上にコーティング液を塗布する
ものである。基板ａにコーティングされる余剰のコーテ
ィング液は、回転遠心力により回転中心部より外周側に
放射状に飛散して、カップ１の内壁面などカップ１内面
に付着してカップ゛ｌの底部４に流下し、該底部４に設
けた余剰コーティング液排出ドレイン６よりカップ１下
側に排出できるようになっている。このようなコーティ
ング稼働中に水平回転テーブル３の回転によって、基板
ａ面に供給されたコーティング液は飛沫となって一部は
コーティングカップ１の内面に衝突してミスト（微粒子
状の空気中の分散体）状に変化する。このミストは、カ
ップ１の内壁面への汚損だけでなく、コーティング操作
中の基板ａへのミストの付着によって基板ａを汚損を生
ずるものである。そこで、従来は、前記排出ドレイン６
より、カップ１内のエアーの吸引を行って、カップ１内
の空気中に分散しているミストを外方に排除していた。

このように、コーティング廃液の排出とミストの排除は
排出ドレイン６を通して行っていたため、コーティング
操作を繰り返すうちに、コーティング廃液の樹脂分が排
出ドレイン６の内壁面に付着して固化し、該ドレイン６
の開口径を減少させ、ドレイン６の目詰まりを生じ、ミ
ストの吸引効果を低減させるもとになっていた。

（発明の目的） 本発明は、余剰のコーティング液の排出ドレインが目詰
まりを生しても、コーティングカップ内のミストを円滑
に吸引排除し、カップ内にミストが滞留することを防止
し、基板への汚損に影響を及ぼさないようにすることを
目的とするものである。

（発明の構成） 本発明は、コーティングカップと、該カップ内底部中心
に位置する回転軸と、該軸に取付けられた水平回転テー
ブルとを備え、回転する回転テーブルの上方よりコーテ
ィング液を供給して該テーブル上に設置した基板にコー
ティング液を塗布するスピンコーターにおいて、前記カ
ップｌ内における回転テーブル３の回転軸２より外方に
順に余剰コーティング液排出ドレイン６と、エアー吸引
部７とを設けたことを特徴とするスピンコーターである
。

また、本発明は、前記回転軸２より外方の前記コーティ
ング液排出ドレイン６と前記エアー吸引部７との間に、
前記水平回転テーブル３外周を囲むようにトラップ１２
を設けたことを特徴とするスピンコーターである。

（発明の作用） 本発明は、コーティングカップ１内に余剰コーティング
液の排出ドレイン６とミスト吸引部７とを設けたので、
たとえ排出トレイン６がコーティング液の樹脂分の固着
による目詰まりを生しても、ミストの吸引操作に支障が
なく、カップｌ内のミストを円滑に外方に吸引により排
除できるものであり、カップｌ内にミストが滞留して基
板ａを汚損する心配がないものである。

（実施例） 本発明を実施例に従って詳細に説明する。

第１図は本発明の位置実施例の断面図であり、コーター
カップ１の底部中心部に回転軸２を備える。回転軸２は
上流部に水平回転テーブル３を備える。回転軸２の内部
とテーブル３内部にかけて、テーブル３上に基板ａを吸
着保持するためのエアー吸引通路２ａを設けである。

コーティングカップ１内の底部４には、余剰コーティン
グ液排出ドレイン６を備え、コーティング液をカップ１
外側に排出できるようになっている。カップ１の中心か
ら前記ドレイン６までの距離よりも離れた位置にカップ
１内のミストを吸引する吸引部７を設ける。該ミスト吸
引部７は、第１図に示すようにカップ１内底部４より垂
直下方に孔設してもよ−く、あるいはカップ１の外周壁
面に設ける用にしても良い。

本発明の一実施例としては、前記排出ドレイン６とミス
ト吸引部７との間の底部４に垂直板８を立設して、回転
する基板ａ上に塗布され、回転円周内側より外側に飛散
するコーティング液が、ミスト吸引部７に直接吸い込ま
れないように防止するものである。

第１図において、９はカップｌの上側開口部を被覆する
蓋体であり、カップｌに一体に設けてもよく、または取
付け、取り外し自在に設けてもよい。該蓋体９は、基板
ａを回転テーブル３上に装填するために、その蓋体９の
中央部に基板ａのサイズより僅かに大きいサイズの孔設
部９ａが設けられている。

また、本発明の他の実施例としては、前記蓋体９の内面
に、下方に向かって前記垂直板８よりもカップ１中心部
寄りに下向き垂直板１０を立設する。

そして、前記垂直板８と下向き垂直板１０は互いにその
立役端部をオーバーラツプさせることによって、コーテ
ィング中に飛散する余剰コーティング液が直接にミスト
吸引部７に吸い込まれないようにトラップ１２が形成さ
れる。これによって、基板ａ側からミストを含むエアー
のみを吸引できるようにする。

第２図は第１図の平面図である。また、本発明において
垂直板８と組合わせてトラップを構成する第１図の下向
き垂直板１０は、カップ１を被覆する蓋体９の一部を構
成するように設けてもよく、例えば第３図、蓋体９の一
部に垂直面１１を設けて、底部４より立設する前記垂直
板８と一部オーバーラップするように設けてもよい。

本発明装置の動作を第１図に従って説明すれば、水平回
転テーブル３上に基板ａを載せた後、エアー通路２ａに
よってエアーを吸引して、基板ａを回転テーブル３上に
吸着固定する。水平回転テーブル３を高速回転させなが
ら、該回転テーブル３上方にあるノズル５より、一定量
コーティング液を供給し、基板ａ上に供給されたコーテ
ィング液を回転遠心力によって、回転円外方向（点線状
の矢印方向）に飛散させながら、基板ａ上に均一にコー
ティングするものである。飛散する余剰液滴は垂直板８
によって防御され、ミスト吸引部７には直接に液滴が吸
引されることはない。一方、垂直板８にコーティング液
が衝突して生じたミストは、上記コーティング操作中は
、常にミスト吸弓部７よりバキュームエアーポンプによ
り吸引動作しているので、第１図に示すように実線矢印
に示すようなミスト吸引部７方向に吸引され、カップ１
の外方に排出できる。

（発明の効果） 本発明装置は、余剰のコーティング液の排出ドレインと
、ミスト吸引部とをそれぞれ別個に設けるようにしたの
で、余剰コーティング液によって、ミスト吸引部が目詰
まりを生ずることがなく、カップ内に発生するミストを
カップ外に円滑に排出でき、カップ内面への汚損、基板
の裏面への汚損を防止することができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の側断面図、第２図は第１図の平面
図、第３図は本発明装置の他の実施例の側断面図、第４
図は従来の側断面図である。 ■　・・・コーティングカンプ　２　・・・回転軸３　
・・・水平回転テーブル　４　・・・底部　５コーティ
ング液供給ノズル　６　・・・排出ドレイン　７　・・
・ミスト吸引部　８　・・・垂直板９　・・・蓋体　１
０・・・下向き垂直部　１１・垂直面　１２・・・トラ
ップ　ａ・・・基板第１図 第２図 特　　許　　出　　願　　人 凸版印刷株式会社 代表者　鈴　木　和　夫

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）コーティングカップと、該カップ内底部中心に位置
   する回転軸と、該軸に取付けられた水平回転テーブルと
   を備え、回転する回転テーブルの上方よりコーティング
   液を供給して該テーブル上に設置した基板にコーティン
   グ液を塗布するスピンコーターにおいて、前記カップ１
   内における回転テーブル３の回転軸２より外方に順に余
   剰コーティング液排出ドレイン６と、エアー吸引部７と
   を設けたことを特徴とするスピンコーター。 ２）前記回転軸２より外方の前記コーティング液排出ド
   レイン６と、前記エアー吸引部７との間に、前記水平回
   転テーブル３外周を囲むようにトラップ１２を設けたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のスピンコー
   ター。