JPH09122561A - 回転カップ式液体供給装置 - Google Patents
回転カップ式液体供給装置Info
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- JPH09122561A JPH09122561A JP7281159A JP28115995A JPH09122561A JP H09122561 A JPH09122561 A JP H09122561A JP 7281159 A JP7281159 A JP 7281159A JP 28115995 A JP28115995 A JP 28115995A JP H09122561 A JPH09122561 A JP H09122561A
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- Japan
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- tray
- plate
- cup
- inner cup
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
- B05C11/08—Spreading liquid or other fluent material by manipulating the work, e.g. tilting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の回転カップ式液体供給装置では、ドレ
インの回収が効果的になされていない。 【解決手段】 ドレイン回収通路４を形成したインナー
カップ３は、中央部に被処理物Ｗを保持する真空チャッ
ク５を配置し、この真空チャック５を囲むようにインナ
ーカップ３上にトレー７を固定している。このトレー７
は外形が略四角形状をなし、中央には開口８が形成さ
れ、周縁部には内方に折れ曲がった庇状壁部９が設けら
れ、更にトレー７の各隅部からはドレイン誘導管１０が
所定の角度で導出され、また前記トレー７の上面に、中
央部に板状被処理物Ｗよりも若干大きめの開口１１ａが
形成されカバー１１が着脱自在に取り付けられる。
インの回収が効果的になされていない。 【解決手段】 ドレイン回収通路４を形成したインナー
カップ３は、中央部に被処理物Ｗを保持する真空チャッ
ク５を配置し、この真空チャック５を囲むようにインナ
ーカップ３上にトレー７を固定している。このトレー７
は外形が略四角形状をなし、中央には開口８が形成さ
れ、周縁部には内方に折れ曲がった庇状壁部９が設けら
れ、更にトレー７の各隅部からはドレイン誘導管１０が
所定の角度で導出され、また前記トレー７の上面に、中
央部に板状被処理物Ｗよりも若干大きめの開口１１ａが
形成されカバー１１が着脱自在に取り付けられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＳＯＧ（Spin-On-Gl
ass：珪素化合物を有機溶媒に溶解した溶液、及びこの
溶液を塗布・焼成することで形成される酸化珪素膜）等
の塗膜をガラス基板等の板状被処理物の表面に形成する
回転カップ式液体供給装置に関する。
ass：珪素化合物を有機溶媒に溶解した溶液、及びこの
溶液を塗布・焼成することで形成される酸化珪素膜）等
の塗膜をガラス基板等の板状被処理物の表面に形成する
回転カップ式液体供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】アウターカップ内にスピンナーによって
回転せしめられるインナーカップを配置し、このインナ
ーカップの上面開口を閉塞する蓋体下面にインナーカッ
プ内にセットされた板状被処理物表面に対向する整流板
を取り付けるようにした回転カップ式の液体供給装置の
改良として、本出願人は、インナーカップの内周面に飛
散防止リングを取り付けた構造のものを提案している
（特開平４−３４１３６７号公報）。
回転せしめられるインナーカップを配置し、このインナ
ーカップの上面開口を閉塞する蓋体下面にインナーカッ
プ内にセットされた板状被処理物表面に対向する整流板
を取り付けるようにした回転カップ式の液体供給装置の
改良として、本出願人は、インナーカップの内周面に飛
散防止リングを取り付けた構造のものを提案している
（特開平４−３４１３６７号公報）。
【０００３】また、インナーカップ内底面に環状スペー
サを設け、この環状スペーサと整流板との間で板状被処
理物を囲む小空間を形成し、環状スペーサにはエア抜き
とドレイン抜きを兼ねた孔を形成した構造のものを提案
している（特開平６−１７０３１５号公報）。
サを設け、この環状スペーサと整流板との間で板状被処
理物を囲む小空間を形成し、環状スペーサにはエア抜き
とドレイン抜きを兼ねた孔を形成した構造のものを提案
している（特開平６−１７０３１５号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】特開平４−３４１３６
７号公報の場合には、飛散防止リングによって洗浄液の
飛散を防ぐことができるが、板状被処理物とインナーカ
ップ内周面との間の隙間が大きく、乱流が発生しやすく
圧力変動が発生し充分に飛散を防止できない。
７号公報の場合には、飛散防止リングによって洗浄液の
飛散を防ぐことができるが、板状被処理物とインナーカ
ップ内周面との間の隙間が大きく、乱流が発生しやすく
圧力変動が発生し充分に飛散を防止できない。
【０００５】また、特開平６−１７０３１５号公報の場
合には、小空間に板状被処理物を収納した状態でインナ
ーカップを回転せしめるので、小空間内は乱流の発生と
圧力の変動が抑えられ、板状被処理物上に塗布された塗
布液を均一に拡げることができる。しかしながら、エア
抜きとドレイン抜きを兼ねた孔が環状スペーサに穿設さ
れているので、洗浄等のメンテナンスが面倒である。
合には、小空間に板状被処理物を収納した状態でインナ
ーカップを回転せしめるので、小空間内は乱流の発生と
圧力の変動が抑えられ、板状被処理物上に塗布された塗
布液を均一に拡げることができる。しかしながら、エア
抜きとドレイン抜きを兼ねた孔が環状スペーサに穿設さ
れているので、洗浄等のメンテナンスが面倒である。
【０００６】また、いずれの先行技術も板状被処理物の
寸法が変化した場合に、有効に対処することができず、
特にガラス基板等の矩形状をなす被処理物の寸法の変化
に対しては、装置の部品取替操作が不可欠であるなど充
分に追従することができない。
寸法が変化した場合に、有効に対処することができず、
特にガラス基板等の矩形状をなす被処理物の寸法の変化
に対しては、装置の部品取替操作が不可欠であるなど充
分に追従することができない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る回転カップ式液体供給装置は、アウターカッ
プ内にスピンナーによって回転せしめられるインナーカ
ップを設け、このインナーカップの中央に板状被処理物
を保持する手段を設け、この保持手段が露出するように
インナーカップの上面に板状被処理物を囲むトレーを固
設した。
発明に係る回転カップ式液体供給装置は、アウターカッ
プ内にスピンナーによって回転せしめられるインナーカ
ップを設け、このインナーカップの中央に板状被処理物
を保持する手段を設け、この保持手段が露出するように
インナーカップの上面に板状被処理物を囲むトレーを固
設した。
【０００８】ここで、前記トレー上面に、板状被処理物
よりも若干大きめの開口が形成されたカバーを着脱自在
に設ける構成とすること、或いはトレーの形状を平面視
で略四角形状とし、各隅部からトレーの回転方向を基準
として先行する辺と平行にドレイン誘導管を導出する構
成とすることが可能である。
よりも若干大きめの開口が形成されたカバーを着脱自在
に設ける構成とすること、或いはトレーの形状を平面視
で略四角形状とし、各隅部からトレーの回転方向を基準
として先行する辺と平行にドレイン誘導管を導出する構
成とすることが可能である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
回転カップ式液体供給装置の縦断面図、図２は同回転カ
ップ式液体供給装置の平面図、図３は同回転カップ式液
体供給装置の要部の分解斜視図である。
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
回転カップ式液体供給装置の縦断面図、図２は同回転カ
ップ式液体供給装置の平面図、図３は同回転カップ式液
体供給装置の要部の分解斜視図である。
【００１０】回転カップ式液体供給装置１はベース等に
固定されたアウターカップ２内にインナーカップ３を配
置し、このインナーカップ３をアウターカップ２を貫通
するスピンナー４にて回転せしめるようにしている。
固定されたアウターカップ２内にインナーカップ３を配
置し、このインナーカップ３をアウターカップ２を貫通
するスピンナー４にて回転せしめるようにしている。
【００１１】インナーカップ３はその内側の最外部にド
レイン回収通路３ａが形成され、中央部にはガラス基板
や半導体ウェーハ等の板状被処理物Ｗを保持する保持手
段として、板状被処理物Ｗの撓みを防止する基板サポー
トピン６を設けた真空チャック５を配置している。尚、
チャック５の形状は図示例にあっては円形にしているが
矩形状にしてもよい。また、板状被処理物Ｗの保持手段
として図示例においては、真空チャックを用いている
が、保持手段はこれに限定されるものではなく、メカチ
ャック等板状被処理物Ｗを固定できる保持手段であれば
どのようなものでも用いることができる。
レイン回収通路３ａが形成され、中央部にはガラス基板
や半導体ウェーハ等の板状被処理物Ｗを保持する保持手
段として、板状被処理物Ｗの撓みを防止する基板サポー
トピン６を設けた真空チャック５を配置している。尚、
チャック５の形状は図示例にあっては円形にしているが
矩形状にしてもよい。また、板状被処理物Ｗの保持手段
として図示例においては、真空チャックを用いている
が、保持手段はこれに限定されるものではなく、メカチ
ャック等板状被処理物Ｗを固定できる保持手段であれば
どのようなものでも用いることができる。
【００１２】また、インナーカップ３上にはトレー７を
固定している。このトレー７は外形が略四角形状をな
し、中央には開口８が形成され、周縁部には内方に折れ
曲がった庇状壁部９が設けられ、更にトレー７の各隅部
からはドレイン誘導管１０が導出されている。このドレ
イン誘導管１０の導出方向はトレーの回転方向を基準と
して先行する辺と平行となっている。一例を示すと、ド
レイン誘導管１０ａの導出方向と、トレー７の辺７ａと
が平行となっている。
固定している。このトレー７は外形が略四角形状をな
し、中央には開口８が形成され、周縁部には内方に折れ
曲がった庇状壁部９が設けられ、更にトレー７の各隅部
からはドレイン誘導管１０が導出されている。このドレ
イン誘導管１０の導出方向はトレーの回転方向を基準と
して先行する辺と平行となっている。一例を示すと、ド
レイン誘導管１０ａの導出方向と、トレー７の辺７ａと
が平行となっている。
【００１３】また、前記トレー７の上面にはカバー１１
が着脱自在とされている。このカバー１１はネジや他の
係止具にてトレー７に止着され、中央部には板状被処理
物Ｗよりも若干大きめの開口１１ａが形成されている。
尚、処理する板状被処理物Ｗの寸法が異なる場合には、
それに適合した寸法の開口が形成されたカバーを選択し
交換する。開口１１ａの形状は矩形状に限定されず円形
でもよい。尚、カバー１１の外径形状はインナーカップ
３の内径に合わせた円形に限定されず、例えば図４に示
すような、トレー７の外径形状に合わせた矩形状でもよ
い。
が着脱自在とされている。このカバー１１はネジや他の
係止具にてトレー７に止着され、中央部には板状被処理
物Ｗよりも若干大きめの開口１１ａが形成されている。
尚、処理する板状被処理物Ｗの寸法が異なる場合には、
それに適合した寸法の開口が形成されたカバーを選択し
交換する。開口１１ａの形状は矩形状に限定されず円形
でもよい。尚、カバー１１の外径形状はインナーカップ
３の内径に合わせた円形に限定されず、例えば図４に示
すような、トレー７の外径形状に合わせた矩形状でもよ
い。
【００１４】一方、インナーカップ３及びアウターカッ
プ３の上方には直線動、回転動、上下動或いはこれらを
合成した動きが可能なアーム１２が臨み、このアーム１
２の先端には下方に伸びる軸１３を取り付け、この軸１
３にはノズル孔１４を穿設し、このノズル孔１４をジョ
イント及びアーム１２内を通るホースを介してチッ素ガ
ス供給源及び洗浄液供給源につなげている。
プ３の上方には直線動、回転動、上下動或いはこれらを
合成した動きが可能なアーム１２が臨み、このアーム１
２の先端には下方に伸びる軸１３を取り付け、この軸１
３にはノズル孔１４を穿設し、このノズル孔１４をジョ
イント及びアーム１２内を通るホースを介してチッ素ガ
ス供給源及び洗浄液供給源につなげている。
【００１５】また、前記軸１３にはベアリング及び磁気
シールを介してボス部１５を回転自在に嵌合し、このボ
ス部１５にインナーカップ３の上面開口を閉塞するため
の円板状蓋体１６を取り付け、この蓋体１６の下面にイ
ンナーカップ３内の乱流を防止する整流板１７を取り付
けている。この整流板１７はガラス基板Ｗより若干大き
な寸法で相似形或いは円形をしている。また、蓋体１６
上方のアーム１２の先端下面にはアウターカップ２の上
面開口を閉塞する蓋体１９を固着している。
シールを介してボス部１５を回転自在に嵌合し、このボ
ス部１５にインナーカップ３の上面開口を閉塞するため
の円板状蓋体１６を取り付け、この蓋体１６の下面にイ
ンナーカップ３内の乱流を防止する整流板１７を取り付
けている。この整流板１７はガラス基板Ｗより若干大き
な寸法で相似形或いは円形をしている。また、蓋体１６
上方のアーム１２の先端下面にはアウターカップ２の上
面開口を閉塞する蓋体１９を固着している。
【００１６】以上において、ガラス基板等の板状被処理
物Ｗ表面にレジスト液等を均一に塗布するには、予めト
レー７上面に処理する板状被処理物Ｗに合わせた大きさ
開口１１ａを有するカバー１１を固着しておく。
物Ｗ表面にレジスト液等を均一に塗布するには、予めト
レー７上面に処理する板状被処理物Ｗに合わせた大きさ
開口１１ａを有するカバー１１を固着しておく。
【００１７】この状態で、アウターカップ２及びインナ
ーカップ３の上面を開放して真空チャック５上に板状被
処理物Ｗを受け渡し、吸引固着し、次いで板状被処理物
Ｗの表面にノズルからレジスト液等を滴下し、この後、
アウターカップ２及びインナーカップ３上にアーム１２
を回動させて蓋体１６，１９を臨ませる。
ーカップ３の上面を開放して真空チャック５上に板状被
処理物Ｗを受け渡し、吸引固着し、次いで板状被処理物
Ｗの表面にノズルからレジスト液等を滴下し、この後、
アウターカップ２及びインナーカップ３上にアーム１２
を回動させて蓋体１６，１９を臨ませる。
【００１８】そして、アーム１２を下降することで蓋体
１６によりインナーカップ３の上面を閉塞し、蓋体１９
によりアウターカップ２の上面開口を閉塞したならば、
スピンナーによってチャック５とインナーカップ３を一
体的に回転せしめ、遠心力によりレジスト液等を板状被
処理物Ｗの表面に均一に拡散塗布する。
１６によりインナーカップ３の上面を閉塞し、蓋体１９
によりアウターカップ２の上面開口を閉塞したならば、
スピンナーによってチャック５とインナーカップ３を一
体的に回転せしめ、遠心力によりレジスト液等を板状被
処理物Ｗの表面に均一に拡散塗布する。
【００１９】尚、板状被処理物Ｗの表面から飛散したレ
ジスト液等は、遠心力でトレー７の壁部内側に集り、壁
部内側を回転方向に沿って伝い、ドレイン誘導管１０か
ら、インナーカップのドレイン回収通路３ａに排出され
る。そして、この排出されたドレインは蓋を開けた後
に、吸引パイプ２０等によって回収される。
ジスト液等は、遠心力でトレー７の壁部内側に集り、壁
部内側を回転方向に沿って伝い、ドレイン誘導管１０か
ら、インナーカップのドレイン回収通路３ａに排出され
る。そして、この排出されたドレインは蓋を開けた後
に、吸引パイプ２０等によって回収される。
【００２０】以上の処理において、インナーカップ３内
は減圧状態になっているので、このまま蓋をあけて板状
被処理物Ｗを取り出すと、インナーカップ内の空気が乱
れてレジスト液がスポット的にガラス基板Ｗ表面に付着
するおそれがある。そこでレジスト液等が均一に塗布さ
れた板状被処理物Ｗを取り出すには、先ずノズルを介し
て蓋体１６と整流板１７の間の空間に窒素ガス等を導入
し減圧状態を解除して行う。
は減圧状態になっているので、このまま蓋をあけて板状
被処理物Ｗを取り出すと、インナーカップ内の空気が乱
れてレジスト液がスポット的にガラス基板Ｗ表面に付着
するおそれがある。そこでレジスト液等が均一に塗布さ
れた板状被処理物Ｗを取り出すには、先ずノズルを介し
て蓋体１６と整流板１７の間の空間に窒素ガス等を導入
し減圧状態を解除して行う。
【００２１】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
回転カップ式液体供給装置のインナーカップ中央に板状
被処理物を保持する手段が設けられ、この保持手段が露
出するようにインナーカップの上面に板状被処理物を囲
むトレーを固設することで、より近い位置で板状被処理
物からの塗布液等を受けることができ、効果的に飛散を
防止することができる。
回転カップ式液体供給装置のインナーカップ中央に板状
被処理物を保持する手段が設けられ、この保持手段が露
出するようにインナーカップの上面に板状被処理物を囲
むトレーを固設することで、より近い位置で板状被処理
物からの塗布液等を受けることができ、効果的に飛散を
防止することができる。
【００２２】また、トレー上面に板状被処理物よりも若
干大きめの開口を形成したカバーを着脱自在に設けるこ
とで、塗布液の飛散を更に有効に防止できるとともに、
板状被処理物の寸法に合せた開口寸法のカバーに交換で
きる。
干大きめの開口を形成したカバーを着脱自在に設けるこ
とで、塗布液の飛散を更に有効に防止できるとともに、
板状被処理物の寸法に合せた開口寸法のカバーに交換で
きる。
【００２３】更に、トレーの形状を角形被処理物に合せ
た四角形とした場合には、トレーの回転方向を基準とし
て先行する辺と平行に各隅部からドレイン誘導管を導出
することで、効果的に被処理物表面から飛散した塗布液
等をドレイン溝等に排出することができる。
た四角形とした場合には、トレーの回転方向を基準とし
て先行する辺と平行に各隅部からドレイン誘導管を導出
することで、効果的に被処理物表面から飛散した塗布液
等をドレイン溝等に排出することができる。
【図１】本発明に係る回転カップ式液体供給装置の縦断
面図
面図
【図２】同回転カップ式液体供給装置の平面図
【図３】同回転カップ式液体供給装置の要部の分解斜視
図
図
【図４】別実施例を示す図３と同様の図
１…回転カップ式液体供給装置、２…アウターカップ、
３…インナーカップ、４…スピンナー、５…真空チャッ
ク、６…基板サポートピン、７…トレー、８…トレーの
開口、９…トレーの壁部、１０…ドレイン誘導管、１１
…カバー、１１ａ…カバーの開口、Ｗ…板状被処理物。
３…インナーカップ、４…スピンナー、５…真空チャッ
ク、６…基板サポートピン、７…トレー、８…トレーの
開口、９…トレーの壁部、１０…ドレイン誘導管、１１
…カバー、１１ａ…カバーの開口、Ｗ…板状被処理物。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永澤 耕一 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 アウターカップ内にスピンナーによって
回転せしめられるインナーカップが設けられ、このイン
ナーカップの中央に板状被処理物を保持する手段が設け
られ、この保持手段が露出するようにインナーカップの
内上面に板状被処理物を囲むトレーが固設されているこ
とを特徴とする回転カップ式液体供給装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の回転カップ式液体供給
装置において、前記トレー上面にはカバーが着脱自在に
設けられ、このカバーには板状被処理物よりも若干大き
めの開口が形成されていることを特徴とする回転カップ
式液体供給装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の回転カップ式液体供給
装置において、前記トレーの形状は平面視で略四角形状
をなし、各隅部からはドレイン誘導管が導出され、この
ドレイン誘導管の導出方向はトレーの回転方向を基準と
して先行する辺と平行であることを特徴とする回転カッ
プ式液体供給装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28115995A JP3461068B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 回転カップ式液体供給装置 |
| TW087207420U TW350368U (en) | 1995-10-30 | 1996-10-01 | Rotating cup type liquid supply device |
| KR1019960046144A KR100254291B1 (ko) | 1995-10-30 | 1996-10-16 | 회전컵식 액체공급장치 |
| US08/742,581 US5785759A (en) | 1995-10-30 | 1996-10-28 | Rotating cup type liquid supply device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28115995A JP3461068B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 回転カップ式液体供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09122561A true JPH09122561A (ja) | 1997-05-13 |
| JP3461068B2 JP3461068B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=17635185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28115995A Expired - Fee Related JP3461068B2 (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 回転カップ式液体供給装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5785759A (ja) |
| JP (1) | JP3461068B2 (ja) |
| KR (1) | KR100254291B1 (ja) |
| TW (1) | TW350368U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010014482A1 (de) * | 2010-04-10 | 2011-10-13 | Aktiebolaget Skf | Wälzlager |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1199219C (zh) * | 1999-12-10 | 2005-04-27 | 皇家菲利浦电子有限公司 | 为彩色显示管显示窗的内面提供涂层材料的方法和装置 |
| EP1124252A2 (en) * | 2000-02-10 | 2001-08-16 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and process for processing substrates |
| JP4426403B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2010-03-03 | 東京エレクトロン株式会社 | レーザー処理装置 |
| CN101452209B (zh) * | 2007-11-30 | 2011-06-01 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构 |
| KR102550973B1 (ko) | 2022-01-18 | 2023-07-05 | (주)에스프레소미디어 | Ａｉ 딥러닝을 활용한 개인 밀착형 메타버스 캐릭터 생성 시스템 및 그 방법 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2937549B2 (ja) * | 1991-05-16 | 1999-08-23 | 東京応化工業株式会社 | 塗布装置 |
| JP2591555B2 (ja) * | 1991-12-20 | 1997-03-19 | 東京応化工業株式会社 | 塗布装置 |
| US5439519A (en) * | 1992-04-28 | 1995-08-08 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Solution applying apparatus |
-
1995
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