JPH03283152A - 磁気記録板の表面形状および記録再生ヘッドの位置の測定方式 - Google Patents
磁気記録板の表面形状および記録再生ヘッドの位置の測定方式Info
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- JPH03283152A JPH03283152A JP8416290A JP8416290A JPH03283152A JP H03283152 A JPH03283152 A JP H03283152A JP 8416290 A JP8416290 A JP 8416290A JP 8416290 A JP8416290 A JP 8416290A JP H03283152 A JPH03283152 A JP H03283152A
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- JP
- Japan
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- magnetic recording
- recording plate
- sensor
- plate
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気記録板の表面形状測定ならびに磁気記録
板と記録再生ヘッドとの相対位置の測定方式に関する。
板と記録再生ヘッドとの相対位置の測定方式に関する。
従来、この種の測定は、剛性のあるセンサを用いて回転
している磁気記録板とセンサとの距離を測長したり、磁
気記録板の替りに平面度の良いガラス板を回転させ、ガ
ラス板の垂直方向に記録再生ヘッドを位置決めするとヘ
ッドの空力特性でガラス板との間に隙間が出来、その隙
間量を光の干渉縞で判断していた。
している磁気記録板とセンサとの距離を測長したり、磁
気記録板の替りに平面度の良いガラス板を回転させ、ガ
ラス板の垂直方向に記録再生ヘッドを位置決めするとヘ
ッドの空力特性でガラス板との間に隙間が出来、その隙
間量を光の干渉縞で判断していた。
上述した従来の測定方式は、剛体の基準センサからの記
録板との距離測定と、平面度の良い基準ガラス面と記録
再生ヘッドとの距離測定とを行うので、記録板単体の表
面形状と記録再生ヘッド単体の浮上量は判るが記録板と
記録再生ヘッドとを組合せた時の相対位置関係を測定す
る事は出来ない。つまり実使用状態での記録板と記録再
生ヘッドとの動的相対位置関係を測定出来ない。
録板との距離測定と、平面度の良い基準ガラス面と記録
再生ヘッドとの距離測定とを行うので、記録板単体の表
面形状と記録再生ヘッド単体の浮上量は判るが記録板と
記録再生ヘッドとを組合せた時の相対位置関係を測定す
る事は出来ない。つまり実使用状態での記録板と記録再
生ヘッドとの動的相対位置関係を測定出来ない。
本発明の磁気記録板の表面形状および記録再生ヘッドの
位置の測定方式は、磁気記録板を回転させる回転ユニッ
トと、第1および第2のスライドユニットと、前記第1
のスライドユニットにより前記磁気記録板上を半径方向
に移動させられ前記磁気記録板との相対距離を測定する
剛体からなる第1のセンサと、前記第2のスライドユニ
ットにより前記磁気記録板上を半径方向に移動させられ
磁気記録再生ヘッドと同等の空力特性で前記磁気記録板
上を浮上し前記磁気記録板との動的相対距離を測定する
第2のセンサと、前記回転ユニットが出力するトリガー
ならびに前記第1および第2のセンサの測定データを入
力して前記磁気記録板の表面形状および前記第2のセン
サの前記磁気記録板との動的相対距離が正常か否か判断
するデータ処理手段とを有する。
位置の測定方式は、磁気記録板を回転させる回転ユニッ
トと、第1および第2のスライドユニットと、前記第1
のスライドユニットにより前記磁気記録板上を半径方向
に移動させられ前記磁気記録板との相対距離を測定する
剛体からなる第1のセンサと、前記第2のスライドユニ
ットにより前記磁気記録板上を半径方向に移動させられ
磁気記録再生ヘッドと同等の空力特性で前記磁気記録板
上を浮上し前記磁気記録板との動的相対距離を測定する
第2のセンサと、前記回転ユニットが出力するトリガー
ならびに前記第1および第2のセンサの測定データを入
力して前記磁気記録板の表面形状および前記第2のセン
サの前記磁気記録板との動的相対距離が正常か否か判断
するデータ処理手段とを有する。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例のブロック図である。
第2図は本実施例の測定手順を示すフローチャートであ
る。
る。
まず、距離測定センサ1を水平スライドユニット4で原
点位置へ戻す(記録板3がら遠ざける)、水平スライド
ユニットらに取り付けられた剛体からなる静電容量セン
サ2も水平スライドユニット5で原点位置へ戻す。その
状態で記録板3を回転ユニット6にセットし固定する。
点位置へ戻す(記録板3がら遠ざける)、水平スライド
ユニットらに取り付けられた剛体からなる静電容量セン
サ2も水平スライドユニット5で原点位置へ戻す。その
状態で記録板3を回転ユニット6にセットし固定する。
回転ユニット6を駆動し、記録板3を回転させる。回転
と共に駆動ユニット6は1回転毎にトリガーをトリガー
ボード9ね出力する。トリガーボード9がらI/Fボー
ド10を介してコンピュータ11へ信号入力する。水平
スライドユニット4,5で距離測長センサ1と静電容量
センサ2を記録板3の上へ移動させ、剛体の静電容量セ
ンサ2と記録板3との相対距離を測定し、また、距離測
長センサlと記録板3との相対距離を測定する。
と共に駆動ユニット6は1回転毎にトリガーをトリガー
ボード9ね出力する。トリガーボード9がらI/Fボー
ド10を介してコンピュータ11へ信号入力する。水平
スライドユニット4,5で距離測長センサ1と静電容量
センサ2を記録板3の上へ移動させ、剛体の静電容量セ
ンサ2と記録板3との相対距離を測定し、また、距離測
長センサlと記録板3との相対距離を測定する。
静電容量センサ2は剛体で定位置にあるので記録板3の
表面形状を測定できる。また、距離測長センサ1は磁気
記録再生ヘッドと同等の空力特性を有するように製作し
であるので磁気記録再生ヘッドが記録板3の表面形状に
従い記録板3の上を浮上する状態を測定出来る。すなわ
ち距離測長センサ1の測定は磁気記録再生ヘッドの浮上
状態を測定しているものとみなすことができる。なお、
距離測長センサ1も静電容量を測定することにより記録
板3との相対距離を測定する。
表面形状を測定できる。また、距離測長センサ1は磁気
記録再生ヘッドと同等の空力特性を有するように製作し
であるので磁気記録再生ヘッドが記録板3の表面形状に
従い記録板3の上を浮上する状態を測定出来る。すなわ
ち距離測長センサ1の測定は磁気記録再生ヘッドの浮上
状態を測定しているものとみなすことができる。なお、
距離測長センサ1も静電容量を測定することにより記録
板3との相対距離を測定する。
第3図に一例として静電容量センサ2を用いて測定した
記録板3の表面形状を示す変位曲線14と、距離測長セ
ンサ1と記録板3との動的相対距離を示す変位曲線15
を記す。第3図の縦軸は変位量20を示し、横軸は記録
板3の1周回転分の時間19を示し、左端は回転ユニッ
ト6の出力する1回転毎のトリガーの時点を示す。この
ような距離測長センサ1と静電容量センサ2との全周に
及ぶ測定を、水平スライドユニット4,5で、距離測長
センサ1.静電容量センサ2を記録板3の半径方向に移
動させながら行い、記録板3の全面について測定する。
記録板3の表面形状を示す変位曲線14と、距離測長セ
ンサ1と記録板3との動的相対距離を示す変位曲線15
を記す。第3図の縦軸は変位量20を示し、横軸は記録
板3の1周回転分の時間19を示し、左端は回転ユニッ
ト6の出力する1回転毎のトリガーの時点を示す。この
ような距離測長センサ1と静電容量センサ2との全周に
及ぶ測定を、水平スライドユニット4,5で、距離測長
センサ1.静電容量センサ2を記録板3の半径方向に移
動させながら行い、記録板3の全面について測定する。
距離測長センサ1.静電容量センサ2の測定結果は、そ
れぞれ測定の位置の情報とペアでアナログデジタル変換
器7,8を介してインターフェースポード10を通って
コンピュータ11ヘメモリーする。
れぞれ測定の位置の情報とペアでアナログデジタル変換
器7,8を介してインターフェースポード10を通って
コンピュータ11ヘメモリーする。
第3図に示した事例は、記録板3の表面形状(変位曲線
14)の変化に対応して距離測長センサ1が記録板3上
を浮上している様子を示している。
14)の変化に対応して距離測長センサ1が記録板3上
を浮上している様子を示している。
第4図は他の測定結果を示し、記録板3の表面形状(変
位曲線16)の変化に、距離測長センサ1(記録板3と
の動的相対距離を変位曲線17で示す)が対応しきれず
記録板3の表面形状変化と違った浮上パターンをしてい
る様子を示している。
位曲線16)の変化に、距離測長センサ1(記録板3と
の動的相対距離を変位曲線17で示す)が対応しきれず
記録板3の表面形状変化と違った浮上パターンをしてい
る様子を示している。
これは、何らかの原因で距離測長センサ1が意図した空
力特性で浮上せず異常な動きをしていることを示す。
力特性で浮上せず異常な動きをしていることを示す。
コンピュータ11は、回転の同期信号(トリガー信号)
と静電容量センサ2の信号と距離測長センサ1の信号と
を受は取るので距離測長センサ1の動的浮上状態と記録
板3の形状との関係を瞬時にデータ処理し、判断出来る
。
と静電容量センサ2の信号と距離測長センサ1の信号と
を受は取るので距離測長センサ1の動的浮上状態と記録
板3の形状との関係を瞬時にデータ処理し、判断出来る
。
以上説明したように本発明は、記録板の表面形状を剛体
のセンサで測定しコンピュータのメモリに格納し、さら
に記録再生ヘッドと同等の空力特性を有するセンサで記
録再生ヘッドと記録板との隙間を測定することにより、
実際の記録再生ヘッドと実際の記録板とを組合わせて使
用した状態での記録板と記録再生ヘッドとの相対位置関
係を使用状態で動的に評価出来る。
のセンサで測定しコンピュータのメモリに格納し、さら
に記録再生ヘッドと同等の空力特性を有するセンサで記
録再生ヘッドと記録板との隙間を測定することにより、
実際の記録再生ヘッドと実際の記録板とを組合わせて使
用した状態での記録板と記録再生ヘッドとの相対位置関
係を使用状態で動的に評価出来る。
第1図は本発明の一実施例の構成ブロック図、第2図(
a)および(b)は第1図に示す実施例の測定手順を示
すフローチャート、第3図および第4図は第1図の静電
容量センサ2で測定した記録板3の表面形状を示す変位
曲線14と距離測長センサ1と記録板3との動的相対距
離を示す変位曲線14の図でそれぞれ正常な場合と異常
な場合の図である。 1・・・距離測長センサ、2・・・静電容量センサ、3
・・・磁気記録板、4・・・水平スライドユニット、5
・・・水平スライドユニット、6・・・回転ユニット、
7・・・アナログデジタル変換器、8・・・アナログデ
ジタル変換器、9・・・トリガーボード、10・・・イ
ンターフェースポード、11・・・コンピュータ、12
・・・スライド方向、13・・・スライド方向。
a)および(b)は第1図に示す実施例の測定手順を示
すフローチャート、第3図および第4図は第1図の静電
容量センサ2で測定した記録板3の表面形状を示す変位
曲線14と距離測長センサ1と記録板3との動的相対距
離を示す変位曲線14の図でそれぞれ正常な場合と異常
な場合の図である。 1・・・距離測長センサ、2・・・静電容量センサ、3
・・・磁気記録板、4・・・水平スライドユニット、5
・・・水平スライドユニット、6・・・回転ユニット、
7・・・アナログデジタル変換器、8・・・アナログデ
ジタル変換器、9・・・トリガーボード、10・・・イ
ンターフェースポード、11・・・コンピュータ、12
・・・スライド方向、13・・・スライド方向。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、磁気記録板の表面形状を測定する第1のセンサと、
磁気記録再生ヘッドと同等の空力特性で回転する前記磁
気記録板上を浮上し前記磁気記録板との動的相対距離を
測定する第2のセンサとを含むことを特徴とする磁気記
録板の表面形状および記録再生ヘッドの位置の測定方式
。 2、磁気記録板の表面形状を測定する第1のセンサと、
磁気記録再生ヘッドと同等の空力特性で回転する前記磁
気記録板上を浮上し前記磁気記録板との動的相対距離を
測定する第2のセンサと、前記第1のセンサが測定した
前記磁気記録板の表面形状のデータと前記第2のセンサ
が測定した前記磁気記録板との動的相対距離のデータに
より前記磁気記録板の表面形状および前記第2のセンサ
の前記磁気記録板との動的相対距離が正常か否か判断す
るデータ処理手段とを含むことを特徴とする磁気記録板
の表面形状および記録再生ヘッドの位置の測定方式。 3、磁気記録板を回転させる回転ユニットと、第1およ
び第2のスライドユニットと、前記第1のスライドユニ
ットにより前記磁気記録板上を半径方向に移動させられ
前記磁気記録板との相対距離を測定する剛体からなる第
1のセンサと、前記第2のスライドユニットにより前記
磁気記録板上を半径方向に移動させられ磁気記録再生ヘ
ッドと同等の空力特性で前記磁気記録板上を浮上し前記
磁気記録板との動的相対距離を測定する第2のセンサと
、前記回転ユニットが出力するトリガーならびに前記第
1および第2のセンサの測定データを入力して前記磁気
記録板の表面形状および前記第2のセンサの前記磁気記
録板との動的相対距離が正常か否か判断するデータ処理
手段とを含むことを特徴とする磁気記録板の表面形状お
よび記録再生ヘッドの位置の測定方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8416290A JPH03283152A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 磁気記録板の表面形状および記録再生ヘッドの位置の測定方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8416290A JPH03283152A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 磁気記録板の表面形状および記録再生ヘッドの位置の測定方式 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03283152A true JPH03283152A (ja) | 1991-12-13 |
Family
ID=13822803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8416290A Pending JPH03283152A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 磁気記録板の表面形状および記録再生ヘッドの位置の測定方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03283152A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7286314B2 (en) | 2005-06-15 | 2007-10-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Disk drive with localized clearance and contact potential measurement capability |
US7310197B2 (en) | 2005-06-15 | 2007-12-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Simultaneous measurement of contact potential and slider body clearance in a magnetic disk drive |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP8416290A patent/JPH03283152A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7286314B2 (en) | 2005-06-15 | 2007-10-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Disk drive with localized clearance and contact potential measurement capability |
US7310197B2 (en) | 2005-06-15 | 2007-12-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Simultaneous measurement of contact potential and slider body clearance in a magnetic disk drive |
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