JPS6145907A - 平面度検出器 - Google Patents
平面度検出器Info
- Publication number
- JPS6145907A JPS6145907A JP16817384A JP16817384A JPS6145907A JP S6145907 A JPS6145907 A JP S6145907A JP 16817384 A JP16817384 A JP 16817384A JP 16817384 A JP16817384 A JP 16817384A JP S6145907 A JPS6145907 A JP S6145907A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- inspection
- head
- flatness
- capacitance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ディスク装置の円板等の平面度を検査する
検出器に係り、特に静電容量の変化を利用して行５円Ｗ
ｒｗの平面度を検査する平面度検出器に関する。
検出器に係り、特に静電容量の変化を利用して行５円Ｗ
ｒｗの平面度を検査する平面度検出器に関する。
磁気ディスク装置は計算機用周辺記憶装置として役割を
果しており、高速回転している円板上に微小な間隙を保
って磁気ヘッドを保持し、同心円状の多数のトラックに
情報を記録する装置である。
果しており、高速回転している円板上に微小な間隙を保
って磁気ヘッドを保持し、同心円状の多数のトラックに
情報を記録する装置である。
上記円板の回転により磁気ヘッドが浮上し、円板上の情
報のり−ド／ライトを行うが、磁気ディスク装置の高密
度化に伴い、磁気ヘッドの浮上量も小さく設定されるに
従って、円板面の平面度の状態により磁気ヘッドが接触
し易くなるため、磁気ヘッドが接触しないような円板面
の平面度が要求される。
報のり−ド／ライトを行うが、磁気ディスク装置の高密
度化に伴い、磁気ヘッドの浮上量も小さく設定されるに
従って、円板面の平面度の状態により磁気ヘッドが接触
し易くなるため、磁気ヘッドが接触しないような円板面
の平面度が要求される。
従来の磁気ディスク装置の円板の平面度検査はｔ４４図
（イ）に示すように円板ｌの円周方向ａと半径方向すに
ついて行われる。円周方向ａについては、静電型上ンサ
２を用い各点Ｐを、第４図（ロ）のよへに円板ｌを回転
させ、センサ２と円板ｌの距離Ｃを静電容量により検出
する方法で行う円板面の面振れ検査、および加速度測定
センサを用いた加速度測定によって算出される微小うね
りの検査が行われている。
（イ）に示すように円板ｌの円周方向ａと半径方向すに
ついて行われる。円周方向ａについては、静電型上ンサ
２を用い各点Ｐを、第４図（ロ）のよへに円板ｌを回転
させ、センサ２と円板ｌの距離Ｃを静電容量により検出
する方法で行う円板面の面振れ検査、および加速度測定
センサを用いた加速度測定によって算出される微小うね
りの検査が行われている。
又、半径方向すについては、接触型測定器（例えば表面
あらさ測定器を用い、第４図（へ）に示すように接触型
測定器３を静止した円板１に当てながら半径方向に移動
し、円板面の半径方向の平面度検査が行われている。
あらさ測定器を用い、第４図（へ）に示すように接触型
測定器３を静止した円板１に当てながら半径方向に移動
し、円板面の半径方向の平面度検査が行われている。
上記従来の円板ｌの平面度検査の半径方向すは接触型測
定器３で行われるため、円板１表面に傷が付くことがあ
り、あまり良い方法ではない。
定器３で行われるため、円板１表面に傷が付くことがあ
り、あまり良い方法ではない。
又、従来の円板ｌの半径方向の平面度測定は、あくまで
静的なもので、実際に必要とする円板ｌの回転状態での
動的な平面度測定でないという問題点がある。
静的なもので、実際に必要とする円板ｌの回転状態での
動的な平面度測定でないという問題点がある。
さらに最近は高密度記録を達成するために、磁気ヘッド
と円板との距離がますます小さくなっており、円板面の
微小うねりすら無視で六なくなって浅だ。特に、前記距
離が０．２μ飢程度になり、磁気へノドスライダ４が第
５区のように両１トイドに浮上面５．５′を、中央に浮
上に寄与しない面６を有し、さらに該面６の後端に書込
／−出用ギャップ７を有する場合、磁気ヘツＶスライダ
４の幅方向の距離（約３−）に対し、０．１μｍＳ度の
へねりがあっても、例えば円板の面粗度が０．１μｊＩ
詔よび少くともヘッドと円板は常に接触し、通常の磁気
ディスク装置の円板回転速度にぢいては、ヘッド及び円
板面に損傷を与えることになるという問題点がある。な
お、８はコイル、９はコア部を示す。
と円板との距離がますます小さくなっており、円板面の
微小うねりすら無視で六なくなって浅だ。特に、前記距
離が０．２μ飢程度になり、磁気へノドスライダ４が第
５区のように両１トイドに浮上面５．５′を、中央に浮
上に寄与しない面６を有し、さらに該面６の後端に書込
／−出用ギャップ７を有する場合、磁気ヘツＶスライダ
４の幅方向の距離（約３−）に対し、０．１μｍＳ度の
へねりがあっても、例えば円板の面粗度が０．１μｊＩ
詔よび少くともヘッドと円板は常に接触し、通常の磁気
ディスク装置の円板回転速度にぢいては、ヘッド及び円
板面に損傷を与えることになるという問題点がある。な
お、８はコイル、９はコア部を示す。
上記問題点は円板の回転により浮上する浮動形スライダ
の長手方向最後端位置の幅方向中心位置に導電体を設置
した検査用へノドと該検査用ヘッドをアームを介して保
持し、かつモータにて前記円板の半径方向に移動さす駆
動装置と、前記円板の回転により浮上した前記検査用ヘ
ッド七円板との微小距離の変化を静電容量の変化ｊ・こ
より検出する静電容量微小変化検出器とで構成した本発
明の円板平面度検出器によって解決される。
の長手方向最後端位置の幅方向中心位置に導電体を設置
した検査用へノドと該検査用ヘッドをアームを介して保
持し、かつモータにて前記円板の半径方向に移動さす駆
動装置と、前記円板の回転により浮上した前記検査用ヘ
ッド七円板との微小距離の変化を静電容量の変化ｊ・こ
より検出する静電容量微小変化検出器とで構成した本発
明の円板平面度検出器によって解決される。
即ち、円板の回転でより浮−ヒする浮動形スライダの浮
上安定性が良く、かつ該スライダの円板対向面と円板面
の微小距離の変動が殆んどないことを利用し、より精度
よく円板の半径方向平面度を動的に測定する手Ｂ、＝し
て、浮動スライダの長手方向最後端位置の幅方向中心位
置に、導電体を設置し、前記微小距離の変化に対し、静
電容量が変、 化するので、円板面平面度を非接触によ
り動的な検査をすることができる。
上安定性が良く、かつ該スライダの円板対向面と円板面
の微小距離の変動が殆んどないことを利用し、より精度
よく円板の半径方向平面度を動的に測定する手Ｂ、＝し
て、浮動スライダの長手方向最後端位置の幅方向中心位
置に、導電体を設置し、前記微小距離の変化に対し、静
電容量が変、 化するので、円板面平面度を非接触によ
り動的な検査をすることができる。
以下、本発明の要旨を図面により具体的に説明する。
第１図は本発明の一実施例を説明する図で、（イ）は検
査用ヘッドの斜視図、（四は装置の構成図である。なお
、全図を通し同符号は同一対象物を示す。
査用ヘッドの斜視図、（四は装置の構成図である。なお
、全図を通し同符号は同一対象物を示す。
図において、検査用ヘッド１０は第５図に示す通常の磁
気へノドスライダ４のコイル８を取除いたスライダの長
手方向最後端位置の幅方向中心位ｆ／＃（浮上に寄与し
ない面６のギャップ部７）に、導電体１１（実施例では
幅５０μ諷×長さ０２■×高さ適宜でよいが一応スライ
ダに合せる）を接着する。
気へノドスライダ４のコイル８を取除いたスライダの長
手方向最後端位置の幅方向中心位ｆ／＃（浮上に寄与し
ない面６のギャップ部７）に、導電体１１（実施例では
幅５０μ諷×長さ０２■×高さ適宜でよいが一応スライ
ダに合せる）を接着する。
上記検査用ヘッド１０は、第１図ｃ口）に示すようにア
ーム１２を介して駆動装置１３に取付けられ、該駆動装
置１３はモータ１４により円板ｌの半径方向に移動する
ように構成される。
ーム１２を介して駆動装置１３に取付けられ、該駆動装
置１３はモータ１４により円板ｌの半径方向に移動する
ように構成される。
さらに検査用ヘノドエ０の導電体１１と円板１と９間に
生ずる静電容量を検出する容量−電圧変換器（静電容量
微小変化検出器）１５を設け、円板ｌの回転により浮上
した検査用へノド１０と円板ｌの微小距離ｄを検出する
。っ検出された電圧を増幅器１６で増幅し、コンパレー
タ１７により設定したスライスレベル１８を越えたら不
良としてランプ１９を点灯表示するか、或いはレコーダ
２０にうねり１．ｅに換算し記録する。
生ずる静電容量を検出する容量−電圧変換器（静電容量
微小変化検出器）１５を設け、円板ｌの回転により浮上
した検査用へノド１０と円板ｌの微小距離ｄを検出する
。っ検出された電圧を増幅器１６で増幅し、コンパレー
タ１７により設定したスライスレベル１８を越えたら不
良としてランプ１９を点灯表示するか、或いはレコーダ
２０にうねり１．ｅに換算し記録する。
上記微小距離ｄと静電容ｆｉＣの関係については、一般
的にＣ＝Ｋｓ／ｄで表わされ、Ｓは導電体の対向面積、
Ｋは導電体間に入る物質により決まる値で、こ＼では空
気である。
的にＣ＝Ｋｓ／ｄで表わされ、Ｓは導電体の対向面積、
Ｋは導電体間に入る物質により決まる値で、こ＼では空
気である。
第１図Ｇ）に示す検査用−・ノド１０の浮上面５，５′
の後端浮上量は円板１の周速が決まれば自動的に決まる
から、浮上に寄与しない面６に設置されている導電体１
１と円板１の基板（通常アルミ合鉛との間の容量変化を
見ることで、円板面の微小うねりを検査できる。
の後端浮上量は円板１の周速が決まれば自動的に決まる
から、浮上に寄与しない面６に設置されている導電体１
１と円板１の基板（通常アルミ合鉛との間の容量変化を
見ることで、円板面の微小うねりを検査できる。
例えば、円板ｌの磁性層厚０．６μ鯛、浮上隙間０２μ
ｍとした場合、導電体１１と円板ｌの隙間Ｘは第２図の
ように変化する容量の表より測定できる。
ｍとした場合、導電体１１と円板ｌの隙間Ｘは第２図の
ように変化する容量の表より測定できる。
実際には容量変化を電圧変化に変換し、さらに前述のよ
うに増幅してより高精度に検出することになる。
うに増幅してより高精度に検出することになる。
絡
前記円板面の微小う塾りｆの求め方は、第３図に示すよ
ろに円板ｌ上の検査用ヘラ）＃１０の浮上面５，５′の
浮上ｉｔ ｄ ＝ ０．２ ａ ｍとすると、δ＝ｄ−
ｘ＝ ０．２− ｘであり、このＸを検査用ヘッド１０
の導電体で検出することにより、円板うねりδが求まる
Ｏ また、磁気ディスク装置の浮動スライダ程度の面圧（数
ｇｒ／１ｌｊ）であれば、接触形でも円板面に損傷を与
えることはないので、円板ｌを回転させずに検査用ヘッ
ド１０を移動させることにより静的なうねりも測定する
ことができるが、この場合は両スライダ面５．５′より
導電体１１を凹にしておく必要がある。例えば、０１μ
ｍ以下まで正確に検出するのであれば、０８１μｍ凹に
した浮動スライダの検査用ヘッド１０とすればよい。
ろに円板ｌ上の検査用ヘラ）＃１０の浮上面５，５′の
浮上ｉｔ ｄ ＝ ０．２ ａ ｍとすると、δ＝ｄ−
ｘ＝ ０．２− ｘであり、このＸを検査用ヘッド１０
の導電体で検出することにより、円板うねりδが求まる
Ｏ また、磁気ディスク装置の浮動スライダ程度の面圧（数
ｇｒ／１ｌｊ）であれば、接触形でも円板面に損傷を与
えることはないので、円板ｌを回転させずに検査用ヘッ
ド１０を移動させることにより静的なうねりも測定する
ことができるが、この場合は両スライダ面５．５′より
導電体１１を凹にしておく必要がある。例えば、０１μ
ｍ以下まで正確に検出するのであれば、０８１μｍ凹に
した浮動スライダの検査用ヘッド１０とすればよい。
以上説明したように、本発明によれば浮動形スライダの
長手方向最後端位置の幅方向中心位置に、導電体を設置
した検査用ヘッドにより円板の半径方向の平面度検査が
動的に非接触で、高精度に行える。
長手方向最後端位置の幅方向中心位置に、導電体を設置
した検査用ヘッドにより円板の半径方向の平面度検査が
動的に非接触で、高精度に行える。
第１図は本発明の一実施例を説明する図で、（イ）は検
査用ヘラＶ斜視図、（匈は装置の構成図、第２図は静電
容量の隙間による容量変化の関係図、 第４図（イ）（２））（→は従来の円板の平面度検査を
説明するための図、 第５図は通常の磁気へラドスライダを示す斜視図である
。 図において、 ｊは円板、４は磁気へラドスライダ、５．５’は浮上面
、６は浮上に寄与しない面、７はギャップ、１０け検査
用ヘッド、Ｉ１は導電体、Ｉ２はアーム、１３は駆動装
置１１４けモータ、工５は容量−電圧変換器、１６は増
ＩＩ器、１７はコンパレータ、１８はスライスレベル、
１９はランプ、２゜は１ノコータを示す。 第１ 同 （口〕 θ ６・／ ０．２ θ”’ ”（１”’）χ 第３ 図 第 ４ 閣 第５ 固
査用ヘラＶ斜視図、（匈は装置の構成図、第２図は静電
容量の隙間による容量変化の関係図、 第４図（イ）（２））（→は従来の円板の平面度検査を
説明するための図、 第５図は通常の磁気へラドスライダを示す斜視図である
。 図において、 ｊは円板、４は磁気へラドスライダ、５．５’は浮上面
、６は浮上に寄与しない面、７はギャップ、１０け検査
用ヘッド、Ｉ１は導電体、Ｉ２はアーム、１３は駆動装
置１１４けモータ、工５は容量−電圧変換器、１６は増
ＩＩ器、１７はコンパレータ、１８はスライスレベル、
１９はランプ、２゜は１ノコータを示す。 第１ 同 （口〕 θ ６・／ ０．２ θ”’ ”（１”’）χ 第３ 図 第 ４ 閣 第５ 固
Claims (1)
- 円板の回転により浮上する浮動形スライダの長手方向最
後端位置の幅方向中心位置に導電体を設置した検査用ヘ
ッドと、該検査用ヘッドをアームを介して保持し、かつ
モータにて前記円板の半径方向に移動さす駆動装置と、
前記円板の回転により浮上した前記検査用ヘッドと円板
との微小距離の変化を静電容量の変化により検出する静
電容量微小変化検出器とで構成した円板平面度検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16817384A JPS6145907A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 平面度検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16817384A JPS6145907A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 平面度検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6145907A true JPS6145907A (ja) | 1986-03-06 |
Family
ID=15863148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16817384A Pending JPS6145907A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 平面度検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6145907A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02112703A (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-25 | Nec Corp | 磁気ディスク検査装置 |
| US7405896B2 (en) | 2006-04-26 | 2008-07-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for detecting slider/disk fly-height modulation in a hard disk drive |
| KR100913207B1 (ko) | 2003-02-25 | 2009-08-24 | 한국항공우주산업 주식회사 | 항공기의 웨이브니스 검사 장치 |
| US8139306B2 (en) * | 2004-02-09 | 2012-03-20 | Sae Magnetics (Hk) Ltd. | Electrical current as probe for modulation at head-disk interface |
-
1984
- 1984-08-11 JP JP16817384A patent/JPS6145907A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02112703A (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-25 | Nec Corp | 磁気ディスク検査装置 |
| KR100913207B1 (ko) | 2003-02-25 | 2009-08-24 | 한국항공우주산업 주식회사 | 항공기의 웨이브니스 검사 장치 |
| US8139306B2 (en) * | 2004-02-09 | 2012-03-20 | Sae Magnetics (Hk) Ltd. | Electrical current as probe for modulation at head-disk interface |
| US7405896B2 (en) | 2006-04-26 | 2008-07-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for detecting slider/disk fly-height modulation in a hard disk drive |
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