JPH1027342A - 磁気記録媒体の検査方法 - Google Patents
磁気記録媒体の検査方法Info
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- JPH1027342A JPH1027342A JP18448496A JP18448496A JPH1027342A JP H1027342 A JPH1027342 A JP H1027342A JP 18448496 A JP18448496 A JP 18448496A JP 18448496 A JP18448496 A JP 18448496A JP H1027342 A JPH1027342 A JP H1027342A
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- JP
- Japan
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- magnetic recording
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気記録媒体面上の微小な突起を正確に測定
する。 【解決手段】 磁気記録媒体１の回転数を変えながら、
表面の微小突起がヘッドスライダ２の感磁素子部に衝突
する際に発生するサーマルアスピリティ出力を検出し、
そのときのヘッドスライダ２の浮揚高さから磁気記録媒
体１のグライドハイトを求める。そして、ヘッドスライ
ダ２には磁気抵抗効果ヘッドを使用するとともに、磁気
記録媒体１のすべての測定領域内で、一定の相対速度の
もとにヘッドスライダ２を浮揚させるようにしてもよ
い。
する。 【解決手段】 磁気記録媒体１の回転数を変えながら、
表面の微小突起がヘッドスライダ２の感磁素子部に衝突
する際に発生するサーマルアスピリティ出力を検出し、
そのときのヘッドスライダ２の浮揚高さから磁気記録媒
体１のグライドハイトを求める。そして、ヘッドスライ
ダ２には磁気抵抗効果ヘッドを使用するとともに、磁気
記録媒体１のすべての測定領域内で、一定の相対速度の
もとにヘッドスライダ２を浮揚させるようにしてもよ
い。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の検
査方法に関し、特に、磁気抵抗効果ヘッドを用いて磁気
記録媒体上の微小な突起を測定する磁気記録媒体の検査
方法に関する。
査方法に関し、特に、磁気抵抗効果ヘッドを用いて磁気
記録媒体上の微小な突起を測定する磁気記録媒体の検査
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、浮動型磁気ヘッド（以下、磁気ヘ
ッドという）を搭載する磁気ディスク装置においては、
高記録密度化の要請から、磁気ヘッドの浮上高さも極め
て小さく、また、磁気記録媒体についても、その表面に
微小な突起があると、磁気ディスク装置の耐久性を悪化
させる原因となるため、高精度の表面加工が要求されて
いる。また、磁気ヘッドが磁気記録媒体上を安定に浮揚
するには、磁気記録媒体のグライドハイトは、磁気ヘッ
ドの浮揚高さ（フライングハイト）よりも極力小さい方
が望ましく、磁気ディスク装置に搭載される磁気記録媒
体は、表面の突起の高さ（以下、グライドハイトとい
う）が所定の値を超えていないことを保証する必要があ
る。
ッドという）を搭載する磁気ディスク装置においては、
高記録密度化の要請から、磁気ヘッドの浮上高さも極め
て小さく、また、磁気記録媒体についても、その表面に
微小な突起があると、磁気ディスク装置の耐久性を悪化
させる原因となるため、高精度の表面加工が要求されて
いる。また、磁気ヘッドが磁気記録媒体上を安定に浮揚
するには、磁気記録媒体のグライドハイトは、磁気ヘッ
ドの浮揚高さ（フライングハイト）よりも極力小さい方
が望ましく、磁気ディスク装置に搭載される磁気記録媒
体は、表面の突起の高さ（以下、グライドハイトとい
う）が所定の値を超えていないことを保証する必要があ
る。
【０００３】ところで、従来、磁気記録媒体のグライド
ハイトを測定する場合は、磁気ヘッドにＡＥセンサ（Ac
oustic Emission Sensor）やピエゾ素子（圧電素子）を
取り付けて回転する磁気記録媒体面に浮揚させ、それが
磁気記録媒体面の突起に磁気ヘッドが接触した際に、Ａ
Ｅセンサやピエゾ素子に生じる信号を感知するように
し、その信号の出力レベルから磁気記録媒体のグライド
ハイトを求めるという測定方法がある。（例えば、特開
平４−８９６１８号公報）。
ハイトを測定する場合は、磁気ヘッドにＡＥセンサ（Ac
oustic Emission Sensor）やピエゾ素子（圧電素子）を
取り付けて回転する磁気記録媒体面に浮揚させ、それが
磁気記録媒体面の突起に磁気ヘッドが接触した際に、Ａ
Ｅセンサやピエゾ素子に生じる信号を感知するように
し、その信号の出力レベルから磁気記録媒体のグライド
ハイトを求めるという測定方法がある。（例えば、特開
平４−８９６１８号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の磁気記
録媒体の測定方法では、磁気ヘッドにＡＥセンサやピエ
ゾ素子を取り付ける場合に、その取り付け誤差の影響に
よっては、磁気ヘッドの浮上量が不安定となって測定精
度が低下することがあり、また、ＡＥセンサやピエゾ素
子は、表面突起部に接触した際の感度のばらつきが大き
く、そのために信頼性の高い測定ができないという欠点
がある。
録媒体の測定方法では、磁気ヘッドにＡＥセンサやピエ
ゾ素子を取り付ける場合に、その取り付け誤差の影響に
よっては、磁気ヘッドの浮上量が不安定となって測定精
度が低下することがあり、また、ＡＥセンサやピエゾ素
子は、表面突起部に接触した際の感度のばらつきが大き
く、そのために信頼性の高い測定ができないという欠点
がある。
【０００５】さらに、ＡＥセンサやピエゾ素子の取り付
ける際の作業が困難であり、これらの検出素子を磁気ヘ
ッドに付加することよる浮上量の不安定等により、この
グライトハイト測定用磁気ヘッドは、通常の磁気ヘッド
に比べて製造歩留りが悪く、高価になるという欠点があ
る。
ける際の作業が困難であり、これらの検出素子を磁気ヘ
ッドに付加することよる浮上量の不安定等により、この
グライトハイト測定用磁気ヘッドは、通常の磁気ヘッド
に比べて製造歩留りが悪く、高価になるという欠点があ
る。
【０００６】本発明の目的は、磁気記録媒体のグライド
ハイト測定において、磁気抵抗効果ヘッドを用いてサー
マルアスペリティ出力を検出することにより、磁気記録
媒体表面の微小な突起を精度よく検出する方法を提供こ
とにある。
ハイト測定において、磁気抵抗効果ヘッドを用いてサー
マルアスペリティ出力を検出することにより、磁気記録
媒体表面の微小な突起を精度よく検出する方法を提供こ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、浮動型磁気ヘ
ッドを用いた磁気記録媒体の検査方法であって、被測定
磁気記録媒体の回転数を変えながら、前記被測定磁気記
録媒体表面の微小突起が浮動型磁気ヘッドの感磁素子部
に衝突する際に発生するサーマルアスピリティ出力を検
出し、そのときの前記浮動型磁気ヘッドの浮揚高さから
前記被測定磁気記録媒体のグライドハイトを求めること
を特徴とする。
ッドを用いた磁気記録媒体の検査方法であって、被測定
磁気記録媒体の回転数を変えながら、前記被測定磁気記
録媒体表面の微小突起が浮動型磁気ヘッドの感磁素子部
に衝突する際に発生するサーマルアスピリティ出力を検
出し、そのときの前記浮動型磁気ヘッドの浮揚高さから
前記被測定磁気記録媒体のグライドハイトを求めること
を特徴とする。
【０００８】また、この検査方法において、前記被測定
磁気記録媒体のすべての測定領域内で、一定の相対速度
のもとに前記浮動型磁気ヘッドを浮揚させることを特徴
とするとともに、前記浮動型磁気ヘッドが、磁気抵抗効
果ヘッドであってもよい。
磁気記録媒体のすべての測定領域内で、一定の相対速度
のもとに前記浮動型磁気ヘッドを浮揚させることを特徴
とするとともに、前記浮動型磁気ヘッドが、磁気抵抗効
果ヘッドであってもよい。
【０００９】これにより、磁気抵抗効果ヘッドが磁気記
録媒体面の微小な突起に接触した際に生じるサーマルア
スピリティ出力を検出し、磁気記録媒体のグライドハイ
トを測定する。
録媒体面の微小な突起に接触した際に生じるサーマルア
スピリティ出力を検出し、磁気記録媒体のグライドハイ
トを測定する。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１１】図１は、本発明の実現するグライドハイト
測定機の構成を示すブロック図である。図１を参照する
と、本発明のよる磁気抵抗効果ヘッド３を用いた磁気記
録媒体のグライドハイト測定には、耐震性を備えたベー
スプレート４上に高速で回転する回転駆動機構５が配置
され、磁気抵抗効果ヘッド３をヘッドアーム６に固定し
シーク動作が行えるようになっている。そして、回転駆
動機構５上にグライドハイトを測定する磁気記録媒体１
を装着する。この回転駆動機構５は、所要の回転数に可
変可能であり、その回転数を測定する手段を備えてい
る。
測定機の構成を示すブロック図である。図１を参照する
と、本発明のよる磁気抵抗効果ヘッド３を用いた磁気記
録媒体のグライドハイト測定には、耐震性を備えたベー
スプレート４上に高速で回転する回転駆動機構５が配置
され、磁気抵抗効果ヘッド３をヘッドアーム６に固定し
シーク動作が行えるようになっている。そして、回転駆
動機構５上にグライドハイトを測定する磁気記録媒体１
を装着する。この回転駆動機構５は、所要の回転数に可
変可能であり、その回転数を測定する手段を備えてい
る。
【００１２】磁気抵抗効果ヘッド３は、ヘッドスライダ
２が支持ばね（図示せず）により磁気記録媒体１に対向
する方向に適切な力で押圧されている。サーマルアスピ
リティ出力の検出は、磁気抵抗効果ヘッド３が磁気記録
媒体１の微小突起に接触して発熱し、その際に、磁気抵
抗効果ヘッド３を流れる電流が変化するのを検出するも
のであり、その出力を書込み用のドライバや読み出し用
のプリアンプ等を構成する集積回路であるＲ／Ｗ・ＩＣ
７，増幅器８およびレベル検出器９により電気信号に変
換して検出する。
２が支持ばね（図示せず）により磁気記録媒体１に対向
する方向に適切な力で押圧されている。サーマルアスピ
リティ出力の検出は、磁気抵抗効果ヘッド３が磁気記録
媒体１の微小突起に接触して発熱し、その際に、磁気抵
抗効果ヘッド３を流れる電流が変化するのを検出するも
のであり、その出力を書込み用のドライバや読み出し用
のプリアンプ等を構成する集積回路であるＲ／Ｗ・ＩＣ
７，増幅器８およびレベル検出器９により電気信号に変
換して検出する。
【００１３】また、オシロスコープ１０や記録装置１１
により表示および記録を行う。そして、回転駆動機構５
は、磁気抵抗効果ヘッド３が磁気記録媒体１上を移動さ
せると磁気記録媒体１の回転数を変化させ、磁気抵抗効
果ヘッド３と磁気記録媒体１との相対速度を一定とし、
常に同一周速を維持するようになっている。
により表示および記録を行う。そして、回転駆動機構５
は、磁気抵抗効果ヘッド３が磁気記録媒体１上を移動さ
せると磁気記録媒体１の回転数を変化させ、磁気抵抗効
果ヘッド３と磁気記録媒体１との相対速度を一定とし、
常に同一周速を維持するようになっている。
【００１４】次に、磁気記録媒体のグライドハイトの測
定方法について説明する。
定方法について説明する。
【００１５】図２は、磁気記録媒体のグライドハイト測
定を説明する図である。なお、本図では、説明の理解を
容易にするために磁気記録媒体表面の突起を誇張して描
いてある。
定を説明する図である。なお、本図では、説明の理解を
容易にするために磁気記録媒体表面の突起を誇張して描
いてある。
【００１６】図２を参照すると、磁気抵抗効果ヘッド３
は、磁気記録媒体１を矢印の方向に移動（回転）させる
と、ヘッドスライダ２との間に生じた空気流により、浮
揚力を受けて浮上する。このとき、磁気記録媒体１の基
準面と磁気抵抗効果ヘッド３との最小間隙をフライング
ハイト（浮揚高さ）という。そして、通常、ヘッドスラ
イダ２の空気流出端部には感磁素子である磁気抵抗効果
素子が形成されている。また、磁気記録媒体１の表面に
は大小の突起が存在するが、磁気記録媒体１の基準面と
最大突起との距離をグライドハイトという。
は、磁気記録媒体１を矢印の方向に移動（回転）させる
と、ヘッドスライダ２との間に生じた空気流により、浮
揚力を受けて浮上する。このとき、磁気記録媒体１の基
準面と磁気抵抗効果ヘッド３との最小間隙をフライング
ハイト（浮揚高さ）という。そして、通常、ヘッドスラ
イダ２の空気流出端部には感磁素子である磁気抵抗効果
素子が形成されている。また、磁気記録媒体１の表面に
は大小の突起が存在するが、磁気記録媒体１の基準面と
最大突起との距離をグライドハイトという。
【００１７】ここで、磁気記録媒体１のグライドハイト
を測定するには、予め磁気抵抗効果ヘッド３を高速で回
転させた磁気記録媒体１上に浮揚させておき、徐々に回
転数を下げていくと、それに伴って磁気抵抗効果ヘッド
３のフライングハイトも低下する。やがて、磁気記録媒
体１の突起の高さまで磁気抵抗効果ヘッド３のフライン
グハイトが低下すると、磁気抵抗効果ヘッド３の磁気抵
抗効果素子に磁気記録媒体１の突起が接触する。そうす
ると、磁気抵抗効果素子は磁気記録媒体１との接触によ
る発熱によってサーマルアスピリティ出力を生じる。す
なわち、このときの磁気抵抗効果ヘッド３のフライング
ハイト（浮揚高さ）が、求める磁気記録媒体１のグライ
ドハイトとなる。
を測定するには、予め磁気抵抗効果ヘッド３を高速で回
転させた磁気記録媒体１上に浮揚させておき、徐々に回
転数を下げていくと、それに伴って磁気抵抗効果ヘッド
３のフライングハイトも低下する。やがて、磁気記録媒
体１の突起の高さまで磁気抵抗効果ヘッド３のフライン
グハイトが低下すると、磁気抵抗効果ヘッド３の磁気抵
抗効果素子に磁気記録媒体１の突起が接触する。そうす
ると、磁気抵抗効果素子は磁気記録媒体１との接触によ
る発熱によってサーマルアスピリティ出力を生じる。す
なわち、このときの磁気抵抗効果ヘッド３のフライング
ハイト（浮揚高さ）が、求める磁気記録媒体１のグライ
ドハイトとなる。
【００１８】従って、予め被測定磁気記録媒体（気記録
媒体１）の周速と、これに対するグライドハイト測定用
磁気ヘッド（磁気抵抗効果ヘッド３）の浮上量との関係
を測定しておき、図１に示すように、ベースプレート４
上に置かれた回転駆動機構５に磁気記録媒体１を装着
し、これを所要の回転数で駆動しながらヘッドアーム６
に固定されたヘッドスライダ２を浮揚させる。
媒体１）の周速と、これに対するグライドハイト測定用
磁気ヘッド（磁気抵抗効果ヘッド３）の浮上量との関係
を測定しておき、図１に示すように、ベースプレート４
上に置かれた回転駆動機構５に磁気記録媒体１を装着
し、これを所要の回転数で駆動しながらヘッドアーム６
に固定されたヘッドスライダ２を浮揚させる。
【００１９】そして、ヘッドスライダ２の磁気抵抗効果
素子が磁気記録媒体１の微小突起に接触して発熱したと
きの、磁気抵抗効果素子に流れる電流の変化をＲ／Ｗ・
ＩＣ７，増幅器８およびレベル検出器９により検出し、
それをオッシロスコープ１０および記録装置１１により
記録する。これにより、このときの磁気抵抗効果ヘッド
３の浮上量、すなわち、磁気記録媒体１のグライドハイ
トを求めることができる。
素子が磁気記録媒体１の微小突起に接触して発熱したと
きの、磁気抵抗効果素子に流れる電流の変化をＲ／Ｗ・
ＩＣ７，増幅器８およびレベル検出器９により検出し、
それをオッシロスコープ１０および記録装置１１により
記録する。これにより、このときの磁気抵抗効果ヘッド
３の浮上量、すなわち、磁気記録媒体１のグライドハイ
トを求めることができる。
【００２０】
【実施例】次に、上述した測定方法により測定した２つ
の実施例について説明する。
の実施例について説明する。
【００２１】（実施例１） 本実施例では、被測定磁気
記録媒体として、ＮｉＰ基板の表面に粗面化処理、いわ
ゆるテクスチャ処理を施し、その上に磁性層を被着形成
してなる磁気記録媒体を使用し、また、グライトハイト
測定用磁気ヘッドとには磁気抵抗効果素子を有する磁気
ヘッドを使用した。
記録媒体として、ＮｉＰ基板の表面に粗面化処理、いわ
ゆるテクスチャ処理を施し、その上に磁性層を被着形成
してなる磁気記録媒体を使用し、また、グライトハイト
測定用磁気ヘッドとには磁気抵抗効果素子を有する磁気
ヘッドを使用した。
【００２２】（実施例２） 本実施例では、実施例１で
用いた被測定磁気記録媒体と同様のものを使用し、グラ
イトハイト測定用磁気ヘッドには、ヘッドスライダにＡ
Ｅセンサやピエゾ素子を貼り付けた磁気ヘッドを使用し
た。
用いた被測定磁気記録媒体と同様のものを使用し、グラ
イトハイト測定用磁気ヘッドには、ヘッドスライダにＡ
Ｅセンサやピエゾ素子を貼り付けた磁気ヘッドを使用し
た。
【００２３】図３は、実施例１，２による浮上量とサー
マルアスピリティ出力の検出との関係を示す図である。
なお、図３に示す測定値は、それぞれ各５個の平均値と
その“ばらつき”を示した。
マルアスピリティ出力の検出との関係を示す図である。
なお、図３に示す測定値は、それぞれ各５個の平均値と
その“ばらつき”を示した。
【００２４】図３を参照すると、実施例２は、実施例１
と比較して測定値の“ばらつき”が大きく、しかもグラ
イドハイトを大きく示す傾向にあることがわかる。この
理由は、実施例２では、磁気ヘッドが被測定磁気記録媒
体の突起に接触しなくても、ＡＥセンサやピエゾ素子か
ら常に出力が出ていることによるものである。
と比較して測定値の“ばらつき”が大きく、しかもグラ
イドハイトを大きく示す傾向にあることがわかる。この
理由は、実施例２では、磁気ヘッドが被測定磁気記録媒
体の突起に接触しなくても、ＡＥセンサやピエゾ素子か
ら常に出力が出ていることによるものである。
【００２５】一方、実施例１では、磁気抵抗効果ヘッド
を使用したことにより、これが被測定磁気記録媒体の突
起に接触したときのみサーマルアスピリティ出力が検出
される。従って、測定の誤差が小さくなりグライドハイ
トを正確に測定できる。
を使用したことにより、これが被測定磁気記録媒体の突
起に接触したときのみサーマルアスピリティ出力が検出
される。従って、測定の誤差が小さくなりグライドハイ
トを正確に測定できる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体の検査方法は、磁気抵抗効果ヘッドを用いてサーマ
ルアスピルティ出力を検出することにより、磁気記録媒
体のグライドハイトを容易に測定することができるた
め、従来に比べグライドハイトの測定値に“ばらつき”
が少なく、より正確にグライドハイトを測定できる。
媒体の検査方法は、磁気抵抗効果ヘッドを用いてサーマ
ルアスピルティ出力を検出することにより、磁気記録媒
体のグライドハイトを容易に測定することができるた
め、従来に比べグライドハイトの測定値に“ばらつき”
が少なく、より正確にグライドハイトを測定できる。
【００２７】また、本発明の磁気記録媒体の検査方法で
は、グライトハイト測定用の専用の磁気ヘッドを用いる
必要がないため、安価な費用で検査できるという効果が
ある。
は、グライトハイト測定用の専用の磁気ヘッドを用いる
必要がないため、安価な費用で検査できるという効果が
ある。
【図１】本発明の実現するグライドハイト測定の構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２】磁気記録媒体のグライドハイト測定を説明する
図である。
図である。
【図３】磁気ヘッドの浮上量と出力検出との関係を示す
図である。
図である。
１ 磁気記録媒体 ２ ヘッドスライダ ３ 磁気抵抗効果ヘッド ４ ベースプレート ５ 回転駆動機構 ６ ヘッドアーム ７ Ｒ／Ｗ・ＩＣ ８ 増幅器 ９ レベル検出器 １０ オッシロスコープ １１ 記録装置
Claims (3)
- 【請求項１】 浮動型磁気ヘッドを用いた磁気記録媒体
の検査方法であって、被測定磁気記録媒体の回転数を変
えながら、前記被測定磁気記録媒体表面の微小突起が浮
動型磁気ヘッドの感磁素子部に衝突する際に発生するサ
ーマルアスピリティ出力を検出し、そのときの前記浮動
型磁気ヘッドの浮揚高さから前記被測定磁気記録媒体の
グライドハイトを求めることを特徴とする磁気記録媒体
の検査方法。 - 【請求項２】 請求項１の磁気記録媒体の検査方法にお
いて、前記被測定磁気記録媒体のすべての測定領域内
で、一定の相対速度のもとに前記浮動型磁気ヘッドを浮
揚させることを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。 - 【請求項３】 前記浮動型磁気ヘッドが、磁気抵抗効果
ヘッドであることを特徴とする請求項１または２記載の
磁気記録媒体の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18448496A JPH1027342A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 磁気記録媒体の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18448496A JPH1027342A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 磁気記録媒体の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1027342A true JPH1027342A (ja) | 1998-01-27 |
Family
ID=16153992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18448496A Pending JPH1027342A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 磁気記録媒体の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1027342A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7564649B2 (en) * | 2005-04-27 | 2009-07-21 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element to provide feedback for head-media instability |
| US7770438B2 (en) | 2006-07-07 | 2010-08-10 | Tdk Corporation | Head slider, glide height checking apparatus, and glide height checking method |
| JP2011014215A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 複合磁気ヘッドの劣化検出方法および磁気ディスク検査装置 |
| US8310779B2 (en) | 2005-04-27 | 2012-11-13 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element |
-
1996
- 1996-07-15 JP JP18448496A patent/JPH1027342A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7564649B2 (en) * | 2005-04-27 | 2009-07-21 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element to provide feedback for head-media instability |
| US8310779B2 (en) | 2005-04-27 | 2012-11-13 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element |
| US8837075B2 (en) | 2005-04-27 | 2014-09-16 | Seagate Technology Llc | Head assembly with head-media spacing control |
| US7770438B2 (en) | 2006-07-07 | 2010-08-10 | Tdk Corporation | Head slider, glide height checking apparatus, and glide height checking method |
| JP2011014215A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 複合磁気ヘッドの劣化検出方法および磁気ディスク検査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990105 |