JPH1027342A - 磁気記録媒体の検査方法 - Google Patents
磁気記録媒体の検査方法Info
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- JPH1027342A JPH1027342A JP18448496A JP18448496A JPH1027342A JP H1027342 A JPH1027342 A JP H1027342A JP 18448496 A JP18448496 A JP 18448496A JP 18448496 A JP18448496 A JP 18448496A JP H1027342 A JPH1027342 A JP H1027342A
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- JP
- Japan
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- recording medium
- magnetic recording
- head
- magnetic
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気記録媒体面上の微小な突起を正確に測定
する。 【解決手段】 磁気記録媒体1の回転数を変えながら、
表面の微小突起がヘッドスライダ2の感磁素子部に衝突
する際に発生するサーマルアスピリティ出力を検出し、
そのときのヘッドスライダ2の浮揚高さから磁気記録媒
体1のグライドハイトを求める。そして、ヘッドスライ
ダ2には磁気抵抗効果ヘッドを使用するとともに、磁気
記録媒体1のすべての測定領域内で、一定の相対速度の
もとにヘッドスライダ2を浮揚させるようにしてもよ
い。
する。 【解決手段】 磁気記録媒体1の回転数を変えながら、
表面の微小突起がヘッドスライダ2の感磁素子部に衝突
する際に発生するサーマルアスピリティ出力を検出し、
そのときのヘッドスライダ2の浮揚高さから磁気記録媒
体1のグライドハイトを求める。そして、ヘッドスライ
ダ2には磁気抵抗効果ヘッドを使用するとともに、磁気
記録媒体1のすべての測定領域内で、一定の相対速度の
もとにヘッドスライダ2を浮揚させるようにしてもよ
い。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の検
査方法に関し、特に、磁気抵抗効果ヘッドを用いて磁気
記録媒体上の微小な突起を測定する磁気記録媒体の検査
方法に関する。
査方法に関し、特に、磁気抵抗効果ヘッドを用いて磁気
記録媒体上の微小な突起を測定する磁気記録媒体の検査
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、浮動型磁気ヘッド(以下、磁気ヘ
ッドという)を搭載する磁気ディスク装置においては、
高記録密度化の要請から、磁気ヘッドの浮上高さも極め
て小さく、また、磁気記録媒体についても、その表面に
微小な突起があると、磁気ディスク装置の耐久性を悪化
させる原因となるため、高精度の表面加工が要求されて
いる。また、磁気ヘッドが磁気記録媒体上を安定に浮揚
するには、磁気記録媒体のグライドハイトは、磁気ヘッ
ドの浮揚高さ(フライングハイト)よりも極力小さい方
が望ましく、磁気ディスク装置に搭載される磁気記録媒
体は、表面の突起の高さ(以下、グライドハイトとい
う)が所定の値を超えていないことを保証する必要があ
る。
ッドという)を搭載する磁気ディスク装置においては、
高記録密度化の要請から、磁気ヘッドの浮上高さも極め
て小さく、また、磁気記録媒体についても、その表面に
微小な突起があると、磁気ディスク装置の耐久性を悪化
させる原因となるため、高精度の表面加工が要求されて
いる。また、磁気ヘッドが磁気記録媒体上を安定に浮揚
するには、磁気記録媒体のグライドハイトは、磁気ヘッ
ドの浮揚高さ(フライングハイト)よりも極力小さい方
が望ましく、磁気ディスク装置に搭載される磁気記録媒
体は、表面の突起の高さ(以下、グライドハイトとい
う)が所定の値を超えていないことを保証する必要があ
る。
【0003】ところで、従来、磁気記録媒体のグライド
ハイトを測定する場合は、磁気ヘッドにAEセンサ(Ac
oustic Emission Sensor)やピエゾ素子(圧電素子)を
取り付けて回転する磁気記録媒体面に浮揚させ、それが
磁気記録媒体面の突起に磁気ヘッドが接触した際に、A
Eセンサやピエゾ素子に生じる信号を感知するように
し、その信号の出力レベルから磁気記録媒体のグライド
ハイトを求めるという測定方法がある。(例えば、特開
平4−89618号公報)。
ハイトを測定する場合は、磁気ヘッドにAEセンサ(Ac
oustic Emission Sensor)やピエゾ素子(圧電素子)を
取り付けて回転する磁気記録媒体面に浮揚させ、それが
磁気記録媒体面の突起に磁気ヘッドが接触した際に、A
Eセンサやピエゾ素子に生じる信号を感知するように
し、その信号の出力レベルから磁気記録媒体のグライド
ハイトを求めるという測定方法がある。(例えば、特開
平4−89618号公報)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の磁気記
録媒体の測定方法では、磁気ヘッドにAEセンサやピエ
ゾ素子を取り付ける場合に、その取り付け誤差の影響に
よっては、磁気ヘッドの浮上量が不安定となって測定精
度が低下することがあり、また、AEセンサやピエゾ素
子は、表面突起部に接触した際の感度のばらつきが大き
く、そのために信頼性の高い測定ができないという欠点
がある。
録媒体の測定方法では、磁気ヘッドにAEセンサやピエ
ゾ素子を取り付ける場合に、その取り付け誤差の影響に
よっては、磁気ヘッドの浮上量が不安定となって測定精
度が低下することがあり、また、AEセンサやピエゾ素
子は、表面突起部に接触した際の感度のばらつきが大き
く、そのために信頼性の高い測定ができないという欠点
がある。
【0005】さらに、AEセンサやピエゾ素子の取り付
ける際の作業が困難であり、これらの検出素子を磁気ヘ
ッドに付加することよる浮上量の不安定等により、この
グライトハイト測定用磁気ヘッドは、通常の磁気ヘッド
に比べて製造歩留りが悪く、高価になるという欠点があ
る。
ける際の作業が困難であり、これらの検出素子を磁気ヘ
ッドに付加することよる浮上量の不安定等により、この
グライトハイト測定用磁気ヘッドは、通常の磁気ヘッド
に比べて製造歩留りが悪く、高価になるという欠点があ
る。
【0006】本発明の目的は、磁気記録媒体のグライド
ハイト測定において、磁気抵抗効果ヘッドを用いてサー
マルアスペリティ出力を検出することにより、磁気記録
媒体表面の微小な突起を精度よく検出する方法を提供こ
とにある。
ハイト測定において、磁気抵抗効果ヘッドを用いてサー
マルアスペリティ出力を検出することにより、磁気記録
媒体表面の微小な突起を精度よく検出する方法を提供こ
とにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、浮動型磁気ヘ
ッドを用いた磁気記録媒体の検査方法であって、被測定
磁気記録媒体の回転数を変えながら、前記被測定磁気記
録媒体表面の微小突起が浮動型磁気ヘッドの感磁素子部
に衝突する際に発生するサーマルアスピリティ出力を検
出し、そのときの前記浮動型磁気ヘッドの浮揚高さから
前記被測定磁気記録媒体のグライドハイトを求めること
を特徴とする。
ッドを用いた磁気記録媒体の検査方法であって、被測定
磁気記録媒体の回転数を変えながら、前記被測定磁気記
録媒体表面の微小突起が浮動型磁気ヘッドの感磁素子部
に衝突する際に発生するサーマルアスピリティ出力を検
出し、そのときの前記浮動型磁気ヘッドの浮揚高さから
前記被測定磁気記録媒体のグライドハイトを求めること
を特徴とする。
【0008】また、この検査方法において、前記被測定
磁気記録媒体のすべての測定領域内で、一定の相対速度
のもとに前記浮動型磁気ヘッドを浮揚させることを特徴
とするとともに、前記浮動型磁気ヘッドが、磁気抵抗効
果ヘッドであってもよい。
磁気記録媒体のすべての測定領域内で、一定の相対速度
のもとに前記浮動型磁気ヘッドを浮揚させることを特徴
とするとともに、前記浮動型磁気ヘッドが、磁気抵抗効
果ヘッドであってもよい。
【0009】これにより、磁気抵抗効果ヘッドが磁気記
録媒体面の微小な突起に接触した際に生じるサーマルア
スピリティ出力を検出し、磁気記録媒体のグライドハイ
トを測定する。
録媒体面の微小な突起に接触した際に生じるサーマルア
スピリティ出力を検出し、磁気記録媒体のグライドハイ
トを測定する。
【0010】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【0011】図1は、本発明の実現するグライドハイト
測定機の構成を示すブロック図である。図1を参照する
と、本発明のよる磁気抵抗効果ヘッド3を用いた磁気記
録媒体のグライドハイト測定には、耐震性を備えたベー
スプレート4上に高速で回転する回転駆動機構5が配置
され、磁気抵抗効果ヘッド3をヘッドアーム6に固定し
シーク動作が行えるようになっている。そして、回転駆
動機構5上にグライドハイトを測定する磁気記録媒体1
を装着する。この回転駆動機構5は、所要の回転数に可
変可能であり、その回転数を測定する手段を備えてい
る。
測定機の構成を示すブロック図である。図1を参照する
と、本発明のよる磁気抵抗効果ヘッド3を用いた磁気記
録媒体のグライドハイト測定には、耐震性を備えたベー
スプレート4上に高速で回転する回転駆動機構5が配置
され、磁気抵抗効果ヘッド3をヘッドアーム6に固定し
シーク動作が行えるようになっている。そして、回転駆
動機構5上にグライドハイトを測定する磁気記録媒体1
を装着する。この回転駆動機構5は、所要の回転数に可
変可能であり、その回転数を測定する手段を備えてい
る。
【0012】磁気抵抗効果ヘッド3は、ヘッドスライダ
2が支持ばね(図示せず)により磁気記録媒体1に対向
する方向に適切な力で押圧されている。サーマルアスピ
リティ出力の検出は、磁気抵抗効果ヘッド3が磁気記録
媒体1の微小突起に接触して発熱し、その際に、磁気抵
抗効果ヘッド3を流れる電流が変化するのを検出するも
のであり、その出力を書込み用のドライバや読み出し用
のプリアンプ等を構成する集積回路であるR/W・IC
7,増幅器8およびレベル検出器9により電気信号に変
換して検出する。
2が支持ばね(図示せず)により磁気記録媒体1に対向
する方向に適切な力で押圧されている。サーマルアスピ
リティ出力の検出は、磁気抵抗効果ヘッド3が磁気記録
媒体1の微小突起に接触して発熱し、その際に、磁気抵
抗効果ヘッド3を流れる電流が変化するのを検出するも
のであり、その出力を書込み用のドライバや読み出し用
のプリアンプ等を構成する集積回路であるR/W・IC
7,増幅器8およびレベル検出器9により電気信号に変
換して検出する。
【0013】また、オシロスコープ10や記録装置11
により表示および記録を行う。そして、回転駆動機構5
は、磁気抵抗効果ヘッド3が磁気記録媒体1上を移動さ
せると磁気記録媒体1の回転数を変化させ、磁気抵抗効
果ヘッド3と磁気記録媒体1との相対速度を一定とし、
常に同一周速を維持するようになっている。
により表示および記録を行う。そして、回転駆動機構5
は、磁気抵抗効果ヘッド3が磁気記録媒体1上を移動さ
せると磁気記録媒体1の回転数を変化させ、磁気抵抗効
果ヘッド3と磁気記録媒体1との相対速度を一定とし、
常に同一周速を維持するようになっている。
【0014】次に、磁気記録媒体のグライドハイトの測
定方法について説明する。
定方法について説明する。
【0015】図2は、磁気記録媒体のグライドハイト測
定を説明する図である。なお、本図では、説明の理解を
容易にするために磁気記録媒体表面の突起を誇張して描
いてある。
定を説明する図である。なお、本図では、説明の理解を
容易にするために磁気記録媒体表面の突起を誇張して描
いてある。
【0016】図2を参照すると、磁気抵抗効果ヘッド3
は、磁気記録媒体1を矢印の方向に移動(回転)させる
と、ヘッドスライダ2との間に生じた空気流により、浮
揚力を受けて浮上する。このとき、磁気記録媒体1の基
準面と磁気抵抗効果ヘッド3との最小間隙をフライング
ハイト(浮揚高さ)という。そして、通常、ヘッドスラ
イダ2の空気流出端部には感磁素子である磁気抵抗効果
素子が形成されている。また、磁気記録媒体1の表面に
は大小の突起が存在するが、磁気記録媒体1の基準面と
最大突起との距離をグライドハイトという。
は、磁気記録媒体1を矢印の方向に移動(回転)させる
と、ヘッドスライダ2との間に生じた空気流により、浮
揚力を受けて浮上する。このとき、磁気記録媒体1の基
準面と磁気抵抗効果ヘッド3との最小間隙をフライング
ハイト(浮揚高さ)という。そして、通常、ヘッドスラ
イダ2の空気流出端部には感磁素子である磁気抵抗効果
素子が形成されている。また、磁気記録媒体1の表面に
は大小の突起が存在するが、磁気記録媒体1の基準面と
最大突起との距離をグライドハイトという。
【0017】ここで、磁気記録媒体1のグライドハイト
を測定するには、予め磁気抵抗効果ヘッド3を高速で回
転させた磁気記録媒体1上に浮揚させておき、徐々に回
転数を下げていくと、それに伴って磁気抵抗効果ヘッド
3のフライングハイトも低下する。やがて、磁気記録媒
体1の突起の高さまで磁気抵抗効果ヘッド3のフライン
グハイトが低下すると、磁気抵抗効果ヘッド3の磁気抵
抗効果素子に磁気記録媒体1の突起が接触する。そうす
ると、磁気抵抗効果素子は磁気記録媒体1との接触によ
る発熱によってサーマルアスピリティ出力を生じる。す
なわち、このときの磁気抵抗効果ヘッド3のフライング
ハイト(浮揚高さ)が、求める磁気記録媒体1のグライ
ドハイトとなる。
を測定するには、予め磁気抵抗効果ヘッド3を高速で回
転させた磁気記録媒体1上に浮揚させておき、徐々に回
転数を下げていくと、それに伴って磁気抵抗効果ヘッド
3のフライングハイトも低下する。やがて、磁気記録媒
体1の突起の高さまで磁気抵抗効果ヘッド3のフライン
グハイトが低下すると、磁気抵抗効果ヘッド3の磁気抵
抗効果素子に磁気記録媒体1の突起が接触する。そうす
ると、磁気抵抗効果素子は磁気記録媒体1との接触によ
る発熱によってサーマルアスピリティ出力を生じる。す
なわち、このときの磁気抵抗効果ヘッド3のフライング
ハイト(浮揚高さ)が、求める磁気記録媒体1のグライ
ドハイトとなる。
【0018】従って、予め被測定磁気記録媒体(気記録
媒体1)の周速と、これに対するグライドハイト測定用
磁気ヘッド(磁気抵抗効果ヘッド3)の浮上量との関係
を測定しておき、図1に示すように、ベースプレート4
上に置かれた回転駆動機構5に磁気記録媒体1を装着
し、これを所要の回転数で駆動しながらヘッドアーム6
に固定されたヘッドスライダ2を浮揚させる。
媒体1)の周速と、これに対するグライドハイト測定用
磁気ヘッド(磁気抵抗効果ヘッド3)の浮上量との関係
を測定しておき、図1に示すように、ベースプレート4
上に置かれた回転駆動機構5に磁気記録媒体1を装着
し、これを所要の回転数で駆動しながらヘッドアーム6
に固定されたヘッドスライダ2を浮揚させる。
【0019】そして、ヘッドスライダ2の磁気抵抗効果
素子が磁気記録媒体1の微小突起に接触して発熱したと
きの、磁気抵抗効果素子に流れる電流の変化をR/W・
IC7,増幅器8およびレベル検出器9により検出し、
それをオッシロスコープ10および記録装置11により
記録する。これにより、このときの磁気抵抗効果ヘッド
3の浮上量、すなわち、磁気記録媒体1のグライドハイ
トを求めることができる。
素子が磁気記録媒体1の微小突起に接触して発熱したと
きの、磁気抵抗効果素子に流れる電流の変化をR/W・
IC7,増幅器8およびレベル検出器9により検出し、
それをオッシロスコープ10および記録装置11により
記録する。これにより、このときの磁気抵抗効果ヘッド
3の浮上量、すなわち、磁気記録媒体1のグライドハイ
トを求めることができる。
【0020】
【実施例】次に、上述した測定方法により測定した2つ
の実施例について説明する。
の実施例について説明する。
【0021】(実施例1) 本実施例では、被測定磁気
記録媒体として、NiP基板の表面に粗面化処理、いわ
ゆるテクスチャ処理を施し、その上に磁性層を被着形成
してなる磁気記録媒体を使用し、また、グライトハイト
測定用磁気ヘッドとには磁気抵抗効果素子を有する磁気
ヘッドを使用した。
記録媒体として、NiP基板の表面に粗面化処理、いわ
ゆるテクスチャ処理を施し、その上に磁性層を被着形成
してなる磁気記録媒体を使用し、また、グライトハイト
測定用磁気ヘッドとには磁気抵抗効果素子を有する磁気
ヘッドを使用した。
【0022】(実施例2) 本実施例では、実施例1で
用いた被測定磁気記録媒体と同様のものを使用し、グラ
イトハイト測定用磁気ヘッドには、ヘッドスライダにA
Eセンサやピエゾ素子を貼り付けた磁気ヘッドを使用し
た。
用いた被測定磁気記録媒体と同様のものを使用し、グラ
イトハイト測定用磁気ヘッドには、ヘッドスライダにA
Eセンサやピエゾ素子を貼り付けた磁気ヘッドを使用し
た。
【0023】図3は、実施例1,2による浮上量とサー
マルアスピリティ出力の検出との関係を示す図である。
なお、図3に示す測定値は、それぞれ各5個の平均値と
その“ばらつき”を示した。
マルアスピリティ出力の検出との関係を示す図である。
なお、図3に示す測定値は、それぞれ各5個の平均値と
その“ばらつき”を示した。
【0024】図3を参照すると、実施例2は、実施例1
と比較して測定値の“ばらつき”が大きく、しかもグラ
イドハイトを大きく示す傾向にあることがわかる。この
理由は、実施例2では、磁気ヘッドが被測定磁気記録媒
体の突起に接触しなくても、AEセンサやピエゾ素子か
ら常に出力が出ていることによるものである。
と比較して測定値の“ばらつき”が大きく、しかもグラ
イドハイトを大きく示す傾向にあることがわかる。この
理由は、実施例2では、磁気ヘッドが被測定磁気記録媒
体の突起に接触しなくても、AEセンサやピエゾ素子か
ら常に出力が出ていることによるものである。
【0025】一方、実施例1では、磁気抵抗効果ヘッド
を使用したことにより、これが被測定磁気記録媒体の突
起に接触したときのみサーマルアスピリティ出力が検出
される。従って、測定の誤差が小さくなりグライドハイ
トを正確に測定できる。
を使用したことにより、これが被測定磁気記録媒体の突
起に接触したときのみサーマルアスピリティ出力が検出
される。従って、測定の誤差が小さくなりグライドハイ
トを正確に測定できる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体の検査方法は、磁気抵抗効果ヘッドを用いてサーマ
ルアスピルティ出力を検出することにより、磁気記録媒
体のグライドハイトを容易に測定することができるた
め、従来に比べグライドハイトの測定値に“ばらつき”
が少なく、より正確にグライドハイトを測定できる。
媒体の検査方法は、磁気抵抗効果ヘッドを用いてサーマ
ルアスピルティ出力を検出することにより、磁気記録媒
体のグライドハイトを容易に測定することができるた
め、従来に比べグライドハイトの測定値に“ばらつき”
が少なく、より正確にグライドハイトを測定できる。
【0027】また、本発明の磁気記録媒体の検査方法で
は、グライトハイト測定用の専用の磁気ヘッドを用いる
必要がないため、安価な費用で検査できるという効果が
ある。
は、グライトハイト測定用の専用の磁気ヘッドを用いる
必要がないため、安価な費用で検査できるという効果が
ある。
【図1】本発明の実現するグライドハイト測定の構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図2】磁気記録媒体のグライドハイト測定を説明する
図である。
図である。
【図3】磁気ヘッドの浮上量と出力検出との関係を示す
図である。
図である。
1 磁気記録媒体 2 ヘッドスライダ 3 磁気抵抗効果ヘッド 4 ベースプレート 5 回転駆動機構 6 ヘッドアーム 7 R/W・IC 8 増幅器 9 レベル検出器 10 オッシロスコープ 11 記録装置
Claims (3)
- 【請求項1】 浮動型磁気ヘッドを用いた磁気記録媒体
の検査方法であって、被測定磁気記録媒体の回転数を変
えながら、前記被測定磁気記録媒体表面の微小突起が浮
動型磁気ヘッドの感磁素子部に衝突する際に発生するサ
ーマルアスピリティ出力を検出し、そのときの前記浮動
型磁気ヘッドの浮揚高さから前記被測定磁気記録媒体の
グライドハイトを求めることを特徴とする磁気記録媒体
の検査方法。 - 【請求項2】 請求項1の磁気記録媒体の検査方法にお
いて、前記被測定磁気記録媒体のすべての測定領域内
で、一定の相対速度のもとに前記浮動型磁気ヘッドを浮
揚させることを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。 - 【請求項3】 前記浮動型磁気ヘッドが、磁気抵抗効果
ヘッドであることを特徴とする請求項1または2記載の
磁気記録媒体の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18448496A JPH1027342A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 磁気記録媒体の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18448496A JPH1027342A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 磁気記録媒体の検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1027342A true JPH1027342A (ja) | 1998-01-27 |
Family
ID=16153992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18448496A Pending JPH1027342A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 磁気記録媒体の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1027342A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7564649B2 (en) * | 2005-04-27 | 2009-07-21 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element to provide feedback for head-media instability |
US7770438B2 (en) | 2006-07-07 | 2010-08-10 | Tdk Corporation | Head slider, glide height checking apparatus, and glide height checking method |
JP2011014215A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 複合磁気ヘッドの劣化検出方法および磁気ディスク検査装置 |
US8310779B2 (en) | 2005-04-27 | 2012-11-13 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element |
-
1996
- 1996-07-15 JP JP18448496A patent/JPH1027342A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7564649B2 (en) * | 2005-04-27 | 2009-07-21 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element to provide feedback for head-media instability |
US8310779B2 (en) | 2005-04-27 | 2012-11-13 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element |
US8837075B2 (en) | 2005-04-27 | 2014-09-16 | Seagate Technology Llc | Head assembly with head-media spacing control |
US7770438B2 (en) | 2006-07-07 | 2010-08-10 | Tdk Corporation | Head slider, glide height checking apparatus, and glide height checking method |
JP2011014215A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 複合磁気ヘッドの劣化検出方法および磁気ディスク検査装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990105 |