JPH03281778A - 真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、特に真空中で帯状プラスチックフィルム等の
走行基板に金属を連続的に蒸着する真空蒸着装置に関す
る。

［従来の技術〕 第３図及び第４図は従来の一例を示す真空蒸着装置を示
し、第３図は破断側面図、第４図は第３図のＡ−ＡＭに
沿う断面図である。

図中の１は、チャンバｌａとドア１ｂからなる蒸む室で
ある。この蒸着室１内には、回転自在な冷却ロール２、
架台３．４上に固設された長尺るつぼ５、加熱器６、シ
ール装置７等が内装されている。

前記蒸着室１の開口部には、真空吸引室８が連結されて
いる。

こう１．た真空蒸着装置において、蒸着室１を真空吸引
室８から吸引してほぼ真空にし、例えばプラスチックフ
ィルムのような走行基板９を真空吸引室８から連続して
供給し、冷却ロール２に巻回して走行させる。また、こ
れと共に長尺るつぼ５内の例えばアルミニウムのような
蒸着材ＩＱを加熱器６によって溶融して加熱し、その蒸
気を走行基板９に蒸着する。ここで、蒸着材ｌＯの蒸気
は、シル装置７によ蒸着室１へ漏洩することを防止され
る。また、冷却ロール２、長尺るっぽ５、加熱器６、シ
ール装置７笠の内装部材の保守点検等は、ドアｌｂを開
放し、作業員がチャンバ１ａの中に入って行う。

［発明が解決しようとする３題コ しかしながら、従来の真空蒸着装置によれば、長尺るつ
ぼ５、加熱器６及びシール装置７等が蒸着室１内に固設
されているため、これらの保守点検や蒸着仕様の変更の
時の長尺るつぼ５内に残留している蒸着する蒸着材ｌＯ
の排出及び長尺るつぼ５の交換が不便であるという問題
点を有する。

本発明は上記り１情に鑑みてなされたもので、台車に長
尺るつは及びるつぼ加熱装置を装設して真空蒸着室から
取出し自在にしたことにより、蒸着材の長尺るつぼへの
装填及び残留蒸着材の長尺るつほからの排出が容易にで
き、更には長尺るつぼの清掃、交換、設備精度の向上、
長尺るつぼ加熱装置等のるつぼ回りの保守点検が容易に
できる真空蒸着装置を提供することを目的とする。

［３題を解決するための手段］ 本発明は、走行基板を巻回する冷却ロール、この冷却ロ
ールの下方に配置された長尺るつぼ及びるつぼ加熱装置
を真空蒸着室内に設けた真空蒸着装置において、前記真
空蒸着室内に該蒸着室から外部に出入れ可能な台車を設
け、この台車に前記長尺るつぼ及びるつぼ加熱装置を装
設し、更に前記台車を真空蒸着室外に取り出す駆動装置
を設けたことを特徴とする真空蒸着装置である。

［作用］ 本発明においては、まず、台車を真空蒸着室から引出し
て台車上の長尺るつぼに蒸着材を装填する。次に、台ｒ
ｌｊを真空蒸６室に装入して真空蒸着室内をほぼ真空に
し、走行基板を走行基板冷却ロールに巻回して走行させ
るとともに、長尺るつぼ内の蒸着材をるつは加熱装置に
よって加熱することによりその蒸気を発生させ、蒸着材
を走行基板に連続して蒸着する。次いで、蒸着の終了や
、蒸着材の変更等によって蒸着を停止したときは、台車
を蒸着室から引出して長尺るつは内の蒸着材を入替えた
り、長尺るつぼ加熱装置、シール装置等の保守点検や長
尺るつぼの交換を行う。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例について第１図及び第２図を参
照して説明する。ここで、第１図は真空蒸着装置の破断
側面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面図である
。

図中の２１は、チャンバ２１ａの側面に装入口２１ｂを
設けた蒸着室である。この蒸着室２１の内部」置方には
冷却ロール２２が軸着され、この冷却ロールの上方の開
口部には真空吸引室２３が連結されている。

前記蒸着室２１内の下方には架台２４が固設され、この
架台２４上には一対のレール２５が敷設されている。

このレール２５上には、台車２６が載置されている。

この台車２６上には、走行基板２７の板幅方向に長い１
個の長尺るつぼ２８、このるつぼ２Ｂの外周を囲んだ誘
導コイルからなるソレノイド型の誘導加熱器２９、シー
ル装置３０が装設されている。また、前記台車２６上に
は、装入口２１ｂを封止する力／＜−３１を介して駆動
装置３２が装着され、この駆動装置３２は蒸着室２１の
外に敷設されたレール２５上を移動するようになってい
る。なお、図中の３３はカバー３１と駆動装置３２との
固定部材であり、前記台車２６とカバー３１とは固定さ
れている。

次に、こうした構成の真空蒸着装置の作用について説明
する。

まず、台車２６．長尺るつぼ２８、加熱器２９、シル装
置３０を駆動装置３２によって蒸む室２１から引き出し
、長尺るつは２８内に例えばアルミニウムのような蒸る
祠３４を装填する。

次に、例えばプラスチックフィルムのような走行基板２
７を真空吸引室２３から送給して冷却ロール２２に巻回
し、台車２Ｇ及び長尺るつぼ２８、加熱器２９、シール
装置３０を駆動装置３２によって蒸６室２１内に装入し
て装入口２１ｂをカバー３１によって封正し、蒸着室２
１内を真空吸引室２３の真空ポンプ（図示せず）によっ
て吸引しほぼ真空に近い状態にする。

次いて、長尺るつは２８を加熱器２９によって加熱し、
蒸着材３４を溶融及び蒸発させるとともに走行基板２７
を走行させ、シール装置３０によってこの蒸気の蒸着室
２１内への漏洩を防止し、走行基板２７に蒸着材３４を
蒸着する。

この蒸６によって長尺るつぼ２８内の蒸着材３４が減少
すると、カバー３１を貫通する図示しない蒸着材０（給
装置によって線状の蒸着材３４を長尺るつぼ２８に供給
して補充する。蒸着の終了や蒸着材の嚢更等によって蒸
着を停止したときは、台車２６及び長尺るつぼ２８、加
熱Ｓ２９、シール装置３０を駆動装置３２によって第１
図に２点鎖線で示すように蒸着室２１から引出し、長尺
るつぼ２８内に在留した蒸着材３４を排出して新規の蒸
着材３４を装填したり、長尺るつは２８が消耗していれ
ば新しいものと交換し、加熱器２９、シール装置３０な
どの保守点検を行う。

上記実施例に係る真空蒸着装置によれば、蒸着室２１か
ら外部に出入れ可能な台車２６上に走行基板２７の板幅
方向に長い１個の長尺るつぼ２８、及びこのるつぼ２８
の外周を囲んだ誘導コイルからなるソレノイド型の誘導
加熱器２９が装設された構成となっているため、台！ｔ
ｉ２［ｉの移動により長尺るつぼ２８と加熱Ｓ２９が蒸
着室２１から出入れできるため、蒸着材３４の長尺るつ
ぼ２８への装填及び残留蒸む材の長尺るつぼ２８からの
排出を容易にできる。また、同様な理由により、長尺る
つぼ２８の清掃、交換、加熱器２９等のるつぼ回りの保
守点検を容易にでき、設備精度を向上できる。

［発明の効果］ 以上詳述した如く本発明によれば、台車に長尺るつぼ及
びるつぼ加熱装置を装設して真空蒸着室から取出し自在
にしたことにより、蒸着材の長尺るつほへの装填及び残
留蒸着材の長尺るつぼからの１１出が容易にでき、更に
は長尺るつぼの清掃。

交換、設備精度の向」二、長尺るつぼ加熱装置等のるつ
は回りの保守点検が容品にできる真空蒸着装置を捉供で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る真空蒸着装置の破断側
面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第３図
は従来の真空蒸着装置の破断側面図、７２４図は第３図
のＡ−Ａ線に沿う断面図である。 ２１・・・蒸着室、２２・・・冷却ロール、２３・・・
真空吸引室、２４・・・架台、２５・・・レール、２Ｇ
・・・台車、２７・・・走行基板、２８・・・長尺るつ
ぼ、２９・・・加熱器、３０・・・シール装置、３２・
・・駆動装置、３４・・・蒸着キイ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 走行基板を巻回する冷却ロール、この冷却ロールの下方
   に配置された長尺るつぼ及びるつぼ加熱装置を真空蒸着
   室内に設けた真空蒸着装置において、前記真空蒸着室内
   に該蒸着室から外部に出入れ可能な台車を設け、この台
   車に前記長尺るつぼ及びるつぼ加熱装置を装設し、更に
   前記台車を真空蒸着室外に取り出す駆動装置を設けたこ
   とを特徴とする真空蒸着装置。