JPH03249528A - 圧力変換器 - Google Patents
圧力変換器Info
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- JPH03249528A JPH03249528A JP4578790A JP4578790A JPH03249528A JP H03249528 A JPH03249528 A JP H03249528A JP 4578790 A JP4578790 A JP 4578790A JP 4578790 A JP4578790 A JP 4578790A JP H03249528 A JPH03249528 A JP H03249528A
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 46
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、構成部品として光ファイバーを備えた圧力変
換器に関するものである。
換器に関するものである。
一般に、この種の圧力変換器としては、例えば光フアイ
バー内を透過する光量が光ファイバーの曲げ変位によっ
て変化することを利用(マイクロヘンド効果、マクロヘ
ンド効果)するものが広く知られている。
バー内を透過する光量が光ファイバーの曲げ変位によっ
て変化することを利用(マイクロヘンド効果、マクロヘ
ンド効果)するものが広く知られている。
従来、この種の圧力変換器は例えば特開昭642972
7号公報に開示され、第6図(a)および(blに示す
ように構成されている。これを同図に基づいて説明する
と、同図において、符号51で示すものはダイアフラム
52をその開口部に有する有底筒状の圧力容器、53は
この圧力容器51の周壁に前記ダイアフラム52を覆う
ように設けられその内部底面に波形部54を有する第1
の押圧体、55はこの押圧体53に対して進退自在に設
けられかつ前記ダイアフラム52上に取り付けられ前記
波形部54と同一形状の波形部56を有する第2の押圧
体、57はこの押圧体55の波形部56と前記波形部5
4との間に設けられかつ前記第1の押圧体53に挿通さ
れた光ファイバーである。なお、この光ファイバー57
の両端部には、光源(図示せず)と光検出器(図示せず
)が各々接続されている。
7号公報に開示され、第6図(a)および(blに示す
ように構成されている。これを同図に基づいて説明する
と、同図において、符号51で示すものはダイアフラム
52をその開口部に有する有底筒状の圧力容器、53は
この圧力容器51の周壁に前記ダイアフラム52を覆う
ように設けられその内部底面に波形部54を有する第1
の押圧体、55はこの押圧体53に対して進退自在に設
けられかつ前記ダイアフラム52上に取り付けられ前記
波形部54と同一形状の波形部56を有する第2の押圧
体、57はこの押圧体55の波形部56と前記波形部5
4との間に設けられかつ前記第1の押圧体53に挿通さ
れた光ファイバーである。なお、この光ファイバー57
の両端部には、光源(図示せず)と光検出器(図示せず
)が各々接続されている。
このように構成された圧力変換器においては、ダイアフ
ラム52が表裏両面に作用する圧力の差に応じて変位す
ると、第2の押圧体55が第1の押圧体53に対して進
退するため、これら両押圧体53,55の挾持圧力が変
化して光ファイバー57の曲げ変位による圧力差を検出
することができる。
ラム52が表裏両面に作用する圧力の差に応じて変位す
ると、第2の押圧体55が第1の押圧体53に対して進
退するため、これら両押圧体53,55の挾持圧力が変
化して光ファイバー57の曲げ変位による圧力差を検出
することができる。
ところで、従来の圧力変換器においては、両押圧体53
,55によって光ファイバー57を単に挟持することに
より曲げ変位を得るものであるため、ダイアフラム52
に作用する圧力が第2の押圧体55を介して光ファイバ
ー57に印加される場合に各押圧体53.55と光フア
イバー57間における摩擦によってヒステリシス損が発
生していた。この結果、圧力変換器としての性能が悪く
なり、品質上の信転性が低下するという不都合があった
。
,55によって光ファイバー57を単に挟持することに
より曲げ変位を得るものであるため、ダイアフラム52
に作用する圧力が第2の押圧体55を介して光ファイバ
ー57に印加される場合に各押圧体53.55と光フア
イバー57間における摩擦によってヒステリシス損が発
生していた。この結果、圧力変換器としての性能が悪く
なり、品質上の信転性が低下するという不都合があった
。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、圧力
変換器としての性能が良好になり、もって品質上の信軌
性を向上させることができる圧力変換器を提供するもの
である。
変換器としての性能が良好になり、もって品質上の信軌
性を向上させることができる圧力変換器を提供するもの
である。
本発明に係る圧力変換器は、印加圧力に応じて駆動する
駆動体によってベース上に弾性体を押圧固定し、この弾
性体に曲率をもって光ファイバーを密着させ、この光フ
ァイバーの変形によって光透過量を検出可能な構成とし
たものである。
駆動体によってベース上に弾性体を押圧固定し、この弾
性体に曲率をもって光ファイバーを密着させ、この光フ
ァイバーの変形によって光透過量を検出可能な構成とし
たものである。
本発明の別の発明に係る圧力変換器は、印加圧力に応じ
て駆動する駆動体と、この駆動体とベースとの間に介装
され光ファイバーが密着する弾性体とを備え、この弾性
体を、駆動体およびベースに各々が対向するように固定
された2つの剛体と、これら両剛体に曲率をもって連設
された2つの弾性体からなる筒体とによって形成したも
のである。
て駆動する駆動体と、この駆動体とベースとの間に介装
され光ファイバーが密着する弾性体とを備え、この弾性
体を、駆動体およびベースに各々が対向するように固定
された2つの剛体と、これら両剛体に曲率をもって連設
された2つの弾性体からなる筒体とによって形成したも
のである。
本発明およびこの発明の別の発明においては、駆動体に
よる駆動力が光ファイバーに曲率変化のみを与える外力
として弾性体を介して印加される。
よる駆動力が光ファイバーに曲率変化のみを与える外力
として弾性体を介して印加される。
以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。
説明する。
第1図は本発明に係る圧力変換器の一実施例を示す断面
図である。同図において、符号1で示すものは駆動体と
しての金属ベローズで、ケース2内に設けられており、
圧力に応じて上下方向に伸縮するように構成されている
。3は例えばシリコーンゴム類の弾性体で、前記ケース
2内に収納され、かつ前記金属ベローズ1によってベー
ス4上に押圧固定されている。この弾性体3内には、光
ファイバー5の一部が曲率をもって埋設されており、両
端部には各々光源6と光検出器7が接続されている。こ
の光ファイバー5の変形によって光透過量を検出し得る
ように構成されている。
図である。同図において、符号1で示すものは駆動体と
しての金属ベローズで、ケース2内に設けられており、
圧力に応じて上下方向に伸縮するように構成されている
。3は例えばシリコーンゴム類の弾性体で、前記ケース
2内に収納され、かつ前記金属ベローズ1によってベー
ス4上に押圧固定されている。この弾性体3内には、光
ファイバー5の一部が曲率をもって埋設されており、両
端部には各々光源6と光検出器7が接続されている。こ
の光ファイバー5の変形によって光透過量を検出し得る
ように構成されている。
このように構成された圧力変換器においては、金属ベロ
ーズ1による駆動力が弾性体3に圧縮力あるいは引張力
として印加され、これら作用力が光ファイバー5に曲率
変化のみを与える外力として印加される。
ーズ1による駆動力が弾性体3に圧縮力あるいは引張力
として印加され、これら作用力が光ファイバー5に曲率
変化のみを与える外力として印加される。
したがって、本実施例おいては、金属ベローズ1による
駆動力が光ファイバー5に印加される場合に弾性体3と
光フアイバー5間の摩擦によるヒステリシス損の発生を
防止することができるから、圧力変換器としての性能が
良好になる。
駆動力が光ファイバー5に印加される場合に弾性体3と
光フアイバー5間の摩擦によるヒステリシス損の発生を
防止することができるから、圧力変換器としての性能が
良好になる。
なお、本実施例においては、光ファイバー5の一部を弾
性体3内に埋設する例を示したが、本発明はこれに限定
されるものではなく、第2図(alおよび山)に示すよ
うに弾性管11の外周面に光ファイバー12の一部を巻
回してなるものであっても実施例と同様の効果を奏する
。同図において、弾性管11は金属ベローズ13とベー
ス14に溶接あるいはねじによって固定されている。こ
こで、光ファイバー12の巻回を可能とするために、弾
性管11の外周面と金属ベローズ13の作動面との間に
スペーサ15が設けられ、またベース14には空間部1
6が形成されている。この場合、空間部16には樹脂を
充填してもよい。さらに、第3図に示すように金属ベロ
ーズ13内にスプリング17を弾装し、弾性管11のば
ね定数を調整することができる。
性体3内に埋設する例を示したが、本発明はこれに限定
されるものではなく、第2図(alおよび山)に示すよ
うに弾性管11の外周面に光ファイバー12の一部を巻
回してなるものであっても実施例と同様の効果を奏する
。同図において、弾性管11は金属ベローズ13とベー
ス14に溶接あるいはねじによって固定されている。こ
こで、光ファイバー12の巻回を可能とするために、弾
性管11の外周面と金属ベローズ13の作動面との間に
スペーサ15が設けられ、またベース14には空間部1
6が形成されている。この場合、空間部16には樹脂を
充填してもよい。さらに、第3図に示すように金属ベロ
ーズ13内にスプリング17を弾装し、弾性管11のば
ね定数を調整することができる。
次に、本発明の別の発明に係る圧力変換器について説明
する。
する。
第4図(a)および(blは本発明の別の発明に係る圧
力変換器を示す断面図である。同図において、符号21
で示すものは駆動体としての金属ベローズで、ベース2
2の上方に位置し、ケース23内に設けられており、印
加圧力に応じて上下方向に変位するように構成されてい
る。24は光ファイバー25の一部がその周囲に密着す
る筒体で、前記金属ベローズ21と前記ベース22との
間に設けられている。この筒体24は、前記金属ベロー
ズ21および前記ベース22に各々が対向するように固
定された2つの剛体26.27と、これら両剛体26.
27に曲率をもって連設された2つの断面半円形状の弾
性体28.29とによって形成されている。30はフラ
ンジ31を有するコ字状のスペーサで、前記金属ベロー
ズ21と前記筒体24との間に介装されている。なお、
前記ベース22には、空間部32が形成されており、こ
の空間部32および前記スペーサ30内を挿通して前記
光ファイバー25の一部が巻回されている。また、前記
光ファイバー25の両端部には各々光源(図示せず)と
光検出器(図示せず)が接続されており、光ファイバー
25の変形によって光透過量を検出し得るように構成さ
れている。
力変換器を示す断面図である。同図において、符号21
で示すものは駆動体としての金属ベローズで、ベース2
2の上方に位置し、ケース23内に設けられており、印
加圧力に応じて上下方向に変位するように構成されてい
る。24は光ファイバー25の一部がその周囲に密着す
る筒体で、前記金属ベローズ21と前記ベース22との
間に設けられている。この筒体24は、前記金属ベロー
ズ21および前記ベース22に各々が対向するように固
定された2つの剛体26.27と、これら両剛体26.
27に曲率をもって連設された2つの断面半円形状の弾
性体28.29とによって形成されている。30はフラ
ンジ31を有するコ字状のスペーサで、前記金属ベロー
ズ21と前記筒体24との間に介装されている。なお、
前記ベース22には、空間部32が形成されており、こ
の空間部32および前記スペーサ30内を挿通して前記
光ファイバー25の一部が巻回されている。また、前記
光ファイバー25の両端部には各々光源(図示せず)と
光検出器(図示せず)が接続されており、光ファイバー
25の変形によって光透過量を検出し得るように構成さ
れている。
このように構成された圧力変換器においては、金属ベロ
ーズ21による駆動力が筒体24の弾性体28.29に
圧縮力あるいは引張力として印加され、これら作用力が
光ファイバー25に曲率変化のみを与える外力として印
加される。
ーズ21による駆動力が筒体24の弾性体28.29に
圧縮力あるいは引張力として印加され、これら作用力が
光ファイバー25に曲率変化のみを与える外力として印
加される。
したがって、本実施例においては、金属ベローズ21に
よる駆動力が弾性体28.29に印加される場合に光フ
ァイバー25と弾性体28.29間の摩擦によるヒステ
リシス損の発生を防止することができるから、圧力変換
器としての性能が良好になる。
よる駆動力が弾性体28.29に印加される場合に光フ
ァイバー25と弾性体28.29間の摩擦によるヒステ
リシス損の発生を防止することができるから、圧力変換
器としての性能が良好になる。
また、本実施例においては、筒体24として各々が互い
に対向する2つの剛体26.27と、これら両剛体26
.27に曲率をもって連設された弾性体28.29から
なるものであるから、断面真円形状の弾性筒である場合
と比較してマクロベンディング効果による感度を十分に
得ることができる。すなわち、断面真円形状の弾性筒で
ある場合には、この弾性筒の外周面に例えば上下方向か
ら外力が作用すると、上下側の曲率が大きくなるが、左
右側の曲率が小さくなり、全体としてのベンディング効
果が相殺されてしまうからである。
に対向する2つの剛体26.27と、これら両剛体26
.27に曲率をもって連設された弾性体28.29から
なるものであるから、断面真円形状の弾性筒である場合
と比較してマクロベンディング効果による感度を十分に
得ることができる。すなわち、断面真円形状の弾性筒で
ある場合には、この弾性筒の外周面に例えば上下方向か
ら外力が作用すると、上下側の曲率が大きくなるが、左
右側の曲率が小さくなり、全体としてのベンディング効
果が相殺されてしまうからである。
このことは、第5図に示すように光ファイバーを透過す
る光の減衰率と光ファイバーの曲率の関係を示す特性図
からも理解することができる。ここで、図中符号A、B
は光ファイバーの左右側の曲率と上下側の曲率を示す。
る光の減衰率と光ファイバーの曲率の関係を示す特性図
からも理解することができる。ここで、図中符号A、B
は光ファイバーの左右側の曲率と上下側の曲率を示す。
以上説明したように本発明によれば、印加圧力に応じて
駆動する駆動体によってベース上に弾性体を押圧固定し
、この弾性体に曲率をもって光ファイバーを密着させ、
この光ファイバーの変形によって光透過量を検出可能な
構成としたので、また、本発明の別の発明は、圧力に応
じて駆動する駆動体と、この駆動体とベースとの間に介
装され光ファイバーが密着する弾性体とを備え、この弾
性体を、駆動体およびベースに各々が対向するように固
定された2つの剛体と、これら両剛体に曲率をもって連
設された2つの弾性体からなる筒体によって形成したの
で、駆動体による駆動力が光ファンバーに曲率変化のみ
を与える外力として弾性体を介して印加される。したが
って、弾性体と光フアイバー間の摩擦によるヒステリシ
スの発生を防止することができるから、圧力変換器とし
ての性能が良好になり、品質上の悟顔性を向上させるこ
とができる。また、本発明の別の発明によれば、筒体と
して各々が互いに対向する2つの剛体と、これら両剛体
に曲率をもって連設された弾性体からなるものであるか
ら、断面真円形状の弾性筒である場合と比較してマクロ
ベンディング効果による感度を十分に得ることができる
といった利点もある。
駆動する駆動体によってベース上に弾性体を押圧固定し
、この弾性体に曲率をもって光ファイバーを密着させ、
この光ファイバーの変形によって光透過量を検出可能な
構成としたので、また、本発明の別の発明は、圧力に応
じて駆動する駆動体と、この駆動体とベースとの間に介
装され光ファイバーが密着する弾性体とを備え、この弾
性体を、駆動体およびベースに各々が対向するように固
定された2つの剛体と、これら両剛体に曲率をもって連
設された2つの弾性体からなる筒体によって形成したの
で、駆動体による駆動力が光ファンバーに曲率変化のみ
を与える外力として弾性体を介して印加される。したが
って、弾性体と光フアイバー間の摩擦によるヒステリシ
スの発生を防止することができるから、圧力変換器とし
ての性能が良好になり、品質上の悟顔性を向上させるこ
とができる。また、本発明の別の発明によれば、筒体と
して各々が互いに対向する2つの剛体と、これら両剛体
に曲率をもって連設された弾性体からなるものであるか
ら、断面真円形状の弾性筒である場合と比較してマクロ
ベンディング効果による感度を十分に得ることができる
といった利点もある。
第1図は本発明に係る圧力変換器の一実施例を示す断面
図、第2図(a)および(b)は他の実施例を示す断面
図、第3図は他の実施例における一使用状態を示す断面
図、第4図(a)および(′b)は本発明の別の発明に
係る圧力変換器を示す断面図、第5図は光の減衰率と光
ファイバーの曲率の関係を示す特性図、第6図fa)お
よび(b)は従来の圧力変換器を示す断面図とそのb−
b線断面図である。 1・・・・金属ベローズ、3・・・・弾性体、4・・・
・ベース、5・・・・光ファイバー 21・・・・金属
ベローズ、22・・・・ベース、24・・・・筒体、2
5.、、、光ファイバー 26.27・・・・剛体、2
8,29.。 ・・弾性体。
図、第2図(a)および(b)は他の実施例を示す断面
図、第3図は他の実施例における一使用状態を示す断面
図、第4図(a)および(′b)は本発明の別の発明に
係る圧力変換器を示す断面図、第5図は光の減衰率と光
ファイバーの曲率の関係を示す特性図、第6図fa)お
よび(b)は従来の圧力変換器を示す断面図とそのb−
b線断面図である。 1・・・・金属ベローズ、3・・・・弾性体、4・・・
・ベース、5・・・・光ファイバー 21・・・・金属
ベローズ、22・・・・ベース、24・・・・筒体、2
5.、、、光ファイバー 26.27・・・・剛体、2
8,29.。 ・・弾性体。
Claims (2)
- (1)印加圧力に応じて変位する駆動体によってベース
上に弾性体を押圧固定し、この弾性体に曲率をもって光
ファイバーを密着させ、この光ファイバーの変形によっ
て光透過量を検出可能な構成としたことを特徴とする圧
力変換器。 - (2)印加圧力に応じて変位する駆動体と、この駆動体
とベースとの間に介装され光ファイバーがその周囲に密
着する筒体とを備え、この筒体を、前記駆動体および前
記ベースに各々が対向するように固定された2つの剛体
と、これら両剛体に曲率をもって連設された2つの弾性
体とによって形成したことを特徴とする圧力変換器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4578790A JPH03249528A (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4578790A JPH03249528A (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 圧力変換器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03249528A true JPH03249528A (ja) | 1991-11-07 |
Family
ID=12728994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4578790A Pending JPH03249528A (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 圧力変換器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03249528A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007515963A (ja) * | 2003-12-23 | 2007-06-21 | 英義 大喜多 | 食品の冷凍および解凍方法と装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53107381A (en) * | 1977-03-01 | 1978-09-19 | Hitachi Cable Ltd | Measuring method of temperature or pressure |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP4578790A patent/JPH03249528A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53107381A (en) * | 1977-03-01 | 1978-09-19 | Hitachi Cable Ltd | Measuring method of temperature or pressure |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007515963A (ja) * | 2003-12-23 | 2007-06-21 | 英義 大喜多 | 食品の冷凍および解凍方法と装置 |
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