JPH03245556A - セラミックスパッケージの製造方法 - Google Patents
セラミックスパッケージの製造方法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
方法に関わり、特に複数のグリーンシートを積層してグ
リーンシート積層体を製造する方法に関する。
品をセラミックスパッケージに収納したものがあり、こ
の半導体装置はセラミックスパッケージを使用すること
から高い信頼性や厳しい環境下での使用に耐えるといっ
た特徴を有している。従来よりこの半導体装置のセラミ
ックスパッケージとしてはアルミナ(Af1203)で
形成されたものが使用されてきているが、最近では熱伝
導性に優れた窒化アルミニウム(A11N)で形成した
ものを採用することが検討されている。
るためにセラミックスシートを積層した積層型のものが
あり、この積層型のセラミックスパッケージは次に述べ
る方法で製造されている。
を打ち抜き形成した後に各グリーンシートに配線を印刷
し、さらにこれら複数のグリーンシートを積層して熱圧
葛することにより半導体部品収納用の凹部をもったグリ
ーンシート積層体を形成する。次いで、グリーンシート
形成したグリーンシート積層体を焼成して焼成シート積
層体とし、この焼成シート積層体の外表面にメツキを施
して焼成シート積層体の表面に形成されている配線にろ
う付けにより端子ビンを取り付けてセラミックスパッケ
ージを製造する。、 このセラミックスパッケージの製造方法において、複数
のグリーンシートを積層して圧着する工程では第3図に
示す方法が採用されている。複数のグリーンシート1を
積層して上部に凹部3を有するグリーンシート積層体2
とし、このグリーンシート積層体2の上面および凹部3
の表面を樹脂フィルム4で覆う。そして、加熱雰囲気に
おいてグリーンシート積層体2を受は型5に載せ、加圧
型6でグリーンシート積層体2を上側から加圧して積層
された各グリーンシート1を相互に接合する。加圧型6
は、グリーンシート積層体2の上面に当接する平面部と
、グリーンシート積層体2の凹部3に対応した形状をな
し該凹部3に嵌合する凸部とを金属で一体に形成したも
ので、平面部でグリーンシート積層体2の上面を押圧し
、凸部で凹部3を押圧する。加圧型6は樹脂フィルム4
を介してグリーンシート積層体2に当接し、離型時にグ
リーンシート積層体2から無理無く剥離する。
好という利点を有する半面、次ぎに述べる問題点を抱え
ている。すなわち、この従来の方法で製造したグリーン
シート積層体2では、凹ある。例えば、凹部3の中間段
部の周縁の一部や凹部3の隅の部分においてグリーンシ
ートの接着が十分でなく剥離することが多い。このよう
に凹部3でのグリーンシートの接着が不十分であると、
凹部3における半導体部品の装着が確実に行えないなど
のセラミックスパッケージの信頼性を低下させる問題が
発生する。
グリーンシートを確実に接合して高い品質を有するグリ
ーンシート積層体を得ることができるセラミックスパッ
ケージの製造方法を提供することを目的とする。
により接着してグリーンシート積層体を製造する方法に
ついて研究を重ねてきた。
を製造する場合に、グリーンシート積層体の四部を形作
るグリーンシートの積層部に部分的に接合が不十分な箇
所が生じる現象について考察した。この結果、グリーン
シート積層体の凹部を形作るグリーンシートの積層部に
部分的に接着が不十分な現象が生じるのは、第3図につ
いて述べればグリーンシート積層体2の凹部3と加圧型
6の凸部との対応関係のなかで加圧型6の凸部がグリー
ンシート積層体2の四部3に対応して当接できない箇所
が生じ、このように上型6の凸部がグリーンシート積層
体2の凹部3に対応して当接できない箇所は、他の箇所
のように加圧型6の凸部による抑圧が十分にできないこ
とが原因であり、さらにこの原因は加圧型6か平面部と
凸部とを一体に形成した構成に起因するものであること
を見出した。すなわち、グリーンシート1の形状寸法誤
差やグリーンシート積層体2の組み立て寸法誤差などに
よりグリーンシート積層体2の凹部3における面方向お
よび積層方向に形状の寸法に誤差を生じる。一方、加圧
型6の凸部は平面部と金属で一体に形成して剛体で固定
した状態にあるために、グリーンシート積層体2の凹部
3の形状寸法誤差に柔軟に対応できず対応するには限界
があるので、グリーンシート積層体2の凹部3の形状寸
法誤差が加圧型6の対応できる範囲を越えた大きさであ
ると、凹部6の中に加圧型6の凸部が十分押圧できない
箇所が発生することがある。例えば、グリーンシート積
層体2の凹部3においてA部の積層寸法が規定より小さ
い場合およびB部の寸法が規定よりずれていると、加圧
型6の凸部がこの形状寸法の誤差に対応できず加圧型の
押圧が不充分となることがある。
いるので、加圧型6の角部は樹脂テープの回り込みでひ
ごらを生じ、グリーンシート積層体2の凹部3の角形を
なす隅部を形状通り当接して加圧できなくなり、このた
めグリーンシートの接着が不充分となる。
えて、新規な加圧型の改良を図り、改良した加圧型を使
用して積層したグリーンシートを熱圧着することにより
、これら2問題点を解決できることを見出した。加圧型
の開発に当たっては、従来の加圧型の構造による問題点
を踏まえて、凸部を型部材として平面部から分離するこ
とおよび分離した凸部は柔軟性の材料で形成すること〆
l’p31〆を採用した。このことにより型部材を加圧
型に制約されることなくグリーンシート積層体の四部に
形状寸法に合わせて配置でき、また型部材をグリーンシ
ート積層体の凹部の形状寸法の誤差を吸収して凹部全体
に均一に当接できることとなる。
。
グリーンシートを積層して半導体部品収納用の四部を有
するグリーンシート積層体を製造するに際して、弾力性
およびグリーンシートに対する剥離性を有する材料で形
成された型部材を前記グリーンシート積層体の凹部に配
置し、その後前記グリーンシート積層体を加圧する工程
を具備することを特徴とするものである。
リーンシート積層体の凹部の形状寸法の誤差やばらつき
に制約されずに凹部を形作るグリーンシートの積層部の
全体を均−且つ確実に接合して信頼性の高いグリーンシ
ート積層体を製造することができる。
圧着して半導体部品収納用の凹部を有するグリーンシー
ト積層体を製造する方法を対象とする。グリーンシート
を形成するセラミックスはアルミナ、窒化アルミニウム
のいずれでも良く、さらに他の種類のセラミックスも対
象にできる。
ーンシートに対する剥離性を有する種々の樹脂で形成す
ることができるが、特にシリコンゴムが適している。型
部材を形成する樹脂は予め脱泡処理を施して気泡ができ
るだけ少ないものを使用する。ま□た、型部材を押圧す
る加圧型は、型部材と同様に弾性を有するものが良く、
型部材と同じ材質であることが好ましい。
ートを熱圧着するためには、従来から採用されている1
方向加圧による方法上、等方加圧による方法の2通りの
方法が挙げられる。
について第1図を参照して説明する。
。この各グリーンシートIIA〜IIEはブランク加工
を行い、また打ち抜き加工を行って所定のスルーホール
を形成するとともに、四隅に位置決め孔11aを形成し
である。また、各グリーンシートIIA〜11Eは夫々
表面に配線か印刷形成しである。なお、グリーンシート
積層体において四部を形成するために、例えばグリーン
シート118〜IIEは凹部用の開口部を形成する。
に載せて順次積層して上部に凹部13を有するグリーン
シート積層体12とする。受は型14は例えば四隅に夫
々位置決め用のピン15を立ててあり、グリーンシート
IIA〜IIEは夫々の位置決め孔12aにビン15を
通して位置決めしながらIIA、IIB、IIG、II
D。
シートIIAとの間には両者が接合しないようにバイナ
シート16を介在させる。
17を配置し、最上層のグリーンシート11Eの上面に
パイナシート18を介して加圧型19を重ねて載せる。
のビン15を通す。
施してグリーンシート積層体12の凹部13の寸法形状
に合わせて対応した寸法形状を有するように形成したも
のである。加圧型19はシリコンゴムで形成された板形
をなすものである。
トしたものを熱圧着装置の内部に入れ、グリーンシート
積層体12を所定の温度で加熱しながら所定の圧力で加
圧して積層した各グリーンシート11A〜11Eを接合
する。この熱圧着に際して、熱圧着装置の加圧部により
加圧型19を下降させ、加圧型19でグリーンシート積
層体12を上側から押圧して加圧する。この場合、加圧
型19はグリーンシート積層体12の最上層のグリーン
シート11Eに当接して上側から押圧するとともに、グ
リーンシート積層体12の凹部13に嵌合配置しである
型部材17を上側から押圧する。シリコンゴムからなる
型部材17は十分な弾力性を有するので加圧型19に押
圧されてグリーンシート積層体12の凹部13の内部で
圧縮変形して凹部13を形作る各グリーンシート11B
〜11Eの積層部の表面全体に接触し、加圧型19から
の圧力を伝達して四部13を形作る各グリーンシート1
1B〜11Eの積層部を押圧する。すなわち、型部材1
7は加圧型19の加圧により圧縮変形して凹部13の各
部分の表面に余すこと無く密着して凹部13の全体の各
部を均一な圧力で確実に押圧する。また、グリーンシー
ト11の形状寸法誤差やグリーンシート積層体12の組
み立て寸法誤差などによりグリーンシート積層体12の
凹部13における面方向および積層方向に形状の寸法に
誤差を生じた場合でも、型部材17は圧縮変形して凹部
13の表面全体に接触して凹部13での形状寸法の誤差
を吸収して凹部13を形作るグリーンシートの積層部を
押圧する。
あるために、加圧型19とグリーンシート積層体12の
四部13との位置関係に制約されることなく凹部13に
配置することができる。また、型部材17は脱泡処理し
て気泡を大幅に減少しであるので、加圧型19からの圧
力を効果的にグリンシート積層体12に伝達することが
できる。
Eの積層部を確実に接合できる。
下に温度降下するまで型にセットしたまま放置しておき
、グリーンシート積層体12が所定温度以下に温度降下
して十分冷却した時点で受は型14、型部材17および
加圧型19をグリーンシート積層体12から取り外す。
積層体12から容易に取り外せる。このようにすればグ
リーンシート積層体12の各グリーンシート11A〜I
IEは粉末が十分結合して強固な状態にあるので、これ
ら各型を取り外す時にグリーンシートの表面層が型に付
着してグリーンシートから一緒に剥離してグリーンシー
トに欠けを生じることがない。
IIEの積層部を確実に接合したグリーンシート積層体
12を製造することができる。
法について第2図を参照して説明する。
である冷間等方加圧法すなわち静水加圧法と同じ原理で
ある。ただし、積層したグリーンシートIIA〜]IE
を加熱するために加圧液体として加熱された液体例えば
湯を使用する。
ーンシート積層体12を受は型14、型部材17および
加圧型19と組み合わせる。次いで、この組み合わせた
ものを合成樹脂からなる防水袋20の内部に入れ、防水
袋20の内部を30〜40 cm/ Hg程度に真空引
きした後に防水袋20の開口部を閉じる。このように袋
に入れたものを温水等方加圧装置の内部に配置して温水
により加熱および加圧した。この温水の温度はグリーン
シト積層体12のグリーンシートIIA〜11Eを加熱
するのに必要な温度とグリーンシート11A〜IIEを
加圧するのに必要な圧力を与えられている。防水袋20
の内部のグリーンシート積層体12のグリーンシートI
IA〜IIEは温水から防水袋20を介して伝達去れる
熱により加熱される。温水は防水袋20の内部の受は型
14、加圧型19および型部材17を介してグリーンシ
ート積層体12のグリーンシートIIA〜IIEを積層
方向から加圧し、また温水は防水袋20の内部の型カバ
ー22を介してグリーンシート積層体12のグリーンシ
ート11A〜11Eの周囲全体を積層方向に対して直角
な方向から加圧する。
全体を囲むようにを例えば加圧型19に形成したもので
、防水袋10がグリーンシート積層体のグリーンシート
IIA〜11Eに直接付着することを防止する離型部材
である。このようにグリーンシート積層体12を全方位
から等しい圧力で加圧することにより、グリーンシート
積層体12は特定の方向に沿う伸びがなく全体が均一に
圧縮される。また、この場合もグリーンシート積層体1
2の凹部13を形作るグリーンシート11A〜11Eの
積層部を確実に接合できる。
置から取り出し、さらにグリーンシート積層体12を防
水袋21から取り出して型を取外す。
が均一に圧縮されていて角部の欠けなどの欠陥が発生し
に<<、且つ凹部13を形作るグリーンシートIIA〜
11Eの積層部を確実に接合できて高い品質を有し信頼
が高い。
る。
リーンシート積層体を受は型、型部材および加圧型に組
み込んて熱圧着装置の中に入れ、圧力100 kg、温
度60℃、時間60分の条件て熱圧着した。この熱圧着
後にグリーンシート積層体を装置から取出して所定温度
に降下するまで放置し、グリーンシート積層体が所定温
度間で降下した時点でグリーンシート積層体を型から取
外した。この取り出し時にグリーンシート積層体の表面
層が型に付着して剥離することがなかった。得られたグ
リーンシート積層体は凹部を形作るグリンシートの積層
部か確実に接合しており、他の部分に欠けなどが存在し
ない高い品質を有するものであった。
する。
リーンシート積層体を受は型、型部材および加圧型に組
み込んで合成樹脂で形成された防水袋の内部に入れた。
力100 kg、温水温度40℃、時間15分の条件で
熱圧着した。圧着終了後に防水袋に入れたグリーンシー
ト積層体を装置から取出し、温度降下させてからグリー
ンシート積層体を防水袋から取り出して型を取り外した
。得られたグリーンシート積層体は凹部を形作るグリー
ンシートの積層部か確実に接合しており、全体が均一な
割合で圧縮していた。なお、この方法において熱圧着す
るための温度および圧力はグリーンシートの密度と関係
がある。すなわち、グリーンシートが低い密度の場合は
温度、圧力を低くして時間を長くする。また、高い密度
の場合は温度、圧力を高くし、時間を短くする。
泡処理を施したシリコンゴムで形成したものを使用した
。この型部材は次に述べる方法で成形した。シリコンゴ
ムの主剤と硬化剤とを10=1の割合で混合して脱泡処
理を施した。この材料を金型に入れ、再度脱泡処理して
硬化させて成形した。
製造方法によれば、複数のグリーンシートを積層し熱圧
着して半導体部品収納用の凹部を有するグリーンシート
積層体を製造するに際して、弾力性およびグリーンシー
トに対する剥離性を有する材料で形成された型部材を前
記グリーンシート積層体の凹部に配置し、その後グリー
ンシ。
ーンシート積層体の凹部を形作るグリーンシートの積層
部を確実に接合して高い品質を有するグリーンシート積
層体を製造でき、従って凹部に安定して半導体部品を収
納できる高い信頼性を有するセラミックスパッケージを
得ることができる。
法を説明する図、第3図は従来例を説明する図である。 11A〜11E・・・グリーンシート、12・・・グリ
ーンシート積層体、14・・・受は型、17・・・型部
材、19・・・加圧型。
Claims (4)
- (1)半導体部品収納用の凹部を有するグリーンシート
積層体を製造するに際して、弾力性およびグリーンシー
トに対する剥離性を有する材料で形成された型部材を前
記グリーンシート積層体の凹部に配置し、その後前記グ
リーンシート積層体を加圧する工程を具備することを特
徴とするセラミックスパッケージの製造方法。 - (2)型部材はシリコーンからなるものである請求項1
記載のセラミックスパッケージの製造方法。 - (3)グリーンシート積層体を加圧する方法はグリーン
シート積層体の積層方向から加圧する1方向加圧である
請求項1記載のセラミックスパッケージの製造方法。 - (4)グリーンシート積層体を加圧する方法は等方加圧
である請求項1記載のセラミックスパッケージの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2040927A JP2795951B2 (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | セラミックスパッケージの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2040927A JP2795951B2 (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | セラミックスパッケージの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03245556A true JPH03245556A (ja) | 1991-11-01 |
JP2795951B2 JP2795951B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=12594138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2040927A Expired - Lifetime JP2795951B2 (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | セラミックスパッケージの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2795951B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020202941A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社村田製作所 | セラミック基板の製造方法及びセラミック基板 |
US11950360B2 (en) | 2019-03-29 | 2024-04-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing ceramic substrate and ceramic substrate |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5382171A (en) * | 1976-12-28 | 1978-07-20 | Ngk Insulators Ltd | Method of laminating uncalcined ceramic sheet for electronic part package |
-
1990
- 1990-02-23 JP JP2040927A patent/JP2795951B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5382171A (en) * | 1976-12-28 | 1978-07-20 | Ngk Insulators Ltd | Method of laminating uncalcined ceramic sheet for electronic part package |
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WO2020202941A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社村田製作所 | セラミック基板の製造方法及びセラミック基板 |
JPWO2020202941A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2021-10-14 | 株式会社村田製作所 | セラミック基板の製造方法及びセラミック基板 |
US11950360B2 (en) | 2019-03-29 | 2024-04-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing ceramic substrate and ceramic substrate |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2795951B2 (ja) | 1998-09-10 |
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