JPH03242808A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明はＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）、ＤＡＴ（デ
ジタルオーディオテープレコーダ）等の磁気記録装置に
使用される磁気ヘッドに関する。

（ロ）従来の技術 第１６図は従来のＶＴＲ用磁気ヘッドのテープ摺接面を
示す図、第１７図は第１６図のＰ−Ｐ”断面図である。

一対の磁気コア半体（ｌａ）（ｌｂ）はＳ、Ｏ，等の非
磁性絶縁材料よりなるギャップスペーサを介して衝き合
わされており、該衝き合わせ部に作動ギャップ（２）が
形成される。前記作動ギャップ（２）のトランク幅Ｔ　
ｗはその両側に設けられたトラ・ンク幅規制溝（３）（
３）により規制されており、該トラック幅規制溝（３）
（３）内にはコア半体接合用のガラス（４）（４）が充
填されている。また、前記作動ギヤング（２）のギャッ
プ下端（５）は一方の磁気コア半体（１ａ）に設けられ
た巻線溝（６）の上端により規定されており、これによ
りギャップ深さｄｏが決定する。この種の磁気ヘッドの
場合、前記作動ギャップ（２）のギャップ深さｄｏが小
さくなると記録再生出力は向上するが、実際にはテープ
摺接面の摩耗によるギャップ深さｄ。の減少を考慮して
ヘッド完成状態でのギャップ深さｄ。は２０〜３０μｍ
程度に仕上げられる。

しかし乍ら、上述のような磁気ヘッドの場合、ヘッドの
寿命はギャップ深さｄ０＝０になるまでと考えられるが
、実際にはそれ以前にインダクタンスや最適記録電流が
初期値に比べて大きく変化し、ギャップ深さｄ０＝０に
なるまで使うことは出来ない。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は上記従来例の欠点に鑑み為されたものであり、
ヘッド寿命を短くすることなしに記録再生出力を向上さ
せた磁気ヘッドを提供することを目的とするものである
。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明の磁気ヘッドは作動ギャップが第１のギャップ深
さと該第１のギャップ深さより短い第２のギャップ深さ
とを有することを特徴とする。

（ホ）作　用 上記構成に依れば、短い第２のギャップ深さにより記録
／再生出力が向上し、しかも、前記第２のギャップ深さ
がＯになる以前にインダクタンスや記録電流特性の面で
寿命に達してしまい、前記第２のギャップ深さによる寿
命の低下はみられない。

（へ）実施例 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を詳細に説明
する。

第２図は本実施例のテープ摺接面を示す図、第３図は第
２図のｐ−ｐ’断面図、第４図は第２図のＱ−Ｑ’断面
図である。

本実施例の磁気ヘッドでは、フェライト等の強磁性酸化
物材料よりなるコア半体（７ａ）（７ｂ）にセンダスト
等の強磁性金属薄膜（８）（８）が被着形成されており
、該強磁性金属薄膜（８）（８）同士がＳＯ，等の非磁
性絶縁材料よりなるギャップスペーサ（９）を介して衝
き合わされている。前記強磁性金属薄膜（８）（８）の
衝き合わせ部には作動ギャップ（１０）が形成され、該
作動ギャップ（１０）のトラック幅Ｔ、はコア接合用の
ガラス（４）（４）が充填されているトラック幅規制溝
（３）（３）により規定される、一方のコア半体（７ａ
）には巻線溝（１１）の上端に連結して四部（１２）が
設けられており、該凹部（１２）により前記強磁性金属
薄膜（８）及びギャップスペーサ（９）の下端（１３）
が規定されている。

第１図はギャップ衝き合わせ方向から観たギャップスペ
ーサ（９）の形状を示す図である。

前記ギャップスペーサ（９）は、テープ摺接面側の端部
が第１直線部（１４）でのみ構成されているのに対し、
ギャップ深さ規制側の端部は前記第１直線部（１４）と
平行である第２直線部（１５）と該第２直線部（１５）
の両側に位置し４５°傾斜している傾斜部（１６）（１
６）とにより構成されている。このため、前記作動ギャ
ップ（１０）のトラック中央部での第］のギャップ深さ
ｄ、よりもトラック端部での第２のギャップ深さｄ、の
方が小さい値となる。本実施例では、トラック中央部で
の第１のギャップ深さｄｌが３０μｍ、トラック端部で
の第２のギャップ深さｄ２が２７〜３０μｍである。尚
、ギャップスペーサ（９）の具体的寸法は第１図中に明
記している。

次に、上記実施例の磁気ヘッドの製造方法、特にギャッ
プ部の形成方法について説明する。

先ず、第５図に示すように強磁性酸化物材料よりなる基
板（］７）の上面に強磁性金属薄膜（８）及びギャップ
スペーサ（９）を被着形成し、該強磁性金属薄膜（８）
の上面にレジス）　（１８）を形成した後、前記レジス
ト（１８）のフロントギャップ形成部上及びパックギャ
ップ形成部上に夫々マスク（１９ａ）（１９ｂ）を形成
する。フロントギャップ形成部上に形成されたマスク（
１９ａ）は第１図に示したギャップスペーサ（９）と同
形状をしている。

次に、周知の如く露光及び現像を行い第６図に示すよう
に前記マスク（１９ａ）（１９ｂ）の形状に従ってレジ
スト（１８ａ）（１８ｂ）パターンを形成する。

次に、イオンビームエツチングを行うことにより第７図
に示すようにレジスト（１８ａ）（１８ｂ）パターン未
形成部分の強磁性金属薄膜（８）及びギャップスペーサ
（９）を除去する。尚、このイオンビームエツチングに
より前記基板（１７）の上面が少許除去され、こオＬが
将来四部（１２）となる。

次に、第８図に示すようにレジスト（１８ａ　）（１８
ｂ）パターンを除去する。これにより、前記基板（１７
）−ｈにはフロントギャップ形成部上及びパックギャッ
プ形成部−ｔ＝にのみ強磁性金属薄膜（８）（８）及び
ギャップスペーサ（９）（９）が残る。フロントギャッ
プ形成部上に形成された強磁性金属薄膜（８）及びギャ
ップスペーサ（９）は第１図に示したギャップスペーサ
（９）と同形状をしており、第１直線部（１４）、第２
直線部（１５）、及び傾斜部（１６）（１６）を有して
いる。

次に、第８図に示す基板（１７）の上面のうち、フロン
トギャップ形成部とパックギャップ形成部との間の領域
（２０）に巻線溝を形成し、該巻線溝と直交するフロン
トギャップ形成部間からバックギャップ形成部間にかけ
ての領域（２１）にトラック幅規制溝を形成する。この
巻線溝加工により凹部（１２）が形成される前記基板（
１７）は一方のコア半体（７ａ）を形成する基板となり
、以後は周知の如く、他方のコア半体（７ｂ）を形成す
る基板（図示せず）と前記ギャップスペーサ（９）を介
して衝き合わせスライス等の機械加工を施すことにより
第２図〜第４図に示す本実施例の磁気ヘッドが完成する
。

次に、第２図〜第４図に示す本実施例の磁気ヘッド及び
従来の磁気ヘッドにおいて、作動ギャップ（１０）のギ
ャップ深さを減らしていった時のインダクタンス、最適
記録電流、及び出力の変化を夫々第９図、第１０図及び
第１１図に示す。

尚、ここで用いた従来の磁気ヘッドは、ギャップスペー
サ（９′）が第１８図に示した形状である以外は本実施
例の磁気ヘッドと同一であり、各特性の測定は５　ＭＨ
ｚの信号を用いて８（１）ＶＴＲの仕様に従って行った
。

第１１図から判るように、第１のギャップ深さｄｌが５
〜３０μｍの範囲では、本実施例の磁気ヘッドの方が従
来の磁気ヘッドよりも大きい出力を得ることが出来る。

これはギャップスペーサ（９）の傾斜部（１６）（１６
）によりトラック端部での第２のギャップ深さｄ、がト
ラック中央部での第１のギャップ深さｄ、より小さく、
この部分により出力特性が向上したためである。

また、第１のギヤ・／プ深さｄ、が５μｍ以下であると
、インダクタンス、最適記録電流、出力全ての面で本実
施例の磁気ヘッドの方が従来の磁気へノドよりも劣るが
、従来の磁気ヘッドにおいても、第１のギャップ深さｄ
、が５μｍ以下になるとフ インダクタンスが１．５μＨ以下、最適記録電流が２５
ｍＡ以下となり、実際上周辺回路との非整合性のため使
用不可となる。即ち、第１のギャップ深さｄ、が５μｍ
以下では、本実施例、従来例何れの磁気ヘッドにおいて
も使用不可となるのであるから、第１のギャップ深さｄ
ｌが５〜３０ｐｍの範囲で出力が大となる本実施例の磁
気ヘッドの方が実用上有利である。

上述の実施例では、作動ギャップ（１０）近傍に強磁性
金属薄膜（８）（８）を有するＭＩＧ（メタル、イン、
ギャップ）型の磁気ヘッドについて述べたが、第１２図
、第１３図及び第１４図に示すように強磁性金属薄膜を
有さない通常のフェライトヘッドにおいても本発明を適
用することは出来る。尚、第１２図はテープ摺接面を示
す図、第１３図は第１２図のＰ−Ｐ’断面図、第１４図
は第１２図のＱ−Ｑ’断面図であり、第２図、第３図及
び第４図と同一部分には同一符号を付し、その説明は割
愛する。第１のギャップ深さｄ、と第２のギャップ深さ
ｄ、との関係はｄ　１＞　ｄ　＊である。

尚、この実施例の磁気ヘッドにおいても、ギャップスペ
ーサ（９）のギャップ深さ規制側の端部の形成は上述の
実施例と同様にイオンビームエツチングにより行うこと
が出来る。

尚、第１図に示すギャップスペーサ（９）の形状がイオ
ンビームエツチング時のレジスト（１８ａ）の形状によ
り決定するのに対して、凹部（１２）の形状はイオンビ
ームエツチング時のイオンビームの入射角等により決定
する。

また、ギャップスペーサ（９）の形状としては、第１図
に示すもの以外にも第１５図（ａ　）（ｂ　）（ｃ　）
（ｄ）（ｅ）（ｆ）に示すものでもよい。

（ト）発明の効果 本発明に依れば、寿命が短くなることなしに記録再生特
性が向上した磁気ヘッドを提供し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１５図は本発明に係り、第１図はギャップ
スペーサを示す図、第２図は媒体摺接面を示す図、第３
図は第２図のＰ−Ｐ’断面図、第４図は第２図のＱ−Ｑ
’断面図、第５図、第６図、第７図及び第８図は夫々製
造方法を示す斜視図、第９図、第１０図及び第１１図は
夫々ギャップ深さによる特性の変化を示す図、第１２図
は媒体摺接面を示す図、第１３図は第１２図のＰ−Ｐ’
断面図、第１４図は第１２図のＱ−Ｑ’断面図、第１５
図はギャップスペーサを示す図である。第１６図乃至第
１８図は従来例に係り、第１６図は媒体摺接面を示す図
、第１７図は第１６図のＰ−Ｐ断面図、第１８図はギャ
ップスペーサを示す図である。 （７ａ）（７ｂ）・・・コア半体、（９）・・・ギャッ
プスペーサ、（１０）・・・作動ギャップ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁性材料よりなる一対のコア半体同士を非磁性絶
   縁材料よりなるギャップスペーサを介して衝き合わせ、
   該衝き合わせ部に作動ギャップを形成してなる磁気ヘッ
   ドにおいて、前記作動ギャップが第１のギャップ深さと
   該第１のギャップ深さより短い第２のギャップ深さとを
   有することを特徴とする磁気ヘッド。