JPH03241863A

JPH03241863A - 混成集積回路部品

Info

Publication number: JPH03241863A
Application number: JP3876890A
Authority: JP
Inventors: Minoru Takatani; 稔高谷; Nobunori Mochizuki; 望月　宣典
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1990-02-20
Filing date: 1990-02-20
Publication date: 1991-10-29
Anticipated expiration: 2015-06-05
Also published as: JP3048593B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、コイル層を含む積層受動複合体の少なくとも
一面上に、能動集積回路（チップ〉を搭載した混成集積
回路部品に関し、コイル層の１つまたは複数のコイルを
、複数のコイル導体の組合せによって構成し、複数のコ
イル導体は、各巻軸が互いの巻径面内に位置する螺旋状
で、同一の巻軸方向で見た巻方向が逆になる２つのコイ
ル導体の組合せを含み、同一方向の磁界を生じるように
互いに接続することにより、コイル導体を磁性体の内部
で連続させてコイルを形成し、コイルの占有面積を実質
的に増大させることなく、コイルの巻回数及びインダク
タンス値を増大させた高集積度、高性能の混成集積回路
部品を提供できるようにしたものである。本発明におい
て、コイルは、主として、インダクタンス分を利用する
インダクタ及び相互誘導結合を利用するトランス等を構
成するために用いられる。

〈従来の技術〉従来、混成集積回路部品は、アルミナ等の基板に厚膜配
線し、集積回路等の能動素子やコンデンサ、コイルもし
くは抵抗等の受動素子を搭載した機能ブロックとなって
いた。しかし、この従来の混成集積回路部品は、完成し
た能動素子及び受動素子を基板上に搭載する構造をとる
ため、集積度の高度化、高密度化及び小型化に限界を生
じる。

かかる従来の限界を越えた新規な混成集積回路部品とし
て、アルミナ基板等を使用することなく、複数種の受動
素子、特にコンデンサ、コイルまたは抵抗及びそのネッ
トワークを積層して集積すると共に、能動集積回路を搭
載した混成集積回路部品が提案されている。混成集積回
路部品は、典型的には、コイル、抵抗及び能動集積回路
の組合わせに係るタイプのものと、更にこれにコンデン
サを付加したタイプとがある。このような混成集積回路
部品は、高集積度、高性能及び超小型のイコライザアン
プ、ＤＣ−ＤＣコンバータ等として、極めて有用なもの
である。

この種の混成集積回路部品を構成する場合、抵抗体は平
面的な印刷手段によって容易に形成でき、コンデンサ層
は従来より周知の積層コンデンサ製造技術と同様の技術
により、比較的容易に集積化できる。しかし、コイル層
の集積化は必ずしも容易ではない。利用できる技術は限
られている。その代表的な技術は特公昭５７−３９５２
１号公報等に開示された技術である。

この従来技術は、フェライトの磁性層と、コイルとなる
導体とを交互に印刷して積層し、積層後に、焼成焼結す
る製造工程を経て得られる。積層化に当っては、約手タ
ーン分のコイル用導体膜を印刷する工程と、印刷された
導体の端部を残して、その上Ｃ磁性層を印刷する工程と
、残された端部に導通するようにして磁性層の上に残り
の半ターン分の導体を印刷する工程とを繰返して、積層
方向辷螺旋状に変位するコイル導体を形成する。積層工
程を終了した後、焼成することにより、磁性体の内部に
コイルを埋設した高密度集積のコイルが得られ、更にコ
ンデンサ層との積層化及び抵抗の印刷により、高集積度
、高性能及び超小型の混成集積回路部品が得られる。

〈発明が解決しようとする課題〉この種の混成集積回路部品は、前述したように、イコラ
イザアンプもしくはＤＣ−ＤＣコンバータ等を構成する
部品として使用されるものであり、コンデンサ容量値、
インダクタンス値、抵抗値及びそのネットワーク等を広
い範囲で選択できなければならない。コンデンサ容量値
及びそのネットワークは、積層数の選択、コンデンサ電
極片数及びその平面的な接続構造等によって、容易に広
い範囲に調整できる。抵抗に関しても同様である。

ところが、特公昭５７−３９５２１号公報等で知られた
積層化技術（よって得られるインダクタは、コイル用導
体が積層方向に連続する立体的構造となるので、そのイ
ンダクタンス値は積層回数によって定まってしまう。イ
ンダクタンス値の選択、特にインダクタンス値を増大さ
せるためには、積層回数を増大させなければならない。

このため、要求されるインダクタンス値が大きくなれば
なる程、積層数が増えて全体の厚みが増し、小型化、薄
型化の要求からｓｓｉしてしまう。

複数のコイル用導体を形成しておいて、外部で直列に接
続する構造も考えられるが、１つのコイルが占める平面
積が増大し、大型になる。

別の構造として、巻方向が同一で、しかも同一方向に変
位する複数の螺旋状コイル導体を磁性体中に併設した構
造も提案されている。しかし、かかる構造においては、
複数あるコイル導体のそれぞれの始端と終端が同一方向
に配置される。例えば各コイル導体の始端が磁性体の下
部に位置しているとすると、終端は磁性体の上部に位置
する。

従って、同一方向の磁界を発生させるためのコイル導体
の接続に当って、磁性体の上部にある一方のコイル導体
の終端を、反対側の下部にある他方のコイル導体の始端
側に導かなければならない。

このような接続構造を、磁性体の内部で実現することは
不可能である。各コイル導体の始端及び終端を磁性体の
外部に引出して、外部端子等により接続するほかはない
。このため、各コイル導体の接続構造が複雑になると共
に、製造工程数が多くなる。コイル特性から見ても好ま
しいものではない。

そこで、本発明の課題は上述する従来の問題点を解決し
、複数あるコイル導体を磁性体の内部で連続させてコイ
ルを形成し、コイルの占有面積を実質的に増大させるこ
となく、コイルの巻回数及びインダクタンス値を増大さ
せた高集積度、高性能の混成集積回路部品を提供するこ
とである。

く課題を解決するための手段〉上述する課題解決のため、本発明は、コイル層を含む積
層受動複合体と、前記積層受動複合体の上に搭載された
能動集積回路とを有する混成集積回路部品であって、前記コイル層は、磁性体中に埋設された一つまたは複数
のコイルを有しており、前記コイルの少なくとも１つは、複数のコイル導体を含
み、前記複数のコイル導体は、巻軸方向に変位する螺旋状で
あって各巻軸が互いの巻径面内に位置するように配置さ
れており、同一の巻軸方向で見た巻方向が互いに逆にな
る２つのコイル導体の組合せを含み、同一方向の磁界を
生じるように互いに接続されていることを特徴とする。

〈作用〉コイルを構成する複数のコイル導体は、同一方向の磁界
を生じるように、互いに接続されているので、１つのコ
イルとして見た巻回数が、複数のコイル導体の各巻回数
の和となる。コイルのインダクタンス値Ｌ　（Ｈ）は、
一般に、Ｌ＝４πμ。・　（Ａ／ｊ２）　　・Ｎ”Ｘｌ０−’た
だし、Ａはコイル導体巻回部の断面積（ｍ２）Ａは磁路長（ｍ
） μ。は実効透磁率（Ｗｂ　／Ａ−ｍ）Ｎは巻回数となる。前述したように、本発明においては、１つのコ
イルとして見た巻回数が、複数のコイル導体の巻回数和
となるので、極めて大きなインダクタンス値りを得るこ
とができる。

コイル導体は、巻軸方向定変位する螺旋状であって、各
巻軸が互いの巻径面内に位置するように配置されている
から、実質的に同一位置で積層した構造となる。このた
め、占有面積が小さくなり、小型でありながら、インダ
クタンス値の大きなコイルを有する混成集積回路部品が
得られる。

複数のコイル導体は、同一の巻軸方向で見た巻方向が互
いに逆になる２つのコイル導体の組合せを含んでいるか
ら、この組合せに係る２つのコイル導体において、一方
のコイル導体の終端部と他方のコイル導体の始端部を接
続することにより、電流が巻軸のまわりで同一方向に流
れ、同一方向の磁界を発生するコイルを得ることができ
る。

方のコイル導体の終端部と他方のコイル導体の始端部は
、磁性体の内部で同一方向に位置するので、磁性体の内
部で連続させることが極めて容易になる。

〈実施例〉第１図は本発明に係る混成集積回路部品の１例を示す平
面図、第２図はその積層構造を示す断面図である。図に
おいて、１はコンデンサ層、２はコイル層、３０１〜３
１２は端子電極、４はチップ化された能動集積回路、８
は抵抗体である。コンデンサ層１、コイル層２及び抵抗
体８は積層受動複合体を構成している。

コンデンサ層１は、誘電体磁器１００の内部にコンデン
サネットワーク１０１〜１０３を埋設した構造となって
いる。コンデンサネットワーク１０１〜１０３は、誘電
体磁器層を介して電極を対向させて形成されたコンデン
サを、所要のコンデンサ回路を構成するように接続する
ことによって構成されている。コンデンサネットワーク
１０１〜１０３の回路構成は、用途に応じて任意に選択
される。これらのコンデンサネットワーク１０１〜１０
３は端子電極３０１〜３１２の何れかに接続されて外部
に引出される。

コイル層２は、コンデンサ層１と連続積層して一体焼成
し、もしくは接着等の手段によって一体化した状態で積
層されている。′ｆＳ２図の例ではコンデンサ層１の片
面にコイル層２を積層した構造となっているが、第３図
に示すように、コンデンサ層１の両面側に積層した構造
を取ることも可能である。図示はされていないけれども
、コイル層２の両面側にコンデンサ層１を積層してもよ
い。

コイル層２はフェライト等の磁性体２０の内部にコイル
２１〜２４を埋設した構造となっている。

コイル２１〜２４の巻回数及び個数は要求される回路構
成に応じて任意に選定され、インダクタまたはトランス
として使用される。

能動集積回路４は、トランジスタ回路等を内蔵するチッ
プとなっていて、コンデンサ層１の表面側に搭載されて
いる。４１はチップ本体、４２はリード導体である。リ
ード導体４２はコンデンサ層１の表面に形成された導体
パターン７１．７２（第２図参照）に半田付けされ、コ
ンデンサやコイルとともに、所定の回路を構成するよう
心接続されている。能動集積回路４は、図示では一面側
Ｃのみ設けられているが、両面側に設けてもよい。

抵抗体８は、コイル層２の少なくとも一面上に印刷等の
手段によって形成されている。９１〜９３は抵抗体８の
ための導体パターン、１０はクロスオーバ絶縁層、１１
は絶縁被覆層である。絶縁層１０及び絶縁被覆層１１は
ガラスによって構成されている。

第２図の例ではコンデンサ層１の片面にコイル層２を積
層した構造となっているが、第３因に示すように、コン
デンサ層１の両面側に積層した構造を取ることも可能で
ある。図示はされていないけれども、コイル層２の両面
側にコンデンサ層１を積層してもよい。これらの場合も
、能動集積回路４及び抵抗体８は積層体の両面または片
面側に設けることができる。第３図の実施例では、積層
体の両面に能動集積回路４を搭載した例を示している。

第４図及び第５図はコイル２１〜２４の少なくとも１つ
が備えるべき構造を、モデル化して示す図である。第４
図の実施例では、コイル２１〜２４の少なくとも１つは
、２つのコイル導体２０１．２０２を有している。２０
３は接続部、２０４．２０５は端子部である。

コイル導体２０１，２０２は、巻軸方向Ｏに変位する螺
旋状となっていて、各巻軸が互いの巻径面内に位置する
ように配置されている。

また、コイル導体２０１の巻方向ａ１とコイル導体２０
２の巻方向す、とは、同一の巻軸方向Ｏで見て、互いに
逆になっている。即ち、巻軸方向Ｏで見て、コイル導体
２０１の巻方向ａｌは左まわりであり、コイル導体２０
２の巻方向ｂ１は右まわりである。

コイル導体２０１．２０２は、コイル電流Ｃより同一方
向の磁界を生じるように、接続部２０３によって互いに
接続されている。接続の具体例として、図示では、コイ
ル導体２０１の終端部と、コイル導体２０２の始端部を
接続部２０３によって互いに接続しである。コイル導体
２０１の巻方向ａ、とコイル導体２０２の巻方向ｂｌ　
とは、同一の巻軸方向Ｏで見て、互いに逆になっている
ので、コイル導体２０１の終端部と、コイル導体２０２
の始端部を接続部２０３によって互いに接続した場合、
コイル導体２０１．２０２により、電流方向が同一のコ
イルが形成される。端子部２０４．２０５は、第１図及
び第２図の端子電極３０１〜３１２の何れかに接続され
る。

コイル導体２０１．２０２社を流を流した場合、電流が
巻軸のまわりに同一方向に流れ、同一方向の磁界を生じ
る。従って、コイルのインダクタンス値Ｌ　（Ｈ）は、
コイル導体２０１．２０２の巻回数ｎｌ、ｎ２をほぼ同
じとすれば、コイル導体が１つだけの場合のほぼ４倍と
なる。

コイル導体２０１．２０２は、巻軸方向Ｏに変位する螺
旋状であって、各巻軸が互いの壱径面内に位置するよう
に配置されているから、実質的に同一位置で螺旋状に巻
回した構造となる。このため、占有面積が小さくなり、
小型になる。

コイル導体２０１．２０２は、同一の巻軸方向０で見た
巻方向ａｔ、ｂ＋が互いに逆になっている。コイル導体
２０１の終端部と、コイル導体２０２の始端部とが同じ
方向に位置し、この位置で接続部２０３により接続され
ている。従って、磁性体２０の内部で互いに接続でき、
磁性体２０の外部に導出する必要がない。このため、コ
イル導体２０１．２０２の接続構造が簡単化されるとと
もに、接続処理が極めて容易になる。

コイル導体２０１．２０２の間に介在する磁性層の厚み
を薄くすれば、実質的に厚みを増大させることなく、イ
ンダクタンス値の大きなコイルを有する混成集積回路部
品が得られる。

次に、第５図は３つのコイル導体２００．２０１．２０
２を備える場合を示している。コイル導体、２００，２
０１．２０２は、巻軸方向Ｏに変位する１！！！旋状で
あって、各巻軸が互いの巻径面内に位置するように配置
されている。

同一の巻軸方向０で見て、コイル導体２００の巻方向ａ
０とコイル導体２０１の巻方向す、は互いに逆であり、
コイル導体２０１の巻方向す、とコイル導体２０２の巻
方向ａ１は互いに逆になっている。

これらのコイル導体２００，２０１．２０２は、コイル
電流により同一方向の磁界を生じるように、コイル導体
２００の終端部とコイル導体２０１の始端部とを接続部
２０３ｅよって接続すると共に、コイル導体２０１の終
端部とコイル導体２０２の始端部とを接続部２０３によ
って接続しである。

コイルのインダクタンス値Ｌ　（Ｈ）は、コイル導体２
００．２０１．２０２の巻回数ｎｏ、ｎｌ、ｎ２の和の
２乗にほぼ比例するから、第４図の実施例よりも更に大
きなインダクタンス値を確保できる。

しかも、コイル導体２０１．２０２は、第４図の実施例
と同様に、巻軸方向に変位する螺旋状であって、各巻軸
が互いの巻径面内に位置するように配置されているから
、実質的に同一位置で螺旋状に巻回した構造となる。こ
のため、小型でありながら、インダクタンス値の大きな
混成集積回路部品が得られる。

また、同一の巻軸方向０で見て、コイル導体２００の巻
方向ａ０とコイル導体２０１の巻方向ｂ１は互いに逆で
あり、コイル導体２０１の巻方向す、とコイル導体２０
２の巻方向ａ１は互いに逆になっているから、コイル導
体２００の終端部とコイル導体２０１の始端部、及び、
コイル導体２０１の終端部とコイル導体２０２の始端部
が同一方向に現われる。従って、コイル導体２００゜２
０１．２０２を、同一方向の磁界が発生するように接続
する場合、各接続部２０３を磁性体２０内に配置して接
続できる。

第４図及び第５図の教示するところに従い、更に多数の
コイル導体の組合せを実現できることは当業者にとって
自明であるので、その図示は省略する。

次に、製造工程を考慮した具体例について、第６図を参
照して説明する。第６図の実施例は、第４図に対応する
具体例であって、コイル２１〜２４のそれぞれは、２つ
のコイル導体（２１１，２１２）〜（２４１，２４２）
を有している。コイル導体２１１，２１２について述べ
ると、コイル導体２１１とコイル導体２１２は、巻軸方
向０２１に変位する螺旋状であって、各巻軸が互いの巻
径面内に位置するように配置されている。また、コイル
導体２１１の巻方向ａ、とコイル導体２１２の巻方向ｂ
１とは、巻軸方向０２１で見て、互いに逆になっている
。

コイル導体２１１．２１２は、同一方向の磁界を生じる
ように、接続部２１３によって互いに接続されている。

２１４．２１５は端子部であり、第１図及び第２図の端
子電極３０１〜３１２の何れかにに接続される。図示と
は逆に端子部２１４．２１５を互いに接続し、接続部２
１３によって接続されている部分を切離して端子部とす
ることもできる。更には、接続部２１３を始端として、
別のコイル導体を積み重ねた構造とすることもできる。

実施例では、他のコイル２２〜２４も、基本的には、コ
イル２１と同様であって、２つのコイル導体（２２１，
２２２）〜（２４１，２４２）の組合せとし、コイル導
体（２２１，２２２）〜（２４１，２４２）を、巻方向
（ａ２とｂ２）。

（ａ、とｂ３）、（ａ４とｂ４）が互いに逆になり、各
巻軸が互いの巻径面内に位置するように配置し、しかも
、同一方向の磁界を生しるように互いに接続しである。

コイル２３．２４では端子２５が共有されているが、第
７図に示すように独立させてもよい。また、コイル２１
〜２４の幾つかは単一のコイル導体によって構成するこ
ともできる。

コイル２１〜２４のうち、コイル２１に注目してみると
、コイル２１を構成する２つのコイル導体２１１．２１
２は、同一方向の磁界を生じるように、互いに接続され
ている。従って、コイルの巻回数Ｎは２つのコイル導体
２１１．２１２の巻回数ｎｌ、ｎ２の和（ｒｚ＋ｎ２）
となる。コイルのインダクタンス値Ｌ　（Ｈ）は、前述
したように、巻回数Ｎの２乗に比例する。このため、極
めて大きなインダクタンス値りを得ることができる。

しかも、２つのコイル導体２１１．２１２は、巻軸方向
に変位する螺旋状であって、各巻軸が互いの巻径面内に
位置するように配置されているから、実質的に同一位置
で螺旋状に巻回した構造となる。このため、占有面積が
小さくなり、小型、かつ、薄型でありながら、インダク
タンス値の大きなコイルを有する混成集積回路部品が得
られる。

コイル導体２１１．２１２は、同一の巻軸方向０２１で
見た巻方向ａｌ、ｌ）Ｉが互いに逆になっていて、コイ
ル導体２１１の終端部と、コイル導体２１２の始端部と
が同じ方向に位置し、この位置で接続部２１３により接
続されている。従って、磁性体２０の内部で互いに接続
でき、コイル導体２１１．２１２の接続構造が簡単化さ
れるとともに、接続処理が極めて容易になる。

他のコイル２２〜２４でも同様である。図示は省略する
が、第６図の実施例を発展させて、第５図に示したよう
な、より多数のコイル導体を含む構造のものも、容易に
実現できる。

次に、第８図〜第２２図は本発明に係る混成集積回路部
品のうち、コイル層２の製造工程を示す図である。この
実施例では、特公昭５７−３９５２１号公報等で知られ
た積層化技術による製造工程を説明するが、フォトリソ
グラフィと称される高精度パターン形成技術やスパッタ
リング、蒸着、メツキ等の膜形成技術によっても形成で
きる。フォトリソグラフィＣよる高精度パターン形成技
術やスパッタリング、蒸着、メツキ等の膜形成技術を用
いた場合には、より多層で微細なコイル導体パターンを
有するコイルを形成することができる。

まず、′ｓ８図に示すように、基板４の上に間隔を隔て
て磁性層５０１．５０２を条状に印刷する。磁性層５０
１．５０２はフェライト粉末とバインダと溶媒とを混合
した磁性ペーストを、スクリーン印刷法によって所定の
パターンとなるように印刷して形成する。

次に、第９図に示すように、磁性層５０１．５０２の上
に、コイル導体となる導体２１２．２２２．２３１．２
４１を形成する。これらの導体は導電ペーストのスクリ
ーン印刷することによって形成できる。

次に、第１０図に示すように、導体２１２．２２２．２
３１．２４１の端部を残し、磁性層５０１−５０２間の
間隔を覆うように、磁性層５０３〜５０５を形成する。

次に、第１１図に示すように、磁性層５０４の上に、導
体２１２．２２２．２３１．２４１の露出している端部
に連続するように、コイル導体となる他の導体２１２．
２２２．２３１．２４１を印刷すると共に、磁性層５０
３の上に導体２１１．２２１を、また、磁性層５０５の
上に導体２５を印刷する。

次に、′ｓ１２図に示すように、磁性層５０３〜５０５
の相互間に形成されている間隔を埋めるように、磁性層
５０６．５０７を印刷する。

次に、第１３図に示すように、磁性層５０３及び磁性層
５０６の上に、既に形成されている導体２１１．２２１
と連続するように、導体２１１．２２１を形成すると共
に、磁性層５０４及び磁性層５０６の上に、既に形成さ
れている導体２１２．２２２と連続するように、導体２
１２．２２２を形成し、更に、磁性層５０４．５０７の
上に、既に磁性層５０４１．：形成されている導体２３
１．２４１に連続するように、導体２３１．２４１を形
成する。また、磁性層５０５及び磁性層５０７の上に、
既に磁性層５０５に形成されている導体２５と連続する
ように、導体２３２．２４２を形成する。導体２１１と
導体２１２、導体２２１と導体２２２、導体２３１と導
体２３２及び導体２４１と導体２４２は、互いに逆向き
となるように形成する。

この後も、第１４図〜第２１図に示すように、上述のコ
イル導体となる導体（２１１，２１２）〜（２４１，２
４２〉を連続させる印刷工程及び磁性層の印刷工程を、
必要とする巻回数に応じて繰返す、第１４図〜第２１図
において、５０８〜５１７は磁性層を示している。

そして、第２２図に示すように、所要の巻回数を有して
コイル状に形成された導体（２１１と２１２）、（２２
１と２２２）、（２３１と２３２）、（２４１と２４２
）の終端及び始端部間を、接続部２１３．２２３．２３
３．２４３で導通接続することにより、第６図に示した
コイルが得られる。

〈発明の効果〉以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。

（ａ）コイルを構成する複数のコイル導体は、同一方向
の磁界を生じるように、互いに接続されているので、１
つのコイルとして見た巻回数が、複数のコイル導体の巻
回敷料となり、極めて大きなインダクタンス値を持つコ
イルを有する混成集積回路部品を提供できる。

（ｂ）複数のコイル導体は、巻軸方向に変位する螺旋状
であって、各巻軸が互いの巻径面内に位置するように配
置されているから、占有面積が小さく、小型で、インダ
クタンス値の大きなコイルを有する混成集積回路部品を
提供できる。

（ｃ）複数のコイル導体は、同一の巻軸方向で見た巻方
向が互いに逆になる２つのコイル導体の組合せを含んで
いるから、同一方向の磁界を発生させるための接続にお
いて、一方のコイル導体の終端部と他方のコイル導体の
始端部は、磁性体の内部で同一方向となり、磁性体の内
部で連続させることが極めて容易で、特性の良好なコイ
ルを有する混成集積回路部品を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る混成集積回路部品の１例を示す平
面図、第２図はその積層構造を示す断面図、第３図は本
発明に係る混成集積回路部品の別の実施例における積層
構造を示す断面図、第４図はコイル層の透視図、第５図
は同じく別の実施例における透視図、第６図及び第７図
は更に具体的な実施例における透視図、第８図〜第２２
図は本発明に係る混成集積回路部品の製造工程の１例を
示す図である。１・・・コンデンサ層２・・・コイル層４・・・能動集積回路２１〜２４・・・コイル２１１．２１２・・・コイル導体２２１．２２２・・・コイル導体２３１．２３２・・・コイル導体２４１．２４２・・・コイル導体

Claims

【特許請求の範囲】

（１）コイル層を含む積層受動複合体と、前記積層受動
複合体の上に搭載された能動集積回路とを有する混成集
積回路部品であって、前記コイル層は、磁性体中に埋設された一つまたは複数
のコイルを有しており、前記コイルの少なくとも１つは、複数のコイル導体を含
み、前記複数のコイル導体は、巻軸方向に変位する螺旋状で
あって各巻軸が互いの巻径面内に位置するように配置さ
れており、同一の巻軸方向で見た巻方向が互いに逆にな
る２つのコイル導体の組合せを含み、同一方向の磁界を
生じるように互いに接続されていることを特徴とする混成集積回路部品。
（２）前記積層受動複合体は、前記少なくとも一面に抵
抗体を有していることを特徴とする請求項１に記載の混成集積回路部品。
（３）前記積層受動複合体は、前記コイル層の上に積層
されたコンデンサ層を含むことを特徴とする請求項１ま
たは２に記載の混成集積回路部品。