JPH03239810A - 静圧軸受パッド - Google Patents
静圧軸受パッドInfo
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- JPH03239810A JPH03239810A JP3480990A JP3480990A JPH03239810A JP H03239810 A JPH03239810 A JP H03239810A JP 3480990 A JP3480990 A JP 3480990A JP 3480990 A JP3480990 A JP 3480990A JP H03239810 A JPH03239810 A JP H03239810A
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 title 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、工作機械や精密機械、超精密機械等に用いら
れる多孔質形の気体軸受である静圧軸受パッドの改良に
関する。
れる多孔質形の気体軸受である静圧軸受パッドの改良に
関する。
従来の静圧軸受パッドとしては、例えば第８図ないし第
１１図に示すようなものがある。これは、本体１に設け
た凹所２に配設した多孔質部材３を本体１に取付け、そ
の本体１と多孔質部材３との間に設けた給気キャビティ
４に給気した気体を多孔質部材３に設けた軸受面５から
噴出させて、受面６との間の軸受すきまＳに供給するも
のである。
１１図に示すようなものがある。これは、本体１に設け
た凹所２に配設した多孔質部材３を本体１に取付け、そ
の本体１と多孔質部材３との間に設けた給気キャビティ
４に給気した気体を多孔質部材３に設けた軸受面５から
噴出させて、受面６との間の軸受すきまＳに供給するも
のである。
上記従来例のうち第８図、９図に示す第１の従来例のも
のは、本体１が角形部材ＩＡと、角形板の中心に段付き
の貫通孔８を設けた環状部材ＩＢとに分割されており、
その貫通孔８に外周に段面１０を有する多孔質部材３を
嵌合し、両部材ＩＡ。
のは、本体１が角形部材ＩＡと、角形板の中心に段付き
の貫通孔８を設けた環状部材ＩＢとに分割されており、
その貫通孔８に外周に段面１０を有する多孔質部材３を
嵌合し、両部材ＩＡ。
１Ｂをねじ９で一体に結合して形成される。
また、第１０図、１１図に示す第２の従来例のものは、
本体ｌが中心部に円形の凹所２を有しその内周面に雌ね
じ９を設けた角形部材ＩＡと、外周に雄ねじを有する環
状部材ＩＢとに分割されており、角形部材ＩＡの凹所２
に多孔質部材３を配設し、その後環状部材ＩＢを角形部
材ＩＡの雌ねじ９に螺合することにより一体に結合して
形成される。
本体ｌが中心部に円形の凹所２を有しその内周面に雌ね
じ９を設けた角形部材ＩＡと、外周に雄ねじを有する環
状部材ＩＢとに分割されており、角形部材ＩＡの凹所２
に多孔質部材３を配設し、その後環状部材ＩＢを角形部
材ＩＡの雌ねじ９に螺合することにより一体に結合して
形成される。
第１２図は上記従来例の場合の、軸受すきまＳにおける
噴出気体の圧力分布を示したもので、円形の軸受面５の
中心部が極大で、外周方向に向かって減少する凸曲・面
状になっている。
噴出気体の圧力分布を示したもので、円形の軸受面５の
中心部が極大で、外周方向に向かって減少する凸曲・面
状になっている。
しかしながら、上記従来の静圧軸受パッドにあっては、
多孔質部材３の段面１０を支持する環状部材ＩＢを角形
部材ＩＡに固定している。そのため、多孔質部材３の気
体噴出面積が縮小されてしまい、負荷容量や軸受剛性等
の軸受性能が低下するという問題点がある。
多孔質部材３の段面１０を支持する環状部材ＩＢを角形
部材ＩＡに固定している。そのため、多孔質部材３の気
体噴出面積が縮小されてしまい、負荷容量や軸受剛性等
の軸受性能が低下するという問題点がある。
そこで本発明は、多孔質部材の軸受面における気体噴出
面積を大きくとることによって、上記従来の問題点を解
決することを目的としている。
面積を大きくとることによって、上記従来の問題点を解
決することを目的としている。
上記目的を遠戚するため、本出願の発明は、本体に設け
た凹所に配設した多孔質部材を本体に取付け、該本体と
多孔質部材との間に設けた給気キャビティに給気した気
体が多孔質部材に設けた軸受面から噴出する静圧軸受パ
ッドにおいて、前記軸受面の中央部に設けた凹状の座ぐ
りと該座ぐりに設けた貫通孔とに配設したボルトが本体
に設けたねしに螺合して多孔質部材を本体に取付けたこ
とを特徴とする。
た凹所に配設した多孔質部材を本体に取付け、該本体と
多孔質部材との間に設けた給気キャビティに給気した気
体が多孔質部材に設けた軸受面から噴出する静圧軸受パ
ッドにおいて、前記軸受面の中央部に設けた凹状の座ぐ
りと該座ぐりに設けた貫通孔とに配設したボルトが本体
に設けたねしに螺合して多孔質部材を本体に取付けたこ
とを特徴とする。
また、本出願の他の発明は、本体に設けた凹所に配設し
た多孔質部材を本体に取付け、該本体と多孔質部材との
間に設けた給気キャビティに給気した気体が多孔質部材
に設けた軸受面から噴出する静圧軸受パッドにおいて、
前記軸受面の中央部に設けた凹状の座ぐりに一方の端部
が閉じた袋状のナツトを配設し、該ナツトが本体に設け
た貫通孔と多孔質部材に設けた貫通孔とを通るボルトに
螺合して多孔質部材を本体に取付けたことを特徴とする
。
た多孔質部材を本体に取付け、該本体と多孔質部材との
間に設けた給気キャビティに給気した気体が多孔質部材
に設けた軸受面から噴出する静圧軸受パッドにおいて、
前記軸受面の中央部に設けた凹状の座ぐりに一方の端部
が閉じた袋状のナツトを配設し、該ナツトが本体に設け
た貫通孔と多孔質部材に設けた貫通孔とを通るボルトに
螺合して多孔質部材を本体に取付けたことを特徴とする
。
多孔質部材の中心部をねじで固定するので、従来の多孔
質部材の外周部を環状に押さえて固定するものより気体
噴出面積を大きくとることができ、負荷容量や軸受剛性
等の軸受性能が向上する。
質部材の外周部を環状に押さえて固定するものより気体
噴出面積を大きくとることができ、負荷容量や軸受剛性
等の軸受性能が向上する。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図、第２図はそれぞれ本発明の第１の実施例の平面
図及び断面図である。直動案内用の静圧軸受パッドの本
体１１は外形が角形で、その正方形の表面１１Ａに円形
の凹所１２を有している。
図及び断面図である。直動案内用の静圧軸受パッドの本
体１１は外形が角形で、その正方形の表面１１Ａに円形
の凹所１２を有している。
円形の凹所１２は、正方形の表面１１Ａの一辺よりやや
短い寸法の直径とする。凹所１２の底面１２Ａの中心に
は、本体１１の裏面１１Ｂに貫通するねじ孔２０が設け
られており、また底面１２Ａの外周寄りの位置には給気
継手取付は用の雌−ねじ２１を備えた給気路２２が設け
られている。
短い寸法の直径とする。凹所１２の底面１２Ａの中心に
は、本体１１の裏面１１Ｂに貫通するねじ孔２０が設け
られており、また底面１２Ａの外周寄りの位置には給気
継手取付は用の雌−ねじ２１を備えた給気路２２が設け
られている。
上記の本体１１の凹所１２内に、円形の多孔質部材１３
が嵌合されている。この多孔質部材１３の裏面１３Ｂに
は、本体１１の給気路２２に連通する円環状の凹溝から
なる給気キャビティ１４が形成されている。もっとも給
気キャビティ１４は、多孔質部材１３に設ける代わりに
本体１１に設けてもよく、要は本体１１と多孔質部材１
３との間に設ければよい。
が嵌合されている。この多孔質部材１３の裏面１３Ｂに
は、本体１１の給気路２２に連通する円環状の凹溝から
なる給気キャビティ１４が形成されている。もっとも給
気キャビティ１４は、多孔質部材１３に設ける代わりに
本体１１に設けてもよく、要は本体１１と多孔質部材１
３との間に設ければよい。
多孔質部材１３の表面は軸受面１５とされ、その軸受面
１５の中央部には凹状の座ぐり２３が設けられている。
１５の中央部には凹状の座ぐり２３が設けられている。
その座ぐり２３の底面の中心には、多孔質部材１３の裏
面１３Ｂに抜けて本体１１のめねじ２０に連通する貫通
孔２４が設けられている。
面１３Ｂに抜けて本体１１のめねじ２０に連通する貫通
孔２４が設けられている。
上記座ぐり２３と貫通孔２４とに配設した固定部材とし
てのボルト２５を本体１１に設けためねじ２０に螺合し
て、多孔質部材１３が本体１１に固定されている。
てのボルト２５を本体１１に設けためねじ２０に螺合し
て、多孔質部材１３が本体１１に固定されている。
固定部材としてのボルト２５は、第３図、第４図に示す
ように、その頭部２５Ａの高さが座ぐり２３の深さより
大きくて頂面にスリワリまたは十字穴等の締付は用の凹
部２６を有するものが使用される。しかして、その凹部
２６を利用してドライバ等を用いて締付けた後、頭部２
５Ａのはみ出し部分を切削加工して凹部２６を除去する
。その後更に、頭部２５Ａの切削面を研削加工して多孔
質部材１３の軸受面１５と面一に仕上げる。軸受面１５
に四部があると静圧軸受パッドに自動振動が発生しやす
い。したがって、締付は用の凹部２６の切削加工による
除去が必要である。
ように、その頭部２５Ａの高さが座ぐり２３の深さより
大きくて頂面にスリワリまたは十字穴等の締付は用の凹
部２６を有するものが使用される。しかして、その凹部
２６を利用してドライバ等を用いて締付けた後、頭部２
５Ａのはみ出し部分を切削加工して凹部２６を除去する
。その後更に、頭部２５Ａの切削面を研削加工して多孔
質部材１３の軸受面１５と面一に仕上げる。軸受面１５
に四部があると静圧軸受パッドに自動振動が発生しやす
い。したがって、締付は用の凹部２６の切削加工による
除去が必要である。
次に、作用を述べる。
本体１１の給気路２２から給気キャビティ１４に供給さ
れた圧力気体Ｐａは、多孔質部材１３を通って軸受面１
５から軸受すきまＳ内に噴出する。
れた圧力気体Ｐａは、多孔質部材１３を通って軸受面１
５から軸受すきまＳ内に噴出する。
この場合の気体噴出面積は、多孔質部材１３の中心部の
ボルト２５の部分を除く軸受面１５の面積であり、従来
の多孔質部材の外周部の段面を環状に押さえて固定する
場合より気体噴出面積が大きい。したがって、負荷容量
や軸受剛性等の軸受性能が向上する。
ボルト２５の部分を除く軸受面１５の面積であり、従来
の多孔質部材の外周部の段面を環状に押さえて固定する
場合より気体噴出面積が大きい。したがって、負荷容量
や軸受剛性等の軸受性能が向上する。
また、多孔質部材１３を固定するのは従来と異なり１本
の小さなボルト２５のみであり、コストが低減される。
の小さなボルト２５のみであり、コストが低減される。
第５図は軸受すきまＳにおける圧力分布の測定の結果を
従来（第１２図参照）と比較して示したものであり、実
線が本実施例のもの、鎖線が従来のものを表している。
従来（第１２図参照）と比較して示したものであり、実
線が本実施例のもの、鎖線が従来のものを表している。
本実施例の場合、ボルト２５のある中心部からの気体の
噴出は無い。しかしボルト２５を取り囲んで周囲の軸受
面１５から均一に噴出するため、ボルト２５のある中心
部は圧力溜まりとなり高圧に保たれる。その結果、本実
施例と従来との中心部における圧力差ΔＰはほんの僅か
になる。一方、多孔質部材１３の外周部が軸受面１５と
なるので気体噴出面積が増し、軸受面１５の周縁部に近
い程従来より圧力が高くなっており、軸受性能が向上す
る。
噴出は無い。しかしボルト２５を取り囲んで周囲の軸受
面１５から均一に噴出するため、ボルト２５のある中心
部は圧力溜まりとなり高圧に保たれる。その結果、本実
施例と従来との中心部における圧力差ΔＰはほんの僅か
になる。一方、多孔質部材１３の外周部が軸受面１５と
なるので気体噴出面積が増し、軸受面１５の周縁部に近
い程従来より圧力が高くなっており、軸受性能が向上す
る。
第６図、第７図に第２の実施例を示す。
この実施例は、多孔質部材１３の軸受面１５の中央部に
設けた凹状の座ぐり２３に、一方の端部が閉じた袋状の
ナツト３０を配設し、その座ぐり２３の底面から多孔質
部材１３の裏面１３Ｂに抜けるねじ挿通孔としての貫通
孔３Ｉを設けている。
設けた凹状の座ぐり２３に、一方の端部が閉じた袋状の
ナツト３０を配設し、その座ぐり２３の底面から多孔質
部材１３の裏面１３Ｂに抜けるねじ挿通孔としての貫通
孔３Ｉを設けている。
一方、本体１１の中心部には、裏面１１Ｂに凹状の座ぐ
り３２を有するねじ挿通孔としての貫通孔３３を設けて
いる。そして、上記ナラ）３０が本体１１に設けた貫通
孔３３と多孔質部材１３に設けた貫通孔３１とを通るボ
ルト３５に螺合して、多孔質部材１３を本体１１に取付
けている。
り３２を有するねじ挿通孔としての貫通孔３３を設けて
いる。そして、上記ナラ）３０が本体１１に設けた貫通
孔３３と多孔質部材１３に設けた貫通孔３１とを通るボ
ルト３５に螺合して、多孔質部材１３を本体１１に取付
けている。
なお、上記ナツト３０は接着剤で多孔質部材１３に固定
しても良い。
しても良い。
また、接着剤を使用しなくても、ナツト３０と多孔質部
材１３との摩擦抵抗のためにボルト３５とナツト３０と
の締め付けは可能である。
材１３との摩擦抵抗のためにボルト３５とナツト３０と
の締め付けは可能である。
この第２の実施例によると、ナツト３０と多孔質部材１
３とを同一平面に近くできるので、組立後にナツト３０
と多孔質部材１３との切削加工及び研削加工はしなくて
もよい。
３とを同一平面に近くできるので、組立後にナツト３０
と多孔質部材１３との切削加工及び研削加工はしなくて
もよい。
以上説明したように、本発明によれば、静圧軸受パッド
の多孔質部材の中央部に挿通したボルトを締め付けて多
孔質部材を本体に取付けるものとしたため、軸受面の中
央部での圧力減少が少なく、また多孔質部材の外周部が
軸受面となって気体噴出面積が従来の静圧軸受パッドよ
り拡大されて負荷容量や軸受剛性等の軸受性能が向上す
る。また、ボルト及びナツトは従来の環状部材より小型
化されるので低コストであるという効果が得られる。
の多孔質部材の中央部に挿通したボルトを締め付けて多
孔質部材を本体に取付けるものとしたため、軸受面の中
央部での圧力減少が少なく、また多孔質部材の外周部が
軸受面となって気体噴出面積が従来の静圧軸受パッドよ
り拡大されて負荷容量や軸受剛性等の軸受性能が向上す
る。また、ボルト及びナツトは従来の環状部材より小型
化されるので低コストであるという効果が得られる。
第１図ないし第４図は本発明の第１の実施例を示し、第
１図は完成品の平面図、第２図は完成品の縦断面図、第
３図は中間品の平面図、第４図は中間品の縦断面図、第
５図は従来と比較した圧力分布図、第６図は本発明の第
２の実施例の平面図、第７図は同縦断面図、第８図は静
圧軸受パッドの第１の従来例の平面図、第９図は第８図
のＩＸ−ＩＸ線断面図、第１０図は第２の従来例の平面
図、第１１図は同縦断面図、第１２図は従来の静圧軸受
バンドの圧力分布図である。 １．１１は本体、２．１２は凹所、３．１３は多孔質部
材、４，１４は給気キャビティ、５．１５は軸受面、２
０はめねし、２３は座ぐり、２４゜３１．３３は貫通孔
、２５．３５はボルト、３０はナツト。
１図は完成品の平面図、第２図は完成品の縦断面図、第
３図は中間品の平面図、第４図は中間品の縦断面図、第
５図は従来と比較した圧力分布図、第６図は本発明の第
２の実施例の平面図、第７図は同縦断面図、第８図は静
圧軸受パッドの第１の従来例の平面図、第９図は第８図
のＩＸ−ＩＸ線断面図、第１０図は第２の従来例の平面
図、第１１図は同縦断面図、第１２図は従来の静圧軸受
バンドの圧力分布図である。 １．１１は本体、２．１２は凹所、３．１３は多孔質部
材、４，１４は給気キャビティ、５．１５は軸受面、２
０はめねし、２３は座ぐり、２４゜３１．３３は貫通孔
、２５．３５はボルト、３０はナツト。
Claims (2)
- （１）本体に設けた凹所に配設した多孔質部材を本体に
取付け、該本体と多孔質部材との間に設けた給気キャビ
ティに給気した気体が多孔質部材に設けた軸受面から噴
出する静圧軸受パッドにおいて、前記軸受面の中央部に
設けた凹状の座ぐりと該座ぐりに設けた貫通孔とに配設
したボルトが本体に設けたねじに螺合して多孔質部材を
本体に取付けたことを特徴とする静圧軸受パッド。 - （２）本体に設けた凹所に配設した多孔質部材を本体に
取付け、該本体と多孔質部材との間に設けた給気キャビ
ティに給気した気体が多孔質部材に設けた軸受面から噴
出する静圧軸受パッドにおいて、前記軸受面の中央部に
設けた凹状の座ぐりに一方の端部が閉じた袋状のナット
を配設し、該ナットが本体に設けた貫通孔と多孔質部材
に設けた貫通孔とを通るボルトに螺合して多孔質部材を
本体に取付けたことを特徴とする静圧軸受パッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3480990A JP2811867B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 静圧軸受パッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3480990A JP2811867B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 静圧軸受パッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03239810A true JPH03239810A (ja) | 1991-10-25 |
| JP2811867B2 JP2811867B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=12424545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3480990A Expired - Lifetime JP2811867B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 静圧軸受パッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2811867B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007315611A (ja) * | 2007-09-06 | 2007-12-06 | Nsk Ltd | スラスト静圧軸受パッド |
| WO2022209685A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本精工株式会社 | 気体軸受パッド |
-
1990
- 1990-02-15 JP JP3480990A patent/JP2811867B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007315611A (ja) * | 2007-09-06 | 2007-12-06 | Nsk Ltd | スラスト静圧軸受パッド |
| WO2022209685A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本精工株式会社 | 気体軸受パッド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2811867B2 (ja) | 1998-10-15 |
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Legal Events
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