JPH03237709A - 電子ビーム露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はプリント基板などにプリント配線などを行な
うために電子ビームを照射する電子ビーム露光装置に関
するものである。

〔従来の技術〕

第７図は例えば特開昭５４−１４０８７４号公報に示さ
れた従来の電子ビーム露光装置の断面図で、特に、その
基板保持装置の部分を示す。第８図はその斜視図であり
、各部分を分離した状態を示す、これらの図において、
（１）は加工室の底板、（２）は底板（１）上にボール
（３）を介して載置された移動体で、切欠部（４）が形
成され、また、四隅には切欠部（４）上に張出した第１
の受板（９が固定されている。

（６）は電子ビーム露光される、プリント基板のような
基板、（７）は基板（６）を保持するホルダーで、移動
体（２）の切欠部（４）に装着される。ホルダー（７）
が切欠部（４）に装着されたとき、４個のスプリング（
８１により第１の受板（５１に押し付けられるようにな
っている。ホルダー（７）には開口（９）が形成される
と共に、四隅には開口（９）上に張出した第２の受板叫
が固定されている。＜１１＞は開口（９）に設けられた
板ばわで、ホルダー（７）に設けられたビン（１２）に
よって保持され、また、その中央部がボルダ−（７）に
回転可能に取付けられた回転軸（１３）によりビン（１
２）側ｌ＼、つまり、図において下方へ押圧されている
。回転軸（１３）の板ばね（１１）との接触部分く１４
）はカム状に形成されていて、回転軸（１３）に設けら
れたレバー（１５）を操作することにより板ばね（１１
）を下方へ押圧する力を加えたり、解除したりすること
ができるようになっている。（１６）は移動体（２）を
、第７図において左右方向くＸ方向〉へ移動させる移動
杆で、ボール（１７）を介して移動体（■の側壁に係合
している。また、図示されていないが、第７図において
奥行方向（Ｙ方向）にも同様の移動杆が設けられており
、移動体を奥行方向へも移動できるようになっている。

次に動作について説明する。まず、回転軸（１３）の接
触部分（１４）による板ばね（１１）への押圧力が解除
された状態で、基板（６）を板ばね（１１）と第２の受
板叫の間へ挿入して開口（９）に基板（６）をはめ込ん
だ後、レバー（１５）を操作して接触部分（１４）によ
り板ばね（１１）の中央部を下方へ押圧すると、板ばね
（１１）はビン（１２）に保持されているのでその先端
部は上方へ押し上げられて、基板（６）は第２の受板（
１０と板ばね（１１）により挾持される０次にこの基板
（６）を保持したホルダー（７）を切欠部（４）にセッ
トする。

ホルダー（７）はスプリング（８）により押圧されて第
１の受板（５１に当接し、移動体（２）に保持される。

続いて、移動杆（１６）等により移動体（ａを移動させ
てＸおよびＹ方向の位置決めを行なう、移動体（２１な
どが強固に製作され、かつ、ボール（３）などが精密に
仕上げられているので、第７図において上下方向（２方
向）に関しては、基板（６）のセットにより自動的に位
置決めされ、Ｘ、Ｙ方向の移動後に改めてＸ方向の位置
決め調整する必要はない。次に、第７図において上方が
ち電子ビームを照射して基板（６）の電子ビーム露光を
行なう。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の電子ビーム露光装置は以上のように構成されてい
るので、強固に製作する必要があり、また、電子ビーム
露光される基板が大形のプリント基板（例えば、５１０
”Ｘ６１０開）のような場合、基板を保持する装置が大
形化して重量が増大し、そのため、基板のセットや加工
位置への移動などの作業性が悪くなり、これを避けるた
めに装置の各部分を薄くすれば機械的強度が低下してた
わみが生じ、位置決めの精度保全が難しくなる。

また、Ｘ、Ｙ方向の位置決めもその都度行なゎねばなら
ず、作業性が悪いなどの問題点があった９この発明は上
記のような問題点を解消するためになされたもので、作
業性が良く、かつ、電子ビーム露光される基板の位置決
めを確実に行なうことができる電子ビーム露光装置を得
ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る電子ビーム露光装置は、基板を保持する
基板保持部を薄い平板で構成すると共に、この基板保持
部を加工テーブルへ押圧するクランプを設けて、このク
ランプにより基板保持部のＸ方向の位置決めを行なうよ
うにしたものである。

また、加工テーブル上で基板保持部にＸ、Ｙ方向へ力を
加える位置決め駆動部と、この位置決め駆動部に駆動さ
れた基板保持部のＸ、Ｙ方向の位置決めを行なう位置決
め部を設けたものである。

〔作用〕

この発明における電子ビーム露光装置は基板保持部を薄
い平板で槽底したので重量が軽く、従って作業が容易で
あり、また、クランプにより基板保持部を押圧するので
、薄い基板保持部に反りが生じてもこれを矯正すること
ができ、基板保持部の、ひいては基板のＺ方向の位置決
めが確実に行なわれる。

また、基板保持部が位置決め駆動部によりＸ、Ｙ方向に
力が加えられて移動し、その位置が位置決め部により決
まるので、基板保持部の、ひいては基板のＸ、Ｙ方向の
位置決めが自動的に確実に行なわれる。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例による電子ビーム露光装置の平
面図、第２図は第１図の■−■線に沿った断面図である
。これらの図において、（２１）は第２図において上方
で電子ビーム照射装置（図示せず）と接続された加工室
、（２２）は加工室（２１）に連設された予備室、（２
３）は加工室（２Ｉ）と予備室（２２〉との接続部分に
設けられた第１のゲート弁、（２４）は予備室（２２）
の第１のゲート弁〈２３）と反対の側に設けられた第２
のゲー１へ弁、（２５）は加工室（２１）内に設置され
た加工テーブル、（２６〉は基板保持部である搬送プレ
ートで、長方形の薄い平板で構成されている。（２７）
は電子ビーム露光される基板であるガラスエポキシ製の
プリント基板で、搬送プレート（２６）上にばね式の留
め具（図示せず〉により固定されている。（１９）は搬
送プレート〈２６〉を予備室（２２）と加工室（２１）
の間で移動させる搬送部、（２８）は搬送プレー）　（
２６）に取付けられた搬送金具、（２９）は搬送アクチ
ュエータで、加工室（２１）の壁を気密に貫通し、がっ
、図において左右方向に移動可能な駆動軸（３０）と駆
動軸〈３ｏ）の先端に取付けられて搬送金具（２８）に
係合する爪（３１）とを有している。（３２）は加工テ
ーブル（２５）に取付けられたガイドで、搬送プレート
（２６）が予備室（２２）がら加工室（２１）へ移動す
るときにこれを案内する。以上の（２８）〜（３２）で
搬送部（１９）を構成している。

（２０）は搬送プレート（２６）を第１図において左右
方向（Ｘ方向）および上下方向（Ｙ方向）へ力を加える
位置決め駆動部、（３３〉は駆動軸（３ｏ）や爪（３１
）と干渉しない位置に設けられた移送バー（第２図では
図示を省略）　、（３４）は移送バー（３３〉を、第１
図において上下方向に移動可能に支持する軸受、（３５
）は加圧シリンダで、加工室（２１〉の壁を気密に貫通
し、かつ第１図において上下方向に移動可能な押圧軸（
５０）を有し、押圧軸（５０〉が第１図において下方に
移動したときに移送バー（３３）を押圧するようになっ
ている。（３６）は移送バー（３３）に、図において上
向きの力を加えるスプリング、（３７）は移送バー（３
３）に取付けられた押付金具で、搬送プレート（２６）
上まで延びて、先端部に駆動軸（３０）とほぼ４５°の
角度をなす斜面（３８）を有している。

（３９）は搬送のプレート（２６）に取付けられた固定
片で、半円筒面（４０）が形成されていて、移送バー（
３３）が、第１図において上方へ移動したときに押付金
具（３７）の斜面（３８）が半面筒面（４０）に当たる
ようになっている０以上の（３３）〜（４０）、　＜５
０）により位置決め駆動部（２０）を構成している。

（４１）は搬送プレート（２６）の、第１図において左
端部および上端部で位置決めを行なう位置決め部で、加
工テーブル（２５〉に取付けられた第１．第２の位置決
めブロック（４２）、　（４３）、および搬送プレート
（２６）に取付けられた第１．第２の位置決め片（４４
）、　（４５）から成っている。（４６）は搬送プレー
ト（２６）を加工テーブル（２５）に固定するクランプ
で、第１図のＩ−Ｉ線に沿った断面図を第３図に示す。

（４７）は加工テーブル（２５）に取付けられたクラン
プアクチュエータ（第１図では図示を省略）で、第３図
において上下方向に移動するクランプ軸（４８）を有し
、その先端にクランプ（４６）が取付けられている。（
４９）は搬送プレート（２６）の端部に取付けられたク
ランプ台で、クランプアクチュエータ（４７）によりク
ランプ（４６）を第３図において下方へ移動させたとき
にクランプ台（４９）がクランプ（４６）に押圧される
ようになっている。第２図の（５１〉は加工テーブル（
２５〉を、図において奥行方向に移動させるときのテー
ブルカイトである。

次に動作について説明する。第１のゲート弁（２３〉が
閉じて、加工室（２１）内が真空に保たれている状態で
、まず、第２のゲート弁（２４）を開き、第１図、第２
図の一点鎖線で示すようにプリント基板（２７）を保持
した搬送プレート（２６）を予備室（２２〉内に入れて
第２のゲート弁（２４）を閉じる。その後、予備室（２
２）内の真空排気を行ない、所定の真空度を得て、第２
のゲート弁（２４）を開く。加圧シリンダ（３５）を駆
動し、スプリング（３６）の力に抗して、第４図の平面
図に示すように移送バー（３３）を図において下方へ押
し、押付金具（３７）と固定片（３９）の間に、図にお
いて上下方向の間隙ｅが生じるようにしておく。クラン
プ（４６〉は第３図において上方へ移動させておく。次
に、搬送アクチュエータ（２９）を駆動し、爪（３１）
を搬送金具（２８）に係合させて搬送プレー）　（２６
）を、第１図において左方へ引き込み、加工テーブル（
２５Ｌｉ：へ移動させる。この移動時に、搬送プレー）
　（２６１はガイド（３２）によって案内され、また、
押付金具（３７）と固定片（３９）の間には間隙ｅが保
たれているので両者が互いに干渉することはなく、搬送
プレート（２６）は搬送アクチュエータ（２９）のスト
ローク端まで移動して停止する。続いて、加圧シリンダ
（３５）による押圧を解除すると移送バー（３３）はス
プリング（３６）の力により第５図の平面図のように、
図において、上方へ移動し、押付金具（３７）が固定片
（３９）に当たり、これを押圧する。これらの斜面（３
８〉と半円筒面（４０）が互いに当接するので固定片（
３９）は斜面（３８）と垂直な方向の力・Ｆを受け、こ
の力Ｆの、図において左向きおよび上向きの分力Ｐ１お
よびＰ２により、第１の位置決めブロック（４２）に第
１の位置決め片（４４）を当接させると同時に、第２の
位置決めブロック（４３）に第２の位置決め片（４５）
を当接させる。

第１および第２の位置決め片（４４）、　（４５）は搬
送プレート（２６）に固定されているので、これにより
搬送プレート（２６）のＸ方向およびＹ方向の位置が決
まる。なお、第４図、第５図ではプリント基板、搬送金
具および爪の図示を省略している。

その後、第３図に示すように、クランプアクチュエータ
（４７）によりクランプ（４６）を、図において下降さ
せてクランプ台（４９）を押圧し、搬送プレー）　（２
６）の、第３図において上下方向（Ｘ方向〉の位置決め
が行なわれる。搬送プレート（２６）は薄い平板で構成
されているので、形状が経時変化して反りが発生するこ
とがあって、仮に、Ｘ方向の押圧を行なわない場合を考
えると、第６図に示すように、偏向コイル（５２〉によ
り偏向された電子ビーム（５３）が照射されるプリント
基板（２７）表面の位置について、反りの有無により誤
差ｄが生じる。しかし、この実施例ではクランプ（４６
）によりクランプ台（４９）を介して搬送プレー）−（
２６）を押圧するので、薄い搬送プレート（２６）は加
工テーブル（２５）に倣って正しい平板形状に矯正され
、その状態で、電子ビーム照射装置により、第３図にお
いて上方から電子ビームが照射されて電子ビーム露光が
行われ、従って上記のような誤差ｄは生じない。

プリント基板（２７）は搬送プレート（２６）に固定さ
れているので、以上によりプリント基板（２７）のＸ。

Ｙ、Ｚの全ての方向についての位置決めが完了し、電子
ビーム露光が正しい位置に対して行なわれる。

なお、上記実施例では基板としてガラスエポキシ製のプ
リント基板を示したが、ガラスを基材とするマスクなど
の場合も同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば基板保持部を薄い平板
で構成すると共に、これを加工テーブルに押圧するクラ
ンプを設けたので、基板保持部が軽量化して作業性が良
くなり、また、基板保持部に反りが生じてもクランプに
より押圧するので確実に位置決めされる。

また、位置決め駆動部と位置決め部を設けたので自動的
に確実に位置決めできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による電子ビーム露光装置
を示す平面図、第２図は第１図のＩＩ−ＩＩ線に沿った
断面図、第３図は第１図の１１［−Ｉ線に沿った。断面
図、第４図および第５図は第１図の電子ビーム露光装置
の動作を示す平面図、第６図は第１図の電子ビーム露光
装置のクランプの動作を示す断面図、第７図は従来の電
子ビーム露光装置の断面図、第８図は第７図の電子ビー
ム露光装置の斜視図である。 図において、（１９）は搬送部、（２０）は位置決め駆
動部、（２１）は加工室、（２２）は予備室、（２５）
は加工テーブル、（２６〉は搬送プレート、（２７）は
プリント基板、（４１）は位置決め部、（４６）はクラ
ンプである。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 　（１）電子ビーム照射装置に接続された加工室、この
   加工室内に設置されて基板を保持する加工テーブル、上
   記加工室に連設された予備室、上記基板を保持して上記
   予備室と加工室の間で移動可能な基板保持部を備え、上
   記加工室内で上記基板の電子ビーム露光を行なうものに
   おいて、基板保持部を薄い平板で構成すると共に、この
   基板保持部を上記加工テーブルへ押圧するクランプとこ
   のクランプを駆動するクランプアクチュエータを設けて
   、上記クランプにより上記基板保持部の電子ビーム照射
   方向の位置決めを行なうようにしたことを特徴とする電
   子ビーム露光装置。
2. 　（２）電子ビーム照射装置に接続された加工室、この
   加工室内に設置されて基板を保持する加工テーブル、上
   記加工室に連設された予備室、上記基板を保持して上記
   予備室と加工室の間で移動可能な基板保持部を備え、上
   記加工室内で上記基板の電子ビーム露光を行なうものに
   おいて、上記基板保持部を上記予備室と加工室の間で移
   動させる搬送部、電子ビーム照射方向に対して垂直な面
   内の二方向へ、上記加工テーブル上で上記基板保持部に
   力を加える位置決め駆動部、および、上記加工テーブル
   と基板保持部とに取付けられた位置決め部を設け、上記
   基板保持部が上記位置決め駆動部に駆動されて、上記位
   置決め部により上記二方向の位置決めが行なわれるよう
   にしたことを特徴とする電子ビーム露光装置。