JPH03232254A - ウエハブレーク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ？産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造プロセスで使用して好適なウェハ
ブレーク装置に関するものである。

〔従来の技術〕

−Ｃに、この種のウェハブレーク装置は、ダイシングラ
インに沿ってダイシング後のウェハを多数のチップに分
割する装置として広く知られている。

従来、この種のウェハブレーク装置は第２図に示すよう
に構成されている。これを同図に基づいて説明すると、
同図において、符号１で示すものは定盤（図示せず）上
に固定され上側に所定の曲率をもったシート載置面１ａ
を有する蒲鉾状のブレーク台、２はこのブレーク台１の
上方に進退自在に設けられダイシング済みウェハ貼付用
のシート３を前記シート載置面１ａに押圧する銅製の薄
板、４はこの薄板２と前記シート３上のウェハ５との間
に介装される超薄厚シートである。

次に、このように構成されたウェハブレーク装置におけ
るチップ分割方法について説明する。

先ず、ダイシング済みのウェハ５が貼付されたシート３
をブレーク台１のシート載置面１ａに載置する。このと
き、ブレーク台１のセンターラインとウェハ５のブレー
クラインを平行にする。次いで、シート３上のウェハ５
を超薄厚シート４で被覆する。しかる後、薄板２によっ
てシート３上のウェハ５をシート載置面１ａに圧接する
。

このようにして、ウェハ５を多数のチップに分割するこ
とができる。

この場合、ウェハ５には相互に直交する２種のブレーク
ラインが形成されており、チップ分割時に各ブレークラ
インに合わせてシート３および超薄厚シート４を９０°
回転させる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、従来のウェハブレーク装置においては、超薄
厚シート４によってウェハ５の表面（ガラスコート部）
に分割力を直接加えてチップ分割するものであり、この
ためチップ分割時にウェハ５の表面全体に応力が作用し
ていた。この結果、チップ分割時にウェハ５が損傷し、
最悪の場合にはウェハ５にクラックが発生して品質上の
信幀性が低下するという問題があった。また、チップ分
割時にブレーク台１のセンターラインとウェハ５のダイ
シングラインを合わせる必要があり、チップ分割におけ
る作業工程数が嵩み、チップ分割を煩雑にするばかりか
、チップ分割に多大の時間を費やすという問題もあった
。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、品質
上の信軌性を向上させるこ止ができると共に、チップ分
割の簡素化および作業時間の短縮化を図ることができる
ウェハブレーク装置を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係ろうエバブレーク装置は、ダイシング済みの
ウェハが貼付されたシートの周縁を取り付ける環状体と
、この環状体が載置される保持台と、この保持台上に前
記環状体を押圧する筒体と、この筒体内を真空引きする
吸気装置とを備え、この吸気装置による真空引き状態に
おいて環状体と保持台との間にシートを介在させると共
に、このシート上のウェハを筒体側に露呈させたもので
ある。

〔作　用〕

本発明においては、筒体内を吸気装置によって真空引き
することによりシートに張力を作用させることができる
。

〔実施例〕

以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。

第１図は本発明に係るウェハブレーク装置を示す断面図
である。同図において、符号１１で示すものは円筒状の
保持台で、−側聞目端部には上方に開口する環状溝１２
を有する段部１３が設けられている。１４は環状の取付
板で、−側聞目端面にはダイシング済みのウェハ１５が
貼付されたシート１６の周縁が取り付けられ、かつこの
シート１６を介して前記段部、１３上に保持されている
。

この取付板１４内には、後述するボン、ブによる真空引
き状態においてウェハ１５が臨むように構成されている
。１７は筒状の押圧体で、前記保持台１１の上方に進退
自在に設けられており、前記取付板Ｉ４を前記保持台１
１の段部Ｉ３に押圧するように構成されている。１８は
前記押圧体１７内を真空引きする吸気装置としてのポン
プ、１９はこのポンプ１８の吸気量を調整するバルブで
ある。

また、２０は０リング等のシール部材で、前記環状１２
内に装着され、かつ前記保持台１１と前記シー１−１６
との間に介装されている。

このように構成されたウェハブレーク装置においては、
押圧体１７内をポンプ１８によって真空引きすることに
よりシート１６に張力を作用させることができる。

したがって、本実施例においては、チップ分割時にウェ
ハ１５のブレークラインに応力を集中させることができ
るから、ウェハ５の損傷およびクラ、りの発生を防止す
ることができる。

また、本実施例においては、チップ分割時にウェハ１５
のダイシング合わせが不要になるから、チップ分割時の
作業工程数を削減することができる。

次に、本発明のウェハブレーク装置による千ノブ分割方
法について説明する。

先ず、ダイシング済みのウェハ１５が予め貼付されたシ
ート１６の周縁を取付板１４に取り付ける。次いで、こ
の取付板１４を保持台１１のシール部材２０上に載置す
る。しかる後、押圧体１７によって取付板１４．　　シ
ート１６を保持台１１の段部１３に圧接させてから、押
圧体１７内をポンプ１８によって真空引きする。

このようにして、ウェハ１５を多数のチップに分割する
ことができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、ダイシング済みウ
ェハが貼付されたシートの周縁を取り付ける環状体と、
この環状体が載置される保持台と、この保持台上に前記
環状体を押圧する筒体と、この筒体内を真空引きする吸
気装置とを備え、この吸気装置による真空引き状態にお
いて環状体と保持台との間にシートを介在させると共に
、このシート上のウェハを筒体側に露呈させたので、筒
体内を吸気装置によって真空引きすることによりシート
に張力を作用させることができる。したがって、チップ
分割時にウェハのプレークラインに応力を集中させるこ
とができるから、ウェハの損傷およびクラックの発生を
防止することができ、品質上の信頼性を向上させること
ができる。また、チップ分割時に従来必要としたウェハ
のダイシング合わせが不要になるから、チップ−分割時
の作業工程数を削減することができ、チップ分割の簡素
化および作業時間の短縮化を図ることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウェハブレーク装置を示す断面図
、第２図は従来のウェハブレーク装置を示す斜視図であ
る。 １１・・・・保持台、１３・・・・段部、１４・・・・
取付板、１５・・・・ウェハ、１６・・・・シート、１
７・・・・押圧体、１８・・・・ポンプ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ダイシング済みのウェハが貼付されたシートの周縁を取
   り付ける環状体と、この環状体が載置される保持台と、
   この保持台上に前記環状体を押圧する筒体と、この筒体
   内を真空引きする吸気装置とを備え、この吸気装置によ
   る真空引き状態において前記環状体と前記保持台との間
   にシートを介在させると共に、このシート上のウェハを
   前記筒体側に露呈させたことを特徴とするウェハブレー
   ク装置。