JPH0322921B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0322921B2
JPH0322921B2 JP58146747A JP14674783A JPH0322921B2 JP H0322921 B2 JPH0322921 B2 JP H0322921B2 JP 58146747 A JP58146747 A JP 58146747A JP 14674783 A JP14674783 A JP 14674783A JP H0322921 B2 JPH0322921 B2 JP H0322921B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pin
detection
sensing
detection pin
sensing pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP58146747A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5948609A (ja
Inventor
Fuaihiteingeru Kuruto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPS5948609A publication Critical patent/JPS5948609A/ja
Publication of JPH0322921B2 publication Critical patent/JPH0322921B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Electrophonic Musical Instruments (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲の前提概念によるいわ
ゆる多座標検出ヘツドに関する。
この種の検出装置は多座標測定機械及び数値制
御工作機械とも関連して使用される。検出装置は
加工物/工具寸法の測定のために役立つ。
この種の検出ヘツドは多くの文献から公知であ
り、ここでは最も近い技術レベルからのみ出発す
ることにする。
例えば西独国特許出願公告公報1932010から検
出ヘツド(トレーサヘツド)が公知であり、この
場合検出ピン(トレーサピン)はボールジヨイン
ト状に支承されており、その検出接触子と向い合
つた端にアキシヤル移動可能に支承され、測定値
変換器に作用するブツシユを有し、その結果検出
ピンの各偏位は軸線方向並びにラジアル方向にお
いてブツシユのアキシヤル移動をもたらし、この
結果は測定値変換器によつて記録される。
英国特許明細書1599758から検出ヘツドが公知
であり、検出ヘツドは加工物に接触した時に電気
信号を発し、電気信号は電導性加工物と検出ヘツ
ドとの間の電気回路の閉路によつて生ずる。この
検出ヘツドの検出ピンは球形の当接面を有しかつ
検出ヘツドハウジングの内方にある端で円筒状ブ
ツシユと直線移動可能に支承されている。検出ピ
ンが偏位すると球形当接面と向い合つている検出
ピン端が同軸的に移動される。検出ピンは更に検
出ピンハウジングの内方にフランジを有し、その
周縁は検出ピンのラジアル偏位の際に検出ピンハ
ウジングの底に支承されて傾倒される。フランジ
での傾倒縁上を検出ピンがラジアル移動し、この
ことはラジアル方向を拘束された検出ピンの同軸
的移動をもたらす。ゼロ位置へのばねによる戻り
の際に検出ピンは再び中心位置を占める、そのわ
けはそのラジアル方向を拘束された端はXY座標
における位置を決定するからである。その際フラ
ンジの端面はアキシヤルZ方向におけるストツパ
として使用される。この検出ヘツドは電導性加工
物が検出されない、即ち測定されない場合には使
用できない。
本発明の課題は汎用的かつ機械的に簡単に構成
されかつ許容できる作動をする検出ヘツドであつ
て公知の検出ヘツドの欠点のないものを創造する
ことである。
この課題は特許請求の範囲第1項の特徴によつ
て解決される。
検出ヘツドの有利な構成は実施態様項に記載さ
れている。
本発明による検出ヘツドの特別の利点は簡単な
構成、偏位信号の安全な発信、この信号の良好な
再現性及び故障の少ないことにある。
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明す
る。
第1図に示された検出ヘツド(トレーサヘツ
ド)1は多数の部分から成る収容装置2を有し、
この装置によつて検出ヘツドは図示しない測定機
又は工作機械の図示しないスピンドルに固定され
ている。検出ヘツド1は検出ヘツドハウジング3
と検出ヘツドハウジング3に運動可能に取付けら
れ、ばね5の力によつてそのゼロ位置に押されて
いる検出ピン4とから成る。検出ヘツドハウジン
グ3の内方にある検出ピン4の端6はポールジヨ
イント7の形でラジアル方向で拘束されている
が、検出ヘツドハウジング3の円筒状案内8中で
アキシヤル方向に移動可能に支承されている。
検出ピン4の自由端に取付けられた検出ボール
10によつて公知の方法で加工物11は矢印方向
において検出される。検出ボール10と加工物1
1との間の接触の瞬間に検出ピン4は僅かに偏位
する。検出ピン4の偏位によつて直接検出ピン4
が検出ヘツドハウジング3の孔13中の円錐12
の母線に沿つて移動する。この移動は、検出ピン
4の他端6のためにアキシヤル行程運動を作用す
る、そのわけはこの端6は円筒状案内8中にラジ
アル方向に拘束されているので、検出ピン4のア
キシヤル運動のみが可能だからである。拘束され
た検出ピン端6の下方に配設された光電装置14
はこのアキシヤル行程運動を評価する。評価は光
源15によつて行われ、光源はシリンドリカルレ
ンズ17を備えた開口16を有する検出ピン4に
よつて検出ピン4の他の側での差動光電要素18
を照射する。レンズ17によつて差動光電要素1
8は正しく対称的に照射する。検出ピン4の僅か
の偏位の際照明系は変化し、差動光電要素18は
電子評価装置によつて評価されたレリーズ信号と
しての出力信号の変化を生ずる。このレリーズ信
号は公知の方法で測定値カウンタの制御に利用さ
れ、例えばメモリへの測定値の伝送又は中止に利
用される。
その際検出ピン4がアキシヤル方向に偏位する
かこれと直角の平面に偏位するかは関係ない、そ
のわけは各偏位運動はラジアル方向に拘束された
検出ピン端6でアキシヤル行程運動に変換される
からである。
検出ピン4と加工物11との間の接触が止む
と、ばね5の力の作用の下に検出ピン4がそのゼ
ロ位置に移動する。精密なゼロ位置は穴13中の
円錐12によつて三軸(3軸座標)方向において
保証される。円錐12は検出ピン4を心立して、
かつZ方向においても検出ヘツドハウジング3の
検出ピン位置に関する検出ボール10の正確な位
置を確定する。
第2図に示された回動阻止部19は検出ヘツド
ハウジング3中の検出ピン4の回動を阻止する。
本発明の範囲において検出ピン4は他の回転対
称成形部分、例えば円筒状突出部20を備えてい
る。円錐ジヤケツト21を形成する対向面は第3
図に示すように検出ヘツドハウジング3′に設け
られねばならない。
第4図において第1図による検出ヘツドの他の
変形が示される。本質的に同一要素は符号「4」
をもつた同一符号によつて表わされる。軸線方向
への検出ピン44のラジアル偏位の変換のための
及び自由検出ピン自由端94の心立てのための成
形部分は球面突出部124によつて表わされる。
この突出部124は多数のボール134上に位置
し、ボールは検出ヘツドハウジング34の内周に
亘つて等間隔でリング状に分配されている。
更に本発明の範囲内でレリーズ信号の発生のた
めの装置を前述の方法とは別の方法で構成するこ
ともできる。
同様に誘導的、容量的、磁気的に作用するパル
ス発生装置が設けられうる。
しかし感度のよい長さ測定装置、検出ピン偏位
に比例した信号を発生する光電的インクリメント
長さ測定装置も設けられることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は検出ヘツドの縦断面図、第2図は第1
図の−線に沿う断面図、第3図は検出ヘツド
構造の変形を示す図、そして第4図は検出ヘツド
の他の変形を示す図である。 図中符号、3,3′,24……検出ヘツドハウ
ジング、4,44……検出ピン、6,64……検
出ピン端、9,94……検出ピン自由端、12,
20,124……成形部分、13,21,134
……成形部分、14,144……偏位信号発生装
置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 検出ヘツドハウジング内に支承されて、特定
    されたゼロ位置を占めるが、横方向のどの方向に
    も偏位可能な検出ピンと、ラジアル方向を拘束さ
    れた検出ピン上端のための同軸案内面と、該検出
    ピンに形成され、検出ピンの中心軸線を中心とし
    た回転対称形の成形部分とを備えた多座標検出ヘ
    ツドにして、検出ピンは該ハウジングにおける検
    出ピンの中心軸線を中心とする回転対称形の成形
    部分と協働して、前記ゼロ位置における検出ピン
    の自由端の空間的心立てと、検出ピンの自由端の
    検出ピン軸線に対して直交方向偏位を軸線方向偏
    位に変換することとを作用するように構成されて
    おり、その際ラジアル方向を拘束された検出ピン
    上端の範囲に直接、偏位信号発生装置14が付設
    されている多座標検出ヘツドにおいて、該検出ピ
    ン及び該ハウジングの前記両成形部分12,13
    は相互に接触するようにばねによつて軸線方向に
    付勢されている検出ピンの成形部分と該ハウジン
    グの成形部分との接触点が、ラジアル変位が大き
    くなるにつれてラジアル方向を拘束された検出ピ
    ン上端の方へ移動する形の回転体12と孔13と
    の組合せとして形成されており、前記偏位信号発
    生装置14は光電的に作用しかつ検出ピンと一体
    に構成された光学的結像要素17によつて制御さ
    れることを特徴とする多座標検出ヘツド。 2 光学的結像要素17を備えた前記偏位信号発
    生装置14は発光装置15として発光ダイオード
    を、そして受光要素18として差動光電要素を有
    する、特許請求の範囲第1項記載の多座標検出ヘ
    ツド。
JP58146747A 1982-08-12 1983-08-12 多座標検出ヘツド Granted JPS5948609A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3229992.3 1982-08-12
DE3229992A DE3229992C2 (de) 1982-08-12 1982-08-12 Mehrkoordinaten-Tastkopf

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5948609A JPS5948609A (ja) 1984-03-19
JPH0322921B2 true JPH0322921B2 (ja) 1991-03-27

Family

ID=6170683

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58146747A Granted JPS5948609A (ja) 1982-08-12 1983-08-12 多座標検出ヘツド

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4532713A (ja)
EP (1) EP0103089B1 (ja)
JP (1) JPS5948609A (ja)
AT (1) ATE23223T1 (ja)
BR (1) BR8304296A (ja)
DE (2) DE3229992C2 (ja)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3335792C2 (de) * 1983-10-01 1985-11-28 Trützschler GmbH & Co KG, 4050 Mönchengladbach Vorrichtung zur Ermittlung der Lücken zwischen Ballen einer Ballenreihe
CH663841A5 (de) * 1984-05-28 1988-01-15 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag Zahnmesstaster.
ATE34648T1 (de) * 1984-11-02 1988-06-15 Nestle Sa Verarbeitung von eidotter.
DE3725207A1 (de) * 1987-07-30 1989-02-09 Zeiss Carl Fa Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete
CH674485A5 (ja) * 1988-03-11 1990-06-15 Saphirwerk Ind Prod
DE3813949A1 (de) * 1988-04-26 1989-11-09 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur induktiven signaluebertragung bei tastkoepfen
GB8815984D0 (en) * 1988-07-05 1988-08-10 Univ Brunel Probes
DE3824548A1 (de) * 1988-07-20 1990-01-25 Zeiss Carl Fa Verfahren und einrichtung fuer den betrieb eines tastkopfes vom schaltenden typ
DE3824549A1 (de) * 1988-07-20 1990-01-25 Zeiss Carl Fa Lagerung fuer tastkoepfe
JPH0297365A (ja) * 1988-10-03 1990-04-09 Fine Kagaku Kenkyusho:Kk 透明卵黄
JPH069483B2 (ja) * 1990-02-09 1994-02-09 日清食品株式会社 低コレステロール卵黄の製造法
US5491904A (en) * 1990-02-23 1996-02-20 Mcmurtry; David R. Touch probe
IT1247591B (it) * 1990-08-09 1994-12-28 Jobs Spa Metodo ed utensile per la digitalizzazione di maschere di foratura.
GB9111382D0 (en) * 1991-05-25 1991-07-17 Renishaw Metrology Ltd Improvements in measuring probes
DE4209829A1 (de) * 1992-03-26 1993-09-30 Max Hobe Präzisions-Kupplung zum Einsatz in einem Tastkopf einer Meßeinrichtung
DE4217641C2 (de) * 1992-05-28 1997-07-17 Wolfgang Madlener Tastkopf zum dreidimensionalen Antasten von Werkstücken
US5509039A (en) * 1994-06-20 1996-04-16 Westinghouse Electric Corporation Automatic pellet stack length recording switch
IT1299955B1 (it) * 1998-04-06 2000-04-04 Marposs Spa Testa per il controllo di dimensioni lineari di pezzi.
GB9907643D0 (en) * 1999-04-06 1999-05-26 Renishaw Plc Measuring probe
DE19929557B4 (de) 1999-06-18 2006-01-19 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren und Schaltkreis zur Einstellung einer Schaltschwelle eines Tastschalters
JP3359006B2 (ja) * 1999-06-18 2002-12-24 株式会社ミツトヨ 着座機構
DE19952807A1 (de) * 1999-11-02 2001-05-10 Roland Mueller Verfahren zur spanenden Bearbeitung elektrisch leitfähiger Werkstücke
ITBO20020628A1 (it) * 2002-10-07 2004-04-08 Marposs Spa Sonda di tastaggio
US6979479B2 (en) 2003-03-14 2005-12-27 Lockheed Martin Corporation Flexible material for lighter-than-air vehicles
US8159156B2 (en) 2009-08-10 2012-04-17 Redwood Systems, Inc. Lighting systems and methods of auto-commissioning
US8759734B2 (en) 2012-02-23 2014-06-24 Redwood Systems, Inc. Directional sensors for auto-commissioning lighting systems
US10052898B1 (en) 2017-06-01 2018-08-21 Xerox Corporation Docking device with locating pin and receptacle for dockable members in a printer

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4423998Y1 (ja) * 1966-03-26 1969-10-09
JPS53112772A (en) * 1977-01-20 1978-10-02 Rolls Royce Probe for measuring apparatus

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1028792B (de) * 1957-06-24 1958-04-24 Zeiss Jena Veb Carl Taster fuer Mess- und Pruefgeraete
US3250012A (en) * 1963-02-01 1966-05-10 Lockheed Aircraft Corp Inspection device and method
US3457484A (en) * 1965-03-15 1969-07-22 Fujitsu Ltd Replica producing system utilizing resolvers
DE1548326A1 (de) * 1966-02-04 1970-07-02 Erhard Staedele Null-Tasteinrichtung fuer Werkzeugmaschinen
US3571934A (en) * 1968-06-24 1971-03-23 Lockheed Aircraft Corp Three-axis inspection probe
US3660906A (en) * 1969-03-17 1972-05-09 Aerojet General Co Three-axis inspection probe
DE2259091A1 (de) * 1972-12-02 1974-06-06 Volkswagenwerk Ag Verfahren und tastkopf zur konturenvermessung
JPS566887Y2 (ja) * 1975-02-27 1981-02-16
GB1597842A (en) * 1977-02-07 1981-09-09 Rolls Royce Indexing mechanism
DE2712181C3 (de) * 1977-03-19 1981-01-22 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastsystem
US4114280A (en) * 1977-04-27 1978-09-19 Quality Measurement Systems, Inc. Digital electronic indicator
DE2740205C3 (de) * 1977-09-07 1982-04-22 Friedrich Grohe Armaturenfabrik Gmbh & Co, 5870 Hemer Mischventil für das Sanitärfach
GB1599758A (en) * 1978-02-10 1981-10-07 Lk Tool Co Ltd Measuring machine
DE2835615C2 (de) * 1978-08-14 1987-01-15 Hartmut Dr.-Ing. 3016 Seelze Janocha Elektronischer Koordinatenmeßtaster
EP0022598B1 (de) * 1979-07-17 1982-11-17 Eta A.G. Ebauches-Fabrik Tastkopf
JPS5653401A (en) * 1979-10-05 1981-05-13 Osaka Kiko Co Ltd Three dimensional type contact detector
US4338722A (en) * 1980-06-16 1982-07-13 Microlec, S.A. Optoelectronic displacement sensor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4423998Y1 (ja) * 1966-03-26 1969-10-09
JPS53112772A (en) * 1977-01-20 1978-10-02 Rolls Royce Probe for measuring apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
DE3229992C2 (de) 1986-02-06
JPS5948609A (ja) 1984-03-19
DE3229992A1 (de) 1984-02-16
BR8304296A (pt) 1984-03-20
DE3367276D1 (en) 1986-12-04
US4532713A (en) 1985-08-06
EP0103089B1 (de) 1986-10-29
ATE23223T1 (de) 1986-11-15
EP0103089A1 (de) 1984-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0322921B2 (ja)
JP3101322B2 (ja) 測定プローブ
US4530159A (en) Multicoordinate sensing head
US3958338A (en) Gauge with electric position transducers to measure the sizes of mechanical workpieces
US9057598B2 (en) Touch probe
US4530160A (en) Sensing pin mounting arrangement for multicoordinate sensing head
US5505005A (en) Touch probe
GB2094979A (en) Physical contact sensing device
US3961838A (en) Apparatus for producing a scanning laser beam of constant linear velocity
JPS6048681B2 (ja) 測定ヘツド
US4899048A (en) Focused optical beam encoder of position
US4581826A (en) Sensing pin mounting arrangement for multicoordinate sensing head
WO1990000717A1 (en) Probes
US5355589A (en) Sensing head for the three-dimensional sensing of workpiece
JP4141637B2 (ja) 部品の線形寸法を検査するためのヘッド
JPS6293602A (ja) 検知装置
JP2005515457A (ja) アナログプローブ
JPH0792373B2 (ja) タッチ信号プローブ
US4547772A (en) Multicoordinate sensing head
JPH0223801B2 (ja)
RU2319107C2 (ru) Центрирующее устройство, в частности, для индикаторного измерительного прибора
KR100280870B1 (ko) 원자간력 현미경용 초정밀 3축 스테이지
US4334362A (en) Bidimensional tracer of machine tools or measuring machines
JPH0151922B2 (ja)
US4833792A (en) Probe head for a coordinate measuring instrument