JPH03229178A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は基板検査装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の基板検査装置について、図面を参照して詳細に説
明する。

第４図は従来の一例を示すブロック図である。

従来の基板検査装置は抵抗計１と、金属配線パターン８
〈以下パターンとする）に接触する２本のプローブ７と
、前記プローブの位置ぎめ部３と、前記抵抗計、プロー
ブ、位置ぎめ部を制御する制御部２とを含んで構成され
る。

この装置は、パターンの二つの端子におのおのプローブ
を接触させ、プローブに抵抗計を接続して、２端子間の
配線の抵抗値を測定し、抵抗値が大きいときはパターン
の断線あるいはかけ、細り等の不良と判定する。抵抗値
が十分小さいときは良品と判定する。

検査の手順としては、あらかじめ制御部２に記憶した、
パターンの端子部１１及び１２の位置にプローブ３をそ
れぞれ移動させ、端子間の抵抗値を測定する。測定完了
後は別のパターンにプローブを移動する。この手順を繰
り返して、基板内のすべてのパターンを検査する。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の基板検査装置では、位置ぎめ部の位置ぎ
め精度および、被測定基板のパターンの寸法、作り精度
の関係により、プローブをパターンの端子に当てるとき
に、端子とプローブが位置ずれをおこして、プローブと
端子を接触することを失敗する場合がある。この状態で
抵抗値を計ると抵抗値が非常に大きくなるので、パター
ンが断線していると判定してしまう。このように、端子
へのプローブの接触の失敗を、パターンの断線不良と判
定して、本来不良でないパターンを不良としてしまう欠
点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の基板検査装置は、被測定基板上の金属配線パタ
ーンに接触する２本のプローブと、前記プローブに接続
される抵抗計および電流計と、前記抵抗計および電流計
のうちどちらか一方だけを前記プローブに接続するため
の切り替えスイッチと、前記電流計に接続される電源と
、被測定基板に隣接して設置される基準電極と、前記プ
ローブを測定位置に位置ぎめする位置ぎめ部と、前記位
置ぎめ部、切り替えスイッチ、抵抗計および電流計を制
御する制御部とを含んで構成される。

〔実施例〕

次に本発明について、図面を参照して詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。

プローブ７は位置決め部３により、検査したいパターン
８の端子部１１および１２にそれぞれに移動され、接触
される。

プローブ７には切り替えスイッチ４が接続され、切り替
えスイッチ４の切り替えにより、電流計５および６また
は抵抗計５に接続される。

また基板に隣接して、基準電位の電極板１５がある。

電流計５および６には、それぞれ保護抵抗１０を介して
、違う電圧の電極１３．１４が接続される。抵抗計１の
測定データおよび電流計５，６の測定データは制御部２
に送られ、パターンの良否判定に利用される。

つぎに検査の手順を示す。

ひとつのパターンの検査を終わって、次のパターンの検
査に移るときは、まず切り替えスイッチ４をｂ側にして
、電流計５．６をプローブに接続する。つぎにプローブ
を移動するが、このとき、２本のプローブの移動距離は
必ずしも同じでないので、どちらか一方が先に位置ぎめ
を完了してパターンの端子に接触する。

第１図では仮に、端子１１の方に先にプローブが接触し
たとする。するとパターン８と基準電極１５の間には静
電容量があるので、接触したときに端子１１に接続する
パターンが電源１３の電圧に帯電する。このとき帯電の
電流は、電流計５を通るのて、電流計５では第２図に示
した波形が測定される。

プローブが端子１１に接触しなかった場合は、パターン
８の帯電は起こらないので第２図の様な波形は測定され
ない。このときにより端子１１にプローブが接触したか
確認する。

つぎに端子１２にもう一方のプローブが接触する。この
とき端子１１と端子１２が接続していれば、電源１３と
電源１４の電位差によりパターンに電流が流れる。

従って電流計５および６では第３図に示した波形が測定
される。

端子１１と端子１２が断線を起こしている時は、端子１
２に接続したパターンに、電源１４の電圧だけ帯電され
るので第２図の波形が電流計６で測定される。

プローブが端子１２に接触しなかった場合は、端子１２
に接続した部分の帯電は起こらないので、電流計６には
、なにも測定されない。このことにより、端子１２にプ
ローブが接触したか確認する。

上記手順により、端子に２本のプローブが正しく接触し
たのを確認した後、切り替えスイッチ４をａ側に倒して
、抵抗計１に接続し、パターンの抵抗を測定してパター
ンの良否を判定する。

なおパターンが導通しているかだけを検査し、抵抗値ま
で検査する必要の無い場合は、上記手順のうち、抵抗計
５に切り替えて抵抗測定するところを省略し、２本目の
プローブが端子１２に接触した時に、第３図の様な波形
が得られることをもって判定することができる。

〔発明の効果〕

本発明の基板検査装置は、プローブがパターンの端子に
接触したことを確認した後にパターンの抵抗測定を行う
ので、端子にプローブが接触しなかった場合をパターン
の不良と判定してしまうことがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図お
よび第３図は検査時に電流計で測定される波形図、第４
図は従来の一例を示すブロック図である。 １・・・抵抗計、２・・・制御部、３・・・位置決め部
、４・・・切り替えスイッチ、５，６・・・電流計、７
・・・プローブ、８・・・パターン、９・・・基板、１
０・・・抵抗器、１１．１２・・・端子部、１３．１４
・・・電源、１５・・・基準電極。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被測定基板上の金属配線パターンに接触する２本のプロ
   ーブと、前記プローブに接続される抵抗計および電流計
   と、前記抵抗計および電流計のうちどちらか一方だけを
   前記プローブに接続するための切り替えスイッチと、前
   記電流計に接続される電源と、被測定基板に隣接して設
   置される基準電極と、前記プローブを測定位置に位置ぎ
   めする位置ぎめ部と、前記位置ぎめ部、切り替えスイッ
   チ、抵抗計および電流計を制御する制御部とを含む事を
   特徴とする基板検査装置。