JPH03225944A - 半導体装置 - Google Patents
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- JPH03225944A JPH03225944A JP2020948A JP2094890A JPH03225944A JP H03225944 A JPH03225944 A JP H03225944A JP 2020948 A JP2020948 A JP 2020948A JP 2094890 A JP2094890 A JP 2094890A JP H03225944 A JPH03225944 A JP H03225944A
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-
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- H01L2224/48472—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
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Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置に係り、特にリードフレームを用
いた半導体集積回路の樹脂封止構造に関する。
いた半導体集積回路の樹脂封止構造に関する。
半導体装置は、金属条材をプレス加工又はエツチング加
工によって製造されたリードフレームと半導体素子とを
電気的に接続した後に樹脂パッケージによって封止する
構造が典型的な例である。
工によって製造されたリードフレームと半導体素子とを
電気的に接続した後に樹脂パッケージによって封止する
構造が典型的な例である。
第5図は金属条材にリードフレームのパターンを形成し
たときの平面図であり、金属条材5oには各工程での位
置決めのための基準ビン孔51が開けられ、一定ピツチ
でパターンが形成されている。
たときの平面図であり、金属条材5oには各工程での位
置決めのための基準ビン孔51が開けられ、一定ピツチ
でパターンが形成されている。
リードフレームのパターンは、半導体素子20を搭載す
るステージ1.これを支持するサポートパー2.ステー
ジ1の回りに放射条に配列した複数のインナーリード3
.外部に突き出るアウターリ−ド4及びこれらのインナ
ーリード3とアウターリード4との間を走り最終的には
各リードを分離独立させるダムバー5を備えたものであ
る。
るステージ1.これを支持するサポートパー2.ステー
ジ1の回りに放射条に配列した複数のインナーリード3
.外部に突き出るアウターリ−ド4及びこれらのインナ
ーリード3とアウターリード4との間を走り最終的には
各リードを分離独立させるダムバー5を備えたものであ
る。
半導体素子20と各インナーリード3との間には貴金属
を利用したワイヤがワイヤボンディングによって結線さ
れ、アウターリード4までの電気的な接続が行われる。
を利用したワイヤがワイヤボンディングによって結線さ
れ、アウターリード4までの電気的な接続が行われる。
そして、半導体素子20を含めて樹脂パッケージによっ
て樹脂封止され、突き出たアウターリード4を適切な形
状に加工した後、これを外部接続端子としてプリント配
線基板に接続実装して電気的導通回路が構成される。
て樹脂封止され、突き出たアウターリード4を適切な形
状に加工した後、これを外部接続端子としてプリント配
線基板に接続実装して電気的導通回路が構成される。
第6図は樹脂パッケージ6によって樹脂封止した半導体
装置の最終製品の例を示すものである。
装置の最終製品の例を示すものである。
樹脂パッケージ6の種類は、実装方法やその形状等によ
り、DIP(デニアル・イン・ラインパッケージ)
、 0FF(クワッド・フラットパッケージ)。
り、DIP(デニアル・イン・ラインパッケージ)
、 0FF(クワッド・フラットパッケージ)。
SOJ (スモール・アウトラインゴーベンド)等の
表面実装形に区分されている。そして、アウターリード
4の形状としては、同図(a)〜(C)のように下に5
字状に曲げたもの、L字状としたもの及び下に真っ直ぐ
に伸びるもの等がある。
表面実装形に区分されている。そして、アウターリード
4の形状としては、同図(a)〜(C)のように下に5
字状に曲げたもの、L字状としたもの及び下に真っ直ぐ
に伸びるもの等がある。
しかしながら、同図[a)の5字形のアウターリード4
は下に長く伸びているので、取付は高さが大きくなって
実装空間が増し、更に手半田材は及び各アウターリード
4が正しい形状となっているかを判別する等の目視検査
が困難である。また、同図(ハ)のL字状のものは、ア
ウターリード4の強度が弱く且つ曲げ工程で変形しやす
いという問題がある。更に、同図(C)の直線状にした
ものでは、アウターリード4の下端の半田付けに多少の
テクニックを必要とし、現状の画像認識技術では自動実
装には適しているとは言えない。
は下に長く伸びているので、取付は高さが大きくなって
実装空間が増し、更に手半田材は及び各アウターリード
4が正しい形状となっているかを判別する等の目視検査
が困難である。また、同図(ハ)のL字状のものは、ア
ウターリード4の強度が弱く且つ曲げ工程で変形しやす
いという問題がある。更に、同図(C)の直線状にした
ものでは、アウターリード4の下端の半田付けに多少の
テクニックを必要とし、現状の画像認識技術では自動実
装には適しているとは言えない。
一方、このような各種の形状にアウタリード4を成形す
るためには、プレス成形金型やプレス成形工程を必要と
するので、設備や生産性の面での障害にもなる。
るためには、プレス成形金型やプレス成形工程を必要と
するので、設備や生産性の面での障害にもなる。
そして、リードフレームの上下を挟むようにして樹脂パ
ッケージ6によって封止するので、アウターリード4が
下に伸びる長さも大きくする必要がある。このため、金
属条材50及び樹脂ノシツケージ6に使用する樹脂(コ
ンパウンド)の使用量も増大し、コスト上の問題も無視
できない。また、プリント配線基板への取付けに際して
も、アウターリード4が下に長く延びていると半導体装
置の空間占有領域も大きくなり、実装密度の向上にも限
界がある。
ッケージ6によって封止するので、アウターリード4が
下に伸びる長さも大きくする必要がある。このため、金
属条材50及び樹脂ノシツケージ6に使用する樹脂(コ
ンパウンド)の使用量も増大し、コスト上の問題も無視
できない。また、プリント配線基板への取付けに際して
も、アウターリード4が下に長く延びていると半導体装
置の空間占有領域も大きくなり、実装密度の向上にも限
界がある。
そこで、本発明の目的は、アウタリードを成形するプレ
ス成形金型やプレス成形工程を排除し、取扱いを簡易化
し、更に、金属条材及び樹脂(コンパウンド)の使用量
を減少させ、経済的で且つ高密度表面実装に適した半導
体装置を提供することにある。
ス成形金型やプレス成形工程を排除し、取扱いを簡易化
し、更に、金属条材及び樹脂(コンパウンド)の使用量
を減少させ、経済的で且つ高密度表面実装に適した半導
体装置を提供することにある。
本発明は、半導体素子を一体に含んでリードフレームを
樹脂パッケージによって封止し、該樹脂パッケージの外
部にアウターリードを突き出した半導体装置であって、
前記半導体素子を含む面側のみのリードフレームを前記
樹脂i<ツケージによって封止し、前記アウターリード
はリードフレームとほぼ同じ平面上で直線的に延びてい
ることを特徴とする。
樹脂パッケージによって封止し、該樹脂パッケージの外
部にアウターリードを突き出した半導体装置であって、
前記半導体素子を含む面側のみのリードフレームを前記
樹脂i<ツケージによって封止し、前記アウターリード
はリードフレームとほぼ同じ平面上で直線的に延びてい
ることを特徴とする。
樹脂パッケージに封止された領域以外のリードフレーム
の全面に、この領域の縁部にオー/−,lう・ンプする
めっき層を施せば、樹脂封止されていない部分のリード
フレームの腐食やエレクトロマイグレーションが防止さ
れる。
の全面に、この領域の縁部にオー/−,lう・ンプする
めっき層を施せば、樹脂封止されていない部分のリード
フレームの腐食やエレクトロマイグレーションが防止さ
れる。
また、樹脂パッケージによる封止面と反対側のリードフ
レームの面に樹脂被膜層を形成すれば、プリント配線基
板との絶縁が良好に維持され、且つ湿気の侵入を防止す
る。
レームの面に樹脂被膜層を形成すれば、プリント配線基
板との絶縁が良好に維持され、且つ湿気の侵入を防止す
る。
更に、アウターリードの先端下面に突部を設ければ、プ
リント配線基板に固定したときにその表面との間に隙間
を造ることができる。
リント配線基板に固定したときにその表面との間に隙間
を造ることができる。
リードフレームは半導体素子を搭載した面側だけが樹脂
パッケージによって封止され、しかもアウターリードは
真っ直ぐに延びているので、樹脂の量が減ると共にアウ
ターリードを曲げる場合よりも長さも短くなる。アウタ
ーリードを面接触で確実にプリント配線基板の上に設定
でき、位置決めが正確に行われると共に実装密度を高く
する。
パッケージによって封止され、しかもアウターリードは
真っ直ぐに延びているので、樹脂の量が減ると共にアウ
ターリードを曲げる場合よりも長さも短くなる。アウタ
ーリードを面接触で確実にプリント配線基板の上に設定
でき、位置決めが正確に行われると共に実装密度を高く
する。
更に、アウターリードの先端下面に突部を設けた場合で
は、プリント配線基板の上に載せたときにできる隙間を
放熱空間として利用できる。
は、プリント配線基板の上に載せたときにできる隙間を
放熱空間として利用できる。
第1図は本発明の半導体装置をプリント配線基板Pの上
に設置した状態を示す概略縦断面図、第2図は金属条材
50に形成したリードフレームのパターンを示す平面図
である。
に設置した状態を示す概略縦断面図、第2図は金属条材
50に形成したリードフレームのパターンを示す平面図
である。
リードフレームのパターンは第5図の従来例と全く同様
であり、ステージ1.サポートパー2゜インナーリード
3.アウターリード4及びダムバー5がそれぞれ形成さ
れたものである。そして、ステージ1の上には半導体素
子20が固定され、Au。
であり、ステージ1.サポートパー2゜インナーリード
3.アウターリード4及びダムバー5がそれぞれ形成さ
れたものである。そして、ステージ1の上には半導体素
子20が固定され、Au。
AI等を利用したワイヤ7によってこの半導体素子20
の各インナーリード3の先端上面に形成した貴金属のめ
っき層8との間をワイヤボンディングによって接続して
いる。
の各インナーリード3の先端上面に形成した貴金属のめ
っき層8との間をワイヤボンディングによって接続して
いる。
リードフレームAに対して樹脂パッケージ6は第1図に
示すようにリードフレームAの下面が露出するように封
止している。すなわち、樹脂パッケージ6は半導体素子
20側のリードフレームAの上面のみを封止し、ステー
ジ1.インナーリード3及びアウターリード4の下面は
全て剥き出しになっている。換言すると、金属条材50
の肉厚分だけリードフレーム八が樹脂パッケージ6の中
に埋まったように一体化されている。そして、樹脂パッ
ケージ6による封止領域は第2図の二点鎖線Bで囲んだ
範囲であり、ダムバー5の内側に沿った線が境界となっ
ている。更に、アウターリード4は図示のようにインナ
ーリード3と同じレベル上で外部に伸びる直線状であっ
て、従来例の第5図で説明した下に曲げたものとは異な
っている。
示すようにリードフレームAの下面が露出するように封
止している。すなわち、樹脂パッケージ6は半導体素子
20側のリードフレームAの上面のみを封止し、ステー
ジ1.インナーリード3及びアウターリード4の下面は
全て剥き出しになっている。換言すると、金属条材50
の肉厚分だけリードフレーム八が樹脂パッケージ6の中
に埋まったように一体化されている。そして、樹脂パッ
ケージ6による封止領域は第2図の二点鎖線Bで囲んだ
範囲であり、ダムバー5の内側に沿った線が境界となっ
ている。更に、アウターリード4は図示のようにインナ
ーリード3と同じレベル上で外部に伸びる直線状であっ
て、従来例の第5図で説明した下に曲げたものとは異な
っている。
プリント配線基板Pへの実装には、アウターリード4の
先端部の下面及び端面を受けてこれを支持する半田層9
を利用する。このような半田層9を形成しておくことに
よって、剥き出しになっているリードフレームAの下面
がプリント配線基板Pの表面に接触することなく保持さ
れる。
先端部の下面及び端面を受けてこれを支持する半田層9
を利用する。このような半田層9を形成しておくことに
よって、剥き出しになっているリードフレームAの下面
がプリント配線基板Pの表面に接触することなく保持さ
れる。
このようにリードフレームAの上面側のみを樹脂パッケ
ージ6によって封止ししがもアウターリード4は曲げ加
工を施すことなく真っ直ぐにしたままなので、リードフ
レームへのパターンを成形した後にはアウターリード4
に曲げを与える成形工程が不要となる。また、樹脂パッ
ケージ6も従来のようにリードフレームAの上下を包み
込む場合よりも素材を減らすことができる。更に、プリ
ント配線基板Pに据え付ける場合でも、半田層9の厚み
分だけ浮いたものとなるので、プリント配線基板P上で
の実装占有空間も小さくなり、高密度の実装が可能とな
るほか、半田層9による固定も高度な技術を必要とせず
生産性の向上にも役立つ。
ージ6によって封止ししがもアウターリード4は曲げ加
工を施すことなく真っ直ぐにしたままなので、リードフ
レームへのパターンを成形した後にはアウターリード4
に曲げを与える成形工程が不要となる。また、樹脂パッ
ケージ6も従来のようにリードフレームAの上下を包み
込む場合よりも素材を減らすことができる。更に、プリ
ント配線基板Pに据え付ける場合でも、半田層9の厚み
分だけ浮いたものとなるので、プリント配線基板P上で
の実装占有空間も小さくなり、高密度の実装が可能とな
るほか、半田層9による固定も高度な技術を必要とせず
生産性の向上にも役立つ。
なお、樹脂パッケージ6によって封止されないダムバー
5よりも外側のリードフレームAに、たとえばNi、
Ni合金又はP(1,Pd合金等によってめっきを施し
ておくことが好ましい。これにより、リードフレームA
が剥き出しになっていても、腐食等の問題を防ぐことが
でき、且つ半田性が向上する。
5よりも外側のリードフレームAに、たとえばNi、
Ni合金又はP(1,Pd合金等によってめっきを施し
ておくことが好ましい。これにより、リードフレームA
が剥き出しになっていても、腐食等の問題を防ぐことが
でき、且つ半田性が向上する。
第3図は他の例を示す概略縦断面図であり、これは樹脂
パッケージ6によって封止されていない部分をポリイミ
ド等の樹脂被膜層10によって被覆したものである。こ
の樹脂被膜層10は絶縁層として機能するので、リード
フレームAの下面全体がプリント配線基板P側に向けて
剥き出しになっていても、絶縁性を保った装置が維持で
き、且つ外部からの湿気の侵入を防ぎ、高い信頼性を得
ることができる。
パッケージ6によって封止されていない部分をポリイミ
ド等の樹脂被膜層10によって被覆したものである。こ
の樹脂被膜層10は絶縁層として機能するので、リード
フレームAの下面全体がプリント配線基板P側に向けて
剥き出しになっていても、絶縁性を保った装置が維持で
き、且つ外部からの湿気の侵入を防ぎ、高い信頼性を得
ることができる。
更に、第4図は別の例を示す概略縦断面図である。
この例では、アウターリード4の先端の下面を下に突き
出した突部4aが形成され、この突部4aの高さ分だけ
リードフレームAとプリント配線基板Pの表面との間隔
を広げるようにしている。そして、リードフレームへの
下面全体、縁部周面及び上部のダムバー5の部分にかけ
てNi、 Ni合金又はP(]、Pd合金等のめっき層
11が形成され、このめっき層11の下面には第3図の
例と同様にポリイミド等の樹脂被膜層12が一体化され
ている。
出した突部4aが形成され、この突部4aの高さ分だけ
リードフレームAとプリント配線基板Pの表面との間隔
を広げるようにしている。そして、リードフレームへの
下面全体、縁部周面及び上部のダムバー5の部分にかけ
てNi、 Ni合金又はP(]、Pd合金等のめっき層
11が形成され、このめっき層11の下面には第3図の
例と同様にポリイミド等の樹脂被膜層12が一体化され
ている。
このように島つき層11と樹脂被膜層12とによってリ
ードフレームAが剥き出しになっている部分をカバーす
るので、第3図のものよりも一層高い絶縁構造とするこ
とができ、信頼性が更に向上する。また、アウターリー
ド4の下面に設けた突部4aによってリードフレームA
の下面とプリント配線基板Pの表面との間隔が開くので
、この間隔を放熱空間として利用できる。したがって、
アウターリード4の先端を曲げない方式であっても、プ
リント配線基板Pとの間の相対的な熱影響の発生がなく
、絶縁性だけでなく半導体素子20の保護も万全なもの
となる。
ードフレームAが剥き出しになっている部分をカバーす
るので、第3図のものよりも一層高い絶縁構造とするこ
とができ、信頼性が更に向上する。また、アウターリー
ド4の下面に設けた突部4aによってリードフレームA
の下面とプリント配線基板Pの表面との間隔が開くので
、この間隔を放熱空間として利用できる。したがって、
アウターリード4の先端を曲げない方式であっても、プ
リント配線基板Pとの間の相対的な熱影響の発生がなく
、絶縁性だけでなく半導体素子20の保護も万全なもの
となる。
以上のように、本発明では、リードフレームの一面を除
いて樹脂パッケージによって樹脂封止すると共に、アウ
ターリードはプリント配線基板に接続するのに必要な長
さだけ真っ直ぐに伸ばしてその下面を半田層によってプ
リント配線基板に固定するようにしている。このため、
従来のように1 アウターリードを下に曲げる場合に比べると、プリント
配線基板への実装占有空間が小さくなり、実装密度の向
上が図られる。また、樹脂パッケージはリードフレーム
の上面のみを被覆するので、成形に必要な樹脂(コンパ
ウンド)の量も減り、更にアウターリードを曲げないの
でその長さも従来に比べて短くできるので、金属条材及
び合成樹脂素材の節約によってコスト面での改善も可能
となる。
いて樹脂パッケージによって樹脂封止すると共に、アウ
ターリードはプリント配線基板に接続するのに必要な長
さだけ真っ直ぐに伸ばしてその下面を半田層によってプ
リント配線基板に固定するようにしている。このため、
従来のように1 アウターリードを下に曲げる場合に比べると、プリント
配線基板への実装占有空間が小さくなり、実装密度の向
上が図られる。また、樹脂パッケージはリードフレーム
の上面のみを被覆するので、成形に必要な樹脂(コンパ
ウンド)の量も減り、更にアウターリードを曲げないの
でその長さも従来に比べて短くできるので、金属条材及
び合成樹脂素材の節約によってコスト面での改善も可能
となる。
更に、アウターリードは真っ直ぐに平面的に延びた形状
なので、プリント配線基板への高密度の実装及び確認が
容易に行える。そして、アウターリードは金属条材のパ
ターンから単純に切断した状態で使用できるので、アウ
ターリード成形用の金型やプレス工程を必要とせず、生
産性の向上も図られる。
なので、プリント配線基板への高密度の実装及び確認が
容易に行える。そして、アウターリードは金属条材のパ
ターンから単純に切断した状態で使用できるので、アウ
ターリード成形用の金型やプレス工程を必要とせず、生
産性の向上も図られる。
また、樹脂パッケージによって封止されていない部分を
めっき処理したり合成樹脂の被膜でカバーすれば、プリ
ント配線基板との絶縁が確実に行われて信頼性が向上し
、且つエレクトロマイブレ2 −ションを防止でき、また腐食対策も万全になる。
めっき処理したり合成樹脂の被膜でカバーすれば、プリ
ント配線基板との絶縁が確実に行われて信頼性が向上し
、且つエレクトロマイブレ2 −ションを防止でき、また腐食対策も万全になる。
更に、アウターリードの先端の下面に突部を設けておけ
ば、半導体装置の下面とプリント配線基板の表面との間
に適切な大きさの隙間を持たせることができる。このた
め、この隙間を放熱空間として利用でき、半導体装置の
保護に役立てることができる。
ば、半導体装置の下面とプリント配線基板の表面との間
に適切な大きさの隙間を持たせることができる。このた
め、この隙間を放熱空間として利用でき、半導体装置の
保護に役立てることができる。
第1図は本発明の一実施例を示す半導体装置をプリント
配線基板の上に設置したときの概略縦断面図、第2図は
リードフレームのパターンを樹脂封止領域と共に示す平
面図、第3図は他の半導体装置の例を示す概略縦断面図
、第4図はアウターリードの先端下面に突部を設けた例
を示す概略縦断面図、第5図は従来から利用されている
リードフレームのパターンの典型例を示す平面図、第6
図は樹脂パッケージとアウターリードの従来の様々な形
状を示す図である。 1:ステージ 2:サポートパー3:インナー
リード 4a:突部 6:樹脂パッケージ 8:めっき層 10:樹脂被膜層 11:樹脂被膜層 4;アウターリード 5:ダムバー 7:ワイヤ 9:半田層 11:めっき層 20:半導体装置 50:金属条材 A:リードフレーム B:樹脂パッケージ境界線 1 基準ピン孔
配線基板の上に設置したときの概略縦断面図、第2図は
リードフレームのパターンを樹脂封止領域と共に示す平
面図、第3図は他の半導体装置の例を示す概略縦断面図
、第4図はアウターリードの先端下面に突部を設けた例
を示す概略縦断面図、第5図は従来から利用されている
リードフレームのパターンの典型例を示す平面図、第6
図は樹脂パッケージとアウターリードの従来の様々な形
状を示す図である。 1:ステージ 2:サポートパー3:インナー
リード 4a:突部 6:樹脂パッケージ 8:めっき層 10:樹脂被膜層 11:樹脂被膜層 4;アウターリード 5:ダムバー 7:ワイヤ 9:半田層 11:めっき層 20:半導体装置 50:金属条材 A:リードフレーム B:樹脂パッケージ境界線 1 基準ピン孔
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体素子を一体に含んでリードフレームを樹脂パ
ッケージによって封止し、該樹脂パッケージの外部にア
ウターリードを突き出した半導体装置であって、前記半
導体素子を含む面側のみのリードフレームを前記樹脂パ
ッケージによって封止し、前記アウターリードはリード
フレームとほぼ同じ平面上で直線的に延びていることを
特徴とする半導体装置。 2、前記樹脂パッケージに封止された領域以外のリード
フレームの全面に、前記領域の縁部にオーバラップする
めっき層を施したことを特徴とする請求項1記載の半導
体装置。 3、樹脂パッケージによる封止面と反対側のリードフレ
ームの面に、樹脂被膜層を形成したことを特徴とする請
求項1または2記載の半導体装置。 4、前記アウターリードの先端下面に突部を設けている
ことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半
導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020948A JPH0750757B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020948A JPH0750757B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03225944A true JPH03225944A (ja) | 1991-10-04 |
JPH0750757B2 JPH0750757B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=12041418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020948A Expired - Fee Related JPH0750757B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0750757B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0999586A2 (en) * | 1998-11-05 | 2000-05-10 | Sony Corporation | Semiconductor device and method of producing same |
EP3117460A4 (en) * | 2014-03-14 | 2017-12-20 | Texas Instruments Incorporated | Structure and method of packaged semiconductor devices |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58142551A (ja) * | 1982-02-19 | 1983-08-24 | Hitachi Ltd | 樹脂封止半導体装置 |
JPS63197363A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-16 | Goto Seisakusho:Kk | 半導体装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2020948A patent/JPH0750757B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58142551A (ja) * | 1982-02-19 | 1983-08-24 | Hitachi Ltd | 樹脂封止半導体装置 |
JPS63197363A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-16 | Goto Seisakusho:Kk | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0999586A2 (en) * | 1998-11-05 | 2000-05-10 | Sony Corporation | Semiconductor device and method of producing same |
EP0999586A3 (en) * | 1998-11-05 | 2002-06-05 | Sony Corporation | Semiconductor device and method of producing same |
EP3117460A4 (en) * | 2014-03-14 | 2017-12-20 | Texas Instruments Incorporated | Structure and method of packaged semiconductor devices |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0750757B2 (ja) | 1995-05-31 |
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