JPH0319938Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 この考案は真空排気される容器の排気用口金を
真空排気装置に迅速に取り付ける真空排気装置用
自動アダプタに関する。

(ロ) 従来技術 第３図は真空排気される容器の排気用口金を取
り付けられる従来のアダプタを示した説明図であ
る。即ち排気用口金１を挿通されるワーク受金具
２を、真空排気装置本体３に取り付けられる。し
かして前記ワーク受金具２に螺合される袋ナツト
４を締め付けることによりガスケツト５が排気用
口金１に押圧され、取り付け部の気密性が保持さ
れる。

しかしながら前述した袋ナツト４の締め付けな
らびにその解除作業は時間を要する煩わしい作業
であるともに、一般的にはかかる作業は人手に頼
らざるを得ないため、その自動化が困難であり、
したがつて真空排気工程を自動化する上で大変障
害となつていたものである。

(ハ) 目的 この考案は真空排気装置本体への排気用口金の
取り付け及び取り外し作業の自動化を可能にする
とともに、その作業を短時間で行うことができる
真空排気装置用自動アダプタを提供することを目
的としている。

(ニ) 構成 この考案に係る真空排気装置用自動アダプタ
は、真空排気される容器の排気用口金を挿通され
る口金挿通孔を形成されたワーク受金具に、これ
と略同軸状に軸方向に押し下げられるスライダを
取り付けるとともに、このスライダの動きを案内
し、かつ押し下げ方向の動きを制限するヘツダと
を備え、前記ヘツダとスライダとの間に形成され
た圧力室に圧空を導入することにより、スライダ
に押圧を与えて前記排気用口金に嵌めつけられた
ガスケツトを押圧するように構成したことを特徴
としている。

(ホ) 実施例 実施例 第１図はこの考案の一実施例に係る真空排気装
置用自動アダプタの構成を示した断面図である。
同図において中心線Ｌより左側はシール状態を、
中心線Ｌより右側はシール解除状態を示してい
る。

１０は真空排気される容器（ワーク）であり、
１１は前記容器１０に連通する排気用口金を示し
ている。

２０はこの実施例に係る真空排気装置用自動ア
ダプタを示している。２１は前記排気用口金を挿
通されるワーク受金具を示している。このワーク
受金具２１は円筒状の胴体２１１の下面に外方フ
ランジ２１２を形成されてなる。ワーク受金具２
１には前記排気用口金を挿通される口金挿通孔２
１３が設けられている。口金挿通孔２１３の中間
部は排気用口金１１の先端部と当接する段付きが
設けられ、さらに上方開口部は径大となつてガス
ケツト２２が嵌めつけられるようになつている。
このワーク受金具２１は、真空排気装置本体３０
の真空排気孔３１と前記口金挿通孔２１３とが連
通するように、該真空排気装置本体に螺子止めさ
れる。

２３はスライダであり、このスライダ２３は前
記排気用口金１１を遊嵌される内部孔を備えた胴
体２３１と、前記胴体２３１の下面に形成される
外方フランジ２３２を備えている。前記内部孔の
下側開口部周縁に前記ガスケツト２２を押圧する
ための凸脈２３３が形成されており、さらに前記
凸脈２３３を囲むように周溝２３６が削設されて
いる。さらに前記胴体２３１及び外方フランジ２
３２の周面には周溝が形成されており、この周溝
にＯリング２４及び２５がそれぞれ嵌めつけられ
ている。

２６は前記スライダ２３を押し上げる方向に作
用するスプリングを示している。このスプリング
２６はワーク受金具２１の胴体２１１に遊嵌さ
れ、その上方端は前記スライダ２３の周溝２３６
に嵌め込まれている。

２７は、筒状の胴体２７１と、この胴体２７１
の上方開口部に内方フランジ２７２が形成された
ヘツダを示している。胴体２７１の内周面は前記
スライダ２３の外方フランジ２３２の周面と摺接
しており、前記内方フランジ２７２の内周面はス
ライダ２３の胴体２３１の周面と摺接している。
しかしてヘツダ２７はスペーサ２８を介してワー
ク受金具２１に螺子止めされている。

２９は前記スライダ２３の外方フランジ２３２
と、前記ヘツダ２７内方フランジ２７２とによつ
て形成される間隙部からなる圧力室を示してい
る。ヘツダ２７の胴体２７１には圧力室２９と連
通するように螺子孔が開設されており、この螺子
孔にチユーブ４０の先端に取り付けられた管継手
４１が気密に取り付けられている。このチユーブ
４０を介して圧力室２９に高圧空気が送り込まれ
る。

次に上述した構成を備えた真空排気装置用自動
アダプタの動作について説明する。

圧力室２９に圧空が導入されていない状態にお
いて、スライダ２３はスプリング２６の作用によ
り押し上げられて、胴体２３１の段付き部がヘツ
ダ２７の内方フランジ２７２の下面端部に当接し
て静止している。このような状態において真空排
気される容器１０の排気用口金１１がスライダ２
３の内部孔及びワーク受金具２１の口金挿通孔２
１３に挿通される。その後に圧力室２９に圧空が
導入されることにより、スライダ２３は前記スプ
リング２６のバネ力に抗して下方に押し下げられ
る。その結果排気用口金１１に嵌め込まれている
ガスケツト２２がスライダ２３の凸脈２３３によ
つて押圧される。しかしてこのガスケツト２２が
排気用口金１１の外周面と、ワーク受金具２１の
胴体２１１の開口部内周面とに圧接されることに
より、排気用口金１１がワーク受金具２１に気密
状態を保持して取り付けられる。

排気作業が完了して前記排気用口金１１をアダ
プタ２０から取り外す際は、圧力室２９に導入さ
れる圧空を遮断して、圧力室２９内の圧力を大気
圧に戻す。これによりスライダ２３はスプリング
２６のバネ力により押し上げられて初期状態（第
１図の左側の図）に復帰するから、排気用口金１
１はアダプタ２０から容易に取り外すことができ
る。

実施例 第２図はこの考案のその他の実施例に係る真空
排気装置用自動アダプタの構成を示した一部断面
図である。同図において、中心線より左側はシー
ル状態を、中心線より右側はシール解除状態を示
している。また同図において第１図と同一部分は
同一符号で示している。

５０はこの実施例に係る真空排気装置用自動ア
ダプタである。５１は第１図に示したと同様のワ
ーク受金具、５２は排気用口金１１に嵌め込まれ
るガスケツト、５３はワーク受金具５１と同軸状
に取り付けられるスライダを示している。このス
ライダ５３は円筒状の胴体５３１と、前記胴体５
３１の下面に形成された外方フランジ５３２を有
している。５４は下面が前記ガスケツト５２と当
接する円筒状のガスケツト押さえである。このガ
スケツト押さえ５４の上端面は前記スライダ５３
の胴体５３１に形成され膨出部に当接している。

５６はワーク受金具５１の胴体に遊嵌され、前
記スライダ５３を押し上げるスプリングを示して
いる。

５７は、スライダ５３の胴体５３１の周面に気
密に摺接する胴体５７１と、前記胴体５７１に形
成された外方フランジ５７２を含むヘツダを示し
ている。このヘツダ５７はタイロツド５８を介し
てワーク受金具５１に対して固定的に取り付けら
れている。

５５は、スライダ５３及びヘツダ５７の各外方
フランジ５３２及び５７２に沿つて両端部を気密
に連結したベローズを示している。しかしてスラ
イダ５３の胴体表面と、前記ベローズとによつて
形成される間隙部によつて圧力室５９が構成され
ている。この圧力室５９には前記ヘツダ５７に形
成された空気導入孔５７３から圧空が送り込まれ
る。

次に上述した構成を備えた実施例の動作の説明
をする。第１図に示した実施例の場合と同様に、
排気用口金１１が挿通される前は圧力室５９に圧
空が導入されていない。そのためスライダ５３は
スプリング５６のバネ力により押し上げられてヘ
ツダ５７の胴体下面と当接して静止している。し
かして排気用口金１１がワーク受金具５１等に挿
通された後、圧力室５９に圧空が送り込まれる。
これによりスライダ５３が押し下げられることに
より、ガスケツト５２がガスケツト押さえ５４に
よつて押圧されて変形し、排気用口金１１が気密
状態に取り付けられる。排気用口金１１を取り外
す場合は第１図において説明したように圧力室５
９に送り込まれる圧空を遮断して行われる。

(ヘ) 効果 この考案に係る真空排気装置用自動アダプタ
は、排気用口金を挿通されるヘツダとスライダと
の間に圧力室を形成し、この圧力室に圧空を導入
することにより前記スライダを押し下げてガスケ
ツトを押圧することにより、排気用口金をワーク
受金具に気密状態に取り付けている。しかして前
記圧空を遮断することによりスプリング力によつ
てスライダを押し上げるように構成している。

従つてこの考案によれば、従来のアダプタのよ
うに排気用口金を取り付けあるいは取り外す際に
袋ナツトをその都度締め付けあるいは取り外す必
要がないのでワークの取り付け及び取り外し作業
を自動的に行うことが可能となつた。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例に係る真空排気装
置用自動アダプタの構成を示した断面図、第２図
はこの考案のその他の実施例の構成を示した一部
断面図、第３図は従来の真空排気装置用自動アダ
プタの構成を示した説明図である。 １０……容器、１１……排気用口金、２０，５
０……真空排気装置用自動アダプタ、２１，５１
……ワーク受金具、２１３……口金挿通孔、２
３，５３……スライダ、２２，５２……ガスケツ
ト、２６，５６……スプリング、２７，５７……
ヘツダ、２９，５９……圧力室。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空排気される容器の排気用口金を挿通され
   る口金挿通孔を形成されたワーク受金具と、 前記ワーク受金具と略同軸状に配設され、軸
   方向に押し下げられることにより、挿通された
   前記排気用口金にガスケツトを押圧するスライ
   ダと、 前記スライダを押し上げる方向に作用するス
   プリングと、 前記ワーク受金具に対して固定的に取り付け
   られ、前記スライダの動きを案内すると共に、
   押し上げ方向の動きを制限するヘツダと、 前記ヘツダとスライダとの間に介在し、導入
   される圧空により前記スライダに押圧力を与え
   る圧力室とを具備したことを特徴とする真空排
   気装置用自動アダプタ。 (2) 前記スライダはヘツダの内周面に気密に摺接
   する外方フランジを備え、 前記ヘツダは前記スライダの胴体周面に気密
   に摺接する内方フランジを備え、 かつ、前記圧力室は前記スライダの外方フラ
   ンジと、前記ヘツダの内方フランジとによつて
   形成される間隙部であることを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の真空排気装置
   用自動アダプタ。 (3) 前記スライダはその下面に外方フランジを備
   え、 前記ヘツダは外方フランジを備えるととも
   に、内周面が前記スライダの胴体周面に気密に
   摺接するものであり、 かつ、前記圧力室は、前記スライダの胴体周
   面と、前記スライダ及びヘツダの各外方フラン
   ジに沿つて端部を気密に連結されたベローズと
   によつて形成される間隙部であることを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第１項記載の真空
   排気装置用自動アダプタ。