JPS61118631U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例に係る真空排気装
置用自動アダプタの構成を示した断面図、第２図
はこの考案のその他の実施例の構成を示した一部
断面図、第３図は従来の真空排気装置用自動アダ
プタの構成を示した説明図である。 １０……容器、１１……排気用口金、２０，５
０……真空排気装置用自動アダプタ、２１，５１
……ワーク受金具、２１３……口金挿通孔、２３
，５３……スライダ、２２，５２……ガスケツト
、２６，５６……スプリング、２７，５７……ヘ
ツダ、２９，５９……圧力室。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空排気される容器の排気用口金を挿通さ
   れる口金挿通孔を形成されたワーク受金具と、 前記ワーク受金具と略同軸状に配設され、軸方
   向に押し下げられることにより、挿通された前記
   排気用口金にガスケツトを押圧するスライダと、 前記スライダを押し上げる方向に作用するスプ
   リングと、 前記ワーク受金具に対して固定的に取り付けら
   れ、前記スライダの動きを案内すると共に、押し
   上げ方向の動きを制限するヘツダと、 前記ヘツダとスライダとの間に介在し、導入さ
   れる圧空により前記スライダに押圧力を与える圧
   力室とを具備したことを特徴とする真空排気装置
   用自動アダプタ。 (2) 前記スライダはヘツダの内周面に気密に摺
   接する外方フランジを備え、 前記ヘツダは前記スライダの胴体周面に気密に
   摺接する内方フランジを備え、 かつ、前記圧力室は前記スライダの外方フラン
   ジと、前記ヘツダの内方フランジとによつて形成
   される間隙部であることを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第１項記載の真空排気装置用自動ア
   ダプタ。 (3) 前記スライダはその下面に外方フランジを
   備え、 前記ヘツダは外方フランジを備えるとともに、
   内周面が前記スライダの胴体周面に気密に摺接す
   るものであり、 かつ、前記圧力室は、前記スライダの胴体周面
   と、前記スライダ及びヘツダの各外方フランジに
   沿つて端部を気密に連結されたベローズとによつ
   て形成される間隙部であることを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の真空排気装置用
   自動アダプタ。