JPS59182099U - 真空シ−ル装置 - Google Patents
真空シ−ル装置Info
- Publication number
- JPS59182099U JPS59182099U JP7709283U JP7709283U JPS59182099U JP S59182099 U JPS59182099 U JP S59182099U JP 7709283 U JP7709283 U JP 7709283U JP 7709283 U JP7709283 U JP 7709283U JP S59182099 U JPS59182099 U JP S59182099U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- pull
- sealing device
- pressure
- vacuum sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の真空シール装置の断面図、第２゛図は本
考案の一実施例を示す主要部断面図である。 １・・・・・・炉芯管、４・・・・・・引出し棒、９・
・・・・・空圧加圧部、１０・・・・・・加圧膜。
考案の一実施例を示す主要部断面図である。 １・・・・・・炉芯管、４・・・・・・引出し棒、９・
・・・・・空圧加圧部、１０・・・・・・加圧膜。
Claims (1)
- 加圧、減圧を繰り返す炉芯管の一側に、該炉芯管の内外
に摺動可能に挿入された引出し棒の周囲を取囲んで空圧
加圧部を設け、空圧加圧部内で炉芯管より突出した引出
し棒の周囲に蛇腹状の加圧膜を配設し、加圧膜に作用す
る空圧加圧部の圧力で加圧膜を引出し棒の周面に圧接さ
せ、炉芯管と引出し棒との間を気密保持するようにした
ことを特徴とする真空シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7709283U JPS59182099U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | 真空シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7709283U JPS59182099U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | 真空シ−ル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59182099U true JPS59182099U (ja) | 1984-12-04 |
Family
ID=30207130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7709283U Pending JPS59182099U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | 真空シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59182099U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6346934U (ja) * | 1986-09-16 | 1988-03-30 |
-
1983
- 1983-05-23 JP JP7709283U patent/JPS59182099U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6346934U (ja) * | 1986-09-16 | 1988-03-30 |
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