JPH03194433A - ガラス管間接取り付け組立体 - Google Patents
ガラス管間接取り付け組立体Info
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- JPH03194433A JPH03194433A JP2254382A JP25438290A JPH03194433A JP H03194433 A JPH03194433 A JP H03194433A JP 2254382 A JP2254382 A JP 2254382A JP 25438290 A JP25438290 A JP 25438290A JP H03194433 A JPH03194433 A JP H03194433A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
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- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
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- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 24
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の背景]
本発明は、ステンレス鋼などの金属ヘッダーに感圧シリ
コンチップを間接的に取り付けるための技術に関し、よ
り具体的には、シリコンチップ用のガラス管を使用し、
ガラス管とヘブダーとの間に鉄ニッケル(Kovar)
境界面部材を使用するための技術に関する。
コンチップを間接的に取り付けるための技術に関し、よ
り具体的には、シリコンチップ用のガラス管を使用し、
ガラス管とヘブダーとの間に鉄ニッケル(Kovar)
境界面部材を使用するための技術に関する。
電子感圧トランスミツターでは、ステンレス鋼ヘッダー
へのシリコンチップの取り付けに問題が生じる。シリコ
ンチップとステンレス鋼との熱膨張係数が非常に異なっ
ているので、シリコンチップをステンレス鋼に直接接合
すると、ステンレス鋼の膨張及び収縮により、シリコン
チップが損傷される結果となる。従って、ガラス管で形
成されたホルダーがシリコンチップの取り付けにしばし
ば使用される。ガラス管ホルダーを使用してシリコンチ
ップを取り付ける場合には、ガラス管をステンレス鋼に
どの様にして連結するのかが問題となる。
へのシリコンチップの取り付けに問題が生じる。シリコ
ンチップとステンレス鋼との熱膨張係数が非常に異なっ
ているので、シリコンチップをステンレス鋼に直接接合
すると、ステンレス鋼の膨張及び収縮により、シリコン
チップが損傷される結果となる。従って、ガラス管で形
成されたホルダーがシリコンチップの取り付けにしばし
ば使用される。ガラス管ホルダーを使用してシリコンチ
ップを取り付ける場合には、ガラス管をステンレス鋼に
どの様にして連結するのかが問題となる。
ガラス管をステンレスへフダーに間接的に取り付けるた
めに、様々な方法が従来使用されている。特に米国特許
筒4.019,388号(出願人: George R
,Hall、発行日:1977年4月26日)には、シ
リコンチップ用のガラス管ホルダーと、ガラス管をステ
ンレスハウジングに間接的に取り付けるためのニッケル
鉄ホルダーとが開示されている。この特許では、ガラス
及びステンレス網の両者に接合でき、又、シリコンチッ
プの熱膨張係数とステンレス鋼の#I#張係数との中間
の熱膨張係数を育しているニッケル鉄(Kovar)境
界面部材を使用することの利点が認識されている認識さ
れている。
めに、様々な方法が従来使用されている。特に米国特許
筒4.019,388号(出願人: George R
,Hall、発行日:1977年4月26日)には、シ
リコンチップ用のガラス管ホルダーと、ガラス管をステ
ンレスハウジングに間接的に取り付けるためのニッケル
鉄ホルダーとが開示されている。この特許では、ガラス
及びステンレス網の両者に接合でき、又、シリコンチッ
プの熱膨張係数とステンレス鋼の#I#張係数との中間
の熱膨張係数を育しているニッケル鉄(Kovar)境
界面部材を使用することの利点が認識されている認識さ
れている。
ところが、上記特許では、特定のにovar境界面部材
構造と、ステンレス鋼に境界面部材を連結するための特
定の構造部とを通して、ガラス管に対する応力を解放す
ることが考慮されていない。
構造と、ステンレス鋼に境界面部材を連結するための特
定の構造部とを通して、ガラス管に対する応力を解放す
ることが考慮されていない。
従って、ガラス管に対する応力を低減するような方法で
構成されて、ステンレス鋼に連結されるKovar境界
面部材が望まれている。
構成されて、ステンレス鋼に連結されるKovar境界
面部材が望まれている。
[発明の構成]
本発明はステンレス網ヘッダーにガラス管を連結する取
り付け組立体を提供し、それにより上記要求及びその他
の要求を満たすものである。ステンレス鋼ヘッダーは、
第1肩部及び第2肩部を有する孔を含んでいる* K
ovar境界面部材フブシャーが、その内周部において
のみ、第1肩部に固定され、それにより、境界面部材が
自由に膨張及び収縮でき、そのために、ガラス管に対す
るせん断応力が解放される。
り付け組立体を提供し、それにより上記要求及びその他
の要求を満たすものである。ステンレス鋼ヘッダーは、
第1肩部及び第2肩部を有する孔を含んでいる* K
ovar境界面部材フブシャーが、その内周部において
のみ、第1肩部に固定され、それにより、境界面部材が
自由に膨張及び収縮でき、そのために、ガラス管に対す
るせん断応力が解放される。
[実施例]
図面において、本発明による図示の取り付け組立体は全
体が符号10で示されている。
体が符号10で示されている。
感圧シリコンチップ12が、図示の如く、ステンレス鋼
ヘッダー14に間接的に取り付けである。21Il定し
ようとする圧力はヘッダー通路16に存在している。ガ
ラス管!8は孔20を育しており、内径がrlで外径が
r2である。ガラス管18には第1端部22及び第2端
部24も設けである。境界面部材26はガラス管18の
第1端部22とヘッダ−14との間に位置してVる。第
1端部22は境界面部材26に対して、ガラスをKov
arに固定するための公知の溶着技術により固定されて
いる。シリコンチップ12は感圧部分13を含んでいる
。シリコンチップ12はガラス管18の第2端部24に
対して、感圧部分13を測定対象の圧力に晒した状態で
取り付けである。
ヘッダー14に間接的に取り付けである。21Il定し
ようとする圧力はヘッダー通路16に存在している。ガ
ラス管!8は孔20を育しており、内径がrlで外径が
r2である。ガラス管18には第1端部22及び第2端
部24も設けである。境界面部材26はガラス管18の
第1端部22とヘッダ−14との間に位置してVる。第
1端部22は境界面部材26に対して、ガラスをKov
arに固定するための公知の溶着技術により固定されて
いる。シリコンチップ12は感圧部分13を含んでいる
。シリコンチップ12はガラス管18の第2端部24に
対して、感圧部分13を測定対象の圧力に晒した状態で
取り付けである。
第2図に最も明瞭に示す如く、金属ヘッダー14は、通
路16を形成する孔28を有している0通NIBの半径
はr3である。第1肩部30が孔28に形成されている
。環状表面32が第1肩部30から側%!34まで半径
方向外向きに延びている。m1134の半径はr4であ
る。
路16を形成する孔28を有している0通NIBの半径
はr3である。第1肩部30が孔28に形成されている
。環状表面32が第1肩部30から側%!34まで半径
方向外向きに延びている。m1134の半径はr4であ
る。
第2肩部36が第1肩部30と同心に形成されている。
環状表面38が第2肩部36から第2側I!40まで半
径方向外向きに延びている。
径方向外向きに延びている。
第3図に最も明瞭に示す如く、境界面部材26には、半
径方向外向きに延びる部分42と、軸方向に延びる管状
の部分48とが設けである0部分42は頂部表1i14
4と庇部衣[4Bとを含んでいる。軸方向管状態分48
は内径が「5で、外径が「6である。管状態分48は第
1(上側)端部50と第2(下側)端部52と下端部6
3の表面54とを含んでいる。管状態分48の上端部5
0は半径方向外向きに延びる部分42に一体的に固定さ
れている。第1の別の実施例では、境界面部材26は、
内径が「7で外径がr8の起立リップ56をも含んでい
る。
径方向外向きに延びる部分42と、軸方向に延びる管状
の部分48とが設けである0部分42は頂部表1i14
4と庇部衣[4Bとを含んでいる。軸方向管状態分48
は内径が「5で、外径が「6である。管状態分48は第
1(上側)端部50と第2(下側)端部52と下端部6
3の表面54とを含んでいる。管状態分48の上端部5
0は半径方向外向きに延びる部分42に一体的に固定さ
れている。第1の別の実施例では、境界面部材26は、
内径が「7で外径がr8の起立リップ56をも含んでい
る。
軸方向に延びる部分48の下端部52は、半径「5の内
周部においてのみ、孔28の第1肩部30に固定されて
いる。境界面部材26は肩部30に対して、例えば溶接
やろう付けにより固定できる。この溶接やろう付けは、
境界面部材26の内周(r5)と第1肩部30との間に
のみ施す必要がある。
周部においてのみ、孔28の第1肩部30に固定されて
いる。境界面部材26は肩部30に対して、例えば溶接
やろう付けにより固定できる。この溶接やろう付けは、
境界面部材26の内周(r5)と第1肩部30との間に
のみ施す必要がある。
これにより、境界面部材26は温度の増減に伴って膨張
及び収縮でき、しかも、応力から比較的解放された状態
に保たれる。具体的には、下端部52の表面54は第1
環状表面32に沿って自由に移動でき、又、半径方向外
向きに延びる部分42の底部表面46は第2の環状表面
38に沿って自由に移動できる。
及び収縮でき、しかも、応力から比較的解放された状態
に保たれる。具体的には、下端部52の表面54は第1
環状表面32に沿って自由に移動でき、又、半径方向外
向きに延びる部分42の底部表面46は第2の環状表面
38に沿って自由に移動できる。
以上に構成及び作用を記載したvtlilloでは、数
多くの効果を得ることができる。
多くの効果を得ることができる。
ガラス管をステンレス鋼ヘッダーに取り付けるための従
来の解決策では、ガラス管の熱膨張係数(αG)とステ
ンレス鋼の熱膨張係数(αSS)との中間の線M膨張係
数(α)を有する境界面部材を製作することに焦点が当
てられていた。すなわち、以下の通りである。
来の解決策では、ガラス管の熱膨張係数(αG)とステ
ンレス鋼の熱膨張係数(αSS)との中間の線M膨張係
数(α)を有する境界面部材を製作することに焦点が当
てられていた。すなわち、以下の通りである。
αGくαにくαSS
なお、αには境界面部材の線熱膨張係数である。
本願発明では、ろう付けは境界面部材の内周部だけに施
され、ろう付け部分は、ろう付け線に概ね沿う単一の円
だけを形成する。従って、ろう付けされた円形部分だけ
を除いて、境界面部材は温度に対応して、ヘッダーがら
独立して、自由に膨張及び収縮できる。これにより境界
面部材は本質的に応力から解放される。更に、係数αに
はαGとαにの間にある必要はない9本願発明では、α
には、αSSをほとんど考慮することなく、αGに概ね
等しくできる。
され、ろう付け部分は、ろう付け線に概ね沿う単一の円
だけを形成する。従って、ろう付けされた円形部分だけ
を除いて、境界面部材は温度に対応して、ヘッダーがら
独立して、自由に膨張及び収縮できる。これにより境界
面部材は本質的に応力から解放される。更に、係数αに
はαGとαにの間にある必要はない9本願発明では、α
には、αSSをほとんど考慮することなく、αGに概ね
等しくできる。
第2の別の実施例の装+mtoが第4図に示されている
。
。
境界面部材70は概ね平面状のワッシャーの形態にあり
、測定対象の圧力をガラス管18内へ通せるように、そ
の中心部に孔72を有している。境界面部材7oは、そ
の外周に隣接する起立部分を含んでいる。起立部分は折
れ血かり形態にあり、その折れ曲がり部の側部76.7
Bはステンレス鋼ヘッダー14の表面8oに交差して概
ね3角形の空隙82が形成されている。境界面部材7o
は、その外周部において溶接部88によりヘッダー14
に固定できる。すなわち、境界面部材7oはヘッダー1
4に対して単一の円においてのみ固定される。境界面部
材70はほぼ自由に膨張及び収縮でき、又、境界面部材
7゜の底部表面84はステンレス鋼ヘッダー14の表1
Ii186に沿って移動できる。
、測定対象の圧力をガラス管18内へ通せるように、そ
の中心部に孔72を有している。境界面部材7oは、そ
の外周に隣接する起立部分を含んでいる。起立部分は折
れ血かり形態にあり、その折れ曲がり部の側部76.7
Bはステンレス鋼ヘッダー14の表面8oに交差して概
ね3角形の空隙82が形成されている。境界面部材7o
は、その外周部において溶接部88によりヘッダー14
に固定できる。すなわち、境界面部材7oはヘッダー1
4に対して単一の円においてのみ固定される。境界面部
材70はほぼ自由に膨張及び収縮でき、又、境界面部材
7゜の底部表面84はステンレス鋼ヘッダー14の表1
Ii186に沿って移動できる。
第1図は本願発明による境界面部材とガラス管とにより
、ステンレス鋼ヘッダーに取り付けられた感圧シリコン
チップの断面図、第2図はガラス管と境界面部材とステ
ンレス鋼ヘッダーとの拡大部分断面図であって、リップ
を含む別の実施例を仮想線で示す図、第3図は仮想線で
ボナリップを備えた境界面部材単体の断iIiI図、第
4図は本願発明の第2の別の実施例の断面図である。 10・・・取り付け組立体、12・・・感圧シリコンチ
ップ、l4・・・ステンレス網ヘッダ− 18・・・ガ
ラス管、22・・・第1端部、24・・・第2端部、2
6・・・境界面部材、28・・・金属ヘッダーの孔、3
0・・・第1肩部、32・・・環状表面、34・・・側
壁、36・・・第2肩部、38・・・環状表面、4o・
・・第2側壁、42・・・半径方向外向きに延びる部分
、44・・・軸方向に延びる部分、44・・・頂部表面
、46・・・底部表面へ゛P甲べ 屯 ンリ 訝タJ杉1
、ステンレス鋼ヘッダーに取り付けられた感圧シリコン
チップの断面図、第2図はガラス管と境界面部材とステ
ンレス鋼ヘッダーとの拡大部分断面図であって、リップ
を含む別の実施例を仮想線で示す図、第3図は仮想線で
ボナリップを備えた境界面部材単体の断iIiI図、第
4図は本願発明の第2の別の実施例の断面図である。 10・・・取り付け組立体、12・・・感圧シリコンチ
ップ、l4・・・ステンレス網ヘッダ− 18・・・ガ
ラス管、22・・・第1端部、24・・・第2端部、2
6・・・境界面部材、28・・・金属ヘッダーの孔、3
0・・・第1肩部、32・・・環状表面、34・・・側
壁、36・・・第2肩部、38・・・環状表面、4o・
・・第2側壁、42・・・半径方向外向きに延びる部分
、44・・・軸方向に延びる部分、44・・・頂部表面
、46・・・底部表面へ゛P甲べ 屯 ンリ 訝タJ杉1
Claims (2)
- (1)端部を有するガラス管を金属ヘッダーに間接的に
取り付けるための取り付け組立体であって、上記金属ヘ
ッダーが孔を有しており、該孔が第1肩部と第2肩部と
を有し、該第2肩部が上記第1肩部から軸方向にずれて
おり; 上記第1肩部から半径方向外向きに延びる第1環状表面
が設けてあり; 上記第2肩部から半径方向外向きに延びる第2環状表面
が設けてあり; 上記孔が更に側壁を有し、該側壁が半径を有し、該側壁
が上記第1環状表面を上記第2環状表面に連結しており
; 半径方向外向きに延びる部分と軸方向に延びる部分とを
備えた境界面部材が設けてあり、上記半径方向外向きに
延びる部分が頂部表面と底部表面とを有しており、上記
軸方向に延びる部分が第1端部と第2端部と内周と外周
とを有し、該外周の半径が上記孔の側壁の上記半径より
も小さく、上記第1端部が上記半径方向外向きに延びる
部分の上記底部表面に一体に連結しており:上記ガラス
管の上記端部が、上記境界面部材の上記半径方向外向き
に延びる部分の上記頂部表面に取り付けてあり; 上記境界面部材が、上記第1環状表面に上記半径方向外
向きに延びる部分の上記底部表面を隣接させた状態で、
上記孔に受け入れられており、上記軸方向に延びる部分
の上記第2端部を上記第1環状表面に隣接させた状態で
、上記軸方向に延びる部分の上記外周が上記孔の上記側
壁から離れており; 上記軸方向に延びる、分の上記第2端部の上記内周の上
記第1環状表面との接合部においてのみ、上記境界面部
材を上記ヘッダーに固定する手段を設け、それにより、
応力を概ね解放した状態での上記境界面部材の自由膨張
を許容して、上記ガラス管の破損の可能性を低減したこ
とを特徴とするガラス管間接取り付け組立体。 - (2)孔を有する金属ヘッダーにガラス管を取り付ける
ための取り付け組立体であって、鉄ニッケル合金境界面
部材を上記孔内に配置し、上記ガラス管の端部を上記境
界面部材に取り付ける形式の取り付け組立体において:
上記孔が第1肩部と第2肩部とを有し、該第2肩部が上
記第1肩部から軸方向にずれており; 上記第1肩部から半径方向外向きに延びる第1環状表面
が設けてあり; 上記第2肩部から半径方向外向きに延びる第2環状表面
が設けてあり; 上記孔が更に側壁を有し、該側壁が半径を有し、該側壁
が上記第1環状表面を上記第2環状表面に連結しており
; 半径方向外向きに延びる部分と軸方向に延びる部分とを
備えた境界面部材が設けてあり、上記半径方向外向きに
延びる部分が頂部表面と底部表面とを有しており、上記
軸方向に延びる部分が第1端部と第2端部と内周と外周
とを有し、該外周の半径が上記孔の側壁の上記半径より
も小さく、上記第1端部が上記半径方向外向きに延びる
部分の上記底部表面に一体に連結しており;上記ガラス
管の上記端部が、上記境界面部材の上記半径方向外向き
に延びる部分の上記頂部表面に取り付けてあり; 上記境界面部材が、上記第1環状表面に上記半径方向外
向きに延びる部分の上記底部表面を隣接させた状態で、
上記孔に受け入れられており、上記軸方向に延びる部分
の上記第2端部を上記第1環状表面に隣接させた状態で
、上記軸方向に延びる部分の上記外周が上記孔の上記側
壁から離れており; 上記軸方向に延びる部分の上記第2端部の上記内周の上
記第1環状表面との接合部においてのみ、上記境界面部
材を上記ヘッダーに固定する手段を設け、それにより、
応力を概ね解放した状態での上記境界面部材の自由膨張
を許容して、上記ガラス管の破損の可能性を低減したこ
とを特徴とするガラス管取り付け組立体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/412,962 US4930929A (en) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | Glass tube/stainless steel header interface for pressure sensor |
US412962 | 1989-09-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03194433A true JPH03194433A (ja) | 1991-08-26 |
Family
ID=23635209
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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