JPH0318709A - スケール装置 - Google Patents
スケール装置Info
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- JPH0318709A JPH0318709A JP15387689A JP15387689A JPH0318709A JP H0318709 A JPH0318709 A JP H0318709A JP 15387689 A JP15387689 A JP 15387689A JP 15387689 A JP15387689 A JP 15387689A JP H0318709 A JPH0318709 A JP H0318709A
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、大型工作機械等に装着して使用されるスケ
ール装置において、複数本のスケールを継ぎ合わせた長
尺のスケール装置に関する。
ール装置において、複数本のスケールを継ぎ合わせた長
尺のスケール装置に関する。
[従来の技術]
大型工作機械等において位置測定に使用される従来の長
尺の磁気スケールは製作上の制約から単位長の磁気スケ
ール単体を複数本継ぎ合わせて構成されている。このよ
うな長尺の磁気スケールは単位長の磁気スケール単体の
継ぎ合わせ端部を記録格子に対し、一定角度だけ傾斜し
て切断したもの同士を継ぎ合わせるのであるが、継ぎ合
わせ部において単位長の磁気スケール単体を互いに上下
方向に水平移動させながら、継ぎ合わせ部での格子ピッ
チを正確に合せて継ぎ目のない1本の長尺の磁気スケー
ルと同じ作用をするようにしてある。
尺の磁気スケールは製作上の制約から単位長の磁気スケ
ール単体を複数本継ぎ合わせて構成されている。このよ
うな長尺の磁気スケールは単位長の磁気スケール単体の
継ぎ合わせ端部を記録格子に対し、一定角度だけ傾斜し
て切断したもの同士を継ぎ合わせるのであるが、継ぎ合
わせ部において単位長の磁気スケール単体を互いに上下
方向に水平移動させながら、継ぎ合わせ部での格子ピッ
チを正確に合せて継ぎ目のない1本の長尺の磁気スケー
ルと同じ作用をするようにしてある。
[発明が解決しようとする課題]
単位長の磁気スケール単体を複数本継ぎ合わせて横戊し
た従来の長尺の磁気スケールは、その構成のために磁気
目盛が形成された磁気スケール単体を斜めに切断加工し
なければならずこの加工時における熱等の影響で端部で
の磁気特性が変わってしまい、正常な紀録とならないこ
とが生ずる。
た従来の長尺の磁気スケールは、その構成のために磁気
目盛が形成された磁気スケール単体を斜めに切断加工し
なければならずこの加工時における熱等の影響で端部で
の磁気特性が変わってしまい、正常な紀録とならないこ
とが生ずる。
また、単位長の磁気スケール単体の切断加工面を誤差な
く同一傾斜角度に切断加工することは難しく、斜めの継
ぎ合わせ部には必ず隙間ができ・そこでの漏れ磁束が影
響して正常な再生波形が得られなくなるなどの問題点が
あった。そして、これらの問題点は磁気目盛の格子ピッ
チが粗い場合は、それほど問題にならないが、数十ミク
ロンといった微少な格子ピッチでは誤差の原因となり、
正確な測定が出来ないことになる。
く同一傾斜角度に切断加工することは難しく、斜めの継
ぎ合わせ部には必ず隙間ができ・そこでの漏れ磁束が影
響して正常な再生波形が得られなくなるなどの問題点が
あった。そして、これらの問題点は磁気目盛の格子ピッ
チが粗い場合は、それほど問題にならないが、数十ミク
ロンといった微少な格子ピッチでは誤差の原因となり、
正確な測定が出来ないことになる。
[課題を解決するための手段]
この発明は、上記の欠点を解決するために1つの目盛読
取センサが長尺スケールの継ぎ合わせ部にくると、継ぎ
合わせ部検知手段によりこれを検知し、選択回路が長尺
スケールの継ぎ目に位置しない他の目盛読取センサから
の信号を選択して出力するようにして、継ぎ合わせ部か
らの信号を測定に使用しない構成にしている。すなわち
、単位長のスケールを継ぎ合わせ部において第1のスケ
ールの記録格子列と第2のスケールの記録格子列が測長
方向において重複するようにして長尺スケ−ルとし、こ
の長尺スケール上を移動する移動部材にスケールの幅方
向に所定の距離だけ離間させて第1及び第2の目盛読取
センサを設け、そして移動部材と長尺スケールの間にこ
れら第1及び第2の目盛読取センサが長尺スケールの継
ぎ目を含む所定領域内にきたときこれを検出する継ぎ部
検出手段を設けるとともに第1及び第2の目盛読取セン
サからの出力信号を択一的に選択する選択回路をもって
構成している。この構成により前記のようなal長を可
能としている。
取センサが長尺スケールの継ぎ合わせ部にくると、継ぎ
合わせ部検知手段によりこれを検知し、選択回路が長尺
スケールの継ぎ目に位置しない他の目盛読取センサから
の信号を選択して出力するようにして、継ぎ合わせ部か
らの信号を測定に使用しない構成にしている。すなわち
、単位長のスケールを継ぎ合わせ部において第1のスケ
ールの記録格子列と第2のスケールの記録格子列が測長
方向において重複するようにして長尺スケ−ルとし、こ
の長尺スケール上を移動する移動部材にスケールの幅方
向に所定の距離だけ離間させて第1及び第2の目盛読取
センサを設け、そして移動部材と長尺スケールの間にこ
れら第1及び第2の目盛読取センサが長尺スケールの継
ぎ目を含む所定領域内にきたときこれを検出する継ぎ部
検出手段を設けるとともに第1及び第2の目盛読取セン
サからの出力信号を択一的に選択する選択回路をもって
構成している。この構成により前記のようなal長を可
能としている。
[作用]
長尺スケール上の目盛読取センサが長尺スケールの継ぎ
合わせ部にくると、継ぎ合わせ部検知センサがこれを検
知し、選択回路によって第1のスケール、第2のスケー
ルまたはサブスケール側の目盛読取センサからの出力信
号を選択出力する。
合わせ部にくると、継ぎ合わせ部検知センサがこれを検
知し、選択回路によって第1のスケール、第2のスケー
ルまたはサブスケール側の目盛読取センサからの出力信
号を選択出力する。
これによって長尺スケールの継ぎ合わせ部の出力信号を
読み取らないように働く。
読み取らないように働く。
[実施例]
実施例1について図面を参照して説明する。
先づこの発明を磁気スケール装置に応用した実施例につ
いて説明する。第1図および第2図はその構成を示した
もので基準台lに二本の単位長の第1の磁気スケール2
と第2の磁気スケール3が固定されて長尺の磁気スケー
ルが形成されている。
いて説明する。第1図および第2図はその構成を示した
もので基準台lに二本の単位長の第1の磁気スケール2
と第2の磁気スケール3が固定されて長尺の磁気スケー
ルが形成されている。
単位長の第1の磁気スケール2と第2の磁気スケール3
は所定の同一長さとされ、スケール上に磁気的に目盛ら
れた記録格子の間隔は記録ピッチPの整数倍となってい
る。第1の磁気スケール2の端部2′と第2の磁気スケ
ール3の端部3′は凹凸係合するような形状に構成され
ている。上記端部2′と端部3′を互いに係合させるこ
とにより、第1の磁気スケール2の磁気目盛格子つと第
2の磁気スケール3の磁気目盛格子10は第1、第2の
磁気スケール2、3の係合する継ぎ合わせ部12におい
て磁気スケール表面と平行な市内で重複し、かつ、平行
に延びるように配置されている。
は所定の同一長さとされ、スケール上に磁気的に目盛ら
れた記録格子の間隔は記録ピッチPの整数倍となってい
る。第1の磁気スケール2の端部2′と第2の磁気スケ
ール3の端部3′は凹凸係合するような形状に構成され
ている。上記端部2′と端部3′を互いに係合させるこ
とにより、第1の磁気スケール2の磁気目盛格子つと第
2の磁気スケール3の磁気目盛格子10は第1、第2の
磁気スケール2、3の係合する継ぎ合わせ部12におい
て磁気スケール表面と平行な市内で重複し、かつ、平行
に延びるように配置されている。
この磁気スケール上に移動部材5が押圧バネ11によっ
て押圧されており、この磁気スケールの磁気目盛との間
隔を一定に保ちつつ磁気スケールの長手方向に摺動でき
るようになっている。移動部材5の長尺の磁気スケール
対向面には磁気目盛の記録を検出するセンサとして2つ
の磁気抵抗素子が取付けられている。すなわち、長方向
には同位置であり、幅方向には適当距離離間する位置に
目盛読取センサとなる第1の磁気抵抗索子6と第2の磁
気抵抗素子7が取付けられている。第1の磁気スケール
2の目盛9に第1の磁気抵抗素子6が対向読取る、第2
の磁気スケール3の目盛10には第2の磁気抵抗素子7
が対向して読取るようになっている。この第1及び第2
の磁気抵抗素子6、7は第3図のブロック図に示された
ように増幅器、波形整形回路、信号波形を電気的に分割
し高分解能を得るための内挿回路を介して磁気センサ選
択回路に接続されている。また、磁気スケールの継ぎ合
わせ部12の側方には基準台1に固定された永久磁石4
が取付けられ、一方、移動部材5には上記永久磁石4に
対峠できる位置に継ぎ合わせ部12の検知センサである
ホール素子8が取付けられている。磁気センサとしては
、実施例の磁気抵抗素子に限らず、ホール素子、磁束応
答形マルチギャップヘッドとしてもよい。また、継ぎ合
わせ部12の検知のためのセンサもホール素子と永久磁
石の組合わせ以外のものでもよい。
て押圧されており、この磁気スケールの磁気目盛との間
隔を一定に保ちつつ磁気スケールの長手方向に摺動でき
るようになっている。移動部材5の長尺の磁気スケール
対向面には磁気目盛の記録を検出するセンサとして2つ
の磁気抵抗素子が取付けられている。すなわち、長方向
には同位置であり、幅方向には適当距離離間する位置に
目盛読取センサとなる第1の磁気抵抗索子6と第2の磁
気抵抗素子7が取付けられている。第1の磁気スケール
2の目盛9に第1の磁気抵抗素子6が対向読取る、第2
の磁気スケール3の目盛10には第2の磁気抵抗素子7
が対向して読取るようになっている。この第1及び第2
の磁気抵抗素子6、7は第3図のブロック図に示された
ように増幅器、波形整形回路、信号波形を電気的に分割
し高分解能を得るための内挿回路を介して磁気センサ選
択回路に接続されている。また、磁気スケールの継ぎ合
わせ部12の側方には基準台1に固定された永久磁石4
が取付けられ、一方、移動部材5には上記永久磁石4に
対峠できる位置に継ぎ合わせ部12の検知センサである
ホール素子8が取付けられている。磁気センサとしては
、実施例の磁気抵抗素子に限らず、ホール素子、磁束応
答形マルチギャップヘッドとしてもよい。また、継ぎ合
わせ部12の検知のためのセンサもホール素子と永久磁
石の組合わせ以外のものでもよい。
つぎにその動作について述べる、上記のように構成され
た磁気スケール装置において、二つの磁気抵抗素子6、
7を備えた移動部材5が第1および第2の磁気スケール
2、3の継ぎ合わせ部12を通過する場合、第1の磁気
抵抗索子6が第1および第2の磁気スケール2、3の継
ぎ合わせ部12に来た時、ホール素子8が永久磁石4の
磁気を感知してパルス信号を出力し、このパルス信号に
より磁気センサ選択回路が作動して第1の磁気抵抗素子
6側から、第2の磁気抵抗素子7側に切替接続される。
た磁気スケール装置において、二つの磁気抵抗素子6、
7を備えた移動部材5が第1および第2の磁気スケール
2、3の継ぎ合わせ部12を通過する場合、第1の磁気
抵抗索子6が第1および第2の磁気スケール2、3の継
ぎ合わせ部12に来た時、ホール素子8が永久磁石4の
磁気を感知してパルス信号を出力し、このパルス信号に
より磁気センサ選択回路が作動して第1の磁気抵抗素子
6側から、第2の磁気抵抗素子7側に切替接続される。
したがって、第1の磁気抵抗素子6が継ぎ合わせ部12
に来て、検出信号が無くても、第1の磁気抵抗素子6の
出ノ〕は回路に接続されていないので支障はない。
に来て、検出信号が無くても、第1の磁気抵抗素子6の
出ノ〕は回路に接続されていないので支障はない。
更に詳細を第3図のブロック図に基づいて説明すると、
第1図において移動部材5が右から左方向へ移動するも
のとしたとき、継ぎ合わせ部12へ移動部材5がトグル
フリップフロップ(T−FF)回路20の端子出力を見
ると端子25の出力が「1」端子26の出力が「0」と
なっている。よってアンドゲート回路21が開となって
おり、第1の磁気抵抗素子6からの信号がオアゲート回
路23より出力される。
第1図において移動部材5が右から左方向へ移動するも
のとしたとき、継ぎ合わせ部12へ移動部材5がトグル
フリップフロップ(T−FF)回路20の端子出力を見
ると端子25の出力が「1」端子26の出力が「0」と
なっている。よってアンドゲート回路21が開となって
おり、第1の磁気抵抗素子6からの信号がオアゲート回
路23より出力される。
次に移動部材5が継ぎ合わせ部12へ来た時トグルフリ
ップフロップ(T−FF)回路20のクロツク入力にホ
ール素子8からのパルス信号が入り、端子25の出力が
「0」、端子26の出力が「1」に反転する。これによ
って、アンドゲート回路21が閉となり、アンドケート
回路23には第2の磁気抵抗素子7からの信号が出力さ
れる。
ップフロップ(T−FF)回路20のクロツク入力にホ
ール素子8からのパルス信号が入り、端子25の出力が
「0」、端子26の出力が「1」に反転する。これによ
って、アンドゲート回路21が閉となり、アンドケート
回路23には第2の磁気抵抗素子7からの信号が出力さ
れる。
この出力パルス信号の状態を示したものが第4図のタイ
ムチャートである。
ムチャートである。
ここで、この発明を光学式スケール装置(発光、受光式
)に応用した実施例について説明する。第5図はその構
或を示したもので図示していない基台に複数本の単位長
のメインスケールが固定され長尺のメインスケールが形
成されている。単位長の第1のスケール27と第2のス
ケール28は所定の同一長さとされ、スケール上に光遮
断部29と光透過部30が交互に形成されている。光透
過部30と光遮断部29とでつくられる間隔で目盛ピッ
チPが形成されている。この単位長の第1および第2の
スケール27、28を継ぎ合わせる場合、磁気スケール
装置と同じように第1のスケル27の端部と第2のスケ
ール28の端部は凹凸になっており、第1のスケール2
7の目盛賂子と第2のスケール28の目盛格子は重復す
るようになっている。第1のスケール27の目盛r6子
はインデックススケールを介して第1の発光素子31と
第1の受光素子32によって読取られ、第2のスケール
の目盛格子は第2の発光索子33と第2の受光素子34
て読み取るようになっている。その他は前記磁気スケー
ル装置と同じである。
)に応用した実施例について説明する。第5図はその構
或を示したもので図示していない基台に複数本の単位長
のメインスケールが固定され長尺のメインスケールが形
成されている。単位長の第1のスケール27と第2のス
ケール28は所定の同一長さとされ、スケール上に光遮
断部29と光透過部30が交互に形成されている。光透
過部30と光遮断部29とでつくられる間隔で目盛ピッ
チPが形成されている。この単位長の第1および第2の
スケール27、28を継ぎ合わせる場合、磁気スケール
装置と同じように第1のスケル27の端部と第2のスケ
ール28の端部は凹凸になっており、第1のスケール2
7の目盛賂子と第2のスケール28の目盛格子は重復す
るようになっている。第1のスケール27の目盛r6子
はインデックススケールを介して第1の発光素子31と
第1の受光素子32によって読取られ、第2のスケール
の目盛格子は第2の発光索子33と第2の受光素子34
て読み取るようになっている。その他は前記磁気スケー
ル装置と同じである。
次に実施例2について説明する。第6図および第7図は
その構成を示したもので基準台1に二本の単位長の磁気
スケール2と磁気スケール3が固定されて長尺の磁気ス
ケールが形成されている。
その構成を示したもので基準台1に二本の単位長の磁気
スケール2と磁気スケール3が固定されて長尺の磁気ス
ケールが形成されている。
単位長の磁気スケール2と磁気スケール3は所定の同一
長さとされ、スケール上に磁気的に目盛られた記録格子
の間隔は記録ビッチPの整数倍となっている。
長さとされ、スケール上に磁気的に目盛られた記録格子
の間隔は記録ビッチPの整数倍となっている。
この長尺の磁気スケール上に移動部材5が押圧バネ11
によって押圧されており、この磁気スケールの磁気目盛
との間隔を一定に保ちつつ磁気スケールの長手方向に摺
動できるようになっている。
によって押圧されており、この磁気スケールの磁気目盛
との間隔を一定に保ちつつ磁気スケールの長手方向に摺
動できるようになっている。
単位長の磁気スケール2と磁気スケール3の継ぎ合わせ
部12に前記磁気スケールと平行にサブ磁気スケール3
5が設けられている。移動部材5の磁気スケール対向面
には磁気目盛の記録を検出するセンサとして2つの磁気
抵抗素子が取付けられている。すなわち、長方向には同
位置であり、幅方向には適当距離離間する位置に目盛読
取センサとなる第1の磁気抵抗素子6と第2の磁気抵抗
素子7が取付けられている。
部12に前記磁気スケールと平行にサブ磁気スケール3
5が設けられている。移動部材5の磁気スケール対向面
には磁気目盛の記録を検出するセンサとして2つの磁気
抵抗素子が取付けられている。すなわち、長方向には同
位置であり、幅方向には適当距離離間する位置に目盛読
取センサとなる第1の磁気抵抗素子6と第2の磁気抵抗
素子7が取付けられている。
第1の磁気抵抗素子6は長尺の磁気スケールに対向し、
第2の磁気抵抗素子7はサブ磁気スケール35に対向す
るように構成されている。各磁気抵抗素子6、7は第8
図に示されるように増幅器13、14、波形整形回路1
5、16、内挿回路17、18を介して磁気センサ選択
回路37に接続されている。長尺磁気スケールの継ぎ合
わせ部12の側方には基準台1に固定された磁石4が取
付けられ、一方、移動部材5には長尺磁気スケール側面
より突出する突出部36があり、この突出部36の下面
には継ぎ合わせ部検知センサであるホール索子8が取付
けられている。その動作について述べると、2つの磁気
抵抗素子を備えた移動部材5が長尺の磁気スケールの継
ぎ合わせ部12を通過する場合において、第1の磁気抵
抗素子6が長尺の磁気スケールの継ぎ合わせ部12に近
づいた時、継ぎ合わせ部検知センナのホール素子8がこ
れを感知して、カウンタ受け回路24は第1の磁気抵抗
素子6側から第2の磁気抵抗素子7側に接続される。よ
って第1の磁気抵抗素子6が継ぎ合わせ部12に来て再
生波形が乱れても第1の磁気抵抗素子6の出力はカウン
タ受け回路241;継っていないので問題はない。第6
図と第8図において右から移動部材5が移動してくる時
は、継ぎ合わせ部検知センサのホール素子8の出力は「
0」、インバータ38で「1」となってアンドゲート2
1は開となり、第1の磁気抵抗素子6の出力信号がオア
ゲート23を開してカウンタ受け回路24に出力される
。
第2の磁気抵抗素子7はサブ磁気スケール35に対向す
るように構成されている。各磁気抵抗素子6、7は第8
図に示されるように増幅器13、14、波形整形回路1
5、16、内挿回路17、18を介して磁気センサ選択
回路37に接続されている。長尺磁気スケールの継ぎ合
わせ部12の側方には基準台1に固定された磁石4が取
付けられ、一方、移動部材5には長尺磁気スケール側面
より突出する突出部36があり、この突出部36の下面
には継ぎ合わせ部検知センサであるホール索子8が取付
けられている。その動作について述べると、2つの磁気
抵抗素子を備えた移動部材5が長尺の磁気スケールの継
ぎ合わせ部12を通過する場合において、第1の磁気抵
抗素子6が長尺の磁気スケールの継ぎ合わせ部12に近
づいた時、継ぎ合わせ部検知センナのホール素子8がこ
れを感知して、カウンタ受け回路24は第1の磁気抵抗
素子6側から第2の磁気抵抗素子7側に接続される。よ
って第1の磁気抵抗素子6が継ぎ合わせ部12に来て再
生波形が乱れても第1の磁気抵抗素子6の出力はカウン
タ受け回路241;継っていないので問題はない。第6
図と第8図において右から移動部材5が移動してくる時
は、継ぎ合わせ部検知センサのホール素子8の出力は「
0」、インバータ38で「1」となってアンドゲート2
1は開となり、第1の磁気抵抗素子6の出力信号がオア
ゲート23を開してカウンタ受け回路24に出力される
。
一方、アンドゲート22には「0」が出力され閉状態と
なるため、第2の磁気抵抗素子7の出力信号はオアゲー
ト23へ出力されない。そして継ぎ合わせ部検知センサ
のホール素子8が継ぎ合わせ部12に近づいて「1」を
出力すると、アンドゲート21には「0」が入り、アン
ドゲート22には「1」が入る。よって第2の磁気抵抗
素子7の出力がオアゲート23を介してカウンタ受け回
路24に出力される。次に移動部材5がそのまま移動し
て行き、第1の磁気抵抗素子6が継ぎ合わせ部12を通
過し終ったとすると、継ぎ合わせ部検知センサのホール
素子8がOFFし、カウンタ受け回路24は、第2の磁
気抵抗素子7側から再び第1の磁気抵抗素子6側に接続
される。すなわち、継ぎ合わせ部検知センサのホール素
子8が永久磁石4の位置から離れると、継ぎ合わせ部検
知センサのホール素子8は「○」を出力し、アンドゲー
ト21には「1」が入力され、アンドゲート21は開と
なって第1の磁気抵抗素子6の信号がオアゲート23に
出力される。
なるため、第2の磁気抵抗素子7の出力信号はオアゲー
ト23へ出力されない。そして継ぎ合わせ部検知センサ
のホール素子8が継ぎ合わせ部12に近づいて「1」を
出力すると、アンドゲート21には「0」が入り、アン
ドゲート22には「1」が入る。よって第2の磁気抵抗
素子7の出力がオアゲート23を介してカウンタ受け回
路24に出力される。次に移動部材5がそのまま移動し
て行き、第1の磁気抵抗素子6が継ぎ合わせ部12を通
過し終ったとすると、継ぎ合わせ部検知センサのホール
素子8がOFFし、カウンタ受け回路24は、第2の磁
気抵抗素子7側から再び第1の磁気抵抗素子6側に接続
される。すなわち、継ぎ合わせ部検知センサのホール素
子8が永久磁石4の位置から離れると、継ぎ合わせ部検
知センサのホール素子8は「○」を出力し、アンドゲー
ト21には「1」が入力され、アンドゲート21は開と
なって第1の磁気抵抗素子6の信号がオアゲート23に
出力される。
ここで、上記実施例2を光学式スケール装置(発光、受
光式)に応用した実施例について説明する。第10図は
その構成を示したもので図示していない基台に複数本の
単位長のメインスケールが固定され長尺のメインスケー
ルが形成されている。単位長の第1のスケールと第2の
スケールは所定の同一長さとされ、スケール上に光遮断
部29と光透過部30が交互に形成されている。光透過
部30と光遮断部2つとでつくられる間隔で目盛ピッチ
Pが形成されている。この単位長の第1および第2のス
ケール継ぎ合わせる部にメインスケールと平行にサブス
ケール35が設けられている。メインスケールの目盛格
子はインデックススケールを介して第1の発光素子31
.と第1の受光素子32によって読取られ、サブスケー
ルの目盛格子は第2の発光素子33とTS2の受光素子
34で読み取るようになっている。その他は前記磁気ス
ケール装置と同じである。
光式)に応用した実施例について説明する。第10図は
その構成を示したもので図示していない基台に複数本の
単位長のメインスケールが固定され長尺のメインスケー
ルが形成されている。単位長の第1のスケールと第2の
スケールは所定の同一長さとされ、スケール上に光遮断
部29と光透過部30が交互に形成されている。光透過
部30と光遮断部2つとでつくられる間隔で目盛ピッチ
Pが形成されている。この単位長の第1および第2のス
ケール継ぎ合わせる部にメインスケールと平行にサブス
ケール35が設けられている。メインスケールの目盛格
子はインデックススケールを介して第1の発光素子31
.と第1の受光素子32によって読取られ、サブスケー
ルの目盛格子は第2の発光素子33とTS2の受光素子
34で読み取るようになっている。その他は前記磁気ス
ケール装置と同じである。
[発明の効果]
以上説明したように、この発明のスケール装置は単位長
スケールを継ぎ合わせた部分からの信号は測定に使用し
ないようにしたので継ぎ合わせ部から生ずる誤差はなく
なるので正確な測定ができる。したがって記録ピッチを
数十ミクロンと狭くしても精度の高い測定が可能である
。また、前記のように継ぎ合わせ部の記録からの信号は
測定に使用しないから継ぎ合わせ部に隙間があっても差
支えないので、継合わせ面の加工にそれ程の精度を要求
されないためその切断、継ぎ合わせ作業が極めて容易に
なるなどの優れた効果を有している。
スケールを継ぎ合わせた部分からの信号は測定に使用し
ないようにしたので継ぎ合わせ部から生ずる誤差はなく
なるので正確な測定ができる。したがって記録ピッチを
数十ミクロンと狭くしても精度の高い測定が可能である
。また、前記のように継ぎ合わせ部の記録からの信号は
測定に使用しないから継ぎ合わせ部に隙間があっても差
支えないので、継合わせ面の加工にそれ程の精度を要求
されないためその切断、継ぎ合わせ作業が極めて容易に
なるなどの優れた効果を有している。
第1図は本発明によるスケール装置を磁気スケールに適
用した実施例1の平面図、第2図は上記実施例1の1部
断面図(第1図A−Aの線)、第3図は上記実施例1に
おける測定信号処理を示すブロック図、第4図は上記実
施例1における出力波形図、第5図は本発明によるスケ
ール装置を光学式スケールに適用した実施例lの斜蜆図
、第6図は本発明によるスケール装置を磁気スケールに
適用した実施例2の平面図、第7図は上記実施例2の1
部断面図(第1図A−Aの線)、第8図は上記実施例2
における7iIlj定信号処理を示すブロック図、第9
図は上記実施例2における出力波形図、第10図は本発
明によるスケール装置を光学式スケールに適用した実施
例2の斜視図である。 2・・・第1の磁気スケール、3・・・第2の磁気スケ
ール、4・・・永久磁石、5・・・移動部材、6・・・
第1の磁気抵抗素子、7・・・第2の磁気抵抗素子、8
・・・ホール素子、12・・・継ぎ合わせ部、27・・
・第1のスケール、28・・・第2のスケール、31・
・・第1の発光素子、32・・・第1の受光素子、33
・・・第2の発光素子、34・・・第2の受光素子、3
5・・・サブスケール。
用した実施例1の平面図、第2図は上記実施例1の1部
断面図(第1図A−Aの線)、第3図は上記実施例1に
おける測定信号処理を示すブロック図、第4図は上記実
施例1における出力波形図、第5図は本発明によるスケ
ール装置を光学式スケールに適用した実施例lの斜蜆図
、第6図は本発明によるスケール装置を磁気スケールに
適用した実施例2の平面図、第7図は上記実施例2の1
部断面図(第1図A−Aの線)、第8図は上記実施例2
における7iIlj定信号処理を示すブロック図、第9
図は上記実施例2における出力波形図、第10図は本発
明によるスケール装置を光学式スケールに適用した実施
例2の斜視図である。 2・・・第1の磁気スケール、3・・・第2の磁気スケ
ール、4・・・永久磁石、5・・・移動部材、6・・・
第1の磁気抵抗素子、7・・・第2の磁気抵抗素子、8
・・・ホール素子、12・・・継ぎ合わせ部、27・・
・第1のスケール、28・・・第2のスケール、31・
・・第1の発光素子、32・・・第1の受光素子、33
・・・第2の発光素子、34・・・第2の受光素子、3
5・・・サブスケール。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、複数本の単位長スケールが継ぎ合わされて形成され
その継ぎ合わせ部において第1のスケールの目盛格子列
と第2のスケールの目盛格子列が平行にかつ測長方向に
重複するようにスケールを配置した長尺スケールと、継
ぎ合わせ部において第1スケールの目盛格子を読取る第
1の目盛読取センサと第2のスケールの目盛格子を読取
る第2の目盛読取センサと目盛読取センサが 継ぎ合わせ部に位置した事を検知する継ぎ合わせ部検知
センサとを設けたスケール上を移動する移動部材と、継
ぎ合わせ部検知センサからの信号に基づいて第1及び第
2の目盛読取センサからの出力信号を選択する選択回路
を備え、第1の目盛読取センサが長尺スケールの継ぎ合
わせ部きた時に第2の目盛読取センサの出力信号に基づ
いて測長するようにしたことを特徴とするスケール装置
。 2、複数本の単位長スケールが継ぎ合わされて形成され
た長尺スケールと、その継ぎ合わせ部付近において、長
尺スケールと平行に設けられたサブスケールと上記長尺
スケールの目盛格子を読み取る第1の目盛読取センサと
サブスケールの目盛格子を読み取る第2の目盛読取セン
サとを設けた長尺スケール上を移動する移動部材と長尺
スケールの目盛格子を読み取る第1の目盛読取センサが
長尺スケールの継ぎ合わせ部を含む所定領域内に来た時
に、これを検出する継ぎ合わせ部検知センサと、継ぎ合
わせ部検知センサからの出力信号を択一的に選択する選
択回路とを備え、第1の目盛読取センサが長尺スケール
の継ぎ合わせ部を含む所定領域内に来た時、他の目盛セ
ンサの出力信号に基づいて測長するようにしたことを特
徴とするスケール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15387689A JPH0318709A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | スケール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15387689A JPH0318709A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | スケール装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0318709A true JPH0318709A (ja) | 1991-01-28 |
Family
ID=15572045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15387689A Pending JPH0318709A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | スケール装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0318709A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006084419A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ntn Corp | リニアスケールの信号処理方法、リニアスケールの信号処理装置および位置決め装置 |
JP2008076141A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Clarion Co Ltd | 位置検出装置及び方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4842761A (ja) * | 1971-09-29 | 1973-06-21 |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP15387689A patent/JPH0318709A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4842761A (ja) * | 1971-09-29 | 1973-06-21 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006084419A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ntn Corp | リニアスケールの信号処理方法、リニアスケールの信号処理装置および位置決め装置 |
JP2008076141A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Clarion Co Ltd | 位置検出装置及び方法 |
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