JPH0318518A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH0318518A JPH0318518A JP15290289A JP15290289A JPH0318518A JP H0318518 A JPH0318518 A JP H0318518A JP 15290289 A JP15290289 A JP 15290289A JP 15290289 A JP15290289 A JP 15290289A JP H0318518 A JPH0318518 A JP H0318518A
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- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 11
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
ウエハ、フォトマスク等を搬送台車に載置して処理装置
間等を殿送する装置に関し、 搬送台車に振動を与えない平滑な搬送路を有する発塵の
少ない搬送装置を提供することを目的とし、 搬送台車の走行を案内する搬送路は複数のレールを連接
して構築され、該レールの連接部では矯正部材が該連接
するレール双方の端部に固着されており、該連接するレ
ールの双方又は一方には連接端面に開くスリットが前記
矯正部材の側面に平行に設けられているように構戒する
。
間等を殿送する装置に関し、 搬送台車に振動を与えない平滑な搬送路を有する発塵の
少ない搬送装置を提供することを目的とし、 搬送台車の走行を案内する搬送路は複数のレールを連接
して構築され、該レールの連接部では矯正部材が該連接
するレール双方の端部に固着されており、該連接するレ
ールの双方又は一方には連接端面に開くスリットが前記
矯正部材の側面に平行に設けられているように構戒する
。
本発明は、半導体装置製造工程等においてウエハ、フォ
トマスク等を搬送台車に載置して処理装置間等を搬送す
る装置に関する。
トマスク等を搬送台車に載置して処理装置間等を搬送す
る装置に関する。
近時半導体装置のパターンの微細化が進むに伴い、製造
工程での塵埃の存在が製品の歩留りに与える影響がます
ます大きくなって来た。そのため製造工程には高度に清
浄化した空気を供給すると共に、クリーンルーム内での
発塵源となる作業者を減らすための自動化が処理装置だ
けでなく装置間の搬送に対しても進められているが、こ
れらの装置自体からの発塵についてもクリーンルームを
汚染するとして問題視されるに至っている。従ってウエ
ハやフォトマスクの装置間等の搬送装置にあっても発塵
を極力少なくすることが望まれている。
工程での塵埃の存在が製品の歩留りに与える影響がます
ます大きくなって来た。そのため製造工程には高度に清
浄化した空気を供給すると共に、クリーンルーム内での
発塵源となる作業者を減らすための自動化が処理装置だ
けでなく装置間の搬送に対しても進められているが、こ
れらの装置自体からの発塵についてもクリーンルームを
汚染するとして問題視されるに至っている。従ってウエ
ハやフォトマスクの装置間等の搬送装置にあっても発塵
を極力少なくすることが望まれている。
（従来の技術）
従来の搬送装置を第３図及び第４図により説明する。第
３図は車輪支持型自走式搬送装置の一例を示す模式断面
図であり、第４図は従来の殿送装置のレール連接部の一
例を示す斜視図である。
３図は車輪支持型自走式搬送装置の一例を示す模式断面
図であり、第４図は従来の殿送装置のレール連接部の一
例を示す斜視図である。
先ず第３図により本搬送装置の全体構或の概略を説明す
る（〔実施例）の項で詳細に説明する）．この装置は半
導体装置製造工程においてクリーンルーム内でウエハ３
０を搬送台車１０に載置し、搬送路２０に沿って工程間
又は処理装置間を搬送するものである。
る（〔実施例）の項で詳細に説明する）．この装置は半
導体装置製造工程においてクリーンルーム内でウエハ３
０を搬送台車１０に載置し、搬送路２０に沿って工程間
又は処理装置間を搬送するものである。
搬送台車１０は上部にトレイ１ｌを備え、この中に搬送
するウェハ３０を収容する。搬送台車１０は車輪１３、
ｌ４、ｌ５を備え、一対のレール２１の内面に接してこ
れに上下左右をガイドされる。搬送台車１ｏは下部には
りニアモー夕を構戒する二次導体１６を備えており、こ
れと搬送路２０側に設置されたリニアモーター次導体２
４とによって発生する推力で搬送台車１０が自走する。
するウェハ３０を収容する。搬送台車１０は車輪１３、
ｌ４、ｌ５を備え、一対のレール２１の内面に接してこ
れに上下左右をガイドされる。搬送台車１ｏは下部には
りニアモー夕を構戒する二次導体１６を備えており、こ
れと搬送路２０側に設置されたリニアモーター次導体２
４とによって発生する推力で搬送台車１０が自走する。
搬送路２０はレール２ｌ、支柱２２、ベースプレート２
３と、前述のリニアモーター次導体２４とからなる。
３と、前述のリニアモーター次導体２４とからなる。
この内レール２１はコの字形断面を有し、搬送路２ｏの
直線部分となるものは引抜き加工で製造され、曲線部分
はコの字形の３面を別々に加工した後溶接してコの字形
に戒形する。これらを直列に順次継いで所要長とする。
直線部分となるものは引抜き加工で製造され、曲線部分
はコの字形の３面を別々に加工した後溶接してコの字形
に戒形する。これらを直列に順次継いで所要長とする。
次にこのレール連接部の一例を第４図に示す。
連接する２本のレール４１はそれぞれの端面を突き合わ
せ、前記支柱２２を介して前記ベースプレート２３に固
定する。この際コの字形の３面共に内面で極力段差を生
じないように取り付け位置を調整する。
せ、前記支柱２２を介して前記ベースプレート２３に固
定する。この際コの字形の３面共に内面で極力段差を生
じないように取り付け位置を調整する。
このような従来の搬送装置では、引抜き加工で製造され
たレール同士の連接では余り問題ではないが、引抜き加
工で製造されたレールと溶接で製造されたレールとを連
接する場合、又は溶接で製造されたレール同士を連接す
る場合には両者の断面形状が必ずしも一致せず、コの字
形の３面共に段差を生しないように取り付けることが困
難となって３面中１面又は２面でレール連接部に段差を
生ずる場合があり、搬送台車がこの段差を通過する時に
衝撃を受けて搬送装置各部に付着していた塵埃の一部が
脱落してクリーンルーム内に浮遊したり搬送台車に収容
されているウエハに付着したりする、或いは搬送台車の
車輪が磨耗して発塵する、等の問題があった。
たレール同士の連接では余り問題ではないが、引抜き加
工で製造されたレールと溶接で製造されたレールとを連
接する場合、又は溶接で製造されたレール同士を連接す
る場合には両者の断面形状が必ずしも一致せず、コの字
形の３面共に段差を生しないように取り付けることが困
難となって３面中１面又は２面でレール連接部に段差を
生ずる場合があり、搬送台車がこの段差を通過する時に
衝撃を受けて搬送装置各部に付着していた塵埃の一部が
脱落してクリーンルーム内に浮遊したり搬送台車に収容
されているウエハに付着したりする、或いは搬送台車の
車輪が磨耗して発塵する、等の問題があった。
本発明は、このような問題を解決して、搬送台車に振動
を与えない平滑な搬送路を有して発塵の少ない搬送装置
を提供することを目的とする。
を与えない平滑な搬送路を有して発塵の少ない搬送装置
を提供することを目的とする。
この目的は、本発明によれば、搬送台車の走行を案内す
る搬送路は複数のレールを連接して構築され、該レール
の連接部では矯正部材が該連接するレール双方の端部に
固着されており、該連接するレールの双方又は一方には
連接端面に開くスリットが前記矯正部材の側面に平行に
設けられている搬送装置とすることにより、達威される
。
る搬送路は複数のレールを連接して構築され、該レール
の連接部では矯正部材が該連接するレール双方の端部に
固着されており、該連接するレールの双方又は一方には
連接端面に開くスリットが前記矯正部材の側面に平行に
設けられている搬送装置とすることにより、達威される
。
搬送路は搬送台車の走行の上下左右方向を拘束するため
、この搬送路に使用するレールは通常コの字形断面等を
持つ。そのため、特に溶接にょりコの字形等に成形した
レールでは断面形状の精度の関係で、レール連接部で全
ての台車走行面のレベルを合わせることは容易ではない
。そこでその端面から長手方向にスリットを入れて、連
接部近傍のみコの字型断面等を複数の平板断面に分割す
ることにより剛性を弱め、各台車走行面の裏側等に比較
的剛性の高い矯正部材を連接する双方のレールに固着す
ることにより、各台車走行面を個々に矯正する。これに
より各台車走行面共に段差は解消される。
、この搬送路に使用するレールは通常コの字形断面等を
持つ。そのため、特に溶接にょりコの字形等に成形した
レールでは断面形状の精度の関係で、レール連接部で全
ての台車走行面のレベルを合わせることは容易ではない
。そこでその端面から長手方向にスリットを入れて、連
接部近傍のみコの字型断面等を複数の平板断面に分割す
ることにより剛性を弱め、各台車走行面の裏側等に比較
的剛性の高い矯正部材を連接する双方のレールに固着す
ることにより、各台車走行面を個々に矯正する。これに
より各台車走行面共に段差は解消される。
〔実施例］
本発明に基づく搬送装置の一実施例を第１図、第２図及
び第３図により説明する。第ｌ図は本発明の実施例の搬
送装置のレール連接部を示す斜視図であり、第２図はレ
ール連接部近傍のスリットの例を示す模式断面図、第３
図は車輪支持型自走式図送装置の一例を示す模式断面図
である。
び第３図により説明する。第ｌ図は本発明の実施例の搬
送装置のレール連接部を示す斜視図であり、第２図はレ
ール連接部近傍のスリットの例を示す模式断面図、第３
図は車輪支持型自走式図送装置の一例を示す模式断面図
である。
先ず第３図により本殿送装置の全体構戒を説明する。こ
の装置は半導体装置製造工程においてクリーンルーム内
でウエハ３０を搬送台車１０に載置し、搬送路２０に沿
って工程間又は処理装置間を搬送するものである。
の装置は半導体装置製造工程においてクリーンルーム内
でウエハ３０を搬送台車１０に載置し、搬送路２０に沿
って工程間又は処理装置間を搬送するものである。
搬送台車１０は上部にトレイｌ１を備え、この中に殿送
するウエハ３０を収容する。図示はないが一側面にウエ
ハ３０を出し入れするための扉を有している。このトレ
イ１１は複数個の吸着機構１２を備えており、或る停止
位置でこの吸着機構ｌ２上に載置したウエハ３０を吸着
保持し、別の停止位置でこれを開放する機能を有してい
る。搬送台車１０は車輪ｌ３、１４、ｌ５を備え、一対
のレール２１の内面に接してこれに上下左右をガイドさ
れる。搬送台車１０は下部にはりニアモー夕を構戒する
二次導体１６を備えており、これと搬送路２０側に設置
されたリニアモーター次導体２４とによって発生する推
力で殿送台車ｌＯが自走する。
するウエハ３０を収容する。図示はないが一側面にウエ
ハ３０を出し入れするための扉を有している。このトレ
イ１１は複数個の吸着機構１２を備えており、或る停止
位置でこの吸着機構ｌ２上に載置したウエハ３０を吸着
保持し、別の停止位置でこれを開放する機能を有してい
る。搬送台車１０は車輪ｌ３、１４、ｌ５を備え、一対
のレール２１の内面に接してこれに上下左右をガイドさ
れる。搬送台車１０は下部にはりニアモー夕を構戒する
二次導体１６を備えており、これと搬送路２０側に設置
されたリニアモーター次導体２４とによって発生する推
力で殿送台車ｌＯが自走する。
搬送路２０はレール２１支柱２２、ベースプレート２３
と、前述のリニアモーター次導体２４とがらなり、全長
は１００ ｍを超える場合が多い。この内レール２１は
コの字形断面を有し、搬送路２０の直線部分となるもの
は引抜き加工で製造され（アルミニウム製で長さは２〜
３ｍ程度）、曲線部分はコの字形の３面を別々に加工し
た後溶接してコの字形に戒形する。これらを直列に順次
継いで所要長とする。
と、前述のリニアモーター次導体２４とがらなり、全長
は１００ ｍを超える場合が多い。この内レール２１は
コの字形断面を有し、搬送路２０の直線部分となるもの
は引抜き加工で製造され（アルミニウム製で長さは２〜
３ｍ程度）、曲線部分はコの字形の３面を別々に加工し
た後溶接してコの字形に戒形する。これらを直列に順次
継いで所要長とする。
次にこのレール連接部を第ｌ図により説明する。
連゜接する２本のレール１はいずれも各辺の長さが約７
０ｍｍ、厚さ３〜４ｍｍのコの字形断面となっているが
、連接部の端面１ｂから長手方向それぞれ約７０ｍｍに
わたってコの字形のコーナーに当たる部分にスリッ目ａ
が設けられている。スリット１ａの幅は適当でよく、又
、スリット１ａの入れ方も第２図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ
）及びこれらの類似の入れ方でよく、要はコの字形の３
面が分断されておればよい。２は矯正部材であり、ステ
ンレス鋼が用いられ、厚さ×幅×長さは５ Ｘ ５０
Ｘ １２０ｍ＋ｎ程度となっている。これをコの字形の
各外面に双方のレールｌに跨がって載せられ、強固にネ
ジ止めされている。勿論ネジの位置は搬送台車ＩＯの車
輪１３、ｌ４、ｌ５が接する部分は避けられている。
０ｍｍ、厚さ３〜４ｍｍのコの字形断面となっているが
、連接部の端面１ｂから長手方向それぞれ約７０ｍｍに
わたってコの字形のコーナーに当たる部分にスリッ目ａ
が設けられている。スリット１ａの幅は適当でよく、又
、スリット１ａの入れ方も第２図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ
）及びこれらの類似の入れ方でよく、要はコの字形の３
面が分断されておればよい。２は矯正部材であり、ステ
ンレス鋼が用いられ、厚さ×幅×長さは５ Ｘ ５０
Ｘ １２０ｍ＋ｎ程度となっている。これをコの字形の
各外面に双方のレールｌに跨がって載せられ、強固にネ
ジ止めされている。勿論ネジの位置は搬送台車ＩＯの車
輪１３、ｌ４、ｌ５が接する部分は避けられている。
尚、レールｌの断面形状としてはコの字形の他、Ｌ字形
、これらの組合せ形等でも本発明は有効である。
、これらの組合せ形等でも本発明は有効である。
又、スリット１ａを片方のレールｌのみに設けた場合で
も、矯正の効果は生ずる。
も、矯正の効果は生ずる。
又、矯正部材２は搬送台車１０の走行に支障のない位置
ならばコの字形の内面に固着してもよい。
ならばコの字形の内面に固着してもよい。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の搬送装置によれば、搬送
台車の走行を案内する搬送路は複数のレールを連接して
構築され、該レールの連接部では矯正部材が該連接する
レール双方の端部に固着されており、該連接するレール
の双方又は一方には連接端面に開くスリットが前記矯正
部材の側面に平行に設けられている搬送装置とすること
により、段差のない平滑な搬送路を得ることが可能とな
り、発塵の少ない搬送装置を実現することが出来、ウエ
ハ、フォトマスク等の製造工程における歩留り向上に寄
与するところが大きい。
台車の走行を案内する搬送路は複数のレールを連接して
構築され、該レールの連接部では矯正部材が該連接する
レール双方の端部に固着されており、該連接するレール
の双方又は一方には連接端面に開くスリットが前記矯正
部材の側面に平行に設けられている搬送装置とすること
により、段差のない平滑な搬送路を得ることが可能とな
り、発塵の少ない搬送装置を実現することが出来、ウエ
ハ、フォトマスク等の製造工程における歩留り向上に寄
与するところが大きい。
第１図は本発明の実施例の搬送装置のレール連接部を示
す斜視図、 第２図はレール連接部近傍のスリソトの例を示す模式断
面図、 第３図は車輪支持形自走式搬送装置の一例を示す模式断
面図、 第４図は従来の搬送装置のレール連接部の一例を示す斜
視図である。 図中、 １，２１．４１ は レール、 １ａは スリ ット、 １ｂは 連接端面、 ２ は 矯正部材、 １０ は 搬送台車、 ２０ は 搬送路、 ３０ は ウエハ、 である。 （ＣＬ） （ｂ） （Ｃ） 茅 ３ 図 悼 ７ 図 ｑＢりギ没さｊ（置のし一ノレ１１目｝率の一得１１跡
１余十羽とじ１悼 ４ 図
す斜視図、 第２図はレール連接部近傍のスリソトの例を示す模式断
面図、 第３図は車輪支持形自走式搬送装置の一例を示す模式断
面図、 第４図は従来の搬送装置のレール連接部の一例を示す斜
視図である。 図中、 １，２１．４１ は レール、 １ａは スリ ット、 １ｂは 連接端面、 ２ は 矯正部材、 １０ は 搬送台車、 ２０ は 搬送路、 ３０ は ウエハ、 である。 （ＣＬ） （ｂ） （Ｃ） 茅 ３ 図 悼 ７ 図 ｑＢりギ没さｊ（置のし一ノレ１１目｝率の一得１１跡
１余十羽とじ１悼 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 搬送台車（１０）の走行を案内する搬送路（２０）は複
数個のレール（１）を連接して構築され、 該レール（１）の連接部では矯正部材（２）が該レル（
１）及び（２）の双方に固着されており、該連接するレ
ール（１）の双方又は一方には連接端面（１ｂ）に開く
スリット（１ａ）が前記矯正部材（２）の側面に平行に
設けられていることを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15290289A JPH0829830B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15290289A JPH0829830B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0318518A true JPH0318518A (ja) | 1991-01-28 |
| JPH0829830B2 JPH0829830B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=15550633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15290289A Expired - Lifetime JPH0829830B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829830B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5565942A (en) * | 1993-12-22 | 1996-10-15 | Minolta Co., Ltd. | Camera with built-in flash |
| US7907207B2 (en) | 2006-12-25 | 2011-03-15 | Sony Corporation | Image pick-up device with a pop-up and retractable flash |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15290289A patent/JPH0829830B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5565942A (en) * | 1993-12-22 | 1996-10-15 | Minolta Co., Ltd. | Camera with built-in flash |
| US7907207B2 (en) | 2006-12-25 | 2011-03-15 | Sony Corporation | Image pick-up device with a pop-up and retractable flash |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0829830B2 (ja) | 1996-03-27 |
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