JPH03182283A - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents

研磨装置および研磨方法

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JPH03182283A
JPH03182283A JP31976389A JP31976389A JPH03182283A JP H03182283 A JPH03182283 A JP H03182283A JP 31976389 A JP31976389 A JP 31976389A JP 31976389 A JP31976389 A JP 31976389A JP H03182283 A JPH03182283 A JP H03182283A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、研磨対象の表面を擦って磨く研磨装置ならび
に研磨方法に関する。
「従来の技術」 従来、研磨対象の表面を擦って磨く研磨装置ならびに研
磨方法としては、例えばベルト様の研磨部材の表面に研
磨対象を擦り付けて磨き上げるものかある。
「発明が解決しようとする課題」 しかしながら、このような従来の技術では、研磨部材の
表面の凹凸に汚れ等が付着し1次第に性能か落ちて劣化
し、付着した汚れ等を落して研磨部材を再生するのが容
易でなく、使い捨てになって素材を無駄使いしたり、再
生に手間がかかって維持費が嵩むという問題点かあった
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされた
もので、研磨部材の再生が容易で維持費が安く、素材を
無駄使いしないようにした研磨装置および研磨方法を提
供することを目的としている。
「課題を解決するための手段」 かかる目的を遠戚するための本発明の要旨とするところ
は。
l 研磨対象の表面を擦って磨く研磨装置において、 形状記憶樹脂により形成され、本来は表面が平滑な研磨
部材と。
研磨部材を臨んで配設され、該研磨部材の表面に物品摩
擦用の凹凸を付ける成形部と。
研磨部材を臨んで配設され、加熱して該研磨部材の表面
を平滑にし、凹凸に付着した汚れ等を浮き出させる記憶
呼出部とを備えて成る研磨装置 2 研磨部材はベルト状であって、成形部および記憶呼
出部は研磨部材が相対的に通過するよう配設したことを
特徴とする1項記載の研磨装置。
3 研磨対象の表面を擦って磨く研磨装置において、 形状記憶樹脂により形成され、本来は表面が平滑であっ
て、離間して配設された架装部材間に無端ベルト状に巻
き掛けて送り可能なよう架設され、架装部材間に渡った
一方の部分に研磨区間を設けた研磨部材と、 前記研磨区間の前に研磨部材が通過するよう配設され、
該研磨部材の表面に物品摩擦用の凹凸を付ける成形部と
、 前記成形部より離間した位置で研磨部材が通過するよう
配設され、加熱して該研磨部材の表面を平滑にし、凹凸
に付着した汚れ等を浮き出させる記憶呼出部とを備えて
成る研磨?を置。
4 玉状物である研磨対象を連続的に送りながら表面の
汚れ等を取り去る研磨装置において、形状記憶樹脂によ
り形成され、本来は表面が平滑であって、離間して配設
された架装部材間に無端ベルト状に巻き掛けて架設され
、架装部材間に渡った一方の部分に研磨区間を設けた研
磨部材と、 研磨部材の研磨区間に対向して配設され、研e部材との
間に玉状物を挾んで送る搬送ベルトと、 前記研磨区間の前に研磨部材が通過するよう配設され、
該研磨部材の表面に物品摩擦用の凹凸を付ける成形部と
研磨部材の前記研磨区間の反対側を回復区間とし、前記
研磨区間の後に連なる該回復区間が通過するよう配設さ
れ、加熱して該研磨部材の表面を平滑にし、凹凸に付着
した汚れ等を浮き出させる記憶呼出部とを備えて成る研
磨装置。
5 前記記憶呼出部の後て研磨部材が相対的に通過する
よう配設され、研磨部材の表面に接触し付着している汚
れ等を剥離させる清掃部を備えたことを特徴とする1項
、2項、3項、4項記載の研磨装置。
6 本来は表面が平滑な形状記憶樹脂の表面に凹凸を付
けた研磨部材の該表面を研磨対象に擦り付けて磨く研磨
工程と、 汚れ等が付着した研磨部材を加熱して該研磨部材の表面
を平滑にし、凹凸に付着した汚れ等を浮き出させる記憶
呼出工程と、 前記記憶呼出工程の後に配設され、研磨部材の表面に付
着している汚れ等を剥離させる清掃工程とを具備して成
る研磨方法に存する。
「作用」 本来は表面が平滑なM11部材は成形部により表面に物
品摩擦用の凹凸が付けられた状態で使用される。研磨部
材の表面が研磨対象にこすりつけられると、凹凸が抵抗
をもって研磨対象に圧接し、研磨対象の表面の汚れや研
磨かす等が凹凸にこすり取られる。
研磨部材の表面の凹凸が目詰まりを起したら、研磨部材
を臨んで配設された記憶呼出部により回復させる。記憶
呼出部で研磨部材が加熱されると研磨部材の表面が平滑
になり、凹凸に付着した汚れ等が浮きあがるので、それ
を取り去る。その後前記のように成形部で研磨部材の表
面に新たに凹凸を付けて使用する。
ベルト状の研磨部材は、成形部および記憶呼出部か臨む
よう研磨部材を相対的に通過させて成形、再生をさせな
がら使用する。
離間して配設された架装部材間に無端ベルト状に巻き掛
けて研磨部材を架設したものは、遅速で連続的にあるい
は断続的に研磨部材に送りをかけ、成形部および記憶呼
出部に対して研磨部材を移動させ、酸形、再生をする。
研磨対象が玉状物で、離間して配設された架装部材間に
無端ベルト状に巻き掛けて研磨部材を架設したものでは
、架装部材間に渡った一方の部分に研磨区間とし、この
研磨区間の前に研磨部材を通過させて成形部により研磨
部材の表面に物品摩擦用の凹凸を付ける。
研磨区間では、搬送ベルトと研磨部材との間に玉状物か
挾んで送られ、玉状物に表面の凹凸が押し付けられ、研
磨がなされる。
研磨部材の前記研磨区間の反対側の回復区間は、研磨部
材が連続的にあるいは断続的に記憶呼出部を通過し、加
熱されて表面が平滑になり、凹凸に付着した汚れ等が浮
き出る。
記憶呼出部の後で研磨部材が相対的に通過するよう配設
された清掃部は、研磨部材の表面に接触し、付着してい
る汚れ等を剥離させて取り去る。
結局、前記作用は次のような工程を有し、研磨工程で、
本来は表面が平滑な形状記憶樹脂の表面に凹凸を付けた
研磨部材の該表面を研磨対象に擦り付けて磨かれ、記憶
呼出工程で、汚れ等が付着した研磨部材を加熱して該研
磨部材の表面を平滑にし、凹凸に付着した汚れ等が浮き
出し、清掃工程では、研磨部材の表面に付着している汚
れ等を剥離して取り去られる。
「実施例」 以下1図面に基づき本発明の一実施例を説明する。
各図は本発明の一実施例を示している。
第1図に示すように、研磨装置10は研磨対象の表面を
擦って磨くものであり、研磨対象は例えばパチンコ球等
の玉状物てあって、以下の実施例では、玉状の研磨対象
Aを連続的に送りながら表面の汚れ等を取り去るものと
なっている。
研磨装置lOは、無端ベルト状の研磨部材20と、研磨
部材20に並設された搬送ベルト30と、研磨部材20
を臨んで配設された成形部40および記憶呼出部50と
を備えて成る。
研磨部材20は、形状記憶樹脂により形成され、本来は
表面が平滑であり、離間して配設されたローラである架
装部材21a、21b間に巻き掛けて送り可能なよう架
設されている。架装部材21a、21b間に渡った一方
の部分が研磨区間22をなし、その反対側が回復区間2
3をなしている。研磨区間22に沿って押えプレート2
4又はローラ等が並設されている。
研磨部材20を架装部材21a、21bとの間に押え込
んて制動をかけるブレーキローラ25a、25bか架装
部材21a、21bに対向するように設けられている。
搬送ベルト30は、研磨部材20との間に玉状物を挾ん
で送るよう、研磨部材20の研磨区間22に対向して1
両端のローラ31a、31bに無端ベルト状に掛は渡さ
れている。ローラ31a、31bのいずれかは動力で回
転駆動されるようになっている。
さらに8、搬送ベルト30の裏側で研磨部材20の押え
プレート24又はローラに対向するよう受プレート32
又はローラが配設され、押えプレート24又はローラと
受プレート32又はローラとに背を押された研磨部材2
0と搬送ベルト30との間に研磨対象Aが丁度挟み込ま
れるよう設定されている。
成形部40は、研磨部材20の表面に物品摩擦用の凹凸
を付けるよう回復区間23において研磨部材20を臨み
、研磨部材20の送り方向で研磨区間22の前に研磨部
材20が通過するよう配設されている。
第2図に示すように、成形部40は、研磨部材20か通
過可能なハウジング41の中に、刻みローラ42と、研
磨部材20を間にして刻みローラ42に対向する受ロー
ラ43とを配設して成る。
刻みローラ42の表面にはローレット等の刻み目42a
か刻設され、対向している刻みローラ42と受ローラ4
3との間の間隙は通過前の研磨部材20の厚さより小さ
く、刻みローラ42と受ローラ43との間を通過したと
き押圧されて研磨部材20の表面に物品摩擦用の凹凸2
6がつくようになっている。
記憶呼出部50は、前記研磨区間22の後に連なる回復
区間23が通過するよう研磨部材20を臨んで配設され
ており、加熱して研磨部材20の表面を平滑にし、凹凸
26に付着した汚れ等を浮き出させるものである。
記憶呼出部50の後に清掃部60が設けられている。
第3図に、示すように、清掃部60は研磨部材20か通
過可能な程度に密閉された清掃室61の中に、ベルト研
磨ローラ62と、研磨部材20を間にしてベルト研磨ロ
ーラ62に対向する受ローラ63とを配設し、さらにフ
ィルタ64を設け、清掃室61に開設した吸引口65よ
りブロア66て清掃室61内の空気を吸い取るようにな
っている。
ベルト研磨ローラ62の表面は記憶呼出部50を通過し
凹凸26がなくなって平になって汚れ等が浮き上がった
研磨部材20の表面に僅かに接触するように配設されて
いる。
次に作用を説明する。
原理的な作用は次のとおりである。
本来は表面が平滑な研磨部材20は成形部40により表
面に物品摩擦用の凹凸26か付けられた状態で使用され
る。研磨部材20の表面が研磨対象Aにこすりつけられ
ると、凹凸26が抵抗をもって研磨対象Aに圧接し、研
磨対象Aの表面の汚れや研磨かす等が凹凸26にこすり
取られる。
研磨部材20の表面の凹凸26が目詰まりしたら、研磨
部材20を臨んで配設された記憶呼出部50により回復
させる。記憶呼出部50て研磨部材20が加熱されると
研磨部材20の表面か平滑になり、凹凸26に付着した
汚れ等が浮きあがるのて、それを取り去る。その後前記
のように成形部40て研磨部材20の表面に新たに凹凸
26を付けて使用する。
研磨対象Aを玉状物であるパチンコ球としたもので作用
をさらに具体的に説明すれば次のとおりである。
離間して配設された架装部材21a、21b間に巻き掛
けられた無端ベルト状の研磨部材20はブレーキローラ
25a、25bに押えられて停止している。
搬送ベルト30はローラ31a、31bが適度な速度で
回転駆動され、研磨部材20の研磨区間22に対向する
部分が第1図において左から右に連続的に移動している
玉状物の研磨対mAは左端から搬送ベルト30と研磨部
材20との間に挾み込まれて受プレート32と押えプレ
ート24との間を送られ、研磨部材20の表面の凹凸2
6が押し付けられながら研磨対象Aが移動し、右端から
排出されるときは研磨が完了している。
研磨部材20の表面の凹凸26は、研磨をしているうち
に研磨対象Aの表面の汚れや研磨かす等が付着して目詰
まりを起す、そこで目詰まりの程度が限度を越えたよう
な場合に研磨部材20を再生処理する。再生処理は研磨
区間22の反対側の回復区間23でなされる。
ブレーキローラ25a、25bをゆるめて制動を解除す
ると研磨部材20が移動可能になるのて、架装部材21
a、21bを手動あるいは動力で回転して移動させる。
研磨部材20は先ず記憶呼出部50を通過し、加熱され
て凹凸26が消え、本来の形状に戻って表面が平滑にな
り、凹凸26に付着した汚れ等が浮き出る。
次いて記憶呼出部50の後で研磨部材20は清掃部60
を通過し、ベルト研磨ローラ62が研磨部材20の表面
に接触し、付着している汚れ等を剥離させて取り去り、
プロ766が清掃室61内の空気を吸出して汚れ等はフ
ィルタ64の部分に集積される。フィルタ64は適宜交
換し汚れ等の屑は回収して捨てられる。
研磨区間22に入る前に研磨部材20は成形部40を通
過する。成形部40では、研磨部材20は刻みローラ4
2と受ローラ43との開を通過し、刻みローラ42の表
面の刻み目42aが研磨部材20の表面に押圧され、研
磨部材20の表面に物品摩擦用の凹凸26が付けられる
研磨部材20は、新たな凹凸26が付けられ部分を研磨
区間22に張り渡すまで移動し、最後にプレーキロrう
25a、25bて研磨部材20を押えて止める。
工程としてみれば、研磨工程では、研磨部材20の表面
の凹凸26が研磨対象Aに擦り付けて磨かれ、記憶呼出
工程では、汚れ等が付着した研磨部材20を加熱して研
磨部材20の表面が平滑にされて凹凸26に付着した汚
れ等が浮き出し、清掃工程では、研磨部材20の表面に
付着している汚れ等かを剥離して取り去られる。
なお、前記実施例では、研磨部材を無端状ベルトにして
凹凸の目詰まりに応じ断続的に移動させて再生処理する
ものを示したが、研磨部材を搬送ベルトに比し十分遅い
速度でゆっくり移動させながら連続的に再生するように
してもよい。
無端状ベルトの移動方向は研磨対象が吐出される側に再
生された研磨部材が送り込まれるようにすると仕上り状
態がよい。
また、研磨部材を移動させずに、記憶呼出部や成形部等
を移動させるようにしてもよいことはいうまでもない。
「発明の効果」 本発明に係る研磨装置および研磨方法によれば、研磨部
材を形状記憶樹脂とし、研磨用の凹凸を形成して研磨対
象を研磨する一方、必要により記憶形状に戻し凹凸を平
にして汚れ等を取り去るようにしたから、研磨用の凹凸
の目詰まりを解消して容易に再生することができ、極め
て効率的な研磨装置および研磨方法とすることができる
【図面の簡単な説明】
各図は本発明の一実施例を示しており、第1図は研磨装
置の正面図、第2図は成形部の縦断面図、第3図は清掃
部の縦断面図である。 lO・・・研磨装置 20・・・研磨部材     22・・・研磨区間23
・・・回復区間     26・・・凹凸30・・・搬
送ベルト    32・・・受プレート40・・・成形
部      42・・・刻みローラ42a・・・刻み
目     43・・・受ローラ50・・・記憶呼出部 60・・・清掃部      61・・・清掃室62・
・・ベルト研磨ローラ 64・・・フィルタ66・・・
ブロア 第 図 第 図 1

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 研磨対象の表面を擦って磨く研磨装置において、 形状記憶樹脂により形成され、本来は表面が平滑な研磨
    部材と、 研磨部材を臨んで配設され、該研磨部材の表面に物品摩
    擦用の凹凸を付ける成形部と、 研磨部材を臨んで配設され、加熱して該研磨部材の表面
    を平滑にし、凹凸に付着した汚れ等を浮き出させる記憶
    呼出部とを備えて成る研磨装置。 2 研磨部材はベルト状であって、成形部および記憶呼
    出部は研磨部材が相対的に通過するよう配設したことを
    特徴とする請求項1記載の研磨装置。 3 研磨対象の表面を擦って磨く研磨装置において、 形状記憶樹脂により形成され、本来は表面が平滑であっ
    て、離間して配設された架装部材間に無端ベルト状に巻
    き掛けて送り可能なよう架設され、架装部材間に渡った
    一方の部分に研磨区間を設けた研磨部材と、 前記研磨区間の前に研磨部材が通過するよう配設され、
    該研磨部材の表面に物品摩擦用の凹凸を付ける成形部と
    、 前記成形部より離間した位置で研磨部材が通過するよう
    配設され、加熱して該研磨部材の表面を平滑にし、凹凸
    に付着した汚れ等を浮き出させる記憶呼出部とを備えて
    成る研磨装置。 4 玉状物である研磨対象を連続的に送りながら表面の
    汚れ等を取り去る研磨装置において、形状記憶樹脂によ
    り形成され、本来は表面が平滑であって、離間して配設
    された架装部材間に無端ベルト状に巻き掛けて架設され
    、架装部材間に渡った一方の部分に研磨区間を設けた研
    磨部材と、 研磨部材の研磨区間に対向して配設され、研磨部材との
    間に玉状物を挾んで送る搬送ベルトと、 前記研磨区間の前に研磨部材が通過するよう配設され、
    該研磨部材の表面に物品摩擦用の凹凸を付ける成形部と
    、 研磨部材の前記研磨区間の反対側を回復区間とし、前記
    研磨区間の後に連なる該回復区間が通過するよう配設さ
    れ、加熱して該研磨部材の表面を平滑にし、凹凸に付着
    した汚れ等を浮き出させる記憶呼出部とを備えて成る研
    磨装置。 5 前記記憶呼出部の後で研磨部材が相対的に通過する
    よう配設され、研磨部材の表面に接触し付着している汚
    れ等を剥離させる清掃部を備えたことを特徴とする請求
    項1、2、3、4記載の研磨装置。 6 本来は表面が平滑な形状記憶樹脂の表面に凹凸を付
    けた研磨部材の該表面を研磨対象に擦り付けて磨く研磨
    工程と、 汚れ等が付着した研磨部材を加熱して該研磨部材の表面
    を平滑にし、凹凸に付着した汚れ等を浮き出させる記憶
    呼出工程と、 前記記憶呼出工程の後に配設され、研磨部材の表面に付
    着している汚れ等を剥離させる清掃工程とを具備して成
    る研磨方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0723838A1 (de) * 1995-01-26 1996-07-31 Karl Heesemann Maschinenfabrik GmbH & Co KG Verfahren zur Einstellung eines Schleifbandes einer Bandschleifmaschine und Bandschleifmaschine
JP2009045736A (ja) * 2007-08-15 2009-03-05 Rohm & Haas Electronic Materials Cmp Holdings Inc 化学機械研磨方法
JP2009056584A (ja) * 2007-08-15 2009-03-19 Rohm & Haas Electronic Materials Cmp Holdings Inc 改良されたケミカルメカニカル研磨パッドならびに同研磨パッドの製造法および使用法
JP2009078348A (ja) * 2007-08-15 2009-04-16 Rohm & Haas Electronic Materials Cmp Holdings Inc 改良されたケミカルメカニカル研磨パッドならびに同研磨パッドの製造法および使用法

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KR101453565B1 (ko) * 2007-08-15 2014-10-21 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머티리얼스 씨엠피 홀딩스, 인코포레이티드 화학적 기계적 연마 방법

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