JPH02298280A - ワイヤーエッチング法 - Google Patents
ワイヤーエッチング法Info
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- JPH02298280A JPH02298280A JP11812389A JP11812389A JPH02298280A JP H02298280 A JPH02298280 A JP H02298280A JP 11812389 A JP11812389 A JP 11812389A JP 11812389 A JP11812389 A JP 11812389A JP H02298280 A JPH02298280 A JP H02298280A
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- Japan
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- wire
- etchant
- etching
- frictional heat
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は金属板からエツチング法により金属板製品を製
造する方法におけるエツチング装置のコンパクト化とエ
ツチング時間の短縮に関する。
造する方法におけるエツチング装置のコンパクト化とエ
ツチング時間の短縮に関する。
〔発明の概要1
本発明は金属板から湿式エツチング法により金属板製品
を製造する方法において、エツチング液を塗布したワイ
ヤーを長手方向に駆動し、該ワイヤー側面に被加工材料
を押し当て、ワイヤーと被加工材料の摩擦熱によりワイ
ヤーに塗布したエツチング液温を瞬間的に昇温し、当該
部分の被加工材料を高速エツチングすることを可能とし
たものである。
を製造する方法において、エツチング液を塗布したワイ
ヤーを長手方向に駆動し、該ワイヤー側面に被加工材料
を押し当て、ワイヤーと被加工材料の摩擦熱によりワイ
ヤーに塗布したエツチング液温を瞬間的に昇温し、当該
部分の被加工材料を高速エツチングすることを可能とし
たものである。
【従来の技術J
金属板を成形する場合は一般的に糸ノコ、バンドソー、
ワイヤーソー等を用い1機械的な刃具により金属板の一
部分を切削、除去し成形していた。
ワイヤーソー等を用い1機械的な刃具により金属板の一
部分を切削、除去し成形していた。
〔発明が解決しようとする課題1
しかし、従来の方法では切刃部分の切れ味により、加工
部分の表面が粗(なる、パリが発生する、微細形状部分
の成形が困難等の問題があった。
部分の表面が粗(なる、パリが発生する、微細形状部分
の成形が困難等の問題があった。
そこで本発明はこのような問題を解決するためのもので
、その目的とするところは簡単な装置で、滑らかな、パ
リのない製品を成形することにある。
、その目的とするところは簡単な装置で、滑らかな、パ
リのない製品を成形することにある。
【課題を解決するため9手段]〕
本発明のワイヤーエツチング法は、エッチング液を塗布
したワイヤーを長手方向に駆動し、該ワイヤー側面に被
加工材料を押し当ててなることを特徴とするワイヤーエ
ツチング法。
したワイヤーを長手方向に駆動し、該ワイヤー側面に被
加工材料を押し当ててなることを特徴とするワイヤーエ
ツチング法。
[作 用]
本発明は以上の構成、方法によりワイヤーに塗布された
エツチング液が、ワイヤーと被加工材料の摩擦熱により
瞬間的に昇温され、当該部分の被加工材を溶出、除去す
ることにより、ワイヤーと被加工材料の接触部分だけが
、滑らかでパリのない仕上げ面に成形することができる
のである。
エツチング液が、ワイヤーと被加工材料の摩擦熱により
瞬間的に昇温され、当該部分の被加工材を溶出、除去す
ることにより、ワイヤーと被加工材料の接触部分だけが
、滑らかでパリのない仕上げ面に成形することができる
のである。
[実 施 例]
以下、本発明について実施例に基づいて詳細に説明する
。第1図において孔を設けたテーブル6の上に被加工材
料1を置き、上ホイール7と下ホイール8とアイドラー
13により張力を与えたワイヤー2をテーブル6の孔部
分を通過させる。さらに上ホイール7とテーブル6の間
に容器5に満したエツチング液3を設け、ワイヤー2の
通過孔部分に塗布部材4を、またテーブル6と下ホイー
ル8の間に容器に入れた洗浄水9と分離部材10を、さ
らに下ホイール8の後方に熱風乾燥機11を配置する。
。第1図において孔を設けたテーブル6の上に被加工材
料1を置き、上ホイール7と下ホイール8とアイドラー
13により張力を与えたワイヤー2をテーブル6の孔部
分を通過させる。さらに上ホイール7とテーブル6の間
に容器5に満したエツチング液3を設け、ワイヤー2の
通過孔部分に塗布部材4を、またテーブル6と下ホイー
ル8の間に容器に入れた洗浄水9と分離部材10を、さ
らに下ホイール8の後方に熱風乾燥機11を配置する。
このような状態に於て、上ホイール7又は下ホイール8
に回転を与えると張力により各々の上下ホイールにより
保持されているワイヤー2が矢印方向に駆動する。上ホ
イール7から下ホイール8に向かって駆動を始めたワイ
ヤー2はまずエツチング液3の中を通過するとともに、
容器5の下部に設けられた塗布部材4によりワイヤー2
の全周に薄くエツチング液3を付着させた後、洗浄水9
に入りワイヤー2の外周に付着したエツチング液を洗い
落し、分離部材IOにより洗浄水9を絞り落し下ホイー
ル8を通過した所に設けられた熱風乾燥機11の熱風に
より洗浄水を全て蒸発させ上ホイール7へ戻る。
に回転を与えると張力により各々の上下ホイールにより
保持されているワイヤー2が矢印方向に駆動する。上ホ
イール7から下ホイール8に向かって駆動を始めたワイ
ヤー2はまずエツチング液3の中を通過するとともに、
容器5の下部に設けられた塗布部材4によりワイヤー2
の全周に薄くエツチング液3を付着させた後、洗浄水9
に入りワイヤー2の外周に付着したエツチング液を洗い
落し、分離部材IOにより洗浄水9を絞り落し下ホイー
ル8を通過した所に設けられた熱風乾燥機11の熱風に
より洗浄水を全て蒸発させ上ホイール7へ戻る。
この様な状態において被加工材料1を作業者の手12に
よりワイヤー2に押し当てると、まずワイヤー2と被加
工材料1が接触し、相互の摩擦熱が発生すると同時にワ
イヤー2の外周に塗布されているエツチング液が瞬間的
に昇温される。昇温されたエツチング液はワイヤー2と
接触している部分の被加工材料を溶比した後、洗浄水9
の中に入り全てのエツチング液を洗い落された後、分離
部材10によりワイヤー2からエツチング液及び洗浄水
9を分離し、熱風乾燥機11により乾燥され初期の状態
に戻る。この場合エツチング液3は液温依存性のある、
一般的に塩化第二鉄液を用いエツチング能を極めて低く
しておくために15℃以下に保ち、ワイヤー2と被加工
材料1の摩擦熱により50℃〜60℃に加熱されるよう
ワイヤー2の駆動速度と被加工材料1の押し当て力を調
整する。具体的にはワイヤー2の材料としてφ0゜5純
チタンエンドレスワイヤーを用い、被加工材料4として
軟鋼板2mmを加工する場合にはワイヤー2の駆動速震
度5m/sec、押し当て力を1.5〜2kgとした時
に丁度当該接触部分のエツチング液温を略60℃とする
ことができ、加工速度はlO〜12mm/minとする
ことができる。この条件は通常の使用状態の1例である
が、もっと加工速度を早めたい場合にはワイヤー駆動速
度を5m/sec以上にし10〜15m/seCにすれ
ば可能となる他、被加工材料1を強く押し当てることに
よる摩擦熱の発生温度の上昇も可能である。また異なっ
た観点から仕上げ面の精度1.粗さを向上させ一つとす
る場合は、加工速度を同上させるための前述の方法の逆
を行なうことによって成すことができる1以上のような
実施例において、ワイヤー外周にエツチング液を塗布し
、ワイヤーと被加工材料の摩擦熱によりエツチング液を
瞬間的に加熱し被加工材料を溶出するという簡素な方法
により、金属板を容易に、精度よく、滑らかな仕上げ面
で、パリのない理想的な成形加工を行なうことができる
のである。
よりワイヤー2に押し当てると、まずワイヤー2と被加
工材料1が接触し、相互の摩擦熱が発生すると同時にワ
イヤー2の外周に塗布されているエツチング液が瞬間的
に昇温される。昇温されたエツチング液はワイヤー2と
接触している部分の被加工材料を溶比した後、洗浄水9
の中に入り全てのエツチング液を洗い落された後、分離
部材10によりワイヤー2からエツチング液及び洗浄水
9を分離し、熱風乾燥機11により乾燥され初期の状態
に戻る。この場合エツチング液3は液温依存性のある、
一般的に塩化第二鉄液を用いエツチング能を極めて低く
しておくために15℃以下に保ち、ワイヤー2と被加工
材料1の摩擦熱により50℃〜60℃に加熱されるよう
ワイヤー2の駆動速度と被加工材料1の押し当て力を調
整する。具体的にはワイヤー2の材料としてφ0゜5純
チタンエンドレスワイヤーを用い、被加工材料4として
軟鋼板2mmを加工する場合にはワイヤー2の駆動速震
度5m/sec、押し当て力を1.5〜2kgとした時
に丁度当該接触部分のエツチング液温を略60℃とする
ことができ、加工速度はlO〜12mm/minとする
ことができる。この条件は通常の使用状態の1例である
が、もっと加工速度を早めたい場合にはワイヤー駆動速
度を5m/sec以上にし10〜15m/seCにすれ
ば可能となる他、被加工材料1を強く押し当てることに
よる摩擦熱の発生温度の上昇も可能である。また異なっ
た観点から仕上げ面の精度1.粗さを向上させ一つとす
る場合は、加工速度を同上させるための前述の方法の逆
を行なうことによって成すことができる1以上のような
実施例において、ワイヤー外周にエツチング液を塗布し
、ワイヤーと被加工材料の摩擦熱によりエツチング液を
瞬間的に加熱し被加工材料を溶出するという簡素な方法
により、金属板を容易に、精度よく、滑らかな仕上げ面
で、パリのない理想的な成形加工を行なうことができる
のである。
[発明の効果]
本発明は、以上説明したようにエツチング液を塗布した
ワイヤーを長手方向に駆動し、該ワイヤー側面に被加工
材料を押し当てることにより、エツチング液の有する液
温依存性を利用し金属板を容易に、精度よく、滑らかな
仕上げ面で、パリのない加工方法を実現できる効果があ
る。
ワイヤーを長手方向に駆動し、該ワイヤー側面に被加工
材料を押し当てることにより、エツチング液の有する液
温依存性を利用し金属板を容易に、精度よく、滑らかな
仕上げ面で、パリのない加工方法を実現できる効果があ
る。
第1図は本発明にかかるワイヤーエツチング法の断面図
である。 1・・・被加工材料 2・・・ワイヤー 3・・・エツチング液 6・・・テーブル 9・・・洗浄水 11・・・熱風乾燥機 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部(他1名)高l昆
である。 1・・・被加工材料 2・・・ワイヤー 3・・・エツチング液 6・・・テーブル 9・・・洗浄水 11・・・熱風乾燥機 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部(他1名)高l昆
Claims (1)
- エッチング液を塗布したワイヤーを長手方向に駆動し、
該ワイヤー側面に被加工材料を押し当ててなることを特
徴とするワイヤーエッチング法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11812389A JPH02298280A (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | ワイヤーエッチング法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11812389A JPH02298280A (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | ワイヤーエッチング法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02298280A true JPH02298280A (ja) | 1990-12-10 |
Family
ID=14728607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11812389A Pending JPH02298280A (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | ワイヤーエッチング法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02298280A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005039824A1 (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | マルチワイヤソー |
WO2008047446A1 (fr) | 2006-10-20 | 2008-04-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Suspension épaisse pour découpe de lingot de silicium et procédé de découpe de lingots de silicium avec celle-ci |
WO2013128688A1 (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | 株式会社クリスタル光学 | シリコンインゴットの切断方法 |
EP3053722A1 (en) * | 2015-02-06 | 2016-08-10 | National Taiwan University of Science and Technology | Apparatus and method for processing a substrate |
-
1989
- 1989-05-11 JP JP11812389A patent/JPH02298280A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005039824A1 (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | マルチワイヤソー |
US7306508B2 (en) | 2003-10-27 | 2007-12-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Multi-wire saw |
JP2009142986A (ja) * | 2003-10-27 | 2009-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | マルチワイヤソー |
EP2343155A1 (en) * | 2003-10-27 | 2011-07-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Multi-wire saw |
WO2008047446A1 (fr) | 2006-10-20 | 2008-04-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Suspension épaisse pour découpe de lingot de silicium et procédé de découpe de lingots de silicium avec celle-ci |
US8075647B2 (en) | 2006-10-20 | 2011-12-13 | Mitsubishi Electric Corporation | Slurry for slicing silicon ingot and method for slicing silicon ingot using the same |
WO2013128688A1 (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | 株式会社クリスタル光学 | シリコンインゴットの切断方法 |
WO2013128653A1 (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | 株式会社クリスタル光学 | シリコンインゴットの切断方法 |
JPWO2013128688A1 (ja) * | 2012-03-02 | 2015-07-30 | 株式会社クリスタル光学 | シリコンインゴットの切断方法 |
EP3053722A1 (en) * | 2015-02-06 | 2016-08-10 | National Taiwan University of Science and Technology | Apparatus and method for processing a substrate |
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