JPH03167403A - 測長方法およびこれに使用する測長装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、微小な長さを高精度で測定する測定装置に関
する。

〔従来の技術〕

近年、各種技術分野においては装置が微小化又は高精度
化され、これに伴い装置の製造時における各部の寸法も
厳格な管理が必要となり、このため、サブμｍオーダの
精度で測定可能な測長装置が要望されるようになった。

ここで、上記のように高精度の測長が必要である対象物
として、テレビジョン、コンピュータの表示等に使用さ
れる液晶表示装置を例示して説明する。

第４図は液晶表示装置の電極の配置図である。

図で、１は基板、２は基板１上に縦横に多数配置された
電極である。例えば、図で横方向の長さが４００ｍｍの
基板１上に電極２が横方向１列に６７００個配列されて
いる．これら各電極２は互いに正確な間隔で配置される
必要がある。即ち、第４図に示す隣接する電極２間の寸
法Ｘ＋＋　　ｙ＋は正確でなければならない．したがっ
て、このような電極パターンを製造するための原板（マ
スク）における上記寸法Ｘｔ＋　　ｙ＋　は厳格に管理
されなければならない。そして、このためには、高精度
の測長装置が必要である。例えば、上記の例では、寸法
ｘ１は６０μであるので、測長装置としてはサブμｍオ
ーダの精度のものが要望される。このような装置の測定
に使用される測長装置を第５図により説明する。

第５図は従来の測長装置の系統図である。図で、５は図
示しない空気定盤上に支持されたステージ、６はステー
ジ５上を図で左右に移動可能な移動台、７は移動台６を
駆動するモータである。移動台６は、モータ７の回転軸
に連結され周面に螺旋状のねじが形威されている軸（螺
軸）に螺合する螺子を有し、モータ７の回転により左右
に移動する構威となっている。８は移動台６に固定され
たテーブル、９はテーブル８上に載置された被測長対象
物である原板を示す．９ｐは第４図に示す電極２を作威
するため原板９に構威された電極パターンである。電極
パターン９ｐは第４図に示す電極２の配置に等しく配置
されている．１０はこれら電極パターン９ｐを観察する
顕微鏡、ｌ１は顕微鏡１０を支持するスタンド、１２は
原板９を照明する光源、１３は光源１２を支持すると共
に光を顕微鏡１０に導く導光管である。ｌ４は顕微鏡１
０の視野内の像を撮影するＣＯＤカメラであり、像に応
じた電気信号を出力する． １５はリニアエンコーダであり、スケール１５ａおよび
センサ１５ｂで構成される．スケール１５ａはテーブル
８の側面に配置された多数の反射膜で構成されている．
この反射膜は、例えば５μｍの巾を有し５μｍ間隔で配
置されている。センサ１５ｂは発光素子スリット板およ
び受光素子より威り、反射膜で反射された発光素子から
の光を、スリット板を介して受光素子で受光する構或と
なっている．このリニアエンコーダｌ５によりテーブル
８の移動距離がサブμｍオーダの精度で測定できる．７
このようなリニアエンコーダは周知である． １６は画像処理装置を示し、画像処理部１６ａ、表示部
１６ｂおよび記憶部１６ｃで構威されている。画像処理
部１６ａはカメラｌ４からの信号に基づき顕微鏡１０の
視野内の像を表示部１６ｂに表示する処理を行なうとと
もに、後述するようにその像についての種々の処理を実
行する。表示部１６ｂは等間隔に縦横に配列された微粒
子（画素）で構成されている．これらの画素は表示部１
６ｂにおける発光単位であり、各画素が選択的に発光す
ることにより、映像が形或表示される。各画素は、記憶
部１６Ｃのアドレスに対応せしめられている。どの画素
を発光させるかの選択は、カメラ１４の信号に基づいて
画像処理部１６ａで行なわれる。ｌ７は測長装置におけ
る所定の演算制御を行なう制御装置である。

次に、上記測長装置の動作を第６図（ａ），　（ｂ）に
示す画像処理装置の表示像を参照しながら説明する．ま
ず、原板９をテーブル８上にセットし、顕微鏡１　’０
の倍率を電極パターン９ｐの全体像やその周辺が把握可
能な程度（例えば５倍）に低くする。次いで、カメラ１
４に撮影され表示部ｌ６ｂに表示された顕微鏡１０の視
野を観察しながら、制御装置１７を介して（又は手動で
〉テーブル８を移動させ、最端部の電極パターン９ｐ（
この電極パターンを９ｐ＋　とする）を顕微鏡１０の視
野にとらえる．この状態で顕微鏡１０の倍率を高倍率（
例えば２００倍）とする。このとき、表示部１６ｂに表
示された顕微鏡工０の視野内の映像が第６図（ａ）に示
されている。第６図（ａ）で、Ａは顕微鏡１０の視野、
Ｃは顕微鏡ｌＯの中心線に対応する中心線、９ｐ＋’は
電極パターン９ｐ＋の映像である。

電極パターン９ｐ＋は顕微鏡１０で拡大されているため
、その映像９ｐ＋’は電極パターン９ｐ＋の極く一部で
あり、かつ、その縁部（エッジ）は図示のように凹凸と
なって現われる。ところで、原板９における測長は、各
電極パターン９ｐのエッジ間を測定するのであるから、
エッジに凹凸が存在していては測定不可能となる。この
ため、何等かの手段によりエッジを確定する必要がある
．このエッジの確定は、画像処理部１６ａにおいて、映
像９ｐ１′　の縁部の発光画素の位置、即ち、記憶部１
６ｃにおける発光画素に対応するアドレスを取出し、そ
れらの位置の平均値を演算することにより行なわれる。

第６図（ａ）に、確定したエッジが符号Ｅで示されてい
る。画像処理部１６ａは中心線ＣとエッジＥとの間隔Ｊ
，を、その間の画素数をカウントする（記憶部１６ｃの
アドレスの差を演算する）ことにより求め、その値ｌ，
を制御装置１７に出力する。

次に、制御装置１７はモータ７に指令信号を出力し、テ
ーブル８を移動して次の電極パターン９ｐ　（この電極
パターンを９ｐｔとする．）を顕微鏡１０の視野に入れ
、これを表示部１６ｂに表示する。このときのテーブル
８の移動量ｌはリニアエンコーダ１５により検出され、
制御装置ｌ７に出力される。第６図（ｂ）に電極パター
ン９ｐ，が視野に入ったときの状態が示されている。第
６図（ｂ）で第６図（ａ）と同一部分には同一符号が付
してある。９ｐｚ　　は電極パターン９ｐｚの映像を示
す。電極パターン９ｐｔの映像９ｐ！に対しても、電極
パターン９ｐ＋の映像９ｐ＋と全く同様にしてエツジＥ
が確定され、中心線Ｃとの間隔１２が求められ、この値
ｌ２が制？ＩＩ＋装置ｌ７に出力される。ここで、リニ
アエンコーダｌ５で検出された移動量ｌは、最初の視野
において顕微鏡ｌＯの中心線に対向する原板９上の位置
と、次の視野において顕ｍ！１１０の中心線に対向する
原板９上の位置との間の間隔に等しい。したがって、第
６図（ａ），　　（ｂ）に示す視野の場合、制御装置１
７は入力された値１，，ｌ２，１を加算して測定値Ｌ　
（Ｌ＝ｆ，＋１，＋１）を得る。各電極パターン９ｐの
間隔は、第４図に示す電極２の間隔ｘｌ　＋　　ｘＺ　
＋　　ｘ３・・・・・・・・・と同じように、最端部の
電極パターン（９ｐ＋）のエツジＥを基準とし、上述の
ような方法で当該エツジＥからの間隔として測定される
。

上記測長方向と直交する方向における各電極パターン９
の間隔の測定は、テーブル８から一旦原板９を外し、載
置方向を９０″変更して再度テーブル８にＳ！置するこ
とにより行なわれるが、このような手間を省くため、ス
テージ５の下に移動方向が直交するステージを重ね、リ
ニアエンコーダ１５が配置されている側面と隣接する側
面にさらに他のリニアエンコーダを設けて２軸（Ｘ軸，
Ｙ軸）の測長装置を構威してもよい。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記測長装置においては、その測定動作中のエッジの確
定の精度が測定精度を左右する大きな要因の１つとなる
。そして、このエッジの確定の精度は像の分解能により
定まる．これを第７図（ａ）〜（ｃ）および第８図によ
り説明する．第７図（ａ）はＣＣＤカメラｌ４の撮像平
面を示す図である．符号Ｆでこの平面が示されている．
平面Ｆの具体的数値例として、縦６．６ｍｍ、横８．　
８　ｍ　ｍが示されている．この撮像平面Ｆは顕徽鏡１
０で拡大される。第７図（ｂ）は撮像平面Ｆを顕微鏡で
拡大したときの顕微鏡像を示す図である。符号Ｆ３は第
７図（ａ）に示す撮像平面Ｆの一部分を示すものであり
、顕微鏡１０の倍率を例えば２００倍としたとき、部分
Ｆ３は撮像平面Ｆの１／２００の面積となる。第７図（
ｂ）に示される顕微鏡像Ｆ，は、前記各具体的数値例に
したがうと、縦３３μｍ　（６．６ｍｍ／　２　０　０
）　、横４４μｍ　（８．　８　ｍｍ／　２　０　０　
）となる。

第７図（Ｃ）は画像処理装置１６の表示部１６ｂにおけ
る発光面を示す図である。この発光面の具体的数値例と
して、縦２４０画素、横３２０画素が図示されている。

結局、ＣＯＤカメラ１４で撮像され、顕微鏡ｌＯで拡大
された像Ｆ，が表示部１６ｂに表示された状態をみたと
き、上記数値例では（３３μｍｍＸ４４μｍ）の像が（
２４ｏ画素×３２０画素〉の画面に表示されることにな
る．そして、記憶部１６ｃに記憶されるデータは、画像
処理部１６ａによって、表示部１６ｂの１画素の発光レ
ベルが、ある定められた値〈例えば１画素の最大発光量
の１／２）以上のときｒｌＪ、定められた値未満のとき
「０」とされる。このことから、像の分解能は、０．１
４μｍ（３３μｍ／２４０，４４μｍ／３２０）となる
。

第８図は表示部１６ｂの一部の拡大平面図である。図で
、四角形で示される領域はｌ画素を示し、又、ハツチン
グ部分は像の表示部分（発光部分）を示す．上記数値例
では、ｌ画素は０．１４μｍに相当することとなる。こ
こで、図示の画素Ｊ．についてみると、画素Ｊ，の発光
レベルは前記所定レベル以上であるので、記憶部１６ｃ
にはこの画素Ｊ．のデータとして「１」が記憶されてい
る。

又、図示の画素Ｊ！のデータは「０」である。今、線Ｋ
を基準として像のエッジをみると、画素Ｊ１における実
際のエッジは基準線Ｋから（０．１４μｍ＋ａ／Ｊｍ）
の距離にあるにもかかわらず、画像処理部１６ａでは（
０．１　４μｍ＋０．１　４，ｕｍ）として処理され、
又、画素Ｊ８における実際のエッジは基準線から（０．
１４μｍ　＋　ｂμｍ）の距離にあるにもかかわらず０
．１４μｍとして処理され、それらがエッジ確定処理に
おける各エッジの数値として採用されることになる。

このように、従来の測長装置にあっては、エッジ確定の
精度は像の分解能で限定され、それ以上の精度でエッジ
確定を行なうことはできず、これにより測長装置の測定
精度の向上にも限界があつた． 本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、
エッジ確定の精度を向上させることができ、ひいては測
定精度を向上させることができる測長装置を提供するに
ある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達戒するため、本発明は、被測長物を載置
する台と、この台に対向し前記被測長物を視る顕微鏡と
、この顕微鏡の視野の像を表示する表示部およびこの表
示部の画素の状態を記憶する記憶部を備え画素の状態に
基づいて像の測定基準位置を確定する画像処理装置と、
前記台を移動させる移動機構と、前記台の移動距離を測
定する測定手段とを備えた測長装置において、平行たわ
み梁変位機構で構成され前記台と前記移動機構との間に
連結される微動機構と、この微動機構を前記画素の１つ
について当該画素の状態が変化するまで変位させる変位
手段と、この変位手段による前記微動機構の変位量に基
づいて前記像の測定基準位置を演算する演算手段とを設
けたことを特徴とする。

〔作用〕

エッジ確定時、記憶部におけるエッジを示すデータをも
つ１つのアドレスについて、そのアドレスに隣接するア
ドレスの状態が変化するまで微動機構を駆動する．この
ときの微動機構の駆動量に基づいて、これらアドレスが
関与したエッジの値を演算する．この処理を、エッジを
示すデータをもつすべてのアドレス又は選択された所定
のアドレスについて行ない、最終的なエッジを確定する
．〔実施例） 以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。

第１図は本発明の実施例に係る測長装置の系統図である
．図で、第５図に示す部分と同一部分には同一符号を付
して説明を省略する。Ｘは座標軸を示す。１８は移動台
６とテーブル８との間に設けられた微動機構である。こ
の微動機構１８の構成は第２図により詳細に説明する．
１９は微動機構１８の駆動を制御する微動コントローラ
である．なお、本実施例における画像処理部１６ａは、
後述するように従来の画像処理部とは異なる処理手段を
有する． ここで、第１図に示す微動機構１８の構成を説明する。

第２図は微動機構の斜視図である．図で、２５は剛性の
高い部材より或る中心剛体部、２６ａは中心剛体部２５
からＹ軸方向に張出した張出し部、２６ｂは中心剛体部
２５から張出し部２６ａと反対向きに張出した張出し部
、２７ａは中心剛体部２５からＸ軸方向に張出した張出
し部、２７ｂは中心剛体部２５から張出し部２７ａと反
対向きに張出した張出し部である。２８ａ．２８ｂはそ
れぞれ張出し部２６ａ，２６ｂの端部下端に設けられ移
動台６に固定される固定部、２９ａ，２９ｂはそれぞれ
張出し部２７ａ，２７ｂの端部上端に設けられテーブル
８を連結するテーブル連結部である。

張出し部２６ａ，２６ｂ．２７ａ．２７ｂ，固定部２８
ａ，２８ｂ、およびテーブル連結部２９ａ，２９ｂはそ
れぞれ中心剛体部２５と同し部材で構成され、中心剛体
部２５とともに１つのブロックから加工或形される。

２　６　Ｆ．．，　　２　６　Ｆ．ｂはそれぞれ張出し
部２６ａ，２６ｂに構威された平行たわみ梁変位機構（
平行たわみ梁変位機構については後述する。）であり、
互いに中心剛体部２５に対して対称的に構威されている
。平行たわみ梁変位機構２　６　ＦＭ．．　２　６Ｆｌ
ｂは共働してＸ軸方向の並進変位（中心剛体部２５のＸ
軸方向の変位）を発生する。２７Ｆ，．，２７Ｆ　ｙｂ
はそれぞれ張出し部２７ａ，２７ｂに構威された平行た
わみ梁変位機構であり、互いに中心剛体部２５に対して
対称的にＦｉ！威されている．平行たわみ梁変位機構２
　７　Ｆｙ−，２　７　Ｆｖｂは共働してＹ軸方向の並
進変位（中心剛体部２５のＹ軸方向の変位）を発生する
。上記平行たわみ梁変位機構２６Ｆ．．，２６Ｆ．ｂ．
２７Ｆ，．．２７Ｆｙｂは各張出し部２６゜ａ．２６ｂ
．２７ａ．２７ｂの所定個所に所定の貫通孔を形成する
ことにより構威される。

平行たわみ梁変位機構２６Ｆ．．は、貫通孔３０？形或
することにより構成される２つの互いに平行な平板状の
たわみ梁３１、および貫通孔３０内に中心剛体部２５と
張出部２６ａから突出した突起間に装架された圧電アク
チュエータ３２、ならびにたわみ梁３１の所定個所に貼
着されたひずみゲージＧで構成される。他の平行たわみ
梁変位機１１２６Ｆ．ｂ，２７Ｆ，■　２７Ｆ，．も同
様な構威を有する。なお、平行たわみ梁変位機構の構成
および動作については、例えば特開昭６　１　−２０９
８４６号公報に提示されている。

次に、この微動機構の動作を説明する。今、平行たわみ
梁変位機構２　６　Ｆｘ−，　　２　６　ＦＸｂの各圧
電アクチュエータ３２に等しい電圧を印加すると、その
平行たわみ梁３ｌが印加電圧に応して変形し、微動機構
はＸ軸方向に並進変位する。この変位は中心剛体部２５
、平行たわみ梁変位機構２　７　Ｆ，．，２７Ｆ，いお
よび固定部２９ａ．２９ｂを介してテーブル８に伝達さ
れ、テーブル８は同量だけＸ軸方向に並進変位する。同
様に、平行たわみ梁変位機構２　７　Ｆｙ．２　７　Ｆ
ｙｂの圧電アクチュエータに同一電圧を印加した場合、
テーブル８はＹ軸方向に並進変位する。これら並進変位
の変位量の最小変位量は、例えば０．０１μｍという微
小量である。なお、本実施例では用いないが、これら各
平行たわみ梁変位機構を同時に駆動すると、合威された
並進変位を得ることができる．上記の変位作動中、各ひ
ずみゲージＧはたわみ梁３１のたわみを検出することに
より微動機構の実際の変位景を検出する。したがって、
この検出された変位量に基づいてフィードバック制御を
行なえば、微動機構の正確な変位を実施することができ
る。

以上、徽動機構１８の構成および動作について説明した
−。次に、第ｌ図に示す本実施例の測長装置のエッジ確
定処理について、第３図を参照しながら説明する。第３
図は表示部１６ｂの発光面の一部を示す図である。図で
、ＪＩｌ＋　　Ｊｌ！＋　　Ｊ２＋＋Ｊ．はそれぞれ画
素を示し、かつ、斜線の部分は像を示す。記憶部１６Ｇ
には、前述のように各画素に対応するアドレスに像のデ
ータが格納されている。第３図に示す状態において、画
素Ｊ．では？のパターンが画素の半分以上を占めるので
、これに対応するアドレスＡ．にはデータ「１」が格納
され、又、画素ＪＺ１では像のパターンが画素の半分未
満であるので、これに対応するアドレス，Ａｇｔにはデ
ータ「０」が格納されている．画素．Ｊｔｚに対応する
アドレスＡＨにはデータ「０」が、又、画素Ｊ■に対応
するアドレスＡ．にはデータ「１」が格納されているの
は明らかである。

ここで、データｒｌＪである画素に隣接するデータ「０
」の画素、即ち、第３図に示す例の場合は画素Ｊ　＋ｔ
ｒ　　Ｊ　ｚｚにおいて、その中心線分をＫ０とし、中
心線分Ｋ。から画素の境界線までの距離をｋ。とする。

又、画素Ｊ．の境界線と像のエッジとの間の距離をｂ，
画素Ｊ．の境界線と像のエッジとの間の距離をａとする
。

今、像の全データが格納された状態において、画素Ｊｌ
１の像に着目する．画像処理部１６ａが微動コントロー
ラ１９に指令信号を出力し、微動機構１８をその最小変
位量ずつ変位させてゆくと、これに従って第３図に斜線
で示される像も図の右方向に変位してゆき、当然エッジ
もこれと同時に右方向に・変位してゆく。この動作が継
続され、エッジが画素Ｊｌｆｆｉ内に入り、その綿分Ｋ
０に達するとく実際にはエッジの平均値が線分Ｋ。に一
致すると）画素−Ｊ＋ｚが発光し、記憶部１６ｃのアド
レスＡＨのデータが「０」からｒｌＪに変化する。

画像処理部１６ａは、微動コントローラに最小変位量の
指令信号を出力する毎にその出力回数をカウントすると
ともに、アドレスＡＩ！のデータを監視しており、これ
が「０」からｒｌＪに変化したとき微動コントローラ１
９への指令信号出力を停止する。

次いで、画像処理部１６ａは指令信号の出力回数のカウ
ント値に基づいて微動機構の変位量、即ちエッジの変位
量を演算する。図示の例の場合、その変位量は（ｂ＋ｋ
０）となる。次いで、この変位量から値ｋ０　（この値
は既知である）を滅算すると、値ｂが得られる。したが
って、画像処理部１６ａは、アドレスＡ．のデータ「１
」により示されているエッジが、実際には画素Ｊ．上に
お？て画素．Ｊ＋ｚとの境界線から距離ｂの位置にある
と判断し、このデータを所定の記憶部（画像処理部１６
ａ自身が有する記憶部又は記憶部１６Ｃにおける不使用
領域）に記憶させる。

画素Ｊ．の像についても同様の処理がなされ、画像処理
部でその変位量（ｋ０−ａ）が演算される。さらに、こ
の変位量から値ｋ０が減算され、値（〜ａ）が得られる
。この場合、得られた値の負号は、エッジが画素ＪＺＩ
でなく画素Ｊ２■に存在することを示す。したがって、
画像処理部１６ａは、アドレスＡ２，のデータ「１」に
より示されているエッジが、実際にはデータ「０」のア
ドレスＡｔＸに対応する画素Ｊ２■上において、画素Ｊ
２１との境界線から距ＩｆＩａの位置にあると判断し、
このデータを記憶させる。

以上の処理を行なうことにより、従来、記憶部１６ｃに
おいてデータｒＯＪと隣接するデータを得ることができ
、各画素のすべてのエッジにっいて同様の処理を行ない
、得られた値を平均することにより、極めて正確なエツ
ジＥを得ることができる。

なお、上記実施例の説明では、記憶部にデータ「１」と
して格納されるのは１画素の最大発光量の１／２以上の
場合として説明したが、これに限ることはなく、他の値
を選択することもできる。

この場合、その選択された値に応じて線分Ｋ０が変化す
るのは明らかである。又、微動機構による１回の指令信
号の変位量は、必ずしも最小変位量でなくてもよい。さ
らに、エッジ確定の処理は全エッジ画素について行なう
ことなく、所定数のエッジ画素について行なってもよい
。又、リニアエンコーダに代えてレーザ測長器を用いる
こともできる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明では、微動機構により像を変
化させ、対応するアドレスの状態が変化したときの微動
機構の変位量に基づいて所定の演算を行なうようにした
ので、エッジ確定の精度を従来装置に比べて大幅に向上
せしめることができ、ひいては、測定精度を向上せしめ
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る測長装置の系統図、第２図は第１
図に示す微動機構の斜視図、第３図は第１図に示す表示
部の一部の拡大平面図、第４図は液晶表示装置の電極の
配置図、第５図は従来の測長装置の系統図、第６図（ａ
），（ｂ）は画像処理装置の表示部の表示を示す図、第
７図（ａ），（ｂ），　　（Ｃ）はそれぞれＣＣＤカメ
ラ撮像面、顕微鏡像面および表示部表示面を示す図、第
８図は表示部表示面の一部の拡大平面図である。 ６・・・・・・・・・台、８・・・・・・・・・テーブ
ル、９・・・・・・・・・原板、１０・・・・・・・・
・顕微鏡、１４・・・・・・・・・ＣＣＤカメラ、工５
・・・・・・・・・リニアエンコーダ、１６・・・・・
・・・・画像処理装置、１６ａ・・・・・・・・・画像
処理部、１６ｂ・・・・・・・・・表示部、１６ｃ・・
・・・・・・・記憶部、１８・・・・・・・・・微動機
構。 代　理　人　弁理士　武　顕次郎（外１名）第Ｉ居 合 テーブル Ｊｌｌｌｌ履 Ｕ黴俄 ＣＣＤ７］＞ラ リニ７エンコーダ 画儂鯨瑠装置 檄ａ議精 第２８ 第３因 １１４図 第５ａｉ！ １１６！Ｉｌ 第８図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被測長物を載置する台と、この台に対向し前記被測長物
   を視る顕微鏡と、この顕微鏡の視野の像を表示する表示
   部およびこの表示部の画素の状態を記憶する記憶部を備
   え画素の状態に基づいて像の測定基準位置を確定する画
   像処理装置と、前記台を移動させる移動機構と、前記台
   の移動距離を測定する測定手段とを備えた測長装置にお
   いて、平行たわみ梁変位機構で構成され前記台と前記移
   動機構との間に連結される微動機構と、この微動機構を
   前記画素の１つについて当該画素の状態が変化するまで
   変位させる変位手段と、この変位手段による前記微動機
   構の変位量に基づいて前記像の測定基準位置を演算する
   演算手段とを設けたことを特徴とする測長装置。