JP2009258135A - 3次元測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CCDカメラ34により撮像されたワークの画像P1が、CRT上に表示される。ワークの画像P1上には、レーザプローブ35による測定点の位置を示す測定位置マークM1が表示される。レーザプローブ35の測定への切り替えが行なわれると、マークM1がCRTの画面中央になるように表示画面が変化する。マークM1の表示位置は、CCDカメラ34とレーザプローブ35との間の位置校正データと、XYZ軸エンコーダの検出出力とに基づいて変化する。
【選択図】図9
Description
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、変位計と同軸に撮像手段を配置しなくとも、オペレータが変位計による測定位置を理解できるようにした3次元測定装置を提供することを目的とする。
図1は、この発明の実施の形態に係る非接触3次元測定装置の全体構成を示す斜視図である。この装置は、非接触画像測定機能と非接触変位測定機能とを備えた3次元測定機1と、この3次元測定機1を駆動制御すると共に、必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム2とにより構成されている。
CCDカメラ34による画像測定及びレーザプローブ35による高さ測定の測定値は、インタフェース86を介してプリンタ26に出力される。また、インタフェース88は、外部の図示しないCADシステム等より提供されるワーク12のCADデータを、所定の形式に変換してコンピュータシステム21に入力するためのものである。
y=a11x+b11
y−y0=a12(x−x0)+b12
y=a21x+b21
y−y0=a22(x−x0)+b22
x0={(b21−b22)−(b11−b12)}/(a1−a2)
y0={a1(b21−b22)−a2(b11−b12)}/(a1−a2)
まず、図8に示すように、レーザプローブ35により測定しようとする測定点S1を含む画像P1を、CCDカメラ34により撮像して取得する(図7のS1)。得られた画像P1は、多値画像メモリ82に一旦記憶される。また、CPU81は、ワークメモリ84に記憶された位置校正データを読出す。そして、図9(a)に示すように、画像P1をCRT25上に表示するが、このとき画像P1の中心から、位置校正データの分だけズレた位置に、測定点S1を示す測定位置マークM1を表示する(S2)。
Claims (4)
- ワークを撮像する撮像手段と、
前記ワーク上の測定点の変位量を検出する変位計と、
前記撮像手段及び前記変位計の間の位置関係を一定に保ちつつ前記撮像手段及び前記変位計を測定3次元空間内で前記ワークに対し相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段による移動量を検出する移動量検出手段と、
前記位置関係を示す位置関係情報を記憶する記憶手段と、
前記撮像手段により撮像された前記ワークの画像及び前記変位計の測定点の位置を示す測定点位置マークを表示する表示手段と、
前記測定点位置マークの表示位置を変化させる表示制御手段と
を備え、
前記表示制御手段は、
前記撮像手段による前記ワークの撮像時には、前記表示手段の表示画面の中心から前記位置関係情報に基づいて変化した位置に前記測定点位置マークを表示させ、
前記変位計による測定に切り替わる際に、前記測定点位置マークの表示位置が前記表示手段の前記表示画面の中心となるように、前記表示画面における前記ワークの画像の表示位置を変化させ、
前記変位計による測定に切り替わった後に、前記移動手段により前記撮像手段及び前記変位計と前記ワークとが相対的に移動した場合、前記移動量検出手段により得られた前記移動量に基づき、前記ワークの画像に対する前記測定点位置マークの相対的な表示位置を変化させる
ことを特徴とする3次元測定装置。 - 前記位置関係情報は、校正用冶具を用いて得られた測定結果により前記位置関係が演算され記憶されるものである請求項1記載の3次元測定装置。
- 前記表示制御手段は、前記変位計が移動した場合、前記ワークの画像の表示位置を不変とする一方、前記測定点位置マークの前記ワークの画像上での表示位置を前記移動量検出手段により得られた前記移動量に基づき変更する請求項1記載の3次元測定装置。
- 前記表示制御手段は、前記変位計が移動した場合、前記測定位置マークの表示位置を不変とする一方、前記ワークの画像の表示位置を前記移動量検出手段により得られた前記移動量に基づき変更する請求項1記載の3次元測定装置。
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CN102466472A (zh) * | 2010-11-17 | 2012-05-23 | 财团法人资讯工业策进会 | 立体尺寸量测系统与方法 |
JP2016048195A (ja) * | 2014-08-27 | 2016-04-07 | 株式会社キーエンス | 画像測定器 |
JP2018165730A (ja) * | 2018-08-07 | 2018-10-25 | 株式会社キーエンス | 画像測定器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62130304A (ja) * | 1985-12-03 | 1987-06-12 | Mitsutoyo Mfg Corp | 画像処理式測定装置 |
JPH06313715A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-08 | Chubu Electric Power Co Inc | 地上断面のプロフィールおよび離隔測定方法および装置 |
JPH10253319A (ja) * | 1997-03-12 | 1998-09-25 | Hitachi Ltd | 位置計測装置 |
JPH11351840A (ja) * | 1998-06-09 | 1999-12-24 | Mitsutoyo Corp | 非接触三次元測定方法 |
JPH11351841A (ja) * | 1998-06-09 | 1999-12-24 | Mitsutoyo Corp | 非接触三次元測定方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62130304A (ja) * | 1985-12-03 | 1987-06-12 | Mitsutoyo Mfg Corp | 画像処理式測定装置 |
JPH06313715A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-08 | Chubu Electric Power Co Inc | 地上断面のプロフィールおよび離隔測定方法および装置 |
JPH10253319A (ja) * | 1997-03-12 | 1998-09-25 | Hitachi Ltd | 位置計測装置 |
JPH11351840A (ja) * | 1998-06-09 | 1999-12-24 | Mitsutoyo Corp | 非接触三次元測定方法 |
JPH11351841A (ja) * | 1998-06-09 | 1999-12-24 | Mitsutoyo Corp | 非接触三次元測定方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102466472A (zh) * | 2010-11-17 | 2012-05-23 | 财团法人资讯工业策进会 | 立体尺寸量测系统与方法 |
JP2016048195A (ja) * | 2014-08-27 | 2016-04-07 | 株式会社キーエンス | 画像測定器 |
JP2018165730A (ja) * | 2018-08-07 | 2018-10-25 | 株式会社キーエンス | 画像測定器 |
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