JP4150474B2 - 画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置 - Google Patents
画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4150474B2 JP4150474B2 JP21359399A JP21359399A JP4150474B2 JP 4150474 B2 JP4150474 B2 JP 4150474B2 JP 21359399 A JP21359399 A JP 21359399A JP 21359399 A JP21359399 A JP 21359399A JP 4150474 B2 JP4150474 B2 JP 4150474B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis direction
- measuring machine
- image measuring
- measured
- error
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 46
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 71
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 18
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 22
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置に関し、特に、CCDカメラ等の撮像装置で被測定物を撮像することにより必要な測定情報を取得する非接触型画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
テーブル上に載置されたワーク(被測定物)の寸法・形状を測定する画像測定機では、CCDカメラ等の撮像装置を、テーブル上に載置されたワークの測定したい箇所に移動させ、撮像装置の対物レンズが常にワークの測定面で焦点を結ぶように撮像装置の焦点調整を行った上でワークを撮像することによりワークの測定を行っている(特開平8−247719号公報等)。また、上記焦点調整を行う方法の1つとしてコントラスト法があり(特開平9−304685号公報等)、この方法では、撮像装置でワークを撮像することによって得られた画像データからこの画像データの輪郭のコントラストを求め、このコントラストが最大になるように撮像装置のワークに対する位置を決定する。
【0003】
上記コントラスト法によりワーク上面にピントが合うように焦点調節を完了させた後、テーブルの下方からテーブルを介して撮像装置の対物レンズに向かって光を照射するいわゆる透過照明を施すことで、ワークの輪郭のコントラストを増大させ、精度よくエッジ検出を行い、ひいては高精度な寸法測定が可能になる。このため、テーブルには一般的にガラスが使用されている。
【0004】
また、画像測定機でワークの寸法・形状の測定を行う場合、ワークのいかなる測定位置においても撮像装置が合焦状態にあるためには、ワークが載置されるテーブル面は、撓みがなく且つ撮像装置の光軸に垂直な平面であるのが望ましい。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、この種の画像測定機として、測定対象が大型プリント配線板、セラミック基板、プラズマディスプレイ、及び精密樹脂成型品等、測定範囲が800〜1500mmに及ぶものを測定する画像測定機の需要が増えてきており、ガラス製のテーブルも大型化し、テーブル面に撓みが生じ易くなっている。
【0006】
その結果、架台に支持されているテーブルの周縁の部分は撓みがないが、中央寄りはテーブルの自重等により撓みが生じるため、テーブル面上の位置によって撮像装置が合焦する部分と合焦しない部分とが生じてしまい、ワークの測定が困難になると共に誤差が生じ易くなると云う不具合がある。
【0007】
本発明の目的は、画像測定機のテーブル面上の位置に関係なく正確な測定を可能にする画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法は、自重によって撓みが生じるテーブル上に載置された被測定物の寸法・形状を測定する画像測定機のテーブル撓み補正方法であって、テーブル面の周縁部のZ軸方向位置を基準面位置として測定し、前記テーブル面の周縁部以外の複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置を測定し、前記基準面位置と前記測定した複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルを作成し、前記テーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定し、該測定したZ軸方向位置を前記誤差ファイルを使用して補正することを特徴とする。
【0009】
請求項1記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法によれば、自重によって撓みが生じるテーブル面の周縁部のZ軸方向位置を基準面位置として測定し、基準面位置と複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルを作成し、テーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定し、該測定したZ軸方向位置を誤差ファイルを使用して補正するので、テーブルの撓みによるZ軸方向位置の誤差の補正を容易に行うことができ、Z軸方向位置の測定精度が向上すると共に、X,Y軸方向ピッチング誤差等をも補正することができ、もって、画像測定機の測定精度の向上を図ることができる。
【0010】
請求項2記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法は、請求項1記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法において、前記誤差ファイルをルックアップテーブルの形で記憶することを特徴とする。
【0011】
請求項3記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法は、請求項1記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法において、前記誤差ファイルを計算式の形で記憶することを特徴とする。
【0012】
請求項4記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法は、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法において、前記基準面位置を前記テーブル面の周縁部上の複数点のZ軸方向基準位置に基づいて測定することを特徴とする。
【0013】
請求項4記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法によれば、テーブルの基準面位置をテーブル面の周縁部上の複数点のZ軸方向基準位置に基づいて測定するので、テーブルの基準面位置の測定精度を向上させることができる。
【0014】
請求項5記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法は、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法において、前記基準面位置の測定及び前記複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置の測定をレーザ変位計により行うことを特徴とする。
【0015】
請求項5記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法によれば、テーブルの基準面位置の測定及びテーブル面の複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置の測定をレーザ変位計により行うので、テーブルの撓みの測定精度を向上させることができる。
【0016】
上記目的を達成するために、請求項6記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置は、自重によって撓みが生じるテーブル上に載置された被測定物の寸法・形状を測定する画像測定機のテーブル撓み補正装置であって、テーブル面の周縁部のZ軸方向位置を基準面位置として測定すると共に、前記テーブル面の周縁部以外の複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置を測定する第1の測定手段と、前記基準面位置と前記測定した複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルを作成する誤差ファイル作成手段と、前記誤差ファイルを記憶する記憶手段と、前記テーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定する第2の測定手段と、該測定したZ軸方向位置を前記誤差ファイルを使用して補正する補正手段とを備えることを特徴とする。
【0017】
請求項6記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置によれば、基準面位置と複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルとして記憶し、自重によって撓みが生じるテーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定し、該測定したZ軸方向位置を誤差ファイルを使用して補正するので、テーブルの撓みによるZ軸方向位置の誤差の補正を容易に行うことができ、Z軸方向位置誤差の測定精度が向上すると共に、X,Y軸方向ピッチング誤差等をも補正することができ、もって、画像測定機の測定精度の向上を図ることができる。
【0018】
請求項7記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置は、請求項6記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置において、前記記憶手段は、前記誤差ファイルをルックアップテーブルの形で記憶することを特徴とする。
【0019】
請求項8記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置は、請求項6記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置において、前記記憶手段は、前記誤差ファイルを計算式の形で記憶することを特徴とする。
【0020】
請求項9記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置は、請求項6乃至8のいずれか1項記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置において、前記第1の測定手段は、前記基準面位置を前記テーブル面の周縁部上の複数点のZ軸方向基準位置に基づいて測定することを特徴とする。
【0021】
請求項9記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置によれば、第1の測定手段は、テーブルの基準面位置をテーブル面の周縁部上の複数のZ軸方向基準位置に基づいて測定するので、テーブルの基準面位置の測定精度を向上させることができる。
【0022】
請求項10記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置は、請求項6乃至9のいずれか1項記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置において、前記第1の測定手段はレーザ変位計から成ることを特徴とする。
【0023】
請求項10記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置によれば、第1の測定手段はレーザ変位計から成るので、テーブルの撓みの測定精度を向上させることができる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【0025】
図1は、本発明の実施の形態に係る画像測定機のテーブル撓み補正方法を適用した画像形成システムの構成を示す斜視図である。
【0026】
図1において、画像測定システムは、非接触型の画像測定機1と、この画像測定機1の駆動を制御すると共に、必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム2と、測定結果をプリントアウトするプリンタ3とにより構成されている。
【0027】
画像測定機1は架台11を備え、この架台11には、ワーク(被測定物)12を載置するテーブル13が装着されている。このテーブル13は、例えば1500mm×1500mmのサイズのガラス製の平板から成り、図示しないY軸駆動機構によってY軸方向に駆動される。架台11の両側中央部には上方に延びる支持アーム14,15が固定されており、この支持アーム14,15の両上端部を連結するようにX軸ガイド16が固定されている。
【0028】
このX軸ガイド16には、撮像ユニット17が支持されている。撮像ユニット17は、図示しないX軸駆動機構によってX軸ガイド16上をX軸方向に駆動される。撮像ユニット17の下端部には、CCDカメラ18がテーブル13と対向し且つその光軸がテーブル13の面に垂直になるように装着され、撮像ユニット17の内部には、合焦機構、及びCCDカメラ18をZ軸方向に移動させるZ軸駆動機構等(いずれも図示しない)が内蔵されている。また、上記撮像ユニット17には、CCDカメラ18に代えてレーザ変位計や接触式位置センサ(図示せず)を装着することができる。
【0029】
CCDカメラ18は、画面のコントラストによる合焦点判定に基づいてワーク12の測定点のZ軸方向位置を求める。CCDカメラ18による合焦点判定は、微小範囲の撮像では難しく比較的大きな範囲の撮像を必要とする。このため、微小な範囲でのZ軸方向位置の測定にはレーザ変位計が用いられる。また、CCDカメラ18は、焦点深度が、例えば1〜数μmであり、この範囲以下では常に合焦判定してしまうので測定誤差が生じるのに対して、レーザ変位計は、レーザホロスケールを用いて、例えば0.01μm程度の分解能でZ軸方向位置を測定することができる点で高精度である。
【0030】
支持アーム14,15には、X軸ガイド16及び撮像ユニット17を保護するカバー19が取付けられている。
【0031】
さらに、テーブル13の下方には図示しない透過照明装置が備えられている。この装置は、撮像ユニット17でワーク12を撮像することによって得られる画像データの輪郭のコントラストを増大させるために測定テーブル13の下方からCCDカメラ18の対物レンズに向かって光を照射するものである。
【0032】
加えて、ワーク12に対するCCDカメラ18の相対位置を測定するために、上記のX軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ駆動機構は、夫々、CCDカメラ18又はレーザ変位計のX軸方向位置を検出するX軸エンコーダ40、テーブル13のY軸方向位置を検出するY軸エンコーダ41、CCDカメラ18のZ軸方向位置を検出するZ軸エンコーダ42を内蔵している(図2)。
【0033】
コンピュータシステム2は、コンピュータ本体21、キーボード22、ジョイスティック23、マウス24及びCRTディスプレイ25を備えている。
【0034】
図2は、図1の画像測定システムにおけるコンピュータ本体21の構成を示すブロック図である。
【0035】
図2において、コンピュータ本体21はCPU31を有し、CPU31には、多値画像メモリ32及び表示制御部33が接続されている。多値画像メモリ32は表示制御部33に接続されると共に、多値画像メモリ32には、インタフェース(以下、「I/F」という)34を介してCCDカメラ18が接続され、表示制御部33にはCRTディスプレイ25が接続されている。また、CPU31には、I/F35を介してレーザ変位計が接続されると共に、I/F36を介してジョイスティック23及びマウス24が接続され、さらに、プログラムメモリ37、ワークメモリ38、X軸エンコーダ40、Y軸エンコーダ41、Z軸エンコーダ42が接続されている。
【0036】
このような構成により、CCDカメラ18から入力される画像情報は、I/F34を介して多値画像メモリ32に記憶され、多値画像メモリ32に格納された多値画像情報は、表示制御部33を介してCRTディスプレイ25に表示される。一方、ジョイスティック23又はマウス24から入力されるX,Y軸方向位置情報はI/F36を介してCPU31に入力される。
【0037】
また、X軸エンコーダ40、Y軸エンコーダ41及びZ軸エンコーダ42から、CCDカメラ18又はレーザ変位計のX軸方向位置、テーブル13のY軸方向位置、及びCCDカメラ18のZ軸方向位置の各情報がCPU31に入力される。レーザ変位計から入力されるZ軸方向位置情報はI/F35を介してCPU31に入力される。
【0038】
CPU31は、プログラムメモリ37に格納されたプログラムに従って、ジョイスティック23又はマウス24で指定されたCRTディスプレイ25上の位置にポインタを表示させると共に、マウス24からのクリック情報に基づいて後述する誤差ファイル作成処理、テーブルの撓み補正処理等を実行する。
【0039】
ワークメモリ38は、マウス24によって指定されたテーブル13のX,Y軸方向位置データや、画像測定機1による測定結果、CPU31による処理結果等を記憶する。
【0040】
次に、このように構成された画像測定システムにおける画像測定機1のテーブル撓み補正方法について図3及び図4を参照して説明する。
【0041】
まず、テーブル13面上の格子点(Xn,Yn)(nは正の整数、以下同様)における撓み(誤差)の誤差ファイル(ルックアップテーブル)を作成するための誤差ファイル作成処理を実行する。
【0042】
図3は、誤差ファイル作成処理手順を示すフローチャートである。
【0043】
まず、画像測定機1の撮像ユニット17にレーザ変位計を装着する(ステップS11)。テーブル13の面のZ軸方向位置を精度良く設定するためである。
【0044】
次いで、キーボード22やマウス24により操作者の指令に基づいてテーブル13の座標系を設定し(ステップS12)、テーブル13の面周縁部上の任意の4点、具体的には四隅の4点のX,Y,Z軸方向位置を各々検出する(ステップS13)。
【0045】
さらに、ステップS13で検出された4組のX,Y,Z軸方向位置のデータから、テーブル13の基準面位置Z0を算出する(ステップS14)。具体的には、4組のX,Y,Z軸方向位置のデータから最小二乗法等によりこれらの4組のZ軸方向位置の平均値を算出することにより1つの基準面位置Z0を特定する。基準面位置Z0を算出するためには、3組のX,Y,Z軸方向位置のデータ、即ち、四隅の4点のうち3点におけるデータがあればよく、3組以上のデータを使用することにより精度の高い基準面位置情報を得ることができる。この時、テーブル13の周縁部を支持する架台11は剛体であるので、テーブル13の面周縁部上の4点で規定される基準面(基準面位置Z0)は撮像ユニット17の光軸に垂直であり且つ平面であるカメラ垂直理想面となる。
【0046】
次に、レーザ変位計を用いてテーブル面上の四隅以外の複数の所定のX−Y座標位置(以下「格子点」と云う)(Xn,Yn)においてZ軸方向位置Zn,nを測定する(ステップS15)。
【0047】
次いで、測定したZ軸方向位置Zn,nと前記テーブル13の基準面位置Z0とから、テーブル13の面上の各格子点(Xn,Yn)におけるZ軸方向位置誤差ΔZn,n(ΔZn,n=Zn,n−Z0)を算出し(ステップS16)、この算出結果に基づいて表1に示すような誤差ファイルをルックアップテーブルとして作成してワークメモリ38に記憶する(ステップS17)。
【0048】
【表1】
【0049】
このルックアップテーブルに代えて、誤差ΔZn,nに基づいた誤差ファイルを、例えば二元3次式f(X,Y)等の計算式の形で作成しワークメモリ38に記憶してもよい。又、ワークメモリ38に不揮発性メモリを用いて作成した誤差ファイルを次回以降の測定に用いてもよい。
【0050】
更に、上記ステップS11から14の手順におけるテーブル13の基準面位置Z0の算出をレーザ変位計に代えてCCDカメラ18を用いて行ってもよい。
【0051】
次に、図4を参照して、画像測定機1のテーブル13の撓み補正処理を説明する。図4は、画像測定機1のテーブル13の撓み補正処理手順を示すフローチャートである。
【0052】
まず、画像測定機1の撮像ユニット17にCCDカメラ18を装着し(ステップS20)、テーブル13上に載置されたワーク12の測定点のX,Y,Z軸方向位置(座標(X,Y,Z))を画像測定機1を用いて取込む(ステップS21)。
【0053】
次いで、ステップS22で、取込んだ座標(X,Y)が格子点(Xn,Yn)に一致するか否かを判別し、一致する場合は、図3の誤差ファイル作成処理によりワークメモリ38に記憶された誤差ファイルから座標(X,Y)に対応する格子点(Xn,Yn)におけるZ軸方向位置誤差ΔZn,nを読込み(ステップS23)、この読込まれたΔZn,n値から座標(X,Y)の誤差ΔZを求める(ステップS24)。具体的には、座標(X,Y)が格子点(Xn,Yn)に一致するので、ΔZn,n値をそのまま誤差ΔZとする。
【0054】
最後に、ワーク12の測定点のZ軸方向位置からΔZ値を差し引くことによりテーブル13の撓み補正を行い(ステップS25)、本処理を終了する。
【0055】
ステップS22の判別の結果、座標(X,Y)が格子点(Xn,Yn)に一致しないときは、座標(X,Y)に隣接する4つの格子点(Xn,Yn)の各ΔZn,n値を読込み(ステップS26)、該座標(X,Y)と、4つの格子点(Xn,Yn)と、これらに対する各ΔZn,n値とから直線補間法等により誤差ΔZを求める(ステップS27)。その後、前記ステップS25に進み、ワーク12の測定点のZ軸方向位置からΔZ値を差し引くことによりテーブル13の撓み補正を行い(ステップS25)、本処理を終了する。
【0056】
本実施の形態によれば、テーブル13の面の周縁部上の任意の4点、具体的には四隅の4点のX,Y,Z軸方向位置を各々検出してテーブル13の基準面位置Z0を算出し(ステップS13,14)、テーブル13の面の各格子点(Xn,Yn)におけるZ軸方向位置Zn,nの基準面位置Z0に対する誤差ΔZn,nを夫々算出し(ステップS16)、該算出された誤差ΔZn,nを各格子点に対応させて誤差ファイル(表1)としてワークメモリ38に記憶し(ステップS17)、ワークの測定時に、テーブル13上に載置されたワーク12の測定点におけるX,Y,Z軸方向位置(座標(X,Y,Z))を取込み(ステップS21)、座標(X,Y)に応じた格子点に対応するΔZn,n値に基づいて、必要により直線補間等を用いて座標(X,Y)のZ軸方向位置誤差ΔZを求め(ステップS24,S27)、Z軸方向位置からΔZ値を差し引くことによりテーブル13の撓み補正を行う(ステップS25)ので、テーブル13の撓みによるZ軸方向位置の誤差の補正を容易に行うことができ、Z軸方向位置の測定精度が向上すると共に、X,Y軸方向ピッチング誤差等をも補正することができ、もって、画像測定機全体の測定精度の向上を図ることができる。同時に、例えば撮像ユニット17の支持部の撓みによるZ軸方向位置誤差ΔZをも補正することができ、画像測定機全体の測定精度を向上させることができる。
【0057】
なお、ステップS23及びS25における誤差ファイルからの誤差ΔZn,nの取込みに代えて、前記二元3次式f(X,Y)等の計算式により座標(X,Y)から誤差ΔZが除去されたZ軸方向位置を直接計算するようにしてもよい。
【0058】
また、CCDカメラ18がワーク12の上記測定点から別の測定点に移動する場合は、X、Y軸方向位置の変化分ΔX値,ΔY値に対応したΔZ値の変化分に基づいて別の測定点のZ値を補正することにより、CCDカメラ18を常に合焦状態に保持しつつ画像測定機1の測定を行うことができる。
【0059】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項1記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法によれば、自重によって撓みが生じるテーブル面の周縁部のZ軸方向位置を基準面位置として測定し、基準面位置と複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルを作成し、テーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定し、該測定したZ軸方向位置を誤差ファイルを使用して補正するので、テーブルの撓みによるZ軸方向位置の誤差の補正を容易に行うことができ、Z軸方向位置の測定精度が向上すると共に、X,Y軸方向ピッチング誤差等をも補正することができ、もって、画像測定機の測定精度の向上を図ることができる。
【0060】
請求項4記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法によれば、テーブルの基準面位置をテーブル面の周縁部上の複数点のZ軸方向基準位置に基づいて測定するので、テーブルの基準面位置の測定精度を向上させることができる。
【0061】
請求項5記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法によれば、テーブルの基準面位置の測定及びテーブル面の複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置の測定をレーザ変位計により行うので、テーブルの撓みの測定精度を向上させることができる。
【0062】
請求項6記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置によれば、基準面位置と複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルとして記憶し、自重によって撓みが生じるテーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定し、該測定したZ軸方向位置を誤差ファイルを使用して補正するので、テーブルの撓みによるZ軸方向位置の誤差の補正を容易に行うことができ、Z軸方向位置誤差の測定精度が向上すると共に、X,Y軸方向ピッチング誤差等をも補正することができ、もって、画像測定機の測定精度の向上を図ることができる。
【0063】
請求項9記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置によれば、第1の測定手段は、テーブルの基準面位置をテーブル面の周縁部上の複数点のZ軸方向基準位置に基づいて測定するので、テーブルの基準面位置の測定精度を向上させることができる。
【0064】
請求項10記載の画像測定システムによれば、第1の測定手段はレーザ変位計から成るので、テーブルの撓みの測定精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る画像測定機のテーブル撓み補正方法を適用した画像測定システムの構成を示す斜視図である。
【図2】図1の画像測定システムにおけるコンピュータ本体21の構成を示すブロック図である。
【図3】誤差ファイル作成処理手順を示すフローチャートである。
【図4】画像測定機1のテーブル13の撓み補正処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
1 画像測定機
2 コンピュータシステム
3 プリンタ
11 架台
12 ワーク
13 テーブル
14,15 支持アーム
16 X軸ガイド
17 撮像ユニット
18 CCDカメラ
21 コンピュータ本体
22 キーボード
23 ジョイスティック
24 マウス
25 CRTディスプレイ
Claims (10)
- 自重によって撓みが生じるテーブル上に載置された被測定物の寸法・形状を測定する画像測定機のテーブル撓み補正方法であって、テーブル面の周縁部のZ軸方向位置を基準面位置として測定し、前記テーブル面の周縁部以外の複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置を測定し、前記基準面位置と前記測定した複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルを作成し、前記テーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定し、該測定したZ軸方向位置を前記誤差ファイルを使用して補正することを特徴とする画像測定機のテーブル撓み補正方法。
- 前記誤差ファイルをルックアップテーブルの形で記憶することを特徴とする請求項1記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法。
- 前記誤差ファイルを計算式の形で記憶することを特徴とする請求項1記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法。
- 前記基準面位置を前記テーブル面の周縁部上の複数点のZ軸方向基準位置に基づいて測定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法。
- 前記基準面位置の測定及び前記複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置の測定をレーザ変位計により行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の画像測定機のテーブル撓み補正方法。
- 自重によって撓みが生じるテーブル上に載置された被測定物の寸法・形状を測定する画像測定機のテーブル撓み補正装置であって、テーブル面の周縁部のZ軸方向位置を基準面位置として測定すると共に、前記テーブル面の周縁部以外の複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置を測定する第1の測定手段と、前記基準面位置と前記測定した複数のX−Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルを作成する誤差ファイル作成手段と、前記誤差ファイルを記憶する記憶手段と、前記テーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定する第2の測定手段と、該測定したZ軸方向位置を前記誤差ファイルを使用して補正する補正手段とを備えることを特徴とする画像測定機のテーブル撓み補正装置。
- 前記記憶手段は、前記誤差ファイルをルックアップテーブルの形で記憶することを特徴とする請求項6記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置。
- 前記記憶手段は、前記誤差ファイルを計算式の形で記憶することを特徴とする請求項6記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置。
- 前記第1の測定手段は、前記基準面位置を前記テーブル面の周縁部上の複数点のZ軸方向基準位置に基づいて測定することを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置。
- 前記第1の測定手段はレーザ変位計から成ることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の画像測定機のテーブル撓み補正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21359399A JP4150474B2 (ja) | 1999-07-28 | 1999-07-28 | 画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21359399A JP4150474B2 (ja) | 1999-07-28 | 1999-07-28 | 画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001041711A JP2001041711A (ja) | 2001-02-16 |
JP4150474B2 true JP4150474B2 (ja) | 2008-09-17 |
Family
ID=16641771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21359399A Expired - Fee Related JP4150474B2 (ja) | 1999-07-28 | 1999-07-28 | 画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4150474B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002365017A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 段ボール箱の寸法精度測定方法及びその装置並びに製函機の調整方法並びに製函機 |
JP4469659B2 (ja) | 2004-06-11 | 2010-05-26 | 株式会社ミツトヨ | 載物台装置、画像測定装置 |
JP2006266748A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置 |
JP5213783B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-06-19 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
JP7071815B2 (ja) * | 2017-10-19 | 2022-05-19 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
JP7198731B2 (ja) * | 2019-07-19 | 2023-01-04 | レーザーテック株式会社 | 撮像装置、及びフォーカス調整方法 |
CN114526699A (zh) * | 2020-11-09 | 2022-05-24 | 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 | 一种定位误差校正的方法、装置及设备 |
-
1999
- 1999-07-28 JP JP21359399A patent/JP4150474B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001041711A (ja) | 2001-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5455123B2 (ja) | 部品実装機の撮像画像処理装置 | |
KR101698269B1 (ko) | 레이저 가공기, 레이저 가공기의 워크 왜곡 보정 방법 | |
JP4825598B2 (ja) | 画像測定装置の校正方法 | |
JP3678915B2 (ja) | 非接触三次元測定装置 | |
JP5350169B2 (ja) | オフセット量校正方法および表面性状測定機 | |
US8004659B2 (en) | Vision measuring machine and focusing method thereof | |
US5671056A (en) | Three-dimensional form measuring apparatus and method | |
JPH1183438A (ja) | 光学式測定装置の位置校正方法 | |
US11499817B2 (en) | Coordinate measuring machine with vision probe for performing points-from-focus type measurement operations | |
JP4150474B2 (ja) | 画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置 | |
JP2007085912A (ja) | 位置測定方法及び位置測定装置並びに位置測定システム | |
WO2018168757A1 (ja) | 画像処理装置、システム、画像処理方法、物品の製造方法、プログラム | |
JP3678916B2 (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
JP5081967B2 (ja) | スクリーンマスクの計測装置および印刷装置 | |
TW202022312A (zh) | 載台裝置及荷電粒子線裝置 | |
JP3602965B2 (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
JP5096852B2 (ja) | 線幅測定装置および線幅測定装置の検査方法 | |
US8149383B2 (en) | Method for determining the systematic error in the measurement of positions of edges of structures on a substrate resulting from the substrate topology | |
JP4791568B2 (ja) | 3次元測定装置 | |
JP2005172610A (ja) | 3次元測定装置 | |
JP3823488B2 (ja) | Icリード浮き検査装置及び検査方法 | |
JPH11190616A (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP4578538B2 (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
JP2011085402A (ja) | 表面性状測定機 | |
JP4274868B2 (ja) | 高さ測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060426 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060530 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080624 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080630 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4150474 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140704 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |