JPH03166941A - 帯電防止性フッ素樹脂シート - Google Patents
帯電防止性フッ素樹脂シートInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は表面に帯電防止層を有するフッ素樹脂７−トの
改良に関する。
改良に関する。
（従来の技術）
フッ素樹脂シートは耐薬品性に優れてシク，この特性を
利用して種々の分野に用いられている。
利用して種々の分野に用いられている。
その例として．半導体ウエハ製造への使用が挙げられる
。半導体クエハの製造に際しては，結晶をスライスして
薄板のウエハとし，これをクエハキャリア（バスケット
）ＩＣ入れ．この１筐酸かよび水による洗浄が行なわれ
る。
。半導体クエハの製造に際しては，結晶をスライスして
薄板のウエハとし，これをクエハキャリア（バスケット
）ＩＣ入れ．この１筐酸かよび水による洗浄が行なわれ
る。
従って．クエハキャリアとしてフッ素樹脂製のものを用
いることがあるが．フク素樹脂製クエハキャリアは静電
気を帯び易く．ゴミを引き寄せることがある。ゴミの付
着はクエハにとって好ましいものではなく．更に．この
ゴミは洗浄液である酸と反応し．ｌＫ食性物質を生吠す
ることもあるので．かようなゴミ付ｙＩＩは極力除くべ
きである。
いることがあるが．フク素樹脂製クエハキャリアは静電
気を帯び易く．ゴミを引き寄せることがある。ゴミの付
着はクエハにとって好ましいものではなく．更に．この
ゴミは洗浄液である酸と反応し．ｌＫ食性物質を生吠す
ることもあるので．かようなゴミ付ｙＩＩは極力除くべ
きである。
ゴミｆｔ．防止のため．表面に帯電防止層を設けたフッ
素樹脂シートをウエハキャリアや洗浄浴槽の内側に敷〈
ことが提案されている。
素樹脂シートをウエハキャリアや洗浄浴槽の内側に敷〈
ことが提案されている。
（発明が解決しようとする課題）
かような帯電防止層付きフク素樹脂ノートの便用によれ
ば．ゴミ付着を防止できるので好筐しいが．帯電防止層
の７ツ素樹脂冫一ト表面への接着力が充分でなく．帯電
防止層が短時間で剥離を生ずるため．このシートを頻繁
に取り替えなければならず，手間がかかるばかＤでな＜
．ａ済的に大変である。
ば．ゴミ付着を防止できるので好筐しいが．帯電防止層
の７ツ素樹脂冫一ト表面への接着力が充分でなく．帯電
防止層が短時間で剥離を生ずるため．このシートを頻繁
に取り替えなければならず，手間がかかるばかＤでな＜
．ａ済的に大変である。
フッ素樹脂シート表面の接着性を改善する方２ト表向に
接触させる方法（ナトリクム処理）カリられているが．
この方法によっても．帯電防止Ａの接着力は未だ充分で
なく．筐たナ｝ ＩＪウムイ２ンの残留や＠衰面が茶色
に変色すると言う新た力問題を生ずる。
接触させる方法（ナトリクム処理）カリられているが．
この方法によっても．帯電防止Ａの接着力は未だ充分で
なく．筐たナ｝ ＩＪウムイ２ンの残留や＠衰面が茶色
に変色すると言う新た力問題を生ずる。
（課題を解決するための手段）
本発明者は従来技術の有する上紀問題を解決ブるため鋭
意検討の結果．フッ素樹脂シートの表面に特定の処理を
施すことにより．帯電防止層のフク素樹脂シート４６理
面への接着カが増大することおｌび帯電防止層を特定物
質によｂ形戎することにより．帯電防止機純の耐久性が
優れたものとなることを見出し，本発明に至ったもので
ある。
意検討の結果．フッ素樹脂シートの表面に特定の処理を
施すことにより．帯電防止層のフク素樹脂シート４６理
面への接着カが増大することおｌび帯電防止層を特定物
質によｂ形戎することにより．帯電防止機純の耐久性が
優れたものとなることを見出し，本発明に至ったもので
ある。
即ち．本発明はフッ素樹脂シートの少なくとも片面が放
電＠理されてかＤ．この放電逃埋面にポリシロキサンの
加水分解物層が形睨されて成る帯電防止性フッ素樹脂シ
ートに関するものである。
電＠理されてかＤ．この放電逃埋面にポリシロキサンの
加水分解物層が形睨されて成る帯電防止性フッ素樹脂シ
ートに関するものである。
本発明に用いられるシートはフク素樹脂製であれば特に
限定されず．例えばポリテトラフルオロレンーテトラフ
ルオロエチレン共ｉｌ１合体（ｊＥＴＦＥ ）テトラフ
ルオロエチレンーパー７ルオロアルキルビニルエーテル
共重合体（ＰＦＡ）．ボリクロロトリフルオロエチレン
（ＰＣＴＦｇ），ボ！Ｊフツ化ヒニリデン（ＰＶｄＦ）
，ポリフツ化ビニル（ＰＶＦ）等’ｋ用い得る。
限定されず．例えばポリテトラフルオロレンーテトラフ
ルオロエチレン共ｉｌ１合体（ｊＥＴＦＥ ）テトラフ
ルオロエチレンーパー７ルオロアルキルビニルエーテル
共重合体（ＰＦＡ）．ボリクロロトリフルオロエチレン
（ＰＣＴＦｇ），ボ！Ｊフツ化ヒニリデン（ＰＶｄＦ）
，ポリフツ化ビニル（ＰＶＦ）等’ｋ用い得る。
また．帯電防止剤としてはポリシロキサンの加水分解物
を使用でき，皮膜強度かよび帯電防止主能の論点から．
１ｌ＠かよび末端基の７５％以上が水酸基で置換された
ものが特に好ましい。
を使用でき，皮膜強度かよび帯電防止主能の論点から．
１ｌ＠かよび末端基の７５％以上が水酸基で置換された
ものが特に好ましい。
ポリシロキサンの加水分解物は耐熱性．耐水性．耐酸性
，耐溶剤性かよび耐摩耗性に優れてかり，かような物質
を用いて放電＠理面に薄層形成すれば．帯電防止性の耐
久性良好な帯電防止性シートが得られる、なか．ポリシ
ロキサンの加水分解物は．例えばコールコート（５−ル
コート■製）ノ如き商品名で市販されているので．これ
を入手して用いることができる。
，耐溶剤性かよび耐摩耗性に優れてかり，かような物質
を用いて放電＠理面に薄層形成すれば．帯電防止性の耐
久性良好な帯電防止性シートが得られる、なか．ポリシ
ロキサンの加水分解物は．例えばコールコート（５−ル
コート■製）ノ如き商品名で市販されているので．これ
を入手して用いることができる。
本発明にかいては．上記フフ素樹脂シートの片面ｔたは
両面が放電処理される。放電処理はコロナ放電処理ある
いは゛スバクタエッチング処理（この処１１Ｋついては
，例えば特公昭５３−２２１０８号公報に詳細に説明さ
れている）を採用できる。スパツタエッチング処填は上
記公報の他，特公昭５６−１３３９号公報．特公１１８
５６−１３４０号公報等に記載された装置を用いて行な
うことができる。
両面が放電処理される。放電処理はコロナ放電処理ある
いは゛スバクタエッチング処理（この処１１Ｋついては
，例えば特公昭５３−２２１０８号公報に詳細に説明さ
れている）を採用できる。スパツタエッチング処填は上
記公報の他，特公昭５６−１３３９号公報．特公１１８
５６−１３４０号公報等に記載された装置を用いて行な
うことができる。
そして．本発明において．フッ素樹脂シートの放電処理
面への帯電防止層の形睨は．常法に従い，ポリシロキサ
ンの加水分解物をイソプロビルアルコール等の溶剤に浴
解した溶液をフク素樹脂シートの放電処理面に塗布．乾
燥すればよい。
面への帯電防止層の形睨は．常法に従い，ポリシロキサ
ンの加水分解物をイソプロビルアルコール等の溶剤に浴
解した溶液をフク素樹脂シートの放電処理面に塗布．乾
燥すればよい。
かような本発明の帯電防止性フク素樹脂シートは．穴あ
け加工を施し．洗浄液が流下し易い形状とすることもで
きる。
け加工を施し．洗浄液が流下し易い形状とすることもで
きる。
（実施例）
以下．実施例にｌＤ本発明を更に詳細に説明する。
実施例ｌ
厚さ１００μ鵠のＰＴＦＥシ一ト（切削法によって製造
したシ一ト）の片面を５３Ｂ気ガスとしてアルゴンを用
い．雰囲気圧５Ｘ１０ Ｔｏｒｒ．放電電カ０．５Ｗ
ａｔｔ／一の条件で１３．５６朋２の高周波電圧を印加
し．３０秒間スバッタエッチング処理した。
したシ一ト）の片面を５３Ｂ気ガスとしてアルゴンを用
い．雰囲気圧５Ｘ１０ Ｔｏｒｒ．放電電カ０．５Ｗ
ａｔｔ／一の条件で１３．５６朋２の高周波電圧を印加
し．３０秒間スバッタエッチング処理した。
次に，ＰＴＦＥシートのスバッタエッチング処理面に．
ポリシロキサンの加水分解物溶液（コルコート■製，商
品名コルコートＰ）を塗布し，５０”Ｃで１０分間乾燥
した後，２５℃の室内［１昼夜放置し．厚さ５００Ａの
帯電防止層の形成されたフッ素樹脂シートを得た。なお
．上記加水分解物は＠鎖かよび末端基の９８％が水酸基
に置換されたものであジ．溶液中のＳ度は２重量％であ
る。
ポリシロキサンの加水分解物溶液（コルコート■製，商
品名コルコートＰ）を塗布し，５０”Ｃで１０分間乾燥
した後，２５℃の室内［１昼夜放置し．厚さ５００Ａの
帯電防止層の形成されたフッ素樹脂シートを得た。なお
．上記加水分解物は＠鎖かよび末端基の９８％が水酸基
に置換されたものであジ．溶液中のＳ度は２重量％であ
る。
実施例２
厚さ１００μ鴫のＦＥＰシートを用いる以外ｒｘｑｍ例
１と同様に作業して．帯電防止性フッ素樹脂シートを得
た。
１と同様に作業して．帯電防止性フッ素樹脂シートを得
た。
実施例３
厚さ１ ０ ０ μ１１ Ｏ ＥＴＦＥシ一トｔ−２ｍ
／分の速度で走行させながら．その片画を電圧５ＫＶで
コロナ放１ｔＥ５ｌ！ｌＩｊ！する。
／分の速度で走行させながら．その片画を電圧５ＫＶで
コロナ放１ｔＥ５ｌ！ｌＩｊ！する。
この処理シートを用いること以外は実施例１と同様に作
業して，帯電防止性ＥＴＦＥシートを得た。
業して，帯電防止性ＥＴＦＥシートを得た。
比較例１
スパツタエッチング処理を施さないこと以外は実施例１
と同様に作業して．帯電防止性フッ素樹脂シートを得た
。
と同様に作業して．帯電防止性フッ素樹脂シートを得た
。
比較例２
コルコー｝Ｐに代え．市販のノニオン系帯電防止剤溶液
（帯電防止剤濃度２重量％）を用いること以外は実施例
１と同様に作業して，帯電防止性フフ素樹脂シートを得
た。
（帯電防止剤濃度２重量％）を用いること以外は実施例
１と同様に作業して，帯電防止性フフ素樹脂シートを得
た。
これら実施例かよび比較例によって得られた帯電防止性
フッ素樹脂シートについて，下肥要領で帯電防止層形成
面の表面抵抗を測定し．得られた結果を第１表に示す。
フッ素樹脂シートについて，下肥要領で帯電防止層形成
面の表面抵抗を測定し．得られた結果を第１表に示す。
帯電防止性フッ素樹脂シートの製造直後（初期）このシ
ートを塩酸の２０［量％水溶液に浸漬し．次いで水洗し
た後．ｊ？よびこのシートを螢光灯のもとて３カ月暴露
させた後の表面抵抗を測定した。
ートを塩酸の２０［量％水溶液に浸漬し．次いで水洗し
た後．ｊ？よびこのシートを螢光灯のもとて３カ月暴露
させた後の表面抵抗を測定した。
第１表
（発明の効果）
本発明は上記のようにｍａされ．フッ素樹脂シートの放
電処理面にポリシロキサンの加水分解物による帯電防止
層を設けたので．帯電防止層が剥離し離〈．耐久性に優
れている特徴を有する。
電処理面にポリシロキサンの加水分解物による帯電防止
層を設けたので．帯電防止層が剥離し離〈．耐久性に優
れている特徴を有する。
Claims (2)
- （１）フッ素樹脂シートの少なくとも片面が放電処理さ
れており、この放電処理面にポリシロキサンの加水分解
物層が形成されて成る帯電防止性フッ素樹脂シート。 - （２）ポリシロキサンの加水分解物が、その側鎖および
末端基の７５％以上を水酸基で置換した化合物である請
求項１記載の帯電防止性フッ素樹脂シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30790089A JPH03166941A (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 帯電防止性フッ素樹脂シート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30790089A JPH03166941A (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 帯電防止性フッ素樹脂シート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03166941A true JPH03166941A (ja) | 1991-07-18 |
Family
ID=17974526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30790089A Pending JPH03166941A (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 帯電防止性フッ素樹脂シート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03166941A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5884828A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-21 | Agency Of Ind Science & Technol | 帯電防止性高分子樹脂成形品 |
-
1989
- 1989-11-27 JP JP30790089A patent/JPH03166941A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5884828A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-21 | Agency Of Ind Science & Technol | 帯電防止性高分子樹脂成形品 |
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