JPH03164209A - 脆性材料の切断方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は脆性材料の切断方法に係り、特に半導体ウエハ
等の脆性材料を切断する脆性材料の切断方法に関する。

〔従来の技術〕

半導体ウエハ等の脆性材料を切断加工するダイシング装
置では、切断抵抗の軽減、切断時に発生する切粉等の除
去のため、ダイシングブレードやウエハに切削水をかけ
ながＳ切断を行う。切粉、砥拉等がウエハに残留すると
不良チップが生産される原因となり、歩留りの低下を招
くためである。

従来のダイシング装置では、一般にダインングブレード
が回転数３００００ｒｐｍ、周速で５０００ｍ／ｍ　ｉ
ｎ　＠後で回転しているのに対し、供給される切削水の
吐出水圧は最高４Ｋｇ／ｃｍ２前後で供給されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の４　Ｋｇ／ａｍ”以下の吐出水圧
では３００００ｒｐｍで高速回転しているダイシングブ
レードの隅々まで切削水を十分に追従させることができ
ず、切粉等の汚れを完全に除去しきれない欠点がある。

また、ウエハ上に供給される切削水が切断刃の高速回転
によって吹き飛ばされ、ウエハ表面を十分に洗浄するこ
とができない場合がある。

ウエ八表面に汚れが残留すると、不良チップが生産され
、歩留りが低下する原因となる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、切断
中の切断刃に切削水を確実に供給することができ、切粉
等を切断後のウエハから完全に除去することの可能な脆
性材料の切断方法を提供することを目的とする。

５課題を解決するための手段） 本発明は、前記目的を達或するために、脆性材料の切断
時に脆性材料と切断刃との間に切削水を供給し、回転す
る切断刃によって脆性材料を切断する切断装置において
、切断時、切削水に圧搾空気を混合し、該切削水を切断
刃周辺に供給しながら切断を行うことを特徴としている
。

５作用〕 本発明によれば、切断刃に供給される切削水に圧搾空気
を混合するようにしているので、切削水の流速は飛躍的
に高まるとともに、ｑ状に切削水が噴射され、切断刃及
びウエハ表面の洗浄を十分に行うことが可能となる。従
って、切断後にウエ八表面並びにチップに付着する切粉
等を確実に除去することができる。

〔実施例〕

以下、添付図面に従って本発明に係る脆性材料の切断方
法の好ましい実施例を詳説する。

第ｌ図は本発明に係る脆性材料の切断方法に使用される
切断装置における切削水供給管の系統図である。第１図
に示すように、ダインングブレード１０（切断刃）は図
示しない駆動源によって回転駆動され、ブレード１０の
側方には、切断時に切削水を供給する切削水供給管ｌ２
、ｌ４がブレードＩＯの枠体ｌ１内邪にかけて配管され
ている。

更に、切削水供給管ｌ２は第２図に示すように二股に分
岐され、夫々ブレード１０の両面に面して位置している
。ブレード１０の下方にはワークテーブル２０が装置本
体に所定方向に移動可能に配設され、ワークテーブル２
０にはウエハ１８　（脆性け科）が吸着載置される。ｇ
Ｊ断時、ワークテーブル２０は所定のカブトラインに沿
って移動して、ブレードＩＯによりウエハ１８が切断さ
れる。

また、切削水供給管１２、ｌ４には切削水が図示しない
昇圧ポンプ、弁１６Ａ，１６Ｂを介して供給されるとと
もに、更に圧搾空気が同様に弁ｌ６Δ、１６Ｂを介して
供給される。供給される切削水の吐出圧力は通常４　Ｋ
ｇ／ｃｍ２以下が望ましい。

そして、切削水は、弁１６Ａ、１６Ｂによって圧搾空気
と混合され、切削水供給管ｌ２、１４内で霧状化される
とともに流速が高められる。圧搾空気の圧力は約１　０
　，ｉ！／ｍｉｎに設定される。

第２図はダイシングブレード１０と、切削水供給管１２
Ａ，１２Ｂ，１４との位置関係を示した平面図、第３図
は第１図のＡ　−　Ａ線に沿った矢視図である。切削水
供給管１２は枠体１１において二投に分岐され、第２図
に示すように、その先端が夫々ブレード１０を囲むよう
に位置している。

また、切削水供給管ｌ４は枠体１ｌに配管され、その先
端がダイシングブレード１０の刃先に向けられている。

ダイシングブレードＩＯは第３ｒＩ！Ｊに示すようにス
ピンドル２２に支持され、図示しない駆動源によって回
転可能になっている。

以下、前記の切断装置を使用して本発明に係る魔性材料
の切断方法を行う場合について説明する。

先ず、昇圧ポンプによって昇圧された切削水は、弁１６
Ａ．．１６Ｂを介して圧搾空気とともに、切削水供給管
１２、１４に供給される。切Ｉｌｌ水は、圧搾空気と混
合されることにより、管内にお；ナる流速が高められる
。そして、切削水供給管ｌ２を通った切削水は第２図に
示すように１２Ａ、１２Ｂに分岐され、ブレード１０の
下面に対して第３図のように噴射されるっまた、切削水
供給管１４を通った切削水をブレードｌＯの刃先に向け
て噴射し、ウエハに付着した切扮等を洗い流す。

このように、切削水の流速を十分に高め、且つ霧状にし
て噴射するようにしているので、切断時にブレード１０
が高速回転していても、切削水はブレードｌＯの風圧、
遠心力によって吹き飛ばされることなく、ブレードＩＯ
に追従し、効率的にウエハ１８及グブレード１０に供給
される。これにより、切断時にウエハｌ８に付着する切
扮等の汚れを確実に洗い流すことができる。

二発明の効果］ 以上税明したように本発明に係る脆性材料の切断方法に
よれば、供給される切削水の流速を高め、且つ霧状化し
て切断刃にかけるようにして・，）る。

このため、切断時にウエハ及ぴ切断刃に付着する切粉等
を確実に除去することができる。これにより、切断後の
ウエハ表面及びチップを清浄に保つことができ、半導体
チップの生産効率が向上する。

また、切断刃が確実に潤滑され、切断刃のロングライフ
化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る脆性材料の切断方法に使用される
切断装置における切削水供給管の系統図、第２図はダイ
／ングブレードと切削水供給管との位置関係を示した平
面図、第３図は第１図のＡ−Ａ線に沿った矢視図である
。 １０・・・ダイシングブレード（切断刃）、　１２、ｌ
４、１２Ａ，１２Ｂ・・・切削水供給管、　ｌ８・・・
ウエハ（脆性材料）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　脆性材料の切断時に脆性材料と切断刃との間に切削水
   を供給し、回転する切断刃によって脆性材料を切断する
   切断装置において、 切断時、切削水に圧搾空気を混合し、該切削水を切断刃
   周辺に供給しながら切断を行うことを特徴とする脆性材
   料の切断方法。