JPH0929735A - 切削水供給ノズル機構 - Google Patents
切削水供給ノズル機構Info
- Publication number
- JPH0929735A JPH0929735A JP7204092A JP20409295A JPH0929735A JP H0929735 A JPH0929735 A JP H0929735A JP 7204092 A JP7204092 A JP 7204092A JP 20409295 A JP20409295 A JP 20409295A JP H0929735 A JPH0929735 A JP H0929735A
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- Japan
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- cutting
- water
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- cutting water
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 80
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 切削装置等のブレードのセットアップ時に切
削水供給ノズルから水が垂れないようにした、切削水供
給ノズル機構を提供する。 【解決手段】 切削装置等のブレードのセットアップ時
に切削水供給ノズルから切削水が垂れないようにした切
削水供給ノズル機構であって、前記切削水供給ノズルに
連結した供給パイプの所要位置にドレンパイプに連通す
るドレン連通部が形成され、セットアップ時には切削水
供給ノズルとドレン連通部間の切削水をドレンパイプよ
り排出する。
削水供給ノズルから水が垂れないようにした、切削水供
給ノズル機構を提供する。 【解決手段】 切削装置等のブレードのセットアップ時
に切削水供給ノズルから切削水が垂れないようにした切
削水供給ノズル機構であって、前記切削水供給ノズルに
連結した供給パイプの所要位置にドレンパイプに連通す
るドレン連通部が形成され、セットアップ時には切削水
供給ノズルとドレン連通部間の切削水をドレンパイプよ
り排出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、切削装置等の切削
水供給ノズル機構に関する。
水供給ノズル機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイサー等の精密切削装置は、例えば図
４に示すようにカセット載置領域Ａに載置されたカセッ
トＣから搬出入手段ＢによってウェーハＷ（粘着テープ
ＮにてフレームＦに固定）を待機領域Ｄに搬出し、旋回
アームを有する搬送手段ＥにてチャックテーブルＴに搬
送して保持させ、このチャックテーブルＴをアライメン
ト手段Ｇにてアライメントした後、回転ブレードを備え
た切削手段Ｈにて切削する。前記切削手段Ｈは、図３に
示すようにブレード１のＺ軸方向の基準位置がチャック
テーブルＴの近くに配設されたブレード位置検出手段２
により検出してセットアップされた後に、切削水供給ノ
ズル３により切削水（切削液）を供給しながらウェーハ
Ｗを切削する。
４に示すようにカセット載置領域Ａに載置されたカセッ
トＣから搬出入手段ＢによってウェーハＷ（粘着テープ
ＮにてフレームＦに固定）を待機領域Ｄに搬出し、旋回
アームを有する搬送手段ＥにてチャックテーブルＴに搬
送して保持させ、このチャックテーブルＴをアライメン
ト手段Ｇにてアライメントした後、回転ブレードを備え
た切削手段Ｈにて切削する。前記切削手段Ｈは、図３に
示すようにブレード１のＺ軸方向の基準位置がチャック
テーブルＴの近くに配設されたブレード位置検出手段２
により検出してセットアップされた後に、切削水供給ノ
ズル３により切削水（切削液）を供給しながらウェーハ
Ｗを切削する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ブレード１をセットア
ップするには、前記発光素子２ａ、受光素子２ｂから成
る非接触式のブレード位置検出手段２を用いる方法と、
図示は省略したがブレードに電極を配してチャックテー
ブルＴとの接触によって生じる通電を捉えてブレードの
基準位置を検出する方法とがあるが、いずれの方法にお
いてもブレード１の近辺に付着した切削水が垂れると正
確なセットアップがなされない。従って、セットアップ
に先立ち、切削水供給ノズル３はもちろんブレード１の
周辺に付着している水滴を図４に示す高圧エアガンＩで
吹き飛ばす必要がある。しかし、切削水供給ノズル３に
連結している供給パイプには水が溜っているため、水滴
を高圧エアガンＩで吹き飛ばした後においても切削水供
給ノズル３から水が垂れる問題がある。そこで、本発明
はセットアップ時に切削水供給ノズルから水が垂れない
ようにした、切削水供給ノズル機構を提供することを課
題とする。
ップするには、前記発光素子２ａ、受光素子２ｂから成
る非接触式のブレード位置検出手段２を用いる方法と、
図示は省略したがブレードに電極を配してチャックテー
ブルＴとの接触によって生じる通電を捉えてブレードの
基準位置を検出する方法とがあるが、いずれの方法にお
いてもブレード１の近辺に付着した切削水が垂れると正
確なセットアップがなされない。従って、セットアップ
に先立ち、切削水供給ノズル３はもちろんブレード１の
周辺に付着している水滴を図４に示す高圧エアガンＩで
吹き飛ばす必要がある。しかし、切削水供給ノズル３に
連結している供給パイプには水が溜っているため、水滴
を高圧エアガンＩで吹き飛ばした後においても切削水供
給ノズル３から水が垂れる問題がある。そこで、本発明
はセットアップ時に切削水供給ノズルから水が垂れない
ようにした、切削水供給ノズル機構を提供することを課
題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、切削装置等のブレー
ドのセットアップ時に切削水供給ノズルから切削水が垂
れないようにした切削水供給ノズル機構であって、前記
切削水供給ノズルに連結した供給パイプの所要位置にド
レンパイプに連通するドレン連通部が形成され、セット
アップ時には切削水供給ノズルとドレン連通部間の切削
水をドレンパイプより排出する切削水供給ノズル機構を
要旨とする。
するための手段として、本発明は、切削装置等のブレー
ドのセットアップ時に切削水供給ノズルから切削水が垂
れないようにした切削水供給ノズル機構であって、前記
切削水供給ノズルに連結した供給パイプの所要位置にド
レンパイプに連通するドレン連通部が形成され、セット
アップ時には切削水供給ノズルとドレン連通部間の切削
水をドレンパイプより排出する切削水供給ノズル機構を
要旨とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を添
付図面に基づいて（従来と同一部材は同一符号で）詳説
する。図１において、４は切削手段Ｈの基台であり、Ｙ
軸方向に移動可能なＹ軸移動テーブル５を有しこのＹ軸
移動テーブル５に対してスピンドルユニット６がＺ軸方
向移動可能に取り付けられ、このスピンドルユニット６
はスピンドル７を保持すると共に、その先端部に前記ブ
レード１が装着されている。
付図面に基づいて（従来と同一部材は同一符号で）詳説
する。図１において、４は切削手段Ｈの基台であり、Ｙ
軸方向に移動可能なＹ軸移動テーブル５を有しこのＹ軸
移動テーブル５に対してスピンドルユニット６がＺ軸方
向移動可能に取り付けられ、このスピンドルユニット６
はスピンドル７を保持すると共に、その先端部に前記ブ
レード１が装着されている。
【０００６】前記スピンドルユニット６の先端部にはブ
レードカバー８が取り付けられ、そのブレードカバー８
の下端部に前記切削水供給ノズル３が前記ブレード１を
両側から挟むようにして配設されている。
レードカバー８が取り付けられ、そのブレードカバー８
の下端部に前記切削水供給ノズル３が前記ブレード１を
両側から挟むようにして配設されている。
【０００７】図２に示すように、ブレードカバー８の上
端部には切削水供給口８ａが設けられて供給パイプ９が
接続されており、この供給パイプ９の所要位置にはソレ
ノイドバルブ等の切り替えバルブ１０からドレンパイプ
１１に連通するドレン連通部１２が形成され、セットア
ップ時には切削水供給ノズル３とドレン連通部１２間の
切削水をドレンパイプ１１より排水受け１３に排出す
る。
端部には切削水供給口８ａが設けられて供給パイプ９が
接続されており、この供給パイプ９の所要位置にはソレ
ノイドバルブ等の切り替えバルブ１０からドレンパイプ
１１に連通するドレン連通部１２が形成され、セットア
ップ時には切削水供給ノズル３とドレン連通部１２間の
切削水をドレンパイプ１１より排水受け１３に排出す
る。
【０００８】１４は水道等の水源であり、前記切り替え
バルブ１０を介して供給パイプ９に接続され、切削時に
切削水を供給パイプ９を経て前記切削水供給ノズル３に
供給出来るようにしてある。従来は図２に二点鎖線で示
すように、水源Ｓは開閉バルブＶを介して供給パイプ９
に直結していた。
バルブ１０を介して供給パイプ９に接続され、切削時に
切削水を供給パイプ９を経て前記切削水供給ノズル３に
供給出来るようにしてある。従来は図２に二点鎖線で示
すように、水源Ｓは開閉バルブＶを介して供給パイプ９
に直結していた。
【０００９】前記チャックテーブルＴは、図１に示すよ
うにＸ軸方向に移動可能なＸ軸移動テーブル１５の上に
回転可能に保持されると共に外周にはウォータカバー１
６が配設されている。このウォータカバー１６は、上面
に前記ブレード位置検出手段２が配設され且つウォータ
ケース１７の開口部１７ａに沿ってチャックテーブルＴ
と共にＸ軸方向に移動する。尚、図４のようにウォータ
カバー１６の両端部には蛇腹カバーＪが取り付けられ、
ウォータカバー１６が移動しても前記ウォータケース１
７の開口部１７ａを覆って内部に切削水の廃液が浸入す
るのを防止する。
うにＸ軸方向に移動可能なＸ軸移動テーブル１５の上に
回転可能に保持されると共に外周にはウォータカバー１
６が配設されている。このウォータカバー１６は、上面
に前記ブレード位置検出手段２が配設され且つウォータ
ケース１７の開口部１７ａに沿ってチャックテーブルＴ
と共にＸ軸方向に移動する。尚、図４のようにウォータ
カバー１６の両端部には蛇腹カバーＪが取り付けられ、
ウォータカバー１６が移動しても前記ウォータケース１
７の開口部１７ａを覆って内部に切削水の廃液が浸入す
るのを防止する。
【００１０】前記ウォータケース１７は図１のように端
部に排水口１７ｂが設けられ、この排水口１７ｂには排
水パイプ１８が接続され、切削時に生じた廃液を排水パ
イプ１８を経て前記排水受け１３に排出する。この場
合、排水パイプ１８の先端部は前記ドレンパイプ１１に
接続してドレンと合流させるようにしてある。
部に排水口１７ｂが設けられ、この排水口１７ｂには排
水パイプ１８が接続され、切削時に生じた廃液を排水パ
イプ１８を経て前記排水受け１３に排出する。この場
合、排水パイプ１８の先端部は前記ドレンパイプ１１に
接続してドレンと合流させるようにしてある。
【００１１】このように構成された切削装置は、チャッ
クテーブルＴ上に保持した前記ウェーハＷの切削時に、
図１のように水源１４から供給パイプ９に切削水を送り
込み、切削水供給ノズル３から噴出させながら前記ブレ
ード１でウェーハＷを切削する。この時生じた廃液は、
前記ウォータケース１７に流れ込むと共に排水口１７ｂ
から排水パイプ１８に流入し排水受け１３に排出され
る。
クテーブルＴ上に保持した前記ウェーハＷの切削時に、
図１のように水源１４から供給パイプ９に切削水を送り
込み、切削水供給ノズル３から噴出させながら前記ブレ
ード１でウェーハＷを切削する。この時生じた廃液は、
前記ウォータケース１７に流れ込むと共に排水口１７ｂ
から排水パイプ１８に流入し排水受け１３に排出され
る。
【００１２】切削後に図２のように切り替えバルブ１０
を切り替えると、供給パイプ９への切削水の供給は停止
されると共に、供給パイプ９とドレンパイプ１１とが連
通され即ちドレン連通部１２が形成され、供給パイプ９
内の残圧やサイホンの原理によって切削水供給ノズル３
とドレン連通部１２間の残留切削水はドレンパイプ１１
より排水受け１３に排出される。従って、切削水供給ノ
ズル３内には切削水が溜らないので、セットアップ時に
切削水が垂れ落ちることはない。
を切り替えると、供給パイプ９への切削水の供給は停止
されると共に、供給パイプ９とドレンパイプ１１とが連
通され即ちドレン連通部１２が形成され、供給パイプ９
内の残圧やサイホンの原理によって切削水供給ノズル３
とドレン連通部１２間の残留切削水はドレンパイプ１１
より排水受け１３に排出される。従って、切削水供給ノ
ズル３内には切削水が溜らないので、セットアップ時に
切削水が垂れ落ちることはない。
【００１３】セットアップ後に切削を再開する時には、
前記切り替えバルブ１０を図１のように切り替えて供給
パイプ９と水源１４とを連通させ、供給パイプ９を経て
切削水供給ノズル３に切削水を供給し噴出させることが
出来る。
前記切り替えバルブ１０を図１のように切り替えて供給
パイプ９と水源１４とを連通させ、供給パイプ９を経て
切削水供給ノズル３に切削水を供給し噴出させることが
出来る。
【００１４】尚、セットアップ時のドレン連通部からの
水抜きはバキューム等によって強制的に排水するように
しても良い。又、セットアップ機能に同期させて、切り
替えバルブ１０を自動的に切り替えるように構成するこ
とも可能である。
水抜きはバキューム等によって強制的に排水するように
しても良い。又、セットアップ機能に同期させて、切り
替えバルブ１０を自動的に切り替えるように構成するこ
とも可能である。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
切削装置の切削水（切削液）供給経路にドレン連通部を
設け、ブレードのセットアップ時に切り替えバルブを切
り替えて供給パイプとドレンパイプを連通させ、切削水
供給ノズルとドレン連通部間の残留切削水をドレンパイ
プから排出するようにしたので、切削水供給ノズルに切
削水が溜らずセットアップ時の水垂れを未然に防止する
と共に、ブレード位置検出を精密に行える等の優れた効
果を奏する。
切削装置の切削水（切削液）供給経路にドレン連通部を
設け、ブレードのセットアップ時に切り替えバルブを切
り替えて供給パイプとドレンパイプを連通させ、切削水
供給ノズルとドレン連通部間の残留切削水をドレンパイ
プから排出するようにしたので、切削水供給ノズルに切
削水が溜らずセットアップ時の水垂れを未然に防止する
と共に、ブレード位置検出を精密に行える等の優れた効
果を奏する。
【図１】 本発明の実施の形態を示す要部の説明図であ
る。
る。
【図２】 セットアップ時の状態を示す要部の説明図で
ある。
ある。
【図３】 セットアップ時のブレードの位置関係を示す
説明図である。
説明図である。
【図４】 従来の切削装置の一例を示す斜視図である。
１…ブレード ２…ブレード位置検出手段 ２ａ…
発光素子 ２ｂ…受光素子 ３…切削水供給ノズル
４…基台 ５…Ｙ軸移動テーブル ６…スピン
ドルユニット ７…スピンドル ８…ブレードカバ
ー ９…供給パイプ １０…切り替えバルブ １
１…ドレンパイプ １２…ドレン連通部 １３…排
水受け １４…水源 １５…Ｘ軸移動テーブル
１６…ウォータカバー １７…ウォータケース １
７ａ…開口部 １７ｂ…排水口 １８…排水パイプ
発光素子 ２ｂ…受光素子 ３…切削水供給ノズル
４…基台 ５…Ｙ軸移動テーブル ６…スピン
ドルユニット ７…スピンドル ８…ブレードカバ
ー ９…供給パイプ １０…切り替えバルブ １
１…ドレンパイプ １２…ドレン連通部 １３…排
水受け １４…水源 １５…Ｘ軸移動テーブル
１６…ウォータカバー １７…ウォータケース １
７ａ…開口部 １７ｂ…排水口 １８…排水パイプ
Claims (1)
- 【請求項１】 切削装置等のブレードのセットアップ時
に切削水供給ノズルから切削水が垂れないようにした切
削水供給ノズル機構であって、前記切削水供給ノズルに
連結した供給パイプの所要位置にドレンパイプに連通す
るドレン連通部が形成され、セットアップ時には切削水
供給ノズルとドレン連通部間の切削水をドレンパイプよ
り排出する切削水供給ノズル機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7204092A JPH0929735A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 切削水供給ノズル機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7204092A JPH0929735A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 切削水供給ノズル機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0929735A true JPH0929735A (ja) | 1997-02-04 |
Family
ID=16484662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7204092A Pending JPH0929735A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 切削水供給ノズル機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0929735A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109098228A (zh) * | 2018-09-20 | 2018-12-28 | 高峰 | 一种全自动冷却水专用桶 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63186546U (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-30 | ||
| JPH03164209A (ja) * | 1989-11-22 | 1991-07-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 脆性材料の切断方法 |
| JPH0655403A (ja) * | 1992-08-12 | 1994-03-01 | Hitachi Seiko Ltd | プリント基板加工機における集塵装置 |
-
1995
- 1995-07-19 JP JP7204092A patent/JPH0929735A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63186546U (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-30 | ||
| JPH03164209A (ja) * | 1989-11-22 | 1991-07-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 脆性材料の切断方法 |
| JPH0655403A (ja) * | 1992-08-12 | 1994-03-01 | Hitachi Seiko Ltd | プリント基板加工機における集塵装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109098228A (zh) * | 2018-09-20 | 2018-12-28 | 高峰 | 一种全自动冷却水专用桶 |
| CN109098228B (zh) * | 2018-09-20 | 2020-06-02 | 高峰 | 一种全自动冷却水专用桶 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040816 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041006 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050208 |