JPH03160745A - ウエハ収納治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体ウェハを収納、運搬、搬送する時に
使用するウェハ収納治具に関するものである． 〔従来の技術〕 シリコン半導体のウェハプロセスにおいて、ウェハの運
搬、収納、さらには化学処理等のバッチ処理には、公知
のウェハ収納治具が広く用いられている． 第３図はこのような従来から使用しているウェハ収納治
具を示す図であり、第３図において、１はウェハ収納治
具本体、２ａ，２ｂは対向面にそれぞれ対応して複数の
Ｖ形ウェハ収容渭３ａ，３ｂを形戒した側壁、４ａ，４
ｂは収容ウェハと平行となる他の側壁であり、これらの
側壁によってウェハを収容するポケット５が形戒される
．なお図中、６ａ，　６ｂと７ａ，７ｂはそれぞれカセ
ット間でウェハを移し替えるときにポケット５のピッチ
を揃えるための凹部と凸部である． 次にこのウェハ収納治具を用いての使用方法を説明する
．まずシリコン半導体のウェハプロセスを開始しようと
すると、必要枚数（例えば２４枚）の例えば６″φのウ
ェハを用意する．そしてそのウェハをウェハ収納治具１
のポケット５に例えばハンドピンセットを使用してウェ
ハが平行に並ぶ様に収納する．これによりウェハがバッ
チ状態で運搬、処理が可能となる． 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、このような従来の収納治具では次の様な欠点が
あった．その１つは、シリコンウェハの口径が大きくな
ってくると、ウェハ収納治具本体の形状寸法が大きくな
る事に加え、シリコンウェハ自体の重量も加わり、ウェ
ハ収納治具本体が重くなり、人の手作業ではシリコンウ
ェハをウェハ収納治具からウェハ収納治具へ移し替える
事が困難となる．第２の欠点はウェハ収納治具が大きく
なると、プロセス装置ヘウェハ収納泊具をセットする時
、不安定となり、ウェハを送り出す時、破損トラブルを
ひき起こす． この発明は以上のような問題点を解決するためになされ
たもので、簡単な楕或により、取り扱いや移し替え作業
が容易なウェハ収納治具を得ることを目的とする． 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るウェハ収納治具は、本体のウェハ挿入面
と平行な側壁の一方に運搬又は移し替え用のハンドルを
備えたものである． 〔作用〕 この発明においては、ウェハ収納治具の取り扱い、ウェ
ハ収納治具間でのウェハの移し替えが極めて容易となる
． 〔実施例〕 以下この発明の実施例を図について説明する．まず第２
図において、８は収容ウェハと平行となる側壁の一方４
ａに突出して設けられたハンドル、９はこのハンドルの
前方に配置された発塵防止板である．なおその他の構成
は上記従来例に示したものと同様につき、同一符号を付
してその説明を省略する． なお、上記実施例では、ウェハ収納治具本体１の側壁の
片側にＵ字型固定ハンドル８を備えたもので示したが、
第２図に示した傾斜型ハンドル１０を設けてもよい．但
し傾斜角度を最大３０゜に抑える必要がある．これ以上
の場合はウェハ収納治具本体１に装荷されたウェハがウ
ェハ収納治具外へ飛び出す可能性がある． またハンドリングによる発塵を防止するため、ハンドル
８，１０の前方に発塵防止板９を備える事により、ウェ
ハ収納治具に収納されているウェハの汚染は防止できる
． 〔発明の効果〕 以上のようにこの発明によれば、ウェハ収納治具自体の
大型化が進んでも、ハンドルを備えているため、ウェハ
収納治具本体の運搬、移し替えが容易に出来る効果があ
る．

【図面の簡単な説明】

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 両側板の相対向する面にそれぞれ互いに対応して形成さ
   れた複数の収容溝に、ウェハの周縁部を挿入してウェハ
   を収容するようにしたものにおいて、収容ウェハと平行
   になる、もう一対の両側板の少なくとも一方にハンドル
   を備えてなるウェハ収納治具。