JPH0315955Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は手としてクリーンルームに用いる空調
装置に関し、詳しくは、温調空気をフイルターを
介して層流状に吹出す吹出口を設け、温調器と、
その温調器による温調空気を前記吹出口に送る送
風路とを、前記吹出口とほぼ同巾に形成し、もつ
て、空調対象域の清浄度維持のために要する風量
と、その風量に見合う温調能力とを得るようにし
た空調装置の均温化構造に関する。

（従来の技術） 従来、上記の如き空調装置においては、吹出口
及び温調器の夫々とほぼ同巾に形成した送風路
に、その巾方向に並べて複数の送風フアンを介装
し、それによつて、吹出口からの吹出風量を吹出
口の巾方向において均等化するようにしたものは
あるが（文献を示すことができない）、吹出口の
吹出温度を吹出口の巾方向において均温化するこ
とについては特に配慮がなされていなかつた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかし、従来装置にあつては、温調器の通過完
了時点で既に生じている温調器巾方向における温
度ムラが同巾の送風路を介して吹出口にまで持ち
越されることに起因して、吹出口の巾方向におい
て吹出温度に±１℃程度の温度ムラが生じ、特
に、清浄度維持のために吹出形態を層流状として
いることもあつて、その吹出温度の温度ムラが空
調対象域内の温度ムラの直接の原因となる問題が
あり、近年、例えばLSIの製造等においては空調
対象域内の温度誤差を±0.05℃以下に抑制するこ
とが要求されるのに対し、何らかの改善が必要で
あつた。

本考案の目的は、合理的かつ簡単な改良により
空調対象域に対する吹出温度を吹出口の巾方向に
おいて効果的に均温化する点にある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案による空調装置の均温化構造の特徴構成
は、温調空気をフイルターを介して層流状に吹出
す吹出口とほぼ同巾でその吹出口に温調器からの
温調空気を送る送風路に、多孔板状体を、前記送
風路の巾方向に蛇行する配置で、かつ前記送風路
を遮断する配置で設けてあることにあり、その作
用・効果は次の通りである。

〔作用〕

つまり、上述の如く配置した多孔板状体に対し
て、温調器からの温度ムラを持ち込んでいる温調
空気を通過させることにより、多孔板状体の通風
方向規定作用をもつて、通過温調空気を多孔板状
体の蛇行の屈折ピツチごとに、多孔板状体の蛇行
方向である送風路巾方向において一方寄りと他方
寄りとに交互に変向させる。

そして、その交互変向により、温調空気の高温
気流部分を低温気流部分とを、送風路巾方向に拡
散させ、かつ、混合させて温度的に相殺させ、も
つて、通過温調空気を送風路巾方向（すなわち、
吹出口巾方向）において均温化するのである。

〔考案の効果〕

その結果、送風路とほぼ同巾の吹出口から層流
状に吹出させる温調空気の吹出温度を吹出口巾方
向において効果的に均一化することができ、ひい
ては、空調対象域内の温度ムラを大巾に抑制でき
てLSIの製造等に要求される温度精度を十分に達
成できるようになつた。

又、改良としては、送風路に多孔板状体を設け
るだけの極めて簡単なものであるから、製作面並
びにコスト面のいずれにおいても有利である。

〔実施例〕

次に本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図ないし第３図はユニツト構成のクリーン
ルームを示し、空調対象域である室１に隣設して
空調器２を装備してある。

室１の天井は、その全体をパンチング板構成の
吹出口３としてあり、天井懐部は吹出口３に対す
る給気チヤンバー４としてある。

天井吹出口３のパンチング板３ａは各分割部分
ごとに開閉可能であり、そこから高性能フイルタ
ー５を給気チヤンバー４側に収納するようにして
ある。

つまり、空調器２から供給される空調空気を高
性能フイルター５を介して天井の全面から下向き
層流状に吹出し、それによつて、室内の高清浄度
に維持するようにしてある。

四周壁６のうち対向する二壁の下端部には、壁
の全巾にわたつて排気口７を並設し、それら排気
口７から吸気した室内気は還気風路８を介して空
調器２下部の還気チヤンバー９に戻すようにして
ある。

空調器２は、その下半部の空気調整機器収容部
分２Ａと、上半分の送風機器収容部分２Ｂとに分
割構成してあり、両収容部分２Ａ，２Ｂのケーシ
ング夫々を室１と同巾に形成して室１の壁６に沿
わせる状態に配置してある。

空気調整機器収容部分２Ａと送風機器収容部分
２Ｂとは、それらのケーシングとほぼ同巾のフレ
キシブルダクト１０を介して接続し、又、送風機
器収容部分２Ｂと給気チヤンバー４も、それらと
ほぼ同巾のフレキシブルダクト１１を介して接続
してある。

つまり、空気調整機器により調整した空調空気
を天井吹出口３へ送るための一連の送風路Ｆを、
空調器２の両収容部分２Ａ，２Ｂのケーシング、
両フレキシブルダクト１０，１１、及び、給気チ
ヤンバー４をもつて天井吹出口３と同巾で形成し
てある。

図中１２は高性能フイルター５夫々の通風口を
覆う位置に設けた整風用パンチング板、１３は給
気チヤンバー４の内部全体にわたつて張設した整
風用パンチング板、又、１４は給気チヤンバー４
の入口部に設けた空調空気均温化用のパンチング
板である。

空気調整機器収容部分２Ａには、空気調整機器
として夫々温調器の一例である冷却コイル１５と
再熱コイル１６とを、上下に並べて、かつ、夫々
を空気調整機器収容部分２Ａのケーシングの全巾
にわたらせて内装してあり、又、それらコイル１
５，１６よりも上流側にはプレフイルター１７を
内装してある。

送風機器収容部分２Ｂには、その巾方向にほぼ
等ピツチで並べて複数の送風フアン１８を内装し
てあり、又、ケーシング内部を仕切板１９により
上下に仕切つて、下部側を送風フアン１８に対す
る吸気チヤンバーとし、上部側は、送風フアン１
８夫々の吐出口に各別に接続した吹出ノズル２０
を内装する送気チヤンバーとしてある。

吹出ノズル２０は、本体部分が縦向き円筒状
で、かつ、ノズル口が横向きの異径エルボ形状に
形成してあり、仕切板１９上面への取付固定にあ
たつて縦軸芯Ｐ周りでの回転操作により、ノズル
口の向き（すなわち、給気チヤンバー４内へフレ
キシブルダクト１１を介して吹込む送風フアン１
８吹出風の向き）を給気チヤンバー４巾方向にお
いて適宜変向調整するようにしてある。

つまり、天井吹出口３における吹出温度の測定
結果において吹出温度に吹出口巾方向（給気チヤ
ンバー巾方向）における温度ムラがあつた場合、
測定吹出温度が高温であつた箇所に向く吹出ノズ
ル２０を測定吹出温度が低温であつた箇所寄りへ
適当角度だけ変向させ、又、測定吹出温度が低温
であつた箇所に向く吹出ノズル２０を測定吹出温
度が高温であつた箇所寄りへ適当角度だけ変向さ
せるといつた吹出ノズル各別の風向調整操作をも
つて天井吹出口３巾方向における吹出温度の均温
化を図るようにしてあ。

又、吹出温度の均温化については、前述の均温
用パンチング板１４によつて均温化をより促進す
るようにしてあり、均温用パンチング板１４は、
給気チヤンバー４の巾方向に蛇行する配置で、か
つ、フレキシブルダクト１１から給気チヤンバー
４への入口部分において送風路Ｆを遮断する配置
で給気チヤンバー４の全巾にわたつて設けてあ
る。

つまり、送風路Ｆの巾方向において温度ムラが
ある空調空気の通過の際に、通過空調空気を、均
温用パンチング板１４の蛇行の屈折ピツチごと
に、送風路巾方向において一方寄りと他方寄りと
に交互に変向させ、そして、その交互変向により
空調空気の高温気流部分と低温気流部分とを拡散
混合させて給気チヤンバー４内部を均温化し、そ
れによつて、吹出温度を天井吹出口３の巾方向に
おいて均温化するようにしてある。

尚、第４図に示すように、均温用パンチング板
１４においては、下流側板面が対向する板部分１
４ａ，１４ｂどうしにおいて、一方の板部分１４
ａの孔ａと他方の板部分１４ｂの孔ｂとを、両板
部分１４ａ，１４ｂの境界線ｌ方向に位置を異な
らせて交互配置してあり、それによつて、両孔
ａ，ｂを通過した空調空気どうしを孔通過直後に
衝突させること無く、夫々を極力遠方まで進行さ
せるようにして、拡散混合による均温化をより一
層効果的に実現できるようにしてある。

〔別実施例〕 次に本考案の別実施例を列記する。

吹出口３は、天井の全面にわたつて設ける型式
の他に、天井や壁の一部に長巾で設ける型式、あ
るいは、複数の単位吹出口を並設する型式等、ど
のような型式であつても良く、又、その具体的吹
出構造を、パンチング板により吹出面を形成する
ものに代えて、フイルターの吹出側端面をそのま
ま吹出面として露出させるものや、網体をもつて
吹出面を形成するもの等、種々のものを対象とで
きる。

前述実施例においては、吹出口３とほぼ同巾の
送風路Ｆを、空調器ケーシング、フレキシブルダ
クト、及び、給気チヤンバーをもつ形成したが、
送風路Ｆの具体的形成構成は種々の構成変更が可
能であり、例えば、空調対象室１の側壁を二重壁
構成として、その二重壁構成の内外壁間の制限空
間と、その上端に連通する天井部給気チヤンバー
とをもつて吹出口３とほぼ同巾の送風路Ｆを形成
しても良い。

温調器には、冷水を用いる冷却コイル、フロン
冷媒等を用いる直膨型式の冷却コイル、温水や蒸
気を用いる加熱コイル、あるいは、電熱コイル、
更には、ワツシヤー型式の温調器等、種々の型式
のもの、又、それらを適宜複数段に組合せたもの
を適用できる。

又、１個の温調器を吹出口３とほぼ同巾に形成
するに代えて、同種で複数の単位温調器を吹出口
の全巾にわたつて並設するようにしても良い。

前述実施例においては、均温化のための多孔板
状体にジクザクに屈折形成したパンチング板１４
を用いたが、多孔板状体としては、パンチング板
の他に、網構成のものや、不織布の如き旋維集合
物等、種々のものを適用でき、又、それら多孔板
状体を蛇行配置するに、一連の多孔板状体をジグ
ザグに屈折させるに代えて、蛇行の屈折ピツチご
と、あるいは、その複数ピツチ毎に分割形成した
多孔板状体を所定の姿勢で並設するようにしても
良い。

多孔板状体における孔の配置形態は種々の改良
が可能である。

前述実施例においては吹出ノズル２０による風
向調整によつても均温化を図るようにしたが、そ
のような風向調整機構を省略して、蛇行配置の多
孔板状体だけで均温化を図るようにしても良い。

本考案は、クリーンルームを対象とする空調装
置に好適であるが、空調対象はクリーンルームに
限定されるものではない。

尚、実用新案登録請求の範囲の項に図面との対
照を便利にする為に符号を記すが、該記入により
本考案は添付図面の構造に限定されるものではな
い。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本考案の実施例を示し、
第１図は一部破断斜視図、第２図は平面視断面
図、第３図は側面視断面図、第４図は一部拡大図
である。 ３……吹出口、５……フイルター、１４……多
孔板状、１４ａ，１４ｂ……板状体部分、１５，
１６……温調器、Ｆ……送風路、ａ，ｂ……孔、
ｌ……境界線。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 温調空気をフイルター５を介して層流状に吹
   出す吹出口３を設け、温調器１５，１６と、そ
   の温調器１５，１６による温調空気を前記吹出
   口３に送る送風路Ｆとを、前記吹出口３とほぼ
   同巾に形成した空調装置において、前記送風路
   Ｆに多孔板状体１４を、前記送風路Ｆの巾方向
   に蛇行する配置で、かつ、前記送風路Ｆを遮断
   する配置で設けてある空調装置の均温化構造。 ２ 前記多孔板状体１４のうち下流側板面が対向
   する板状体部分１４ａ，１４ｂどうしにおい
   て、一方の板状体部分１４ａの孔ａと他方の板
   状体部分１４ｂの孔ｂとを、両板状体部分１４
   ａ，１４ｂの境界線ｌ方向に位相を異ならせて
   配置してある実用新案登録請求の範囲第１項に
   記載の空調装置の均温化構造。