JPH03154239A - 光ディスクカッティング装置 - Google Patents

光ディスクカッティング装置

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JPH03154239A
JPH03154239A JP1293721A JP29372189A JPH03154239A JP H03154239 A JPH03154239 A JP H03154239A JP 1293721 A JP1293721 A JP 1293721A JP 29372189 A JP29372189 A JP 29372189A JP H03154239 A JPH03154239 A JP H03154239A
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JP
Japan
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laser beam
exposure
focus servo
objective lens
laser
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Application number
JP1293721A
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English (en)
Inventor
Seiichi Osawa
誠一 大沢
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Pioneer Corp
Original Assignee
Pioneer Electronic Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/261Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
    • GPHYSICS
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    • G11B7/0908Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
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  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は露光用レーザビームとは別にフォーカスサーボ
専用のレーザビームを用いる光ディスクカッティング装
置に関する。
背景技術 第3図に光ディスクカッティング装置の従来例を示す。
レーザ発振器1は露光用のAr(アルゴン)レーザビー
ムを発生する。レーザ発振器1から発せられたArレー
ザビームは反射ミラー3ないし5、ダイクロイックミラ
ー6、そして反射ミラー7によって各々反射されて対物
レンズ8に入射し、対物レンズ8を通過したレーザビー
ムは記録原盤9上に照射される。レーザ発振器1と反射
ミラー3との間にはA−0光変調器2が設けられており
、A−0光変調器2によってレーザビーム自体に含まれ
る雑音を除去すると共に、記録原盤7の外側と内側とで
の露光量の制御(ラジアルコントロール)することが行
なわれる。反射ミラー3.4間にはA−0光変調器(又
はE−0光変調器)10が設けられており、光変調器1
0によってレーザビームが記録すべき映像信号や音声信
号等の信号に応じて変調を受ける。また反射ミラー4.
5間にはビームエキスパンダ11が設けられており、ビ
ームエキスパンダ11によって対物レンズ8のレンズ−
杯にビームを入射させるためにビーム径が拡大される。
一方、レーザ発振器13はフォーカスサーボ用のHe−
Ne(ヘリウム−ネオン)レーザビームを発生する。レ
ーザ発振器13から発せられたHe−Neレーザビーム
は反射ミラー14.15によって各々反射された後、ビ
ームエキスパンダ16に入射する。ビームエキスパンダ
16の後段には偏光ビームスプリッタ17が設けられて
おり、ビームエキスパンダ16によって拡大されたレー
ザビームは偏光ビームスプリッタ17を通過するように
なっている。偏光ビームスプリッタ17を通過したレー
ザビームは更にダイクロイックミラー6を通過して反射
ミラー7によって反射されて対物レンズ8に入射する。
対物レンズ8を通過したHe−Neレーザビームは記録
原盤9上に照射される。その反射ビームは対物レンズ8
を通過して反射ミラー7によって反射されて更にダイク
ロイックミラー6を通過する。そして、偏光ビームスプ
リッタ17の偏光膜によって反射されて円柱レンズ18
を介して4分割の光デイテクタ19に供給される。光デ
イテクタ19の各出力信号はフォーカスサーボ制御回路
20に供給され、フォーカスサーボ制御回路20は光デ
イテクタ19の各出力信号に応じて対物レンズ8のアク
チュエータ(図示せず)を駆動する。
かかる光ディスクカッティング装置においては、露光用
のA「レーザビームの波長は例えば、4580麿、フォ
ーカスサーボ用のHe−Neレーザビームの波長は63
3nmであり、各レーザビームは対物レンズ8へは共に
平行光で入射するようにされている。このように波長が
異なる場合、露光用レーザビームとフォーカスサーボ用
レーザビームとの結像位置を略同−位置としかつ収差を
小さくするためには対物レンズ8として色消しレンズを
用いる必要がある。
しかしながら、記録原盤への記録密度を上げるために露
光用レーザビームを紫外化すると、色消しに必要なガラ
ス材が紫外線を吸収するので、露光用レーザビームとフ
ォーカスサーボ用レーザビームとの結像位置を略同−位
置としかつ色収差を小さくすることができなくなるとい
う問題点があった。例えば、露光用レーザビームについ
ての縦の球面収差は第4図に特性Aで示したようになり
、フォーカスサーボ用レーザビームについての縦の球面
収差は第4図に特性Bで示すようになり、特性A、Bと
の間に色収差性が生ずる。
発明の概要 [発明の目的] 本発明の目的は、露光用レーザビームを紫外化しても露
光用レーザビームとフォーカスサーボ用レーザビームと
の結像位置を略同−位置としかつ色収差を小さくするこ
とができる光ディスクカッティング装置を提供すること
である。
[発明の構成] 本発明による光ディスクカッティング装置は、露光用レ
ーザ発生手段から発せられた露光用レーザビームを拡大
して対物レンズに入射させかつ対物レンズより前段にお
いて記録されるべき信号に応じて露光用レーザビームを
変調する露光用光学系と、フォーカスサーボ用レーザ発
生手段から発せられたフォーカスサーボ用レーザビーム
を拡大して対物レンズに入射させかつ記録原盤によるそ
の反射ビームを対物レンズから得て偏光手段を介して検
出するフォーカスサーボ用光学系とを備えた光ディスク
カッティング装置であり、露光用光学系及びフォーカス
サーボ用光学系のうちの波長が長いレーザビームの方の
光学系は拡大されたレーザビームを収束せしめる収束手
段を対物レンズより前段に有することを特徴としている
〔発明の作用〕
本発明による光ディスクカッティング装置においては、
拡大されたレーザビームを収束せしめる収束手段が設け
られることにより対物レンズに入射する波長が長いレー
ザビームの方のビーム径を小さくすることができ、各レ
ーザビームの屈折率の違いにより露光用レーザビームと
フォーカスサーボ用レーザビームとの結像位置を略同−
位置としかつ色収差を小さくすることができる。
実施例 以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳細に説明す
る。
第1図に示した本発明の実施例において、第3図に示し
た従来装置と同一部分は同一符号によって示されており
、偏光ビームスプリッタ17とダイクロイックミラー6
との間に収束手段としての凸レンズ21が設けられてい
る。その他の構成は第3図に示した構成と同様である。
かかる構成においては、レーザ発振器1から出力された
露光用Arレーザビームは光変調器2を通過して反射ミ
ラー3によって全反射される。反射されたレーザビーム
は光変調器10に入射されて記録されるべき信号によっ
て変調されて更に反射ミラー4によって全反射される。
反射ミラー4により反射されたレーザビームはビームエ
キスパンダ11によって拡大された平行光となり、第1
図に実線Cで示すように更に反射ミラー5、ダイクロイ
ックミラー6、そして反射ミラー7によって各々反射さ
れて対物レンズ8に供給される。対物レンズ8を通過し
たレーザビームは記録原盤9上に照射され記録原盤9表
面に塗布されているフォトレジストを露光する。この露
光用光学系の動作は従来と同様である。ただし、対物レ
ンズ8は色消しレンズではない。
一方、レーザ発振器13から出力されたフォーカスサー
ボ用レーザビームは反射ミラー14,15により反射さ
れた後、ビームエキスパンダ16によって拡大された平
行光となる。その拡大されたフォーカスサーボ用レーザ
ビームは偏光ビームスプリッタ17を通過し、凸レンズ
21に入射する。凸レンズ21は平行入射のフォーカス
サーボ用レーザビームを収束ビームに変換する。よりて
、第1図に実線りで示すようにフォーカスサーボ用レー
ザビームは収束しつつダイクロイックミラー6を通過し
、そして反射ミラー7によって反射されて対物レンズ8
に入射する。対物レンズ8に入射するフォーカスサーボ
用レーザビームのビーム径は露光用レーザビームより小
さくなる。露光用レーザビームとフォーカスサーボ用レ
ーザビームとではフォーカスサーボ用レーザビームの方
の波長が長く屈折率が小さいので、フォーカスサーボ用
レーザビーム径が小さくなることにより対物レンズ8に
よる各ビームの結像位置をほぼ同一位置にすることがで
きる。
従って、第2図に示すように露光用レーザビームについ
ての縦の球面収差曲線(特性A)とフォーカスサーボ用
レーザビームについての縦の球面の 収差曲線(特性B)%!!である色収差を減少させるこ
とができる。
なお、上記した実施例においては、対物レンズの焦点距
離が露光用レーザビームよりフォーカスサーボ用レーザ
ビームの方が長いのでフォーカスサーボ用光学系に収束
手段として凸レンズが設けられているが、逆の場合には
拡散手段(例えば、凹レンズ)を設ければ良いのである
発明の効果 以上の如く、本発明による光ディスクカッティング装置
においては、露光用レーザビームのスポット位置にフォ
ーカスサーボ用レーザビームスポットを近接すべくフォ
ーカスサーボ光学系に収束手段を配置したのでレーザビ
ームの波長の違いによる焦点距離の差を補償することが
でき、対物レンズに入射する波長の長いレーザビームの
ビーム径を小さくすることができる。よって、各レーザ
ビームの屈折率の違いにより露光用レーザビームとフォ
ーカスサーボ用レーザビームとの結像位置を略同−位置
としかつ色収差を小さくすることができる。また、露光
用レーザビームを紫外化した場合に対物レンズとして色
消しレンズを用いないので済み、対物レンズの設計が容
易となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す構成図、第2図は第1図
の装置における露光用レーザビームとフの オーカスサーボ用レーザビームチキ収差を示す特性図、
第3図は従来の光ディスクカッティング装置を示す構成
図、第4図は第3図の装置における露光用レーザビーム
とフォーカスサーボ用レーザビームと色収差を示す特性
図である。 ハ 主要部分の符号の説明 1.13・・・レーザ発振器 2.10・・・光変調器 3〜5,7,14.15・・・反射ミラー8・・・対物
レンズ 9・・・記録原盤 11.16・・・ビームエキスパンダ 17・・・偏光ビームスプリッタ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)露光用レーザ発生手段から発せられた露光用レー
    ザビームを拡大して対物レンズに入射させかつ前記対物
    レンズより前段において記録されるべき信号に応じて露
    光用レーザビームを変調する露光用光学系と、フォーカ
    スサーボ用レーザ発生手段から発せられたフォーカスサ
    ーボ用レーザビームを拡大して前記対物レンズに入射さ
    せかつ記録原盤によるその反射ビームを前記対物レンズ
    から得て偏光手段を介して検出するフォーカスサーボ用
    光学系とを備えた光ディスクカッティング装置であって
    、前記露光用光学系及び前記フォーカスサーボ用光学系
    のうちの波長が長いレーザビームの方の光学系は拡大さ
    れたレーザビームを収束せしめる収束手段を前記対物レ
    ンズより前段に有することを特徴とする光ディスクカッ
    ティング装置。
  2. (2)前記収束手段は凸レンズであることを特徴とする
    請求項1記載の光ディスクカッティング装置。
JP1293721A 1989-11-10 1989-11-10 光ディスクカッティング装置 Pending JPH03154239A (ja)

Priority Applications (2)

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JP1293721A JPH03154239A (ja) 1989-11-10 1989-11-10 光ディスクカッティング装置
US07/547,356 US5113385A (en) 1989-11-10 1990-07-03 Optical disk cutting apparatus

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JP1293721A JPH03154239A (ja) 1989-11-10 1989-11-10 光ディスクカッティング装置

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JPH03154239A true JPH03154239A (ja) 1991-07-02

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JP1293721A Pending JPH03154239A (ja) 1989-11-10 1989-11-10 光ディスクカッティング装置

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