JPH03152451A - ガスセンサ - Google Patents

ガスセンサ

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Publication number
JPH03152451A
JPH03152451A JP29121089A JP29121089A JPH03152451A JP H03152451 A JPH03152451 A JP H03152451A JP 29121089 A JP29121089 A JP 29121089A JP 29121089 A JP29121089 A JP 29121089A JP H03152451 A JPH03152451 A JP H03152451A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas sensing
gas
lead
temperature
insulating substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP29121089A
Other languages
English (en)
Inventor
Noboru Kumagai
登 熊谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP29121089A priority Critical patent/JPH03152451A/ja
Publication of JPH03152451A publication Critical patent/JPH03152451A/ja
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、例えば、絶縁基板に動作温度の異なる複数の
感ガス部を形成したタイプのガスセンサに関する。
(従来の技術) 一般に、ガスセンサとして、第4図および第5図に示す
ようなチューブタイプセンサ1や、第6図に示すプレー
ナタイプセンサ2等が知られており、これらのガスセン
サ1.2は、それぞれの感ガス部3.4を例えば内蔵ヒ
ータにより一定温度に加熱している。
そして、チューブタイプセンサ1では内蔵ヒータとして
第5図中に示すように細径リードワイヤ5が用いられて
おり内蔵ヒータの熱抵抗が極めて大きく、また、ブレー
ナタイプセンサ2ではリードフレーム6・・・からの熱
拡散量が大きい。このため、これらのタイプのガスセン
サ1.2は入力電力を増加し大きく設定して、感ガス部
3.4の加熱のための熱量を補っている。
さらに、いずれのタイプのガスセンサにおいても感ガス
部3.4を最小必要熱量により均一に昇温させ且つ一定
温度に保つことが要求されるため、温度分布が均一で熱
的に対称となるような構造設計が行われている。
(考案が解決しようとする課題) ところで、第6図に示すようなプレーナタイプのガスセ
ンサには、第7図に要部を示すように、複数の感ガス部
7.8を備えた複合化センサ9がある。そして、このタ
イプのガスセンサにおいて、1つの絶縁基板10上に動
作温度の異なる感ガス部7.8を配置した場合には、各
感ガス部7.8を加熱するヒータの電気抵抗値を、感ガ
ス部7.8の動作温度に合わせて変えること等が必要だ
った。
本発明の目的とするところは、絶縁基板に任意に部分的
な温度差を生じさせることができ、複数の感ガス部の動
作温度に応じてヒータの抵抗値を設定する必要のないガ
スセンサを提供することにある。
[発明の構成] (課題を解決するための手段および作用)上記目的を達
成するために本発明は、ヒータを有しこのヒータによっ
て加熱される絶縁基板に複数の感ガス部を形成してなり
、絶縁基板にヒータおよび感ガス部の電気的入出力を行
う複数のリード部材を熱転的に接合したガスセンサにお
いて、リード部材を互いに異なる大きさに成形しリード
部材毎の放熱能力を異ならせるとともに、リード部材の
絶縁基板との接合位置を感ガス部の動作温度に応じた位
置に選択的に設定したことにある。
こうすることによって本発明は、複数の感ガス部の動作
温度に応じてヒータの抵抗値を設定することなく、絶縁
基板に任意に部分的な温度差を生じさせることができる
ようにしたことにある。
(実施例) 以下、本発明の一実施例を第1図および第2図に基づい
て説明する。
第1図は本発明の一実施例の要部を示すもので、図中1
1は平板形の複合化センサに設けられた絶縁基板である
。この絶縁基板11は矩形状に成形されている。そして
、絶縁基板11は、例えばその内部等に抵抗加熱式のヒ
ータ(図示しない)を有している。
さらに、絶縁基板11は、その板面上に動作温度の異な
る2つの感ガス部12.13を熱転的に形成されており
、これら感ガス部12.13を互いに離間させるととも
に、略並行に配置している。
そして、絶縁基板11は、上記ヒータによってその略全
体を加熱されて昇温するとともに、ヒータの熱を感ガス
部12.13に略均等に伝達して両感ガス部12.13
を加熱するようになっている。
また、絶縁基板11は、その板面の4つの隅部に、上記
ヒータおよび上記感ガス部12.13と通電可能に接続
されたパッド14.14.15.15を有している。そ
して、これらパッド14.14.15.15のうち隣合
った2つのバッド14.14に平板状の、リード部材と
してのリードフレーム16.16を接合されており、さ
らに、残りの2つのバッド15.15に同じくリード部
材としてのリードワイヤ17.17を接合されている。
そして、絶縁基板11は、両部材16.17によって支
持されるとともに、ヒータへの通電や感ガス部12.1
3からの電気信号の取出し等のいわゆる電気的入出力を
、両部材16.17によって行われるようになっている
上5己リードフレーム16.16とリードワイヤ17.
17とは互いに大きさの異なるもので、リードフレーム
16.16は大幅に成形されており、また、リードワイ
ヤ17.17はリードフレーム16.16に対して細幅
に成形されている。
そして、両部材16.17は断面積、表面積および長平
方向の寸法等を異ならせており、リードフレーム16.
16はその放熱能力を大きく設定され、また、リードワ
イヤ17.17はリードフレーム16.16に対してそ
の放熱能力を小さく設定されている。そして、リードフ
レーム16.16はともに一方の感ガス部12の近傍の
部位に配置されており、リードワイヤ17.17はとも
に他方の感ガス部13の近傍の部位に配置されている。
ここで、両リードフレーム16.16の大きさを互いに
異ならせるようにしてもよく、また、両リードワイヤ1
7.17の大きさを互いに異ならせるようにしてもよい
すなわち、このようなガスセンサは、絶縁基板11をヒ
ータによって加熱し昇温させるとともに、感ガス部12
.13と、リードフレーム16.16およびリードワイ
ヤ17.17とに絶縁基板11の熱を伝達する。そして
、感ガス部12.13を徐々に昇温させるとともに、リ
ードフレーム16.16およびリードワイヤ17.17
に放熱させる。
そして、大幅に設定され熱抵抗が小さく、放熱能力の大
きいリードフレーム16には大量の熱を放散させるとと
もに、細幅に設定され熱抵抗が大きく、放熱能力の小さ
いリードワイヤ17.17には、リードフレーム16.
16よりも小量の熱を放散させる。さらに、基板11の
、リードフレーム16.16の周囲の部分の温度上昇の
度合をリードワイヤ17.17の周囲の部分の温度上昇
の度合よりも低め、このことによって、リードワイヤ1
7.17の側の部位に偏倚した感ガス部13の周囲の温
度を、リードフレーム16.16の側の部位に偏倚した
感ガス部12の周囲の温度よりも高める。
そして、第2図中に示すように、絶縁基板11にリード
フレーム16.16の側からリードワイヤ17.17の
側へ徐々に大となる温度差を形成し、リードワイヤ17
.17の側の感ガス部13に対して、リードフレーム1
6.16の側の感ガス部12よりも大量の熱を供給する
。そして、互いの動作温度T、  T2の間にΔTの差
を有する両感ガス部12.13の温度を、略同時にそれ
ぞれの動作温度Tl5T2に到達させる。
したがって、このガスセンサは、絶縁基板11に14ら
れたヒータの抵抗値(加熱力)を2つの感ガス部12.
13の動作温度T、  T2に合わせて設定することな
く、絶縁基板11に感ガス部12.13の動作温度T、
  T2に応じて部分的な温度差を生じさせることがで
き、両感ガス部12.13を略同時に動作させることが
できる。
また、絶縁基板11に変更を施すことな〈従来の仕様の
絶縁基板を採用することが可能なため、コストアップす
ることがなく、さらに、製造性が良い。
なお、本実施例ではリード部材としてリードフレームと
リードワイヤとを用いてリード部材の放熱能力を異なら
せているが、本発明はこれに限定されるものではなく、
例えば、第3図中に示すように、リード部材として太幅
のリードフレーム18.18と細幅のリードフレーム1
9.19とを用いて放熱能力を異ならせるようにしても
よい。
また、本発明は、例えば動作温度の等しい感ガス部を有
するタイプの複合化センサにも適用可能である。
[発明の効果] 以上説明したように本発明は、ヒータを有しこのヒータ
によって加熱される絶縁基板に複数の感ガス部を形成し
てなり、絶縁基板にヒータおよび感ガス部の電気的入出
力を行う複数のリード部材を熱転的に接合したガスセン
サにおいて、リード部材を互いに異なる大きさに成形し
リード部材毎の放熱能力を異ならせるとともに、リード
部材の絶縁基板との接合位置を感ガス部の動作温度に応
じた位置に選択的に設定したものである。
したがって本発明は、複数の感ガス部の動作温度に応じ
てヒータの抵抗値を設定することなく、絶縁基板に任意
に部分的な温度差を生じさせることができるという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本発明の一実施例を示すもので、
第1図は要部を拡大して示す斜視図、第2図は絶縁基板
の温度特性を示すグラフ、第3図は変形例の要部を拡大
して示す斜視図、第4図〜第7図は従来例を示すもので
、第4図はチューブタイプセンサの全体を示す斜視図、
第5図は同じくチューブタイプセンサの要部を一部破断
して示す斜視図、第6図はプレーナタイプセンサの全体
を示す同じく斜視図、第7図は複合化センサの要部を示
す同じく斜視図である。 11・・・絶縁基板、12.13・・・感ガス部、16
.16・・・リードフレーム(リード部材)17.17
・・・リードワイヤ(リード部材)。 第 3 図 第 図 / 第 図 う 冨 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ヒータを有しこのヒータによって加熱される絶縁基板に
    複数の感ガス部を形成してなり、上記絶縁基板に上記ヒ
    ータおよび上記感ガス部の電気的入出力を行う複数のリ
    ード部材を熱伝的に接合したガスセンサにおいて、上記
    リード部材を互いに異なる大きさに成形し上記リード部
    材毎の放熱能力を異ならせるとともに、上記リード部材
    の上記絶縁基板との接合位置を上記感ガス部の動作温度
    に応じた位置に選択的に設定したことを特徴とするガス
    センサ。
JP29121089A 1989-11-10 1989-11-10 ガスセンサ Pending JPH03152451A (ja)

Priority Applications (1)

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JP29121089A JPH03152451A (ja) 1989-11-10 1989-11-10 ガスセンサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29121089A JPH03152451A (ja) 1989-11-10 1989-11-10 ガスセンサ

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Publication Number Publication Date
JPH03152451A true JPH03152451A (ja) 1991-06-28

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ID=17765890

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JP29121089A Pending JPH03152451A (ja) 1989-11-10 1989-11-10 ガスセンサ

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JP (1) JPH03152451A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007531886A (ja) * 2004-04-06 2007-11-08 フレクシッヒ・ゲルト−ウーヴェ 加熱可能な電極を備えた分析アレイ及び化学的及び生化学的分析のための方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007531886A (ja) * 2004-04-06 2007-11-08 フレクシッヒ・ゲルト−ウーヴェ 加熱可能な電極を備えた分析アレイ及び化学的及び生化学的分析のための方法

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