JPH09179078A - 光遅延装置 - Google Patents
光遅延装置Info
- Publication number
- JPH09179078A JPH09179078A JP33675695A JP33675695A JPH09179078A JP H09179078 A JPH09179078 A JP H09179078A JP 33675695 A JP33675695 A JP 33675695A JP 33675695 A JP33675695 A JP 33675695A JP H09179078 A JPH09179078 A JP H09179078A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- temperature control
- optical waveguide
- heat
- heat conducting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2861—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using fibre optic delay lines and optical elements associated with them, e.g. for use in signal processing, e.g. filtering
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 周囲温度の影響を受けない光遅延装置を得る
ことである。 【解決手段】 熱伝導板11上に熱伝導性グリスのよう
な熱伝導性媒体13を介して光導波路12を取り付け、
下面にペルチェ素子等の温度制御素子15を設けて熱伝
導板を加熱,冷却できるようにし、熱伝導板に取り付け
た温度センサ16で熱伝導板の温度を測定し、温度制御
手段17によってあらかじめ設定した温度の温度センサ
から出力される温度とを比較し、差がなくなるようにフ
ィードバック制御することにより周囲温度に影響されず
熱伝導板、ひいては光導波路の温度を目的とする温度に
制御して所定の遅延量を得る構成を特徴としている。
ことである。 【解決手段】 熱伝導板11上に熱伝導性グリスのよう
な熱伝導性媒体13を介して光導波路12を取り付け、
下面にペルチェ素子等の温度制御素子15を設けて熱伝
導板を加熱,冷却できるようにし、熱伝導板に取り付け
た温度センサ16で熱伝導板の温度を測定し、温度制御
手段17によってあらかじめ設定した温度の温度センサ
から出力される温度とを比較し、差がなくなるようにフ
ィードバック制御することにより周囲温度に影響されず
熱伝導板、ひいては光導波路の温度を目的とする温度に
制御して所定の遅延量を得る構成を特徴としている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光遅延装置に関し、特に
光導波路形で熱光学効果(TO効果)を用いた光遅延装
置に関するものである。
光導波路形で熱光学効果(TO効果)を用いた光遅延装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来の光遅延装置の一例を示す
平面図とそのA−A線による断面図である。この図にお
いて、1は光導波路基板で、この上にSiO2 に等のG
eO2等の不純物を混入してなるコア部2と、このコア
部2が埋込まれたクラッド部3が設けられ光導波路4が
形成される。クラッド部3の上面にはヒータ5が密着し
て設けられ、その電極6から通電してヒータ5により光
導波路4を加熱し、光導波路長を熱膨張によって増加さ
せ光遅延を行わせる。
平面図とそのA−A線による断面図である。この図にお
いて、1は光導波路基板で、この上にSiO2 に等のG
eO2等の不純物を混入してなるコア部2と、このコア
部2が埋込まれたクラッド部3が設けられ光導波路4が
形成される。クラッド部3の上面にはヒータ5が密着し
て設けられ、その電極6から通電してヒータ5により光
導波路4を加熱し、光導波路長を熱膨張によって増加さ
せ光遅延を行わせる。
【0003】図4は、図3の原理に基づく光スイッチの
一例を示すもので、7A,7Bは光ファイバ、5はヒー
タで、8は電源、9はスイッチを示す。入力1を出力2
に、あるいは入力2を出力1または出力2にヒータ5の
オン,オフにより選択することができる。
一例を示すもので、7A,7Bは光ファイバ、5はヒー
タで、8は電源、9はスイッチを示す。入力1を出力2
に、あるいは入力2を出力1または出力2にヒータ5の
オン,オフにより選択することができる。
【0004】しかし、図3の構成の従来の光遅延装置の
構造では、ヒータ5により熱をかけることで導波路長を
変化させているので、光導波路長を正確に制御するには
光導波路基板1の温度を一定にしなければならない。
構造では、ヒータ5により熱をかけることで導波路長を
変化させているので、光導波路長を正確に制御するには
光導波路基板1の温度を一定にしなければならない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ヒータ5の
みで長さを調整するため基板温度を上昇させるには有効
であるが、温度検出用のセンサを持っていないため、実
際の遅延がどのようになっているか確認できない。ま
た、周囲温度の影響を受け易かった。基板温度を下げる
には自然放熱にまかせるしかなく、このため制御時間が
大幅にかかり、また、正確な遅延時間の調整ができな
い。さらに自然放熱時に外気温度に影響され易いため断
熱槽に入れることが必要になり大型になる等の問題点が
あった。
みで長さを調整するため基板温度を上昇させるには有効
であるが、温度検出用のセンサを持っていないため、実
際の遅延がどのようになっているか確認できない。ま
た、周囲温度の影響を受け易かった。基板温度を下げる
には自然放熱にまかせるしかなく、このため制御時間が
大幅にかかり、また、正確な遅延時間の調整ができな
い。さらに自然放熱時に外気温度に影響され易いため断
熱槽に入れることが必要になり大型になる等の問題点が
あった。
【0006】本発明の目的は、光導波路長を正確に制御
するために光導波路全体を熱伝導板(アルミニウム,銅
など)を通して熱センサ出力をフィードバックさせるこ
とにより温度制御すれば、周囲温度の影響なく光導波路
長の制御を行うことができる点に着目し、従来のヒータ
のみの遅延器が周囲温度を一定にしなければならなかっ
た点を解決した光遅延装置を提供することにある。
するために光導波路全体を熱伝導板(アルミニウム,銅
など)を通して熱センサ出力をフィードバックさせるこ
とにより温度制御すれば、周囲温度の影響なく光導波路
長の制御を行うことができる点に着目し、従来のヒータ
のみの遅延器が周囲温度を一定にしなければならなかっ
た点を解決した光遅延装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光遅延装置
は、熱伝導板上に熱伝導性媒体を介して光導波路を設
け、この熱伝導板に温度制御素子を設け、この温度制御
素子をフィードバック制御する温度制御手段および温度
センサとで構成されたものである。
は、熱伝導板上に熱伝導性媒体を介して光導波路を設
け、この熱伝導板に温度制御素子を設け、この温度制御
素子をフィードバック制御する温度制御手段および温度
センサとで構成されたものである。
【0008】また、光導波路基板を金属ケースで覆い、
その内部に断熱材を充填したものである。
その内部に断熱材を充填したものである。
【0009】そして、熱伝導性媒体として熱伝導性グリ
スを用いたものである。
スを用いたものである。
【0010】さらに、温度制御素子としてペルチェ素子
を用いたものである。
を用いたものである。
【0011】
【作用】本発明においては、熱伝導板と光導波路基板と
が熱伝導性媒体を介して接触しているので、熱的に接触
状態が良好となる。また、温度センサと温度手段と温度
制御素子とでフィードバック回路が構成されているの
で、常に設定した温度に正確に制御することが可能であ
る。
が熱伝導性媒体を介して接触しているので、熱的に接触
状態が良好となる。また、温度センサと温度手段と温度
制御素子とでフィードバック回路が構成されているの
で、常に設定した温度に正確に制御することが可能であ
る。
【0012】また、断熱材が金属ケース内に充填されて
いるので、周囲温度の影響を受け難くなる。
いるので、周囲温度の影響を受け難くなる。
【0013】さらに、熱伝導媒体は熱伝導性グリスを用
いたので、熱伝導板と光導波路基板とが熱的に十分に結
合される。
いたので、熱伝導板と光導波路基板とが熱的に十分に結
合される。
【0014】また、温度制御素子としてペルチェ素子を
用いたので、加熱と冷却とを自在に切り替えられるの
で、温度制御を迅速に行うことができる。
用いたので、加熱と冷却とを自在に切り替えられるの
で、温度制御を迅速に行うことができる。
【0015】
【実施例】図1は、本発明の一実施例を示すもので、光
導波路部分を断面略図とし、他をブロックで示した構成
図である。図1において、11はアルミニウム,銅など
の熱伝導の良好な金属からなる熱伝導板、12は光導波
路で図3の光導波路4に対応するもので、熱伝導性媒体
13を介して熱伝導板11に密着している。熱伝導性媒
体13としてはシリコン機等からなる熱伝導性グリスが
適しているが、必ずしもグリス状でなくとも軟質で熱伝
導性が良好であり、熱伝導板11や光導波路12の表面
になじみ易いものであればよい。14は接着剤で熱伝導
板11に光導波路12を密着した状態で固定するための
ものである。15は温度制御素子で、加熱ヒータあるい
はペルチェ素子等が用いられ、熱伝導板11の温度を制
御する。16は温度センサで、熱伝導板11の温度を検
出するため熱伝導板11に埋込まれる。17は温度制御
手段で、CPU等が用いられ、図示していないが目的と
する温度の設定ができるようになっている。
導波路部分を断面略図とし、他をブロックで示した構成
図である。図1において、11はアルミニウム,銅など
の熱伝導の良好な金属からなる熱伝導板、12は光導波
路で図3の光導波路4に対応するもので、熱伝導性媒体
13を介して熱伝導板11に密着している。熱伝導性媒
体13としてはシリコン機等からなる熱伝導性グリスが
適しているが、必ずしもグリス状でなくとも軟質で熱伝
導性が良好であり、熱伝導板11や光導波路12の表面
になじみ易いものであればよい。14は接着剤で熱伝導
板11に光導波路12を密着した状態で固定するための
ものである。15は温度制御素子で、加熱ヒータあるい
はペルチェ素子等が用いられ、熱伝導板11の温度を制
御する。16は温度センサで、熱伝導板11の温度を検
出するため熱伝導板11に埋込まれる。17は温度制御
手段で、CPU等が用いられ、図示していないが目的と
する温度の設定ができるようになっている。
【0016】次に動作について説明する。熱伝導板11
に取り付けた温度センサ16により熱伝導板11の温度
を検出し、温度制御手段17に入力する。温度制御手段
17においては、あらかじめ設定されている温度と熱伝
導板11の温度とを比較し、その差がなくなるようにフ
ィードバック制御を温度制御素子15にかける。これに
より熱伝導板11は設定した温度に制御され、光導波路
12もこれにより設定された温度になり目的とする遅延
が得られる。そして、温度制御素子15がペルチェ素子
の場合には、温度制御手段17によって通電方向を逆に
することにより簡単に加熱から冷却へと切り替えでき、
温度制御素子15による加熱のオーバーシュートを迅速
に戻すことができる。
に取り付けた温度センサ16により熱伝導板11の温度
を検出し、温度制御手段17に入力する。温度制御手段
17においては、あらかじめ設定されている温度と熱伝
導板11の温度とを比較し、その差がなくなるようにフ
ィードバック制御を温度制御素子15にかける。これに
より熱伝導板11は設定した温度に制御され、光導波路
12もこれにより設定された温度になり目的とする遅延
が得られる。そして、温度制御素子15がペルチェ素子
の場合には、温度制御手段17によって通電方向を逆に
することにより簡単に加熱から冷却へと切り替えでき、
温度制御素子15による加熱のオーバーシュートを迅速
に戻すことができる。
【0017】図2は、本発明の他の実施例を示すもの
で、光導波路部分を断面略図で示し、他をブロックで示
した構成図であり、図1と同一部分には同一符号を付し
てある。図2において、18は金属ケースで、熱伝導板
11を底板とする形で光導波路12を覆っており、内部
に断熱材19が充填してある。この構成によれば断熱材
19により周囲温度の影響が低減され、迅速で、正確な
温度制御が可能となる。
で、光導波路部分を断面略図で示し、他をブロックで示
した構成図であり、図1と同一部分には同一符号を付し
てある。図2において、18は金属ケースで、熱伝導板
11を底板とする形で光導波路12を覆っており、内部
に断熱材19が充填してある。この構成によれば断熱材
19により周囲温度の影響が低減され、迅速で、正確な
温度制御が可能となる。
【0018】
【発明の効果】本発明に係る光遅延装置は、光導波路
と、この光導波路と熱伝導性媒体を介して結合している
熱伝導板と、この熱伝導板に設けた温度制御素子と、前
記熱伝導板に組み込まれた温度センサと、この温度セン
サの出力を受け前記温度制御素子をフィードバック制御
する温度制御手段とからなるので、熱伝導性媒体により
光導波路の底面が直接に熱伝導板に熱的に密着している
ことにより、温度制御素子により効率的、かつ迅速に光
導波路基板を熱制御することができる。そして、温度制
御素子はフィードバック制御されるので、周囲温度が変
化しても常に、目標値に制御することができる。
と、この光導波路と熱伝導性媒体を介して結合している
熱伝導板と、この熱伝導板に設けた温度制御素子と、前
記熱伝導板に組み込まれた温度センサと、この温度セン
サの出力を受け前記温度制御素子をフィードバック制御
する温度制御手段とからなるので、熱伝導性媒体により
光導波路の底面が直接に熱伝導板に熱的に密着している
ことにより、温度制御素子により効率的、かつ迅速に光
導波路基板を熱制御することができる。そして、温度制
御素子はフィードバック制御されるので、周囲温度が変
化しても常に、目標値に制御することができる。
【0019】また、光導波路は断熱材を充填した金属ケ
ースで覆われているので、周囲温度に影響されない効果
がある。
ースで覆われているので、周囲温度に影響されない効果
がある。
【0020】また、熱伝導性媒体として熱伝導性グリス
を用いたので、光導波路と熱伝導板との合わせ面に微小
の凹凸があってもこの凹凸が容易に吸収され良好な熱伝
導が行われる。
を用いたので、光導波路と熱伝導板との合わせ面に微小
の凹凸があってもこの凹凸が容易に吸収され良好な熱伝
導が行われる。
【0021】さらに、温度制御素子としてペルチェ素子
を用いたので、加熱と冷却のいずれも行えるため、迅速
な温度制御を行うことができる。
を用いたので、加熱と冷却のいずれも行えるため、迅速
な温度制御を行うことができる。
【図1】本発明の一実施例を示すもので、光導波路部分
を断面略図とし、他をブロックで示した構成図である。
を断面略図とし、他をブロックで示した構成図である。
【図2】本発明の他の実施例を示すもので、光導波路部
分を断面略図とし、他をブロックで示した構成図であ
る。
分を断面略図とし、他をブロックで示した構成図であ
る。
【図3】従来の光遅延装置の一例を示す平面図と断面図
である。
である。
【図4】図3の原理に基づく光スイッチの一例を示す図
である。
である。
11 熱伝導板 12 光導波路 13 熱伝導性媒体 14 接着剤 15 温度制御素子 16 温度センサ 17 温度制御手段 18 金属ケース 19 断熱材
Claims (4)
- 【請求項1】 光導波路(12)と、この光導波路と熱
伝導性媒体(13)を介して結合している熱伝導板(1
1)と、この熱伝導板に設けた温度制御素子(15)
と、前記熱伝導板に組み込まれた温度センサ(16)
と、この温度センサの出力を受け前記温度制御素子をフ
ィードバック制御する温度制御手段(17)とからなる
ことを特徴とする光遅延装置。 - 【請求項2】 光導波路(12)と、この光導波路と熱
伝導性媒体(13)を介して結合している熱伝導板(1
1)と、この熱伝導板に設けた温度制御素子(15)
と、前記熱伝導板に組み込まれた温度センサ(16)
と、この温度センサの出力を受け前記温度制御素子をフ
ィードバック制御する温度制御手段(17)と、前記光
導波路を覆う金属ケース(18)と、この金属ケース内
に充填された断熱材(19)とからなることを特徴とす
る光遅延装置。 - 【請求項3】 熱伝導性媒体(13)は、熱伝導性グリ
スであることを特徴とする請求項1また2記載の光遅延
装置。 - 【請求項4】 温度制御素子(15)は、温度制御手段
によって制御される電流方向に応じて加熱または冷却を
行うペルチェ素子であることを特徴とする請求項1また
は2記載の光遅延装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33675695A JPH09179078A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 光遅延装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33675695A JPH09179078A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 光遅延装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09179078A true JPH09179078A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18302431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33675695A Pending JPH09179078A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 光遅延装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09179078A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0929206A2 (en) * | 1997-12-19 | 1999-07-14 | Lucent Technologies Inc. | Thermal housing for optical circuits |
KR20000002270A (ko) * | 1998-06-18 | 2000-01-15 | 김영환 | 펠티에 효과를 이용한 온도 제어 장치 |
JP2002540450A (ja) * | 1999-03-22 | 2002-11-26 | ジェムファイアー・コーポレーション | 光電子および光子デバイス |
US6601401B2 (en) | 2000-09-25 | 2003-08-05 | Nec Corporation | Temperature controller and light-waveguide with the same |
WO2003083537A1 (fr) * | 2002-04-02 | 2003-10-09 | Sumiden Opcom,Ltd. | Regulateur de temperature et multiplexeur/demultiplexeur en longueur d'onde optique de type a reseaux de guides d'ondes |
JP2009025843A (ja) * | 2008-11-04 | 2009-02-05 | Kyocera Corp | 光電子混在基板 |
US8111724B2 (en) | 2009-07-07 | 2012-02-07 | International Business Machines Corporation | Temperature control device for optoelectronic devices |
CN109164571A (zh) * | 2018-09-27 | 2019-01-08 | 广州永士达医疗科技有限责任公司 | 一种光学延迟线装置 |
JP2019212863A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | 株式会社ミツトヨ | 光吸収装置、及びレーザ装置 |
-
1995
- 1995-12-25 JP JP33675695A patent/JPH09179078A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0929206A2 (en) * | 1997-12-19 | 1999-07-14 | Lucent Technologies Inc. | Thermal housing for optical circuits |
US5994679A (en) * | 1997-12-19 | 1999-11-30 | Lucent Technologies Inc. | Thermal housing for optical circuits |
EP0929206A3 (en) * | 1997-12-19 | 2001-02-28 | Lucent Technologies Inc. | Thermal housing for optical circuits |
KR20000002270A (ko) * | 1998-06-18 | 2000-01-15 | 김영환 | 펠티에 효과를 이용한 온도 제어 장치 |
JP2002540450A (ja) * | 1999-03-22 | 2002-11-26 | ジェムファイアー・コーポレーション | 光電子および光子デバイス |
US6601401B2 (en) | 2000-09-25 | 2003-08-05 | Nec Corporation | Temperature controller and light-waveguide with the same |
KR100686445B1 (ko) * | 2002-04-02 | 2007-02-23 | 스미덴오프콤 가부시기가이샤 | 온도제어장치와 어레이 도파로 격자형 광파장 합분파기 |
US7050673B2 (en) * | 2002-04-02 | 2006-05-23 | Sumiden Opcom, Ltd. | Temperature control device and arrayed waveguide grating optical wavelength multiplexer/demultiplexer |
WO2003083537A1 (fr) * | 2002-04-02 | 2003-10-09 | Sumiden Opcom,Ltd. | Regulateur de temperature et multiplexeur/demultiplexeur en longueur d'onde optique de type a reseaux de guides d'ondes |
JP2009025843A (ja) * | 2008-11-04 | 2009-02-05 | Kyocera Corp | 光電子混在基板 |
JP4531103B2 (ja) * | 2008-11-04 | 2010-08-25 | 京セラ株式会社 | 光電子混在基板 |
US8111724B2 (en) | 2009-07-07 | 2012-02-07 | International Business Machines Corporation | Temperature control device for optoelectronic devices |
US8363686B2 (en) | 2009-07-07 | 2013-01-29 | International Business Machines Corporation | Temperature control device for optoelectronic devices |
US8912032B2 (en) | 2009-07-07 | 2014-12-16 | International Business Machines Corporation | Temperature control device for optoelectronic devices |
JP2019212863A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | 株式会社ミツトヨ | 光吸収装置、及びレーザ装置 |
CN109164571A (zh) * | 2018-09-27 | 2019-01-08 | 广州永士达医疗科技有限责任公司 | 一种光学延迟线装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4689659A (en) | Temperature controller for semiconductor device | |
EP0420904A1 (en) | Biochemical reaction machine | |
JPH09179078A (ja) | 光遅延装置 | |
JP4899393B2 (ja) | 導波路型可変光減衰器 | |
JP2003042985A (ja) | 示差走査熱量計 | |
JP2954908B2 (ja) | 基板の温度調整装置 | |
JPH08186205A (ja) | 温度制御装置及び方法 | |
JP2002098845A (ja) | 温度調整装置および温度調整装置付き光導波路デバイス | |
EP1227702B1 (en) | Optical device module having heat transfer medium via phase transformation | |
JPH08220406A (ja) | 恒温ホルダーおよびこれを用いた光学装置 | |
KR100385577B1 (ko) | 열전소자를 이용한 온도조절 실험장치 및 이의 온도제어방법 | |
KR100416967B1 (ko) | 열전달 장치를 구비한 평면 광도파로 소자 모듈 | |
JPH10294618A (ja) | 恒温構造を有する高安定水晶発振器 | |
JPH0580360A (ja) | 光スイツチ | |
JP5126386B2 (ja) | 導波路型可変光減衰器 | |
JP2003215369A (ja) | 熱光学光導波路デバイス | |
JPS6321100A (ja) | アイロン | |
JPS6141131A (ja) | 光スイツチ | |
JPH09106882A (ja) | セラミックヒータの温度制御機構 | |
JP2004134475A (ja) | 半導体装置の昇降温装置 | |
JP2000275261A (ja) | 温度補正機構を備えた走査型顕微鏡 | |
US20110128612A1 (en) | Wavelength conversion element | |
JP2021148809A (ja) | 液晶装置 | |
JP2003057458A (ja) | 平面型光導波回路部品用ヒーターユニット及び平面型光導波回路実装体 | |
JPH05100195A (ja) | 光書き込みヘツド |