JPH03139892A - 放電タイミング自動調整装置 - Google Patents
放電タイミング自動調整装置Info
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- JPH03139892A JPH03139892A JP27603889A JP27603889A JPH03139892A JP H03139892 A JPH03139892 A JP H03139892A JP 27603889 A JP27603889 A JP 27603889A JP 27603889 A JP27603889 A JP 27603889A JP H03139892 A JPH03139892 A JP H03139892A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
〔産業上の利用分野〕
本発明は、銅蒸気レーザ（ＣＶＬ）増幅システム等に使
用される放電タイミング自動：Ａ整装置に関する。
用される放電タイミング自動：Ａ整装置に関する。
従来より、レーザ光によるウラン濃縮では、ＣＶＬ増幅
システムが色素レーザ励起用光源として用いられている
。一般に、ｃｖＬ増幅システムは安定でかつ大出力のレ
ーザ光を得るために放電タイミング自動調整装置が用い
られている。放電タイミング自動調整装置は、一つの発
振器と複数の増幅器とから構成されていて、発振器およ
び複数の増幅器に放電のためのトリガ信号を与えて所定
のタイミングで放電させ、発振器がら出力されるレーザ
光を複数の増幅器で次々と増幅して出力するものである
。
システムが色素レーザ励起用光源として用いられている
。一般に、ｃｖＬ増幅システムは安定でかつ大出力のレ
ーザ光を得るために放電タイミング自動調整装置が用い
られている。放電タイミング自動調整装置は、一つの発
振器と複数の増幅器とから構成されていて、発振器およ
び複数の増幅器に放電のためのトリガ信号を与えて所定
のタイミングで放電させ、発振器がら出力されるレーザ
光を複数の増幅器で次々と増幅して出力するものである
。
ところで、発振器および複数の増幅器にトリガ信号が入
力してから放電するまでの時間はドリフトすることが知
られている。このため、従来のＣＶＬ増幅システムは、
発振器および複数の増幅器の各放電回路内に電流プロー
ブが設けられていて、各電流プローブの出力信号から発
振器および各増幅器間の放電時間差を測定し、予め定め
られている最適時間差となるように放電のためのトリガ
信号を出力するタイミングを調整している。
力してから放電するまでの時間はドリフトすることが知
られている。このため、従来のＣＶＬ増幅システムは、
発振器および複数の増幅器の各放電回路内に電流プロー
ブが設けられていて、各電流プローブの出力信号から発
振器および各増幅器間の放電時間差を測定し、予め定め
られている最適時間差となるように放電のためのトリガ
信号を出力するタイミングを調整している。
ところが、従来の放電タイミング自動調整装置は、発振
器および複数の増幅器間の放電タイミングを予め定めた
タイミングに自動調整するという点では優れているが、
長時間の運転等により装置自体の最適放電タイミングが
当初の設定値から変動してしまった場合には、放電タイ
ミングを自動的に最適放電タイミングに自動調整するこ
とができない。そのため、装置自体の最適放電タイミン
グが変動した場合には安定で大出力のレーザ光を得るこ
とができず、また最適放電タイミングの調整も運転員が
自ら調整しなければならなかった。
器および複数の増幅器間の放電タイミングを予め定めた
タイミングに自動調整するという点では優れているが、
長時間の運転等により装置自体の最適放電タイミングが
当初の設定値から変動してしまった場合には、放電タイ
ミングを自動的に最適放電タイミングに自動調整するこ
とができない。そのため、装置自体の最適放電タイミン
グが変動した場合には安定で大出力のレーザ光を得るこ
とができず、また最適放電タイミングの調整も運転員が
自ら調整しなければならなかった。
したがって、従来の放電タイミング自動調整装置は、最
適放電タイミングを運転員が調整しなければならず煩雑
な作業が必要であり、また装置の最適放電タイミングが
変動すると、放電タイミングを自動的に最適放電タイミ
ングに復帰させることができず、安定で大出力のレーザ
光を得ることができなくなるという問題があった。
適放電タイミングを運転員が調整しなければならず煩雑
な作業が必要であり、また装置の最適放電タイミングが
変動すると、放電タイミングを自動的に最適放電タイミ
ングに復帰させることができず、安定で大出力のレーザ
光を得ることができなくなるという問題があった。
本発明は以上のような実情に鑑みて成されたもので、装
置自体の最適放電タイミングが変動しても、自動的に最
適放電タイミングとすることができ、常に安定で大出力
のレーザ光を得ることができる放電タイミング自動調整
装置を提供することを目的とする。
置自体の最適放電タイミングが変動しても、自動的に最
適放電タイミングとすることができ、常に安定で大出力
のレーザ光を得ることができる放電タイミング自動調整
装置を提供することを目的とする。
［発明の構成］
〔課題を解決するための手段〕
本発明は上記課題を解決するために、複数の増幅器を所
定のタイミングで放電させて発振器から出力されるレー
ザ光を順次増幅して出力する増幅光学系と、前記発振器
および複数の増幅器の各々に対して放電タイミング信号
を出力するタイミング信号発生手段と、前記発振器およ
び複数の増幅器間での放電時間差を測定する放電タイミ
ング測定手段と、この放電タイミング測定手段で測定さ
れた放電時間差に基づいて前記発振器および複数の増幅
器間の放電時間差が予め設定されている放電時間差とな
るように前記放電タイミング信号を出力するタイミング
を修正する手段とを備えた放電タイミング自動調整装置
において、前記増幅光学系で増幅されたレーザ光の一部
を抽出する分光手段と、この分光手段によって抽出され
たレーザ光のビームプロファイルに基づいて装置自体の
現在の最適放電タイミングを求め、前記タイミング修正
手段に予め定められている放電時間差を、現在の最適放
電タイミングによる放電時間差に更新する手段とを備え
る構成とした。
定のタイミングで放電させて発振器から出力されるレー
ザ光を順次増幅して出力する増幅光学系と、前記発振器
および複数の増幅器の各々に対して放電タイミング信号
を出力するタイミング信号発生手段と、前記発振器およ
び複数の増幅器間での放電時間差を測定する放電タイミ
ング測定手段と、この放電タイミング測定手段で測定さ
れた放電時間差に基づいて前記発振器および複数の増幅
器間の放電時間差が予め設定されている放電時間差とな
るように前記放電タイミング信号を出力するタイミング
を修正する手段とを備えた放電タイミング自動調整装置
において、前記増幅光学系で増幅されたレーザ光の一部
を抽出する分光手段と、この分光手段によって抽出され
たレーザ光のビームプロファイルに基づいて装置自体の
現在の最適放電タイミングを求め、前記タイミング修正
手段に予め定められている放電時間差を、現在の最適放
電タイミングによる放電時間差に更新する手段とを備え
る構成とした。
本発明は以上のような手段を講じたことにより、増幅光
学系の発振器および複数の増幅器はタイミング信号発生
手段から出力された放電タイミング信号によって所定の
タイミングで放電し、発振器から出力されるレーザ光が
順次増幅され、増幅されたレーザ光が増幅光学系から出
力される。
学系の発振器および複数の増幅器はタイミング信号発生
手段から出力された放電タイミング信号によって所定の
タイミングで放電し、発振器から出力されるレーザ光が
順次増幅され、増幅されたレーザ光が増幅光学系から出
力される。
増幅光学系における発振器および複数の増幅器間の放電
時間差は放電タイミング測定手段によって測定される。
時間差は放電タイミング測定手段によって測定される。
この測定結果は、タイミング修正手段で予め設定されて
いる放電時間差の設定値と比較され、実際の放電時間差
が設定値からずれている場合には、放電タイミング信号
を出力するタイミングが修正され、増幅光学系での放電
タイミングが自動調整される。一方、増幅光学系のレー
ザ光の一部は、分光手段によって抽出される。装置自体
の変化により最適放電タイミングが変化すると、この抽
出されるレーザ光のビームプロファイルも変化する。そ
こで、放電時間差更新手段により、増幅光学系から抽出
されたレーザ光のビームプロファイルから装置自体の現
在の最適放電タイミングが求められ、放電タイミング修
正手段に設定されている放電時間差が現在の最適放電タ
イミングに応じた放電時間差に更新される。
いる放電時間差の設定値と比較され、実際の放電時間差
が設定値からずれている場合には、放電タイミング信号
を出力するタイミングが修正され、増幅光学系での放電
タイミングが自動調整される。一方、増幅光学系のレー
ザ光の一部は、分光手段によって抽出される。装置自体
の変化により最適放電タイミングが変化すると、この抽
出されるレーザ光のビームプロファイルも変化する。そ
こで、放電時間差更新手段により、増幅光学系から抽出
されたレーザ光のビームプロファイルから装置自体の現
在の最適放電タイミングが求められ、放電タイミング修
正手段に設定されている放電時間差が現在の最適放電タ
イミングに応じた放電時間差に更新される。
以下、本発明の実施例について説明する。
第１図は本発明の実施例に係る放電タイミング自動調整
装置の構成を示す図である。この放電タイミング自動調
整装置は、増幅されたＣＶＬレーザ光を出力する増幅光
学系がＣＶＬ発振器１および複数のＣＶＬ増幅器２−１
〜２−Ｎから構成されている。ＣＶＬ発振器１およびＣ
ＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎの各々の電源３−１〜３−Ｎ
にはトリガ信号発生器４から出力される放電タイミング
信号としてのトリが信号が入力され放電が行われる。Ｃ
ＶＬ発振器１およびＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎの各々
の放電回路内には電流プローブ（負図示）が設けられて
いて、この電流プローブから出力される信号がタイミン
グ測定器５に入力される。タイミング測定器５は入力信
号からＣＶＬ発振器１およびＣＶＬ増幅器２−１〜２−
Ｎの放電時間差を測定し、その測定結果を示す測定信号
を制御装置６に出力する。また、増幅光学系の各ＣＶＬ
増幅器２−１〜２−Ｎのそれぞれの出力側には、ビーム
スプリッタ７−１〜７−Ｎが設けられている。このビー
ムスプリッタ７−１〜７−Ｎで抽出されるＣＶＬレーザ
光の一部はビームモニタ８−１〜８−Ｎに導かれる。ビ
ームモニタ８−１〜８−ＮはＣＣＤやフォトダイオード
センサアレイ等のビームパターン検出器からなり、取込
まれたＣＶＬレーザ光のビームプロファイルを光電変換
し、その光電変換信号をモニタ信号処理器９に出力する
ものである。モニタ信号処理器９はビームモニタ８−１
〜８−Ｎからのアナログ信号をＡ／Ｄ変換し、そのデジ
タル信号を画像処理してＣＶＬレーザ光のビームプロフ
ァイルを検出する機能を有している。モニタ信号処理器
１０で検出されたビームプロファイルデータは制御装置
６に送信される。制御装置６は、最適放電タイミングと
して予め定められている放電時間差とタイミング測定器
５で測定した放電時間差とを比較し、測定された放電時
間差が設定値からずれている場合には、増幅光学系での
放電タイミングが設定されている最適タイミングとなる
ようにトリが信号の出力タイミングを修正する機能と、
モニタ信号処理器９からのビームプロファイルデータに
基づいて装置自体の現在の最適放電タイミングを求め、
前回求めた最適放電タイミングとして設定されている放
電時間差を今回求めた最適放電タイミングに基づく放電
時間差に更新する機能とを有している。なお、増幅光学
系の放電タイミングを設定されている放電タイミングＴ
に近付けるループは最適放電タイミングを更新するルー
プよりも十分早くなるように設定されている。
装置の構成を示す図である。この放電タイミング自動調
整装置は、増幅されたＣＶＬレーザ光を出力する増幅光
学系がＣＶＬ発振器１および複数のＣＶＬ増幅器２−１
〜２−Ｎから構成されている。ＣＶＬ発振器１およびＣ
ＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎの各々の電源３−１〜３−Ｎ
にはトリガ信号発生器４から出力される放電タイミング
信号としてのトリが信号が入力され放電が行われる。Ｃ
ＶＬ発振器１およびＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎの各々
の放電回路内には電流プローブ（負図示）が設けられて
いて、この電流プローブから出力される信号がタイミン
グ測定器５に入力される。タイミング測定器５は入力信
号からＣＶＬ発振器１およびＣＶＬ増幅器２−１〜２−
Ｎの放電時間差を測定し、その測定結果を示す測定信号
を制御装置６に出力する。また、増幅光学系の各ＣＶＬ
増幅器２−１〜２−Ｎのそれぞれの出力側には、ビーム
スプリッタ７−１〜７−Ｎが設けられている。このビー
ムスプリッタ７−１〜７−Ｎで抽出されるＣＶＬレーザ
光の一部はビームモニタ８−１〜８−Ｎに導かれる。ビ
ームモニタ８−１〜８−ＮはＣＣＤやフォトダイオード
センサアレイ等のビームパターン検出器からなり、取込
まれたＣＶＬレーザ光のビームプロファイルを光電変換
し、その光電変換信号をモニタ信号処理器９に出力する
ものである。モニタ信号処理器９はビームモニタ８−１
〜８−Ｎからのアナログ信号をＡ／Ｄ変換し、そのデジ
タル信号を画像処理してＣＶＬレーザ光のビームプロフ
ァイルを検出する機能を有している。モニタ信号処理器
１０で検出されたビームプロファイルデータは制御装置
６に送信される。制御装置６は、最適放電タイミングと
して予め定められている放電時間差とタイミング測定器
５で測定した放電時間差とを比較し、測定された放電時
間差が設定値からずれている場合には、増幅光学系での
放電タイミングが設定されている最適タイミングとなる
ようにトリが信号の出力タイミングを修正する機能と、
モニタ信号処理器９からのビームプロファイルデータに
基づいて装置自体の現在の最適放電タイミングを求め、
前回求めた最適放電タイミングとして設定されている放
電時間差を今回求めた最適放電タイミングに基づく放電
時間差に更新する機能とを有している。なお、増幅光学
系の放電タイミングを設定されている放電タイミングＴ
に近付けるループは最適放電タイミングを更新するルー
プよりも十分早くなるように設定されている。
次に、このように構成された放電タイミング自動調整装
置の動作について第２図（ａ）（ｂ）を参照して説明す
る。なお、第２図（ａ）はトリガ信号発生器４からＣＶ
Ｌ発振器１．ＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎに対して出力
される各トリガ信号を示しており、同図（ｂ）は発振器
１．増幅器２−１〜２−Ｎに設けた各電流プローブから
の出力信号を示している。
置の動作について第２図（ａ）（ｂ）を参照して説明す
る。なお、第２図（ａ）はトリガ信号発生器４からＣＶ
Ｌ発振器１．ＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎに対して出力
される各トリガ信号を示しており、同図（ｂ）は発振器
１．増幅器２−１〜２−Ｎに設けた各電流プローブから
の出力信号を示している。
トリガ信号発生器４からは、ＣＶＬ発振器１゜ＣＶＬ増
幅器２−１〜２−Ｎに対して第２図（ａ）に示すタイミ
ングでトリガ信号が出力される。各トリガ信号のデイレ
イ時間（Ｔｓ−＋〜ＴＳ−Ｎ）は制御装置６により最適
放電タイミングとして予め設定されたものである。この
ようなトリガ信号が入力したＣＶＬ発振器１．ＣＶＬ増
幅器２−１〜２−Ｎは順次放電して増幅されたＣＶＬレ
ーザ光が増幅光学系より出力される。ＣＶＬ発振器１゜
ＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎが放電すると、各電流プロ
ーブからは第２図（ｂ）に示す信号が出力される。タイ
ミング測定器５は電流プローブの出力信号からＣＶＬ発
振器１および複数のＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎ間の放
電時間差（ＴＭ−１〜ＴＭ−Ｎ）を／＃１定し、測定結
果が制御装置６に出力される。制御装置６では、タイミ
ング測定器５より人力される実際の放電時間差ＴＭと予
め設定されている最適放電タイミングとしての放電時間
差Ｔとから下式による演算が行われ、デイレイ時間Ｔ、
が更新される。
幅器２−１〜２−Ｎに対して第２図（ａ）に示すタイミ
ングでトリガ信号が出力される。各トリガ信号のデイレ
イ時間（Ｔｓ−＋〜ＴＳ−Ｎ）は制御装置６により最適
放電タイミングとして予め設定されたものである。この
ようなトリガ信号が入力したＣＶＬ発振器１．ＣＶＬ増
幅器２−１〜２−Ｎは順次放電して増幅されたＣＶＬレ
ーザ光が増幅光学系より出力される。ＣＶＬ発振器１゜
ＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎが放電すると、各電流プロ
ーブからは第２図（ｂ）に示す信号が出力される。タイ
ミング測定器５は電流プローブの出力信号からＣＶＬ発
振器１および複数のＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎ間の放
電時間差（ＴＭ−１〜ＴＭ−Ｎ）を／＃１定し、測定結
果が制御装置６に出力される。制御装置６では、タイミ
ング測定器５より人力される実際の放電時間差ＴＭと予
め設定されている最適放電タイミングとしての放電時間
差Ｔとから下式による演算が行われ、デイレイ時間Ｔ、
が更新される。
Ｔ５−Ｔｓ （Ｔ ＴＭ）
このようにして、ＣＶＬ発振器１．複数のＣＶＬ増幅器
２−１〜２−Ｎの放電タイミングが最適放電タイミング
となる放電時間差Ｔ近傍に自動調整される。
２−１〜２−Ｎの放電タイミングが最適放電タイミング
となる放電時間差Ｔ近傍に自動調整される。
一方、各ＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎで増幅されたＣＶ
Ｌレーザ光は、それぞれの出力側に設けられたビームス
プリッタ７−１〜７−Ｎで分光されて、ビームモニタ８
−１〜８−Ｈに導かれる。
Ｌレーザ光は、それぞれの出力側に設けられたビームス
プリッタ７−１〜７−Ｎで分光されて、ビームモニタ８
−１〜８−Ｈに導かれる。
各ビームモニタ８−１〜８−Ｎには、導かれたＣＶＬレ
ーザ光のビームプロファイルが形成されその光強度分布
に応じた光電変換信号が出力される。
ーザ光のビームプロファイルが形成されその光強度分布
に応じた光電変換信号が出力される。
ここで、ＣＶＬレーザ光は、放電タイミングが異なると
第３図〜第５図に示すように、ビームプロファイルが変
化することが知られている。すなわち、放電タイミング
が早すぎると、第３図（ａ）（ｂ）に示すようにビーム
周辺部の光強度が強くなり、中心部の光強度が弱くなる
。また、放電タイミングが最適の場合には、第４図（ａ
）（ｂ）に示すように、ビームの光強度分布は一様とな
る。
第３図〜第５図に示すように、ビームプロファイルが変
化することが知られている。すなわち、放電タイミング
が早すぎると、第３図（ａ）（ｂ）に示すようにビーム
周辺部の光強度が強くなり、中心部の光強度が弱くなる
。また、放電タイミングが最適の場合には、第４図（ａ
）（ｂ）に示すように、ビームの光強度分布は一様とな
る。
また、放電タイミングが遅すぎると、第５図（ａ）（ｂ
）に示す様に、中心部の光強度が強く周辺部の光強度は
弱くなる。
）に示す様に、中心部の光強度が強く周辺部の光強度は
弱くなる。
モニタ信号処理器９は放電タイミングに対して以上のよ
うな特性を有するＣＶＬレーザ光のビームプロファイル
を検出し、デジタル信号として制御装置６に出力する。
うな特性を有するＣＶＬレーザ光のビームプロファイル
を検出し、デジタル信号として制御装置６に出力する。
制御装置６は、最適放電タイミング時のビームプロファ
イルデータが記憶されており、モニタ信号処理器９から
送られてくるビームプロファイルデータと比較し、現在
の装置自体の最適放電タイミングＴが求められ、この求
めた最適放電タイミングとなるように放電時間差Ｔ、が
更新される。
イルデータが記憶されており、モニタ信号処理器９から
送られてくるビームプロファイルデータと比較し、現在
の装置自体の最適放電タイミングＴが求められ、この求
めた最適放電タイミングとなるように放電時間差Ｔ、が
更新される。
したがって、運転員が最適放電タイミングとなるように
放電時間差Ｔｓを設定しな（でも、またはＣＶＬ電源電
圧の変動等により最適放電タイミングが変化しても、放
電時間差Ｔｓが現在の最適放電タイミングとなるように
自動的に更新される。
放電時間差Ｔｓを設定しな（でも、またはＣＶＬ電源電
圧の変動等により最適放電タイミングが変化しても、放
電時間差Ｔｓが現在の最適放電タイミングとなるように
自動的に更新される。
このような本実施例によれば、増幅光学系を構成するＣ
ＶＬ発振器１．複数の増幅器２−１〜２−Ｎの放電時間
差を各放電回路内に設けた電流プローブの出力信号から
タイミング測定器５で求め、この測定された放電時間差
Ｔ、を最適放電タイミングとして定められている放電時
間差Ｔ５となるようにトリガ信号発生器４から出力され
るトリガ信号の出力タイミングを修正するようにしたの
で、ＣＶＬ発振器１および複数の増幅器２−１〜２−Ｎ
間の放電タイミングを予め定めた最適放電タイミングに
自動的に調整することができる。
ＶＬ発振器１．複数の増幅器２−１〜２−Ｎの放電時間
差を各放電回路内に設けた電流プローブの出力信号から
タイミング測定器５で求め、この測定された放電時間差
Ｔ、を最適放電タイミングとして定められている放電時
間差Ｔ５となるようにトリガ信号発生器４から出力され
るトリガ信号の出力タイミングを修正するようにしたの
で、ＣＶＬ発振器１および複数の増幅器２−１〜２−Ｎ
間の放電タイミングを予め定めた最適放電タイミングに
自動的に調整することができる。
また、各ＣＶＬ増幅器２−１〜２−Ｎの出力側に設けた
ビームスプリッタ７−１〜７−ＮでＣＶＬレーザ光の一
部を抽出し、この抽出されたＣＶＬレーザ光のビームプ
ロファイルから装置自体の現在の最適放電タイミングを
求め前回設定された放電時間、ｉ Ｔ Ｓを更新するよ
うにしたので、自動的に最適放電タイミングとなる放電
時間差Ｔ５を設定することができ、運転旦に係る負担を
軽減することができる。また、最適放電タイミングか変
動しても自動的に現在の最適放電タイミングば設定でき
、よって安定な人出力のレーザを得ることができる。
ビームスプリッタ７−１〜７−ＮでＣＶＬレーザ光の一
部を抽出し、この抽出されたＣＶＬレーザ光のビームプ
ロファイルから装置自体の現在の最適放電タイミングを
求め前回設定された放電時間、ｉ Ｔ Ｓを更新するよ
うにしたので、自動的に最適放電タイミングとなる放電
時間差Ｔ５を設定することができ、運転旦に係る負担を
軽減することができる。また、最適放電タイミングか変
動しても自動的に現在の最適放電タイミングば設定でき
、よって安定な人出力のレーザを得ることができる。
なお、上記実施例では放電タイミングのずれをＣＶＬレ
ーザ光のビームプロファイルから求める例を示したが、
ＣｖＬレーザ光のパルス幅によっても放電タイミングが
最適であるか否か判定することができる。
ーザ光のビームプロファイルから求める例を示したが、
ＣｖＬレーザ光のパルス幅によっても放電タイミングが
最適であるか否か判定することができる。
［発明の効果］
以上詳記したように本発明によれば、装置自体の最適放
電タイミングが変動しても、自動的に最適放電タイミン
グに調整することができ、常に安定で大出力のレーザ光
を得ることができ、しかも運転員の負担を軽減すること
のできる放電タイミング自動調整装置を提供できる。
電タイミングが変動しても、自動的に最適放電タイミン
グに調整することができ、常に安定で大出力のレーザ光
を得ることができ、しかも運転員の負担を軽減すること
のできる放電タイミング自動調整装置を提供できる。
第１図は本発明の放電タイミング自動調整装置の構成図
、第２図（ａ）はトリガ信号のタイミングを示す図、第
２図（ｂ）は電流プローブの出力信号を示す図、第３図
〜第５図は放電タイミングの異なるＣＶＬレーザ光のビ
ームプロファイルおよび光強度を示す図である。 １ ・ＣＶ Ｌ発振器、２−１〜２− Ｎ−ＣＶ Ｌ
Ｆｊ幅器、４・・・トリが信号発生器、５・・・タイミ
ング測定器、６・・・制御装置、７−１〜７−Ｎ・・・
ビームスプリッタ、８−１〜８−Ｎ・・・ビームモニタ
、９・・・モニタ信号処理機。
、第２図（ａ）はトリガ信号のタイミングを示す図、第
２図（ｂ）は電流プローブの出力信号を示す図、第３図
〜第５図は放電タイミングの異なるＣＶＬレーザ光のビ
ームプロファイルおよび光強度を示す図である。 １ ・ＣＶ Ｌ発振器、２−１〜２− Ｎ−ＣＶ Ｌ
Ｆｊ幅器、４・・・トリが信号発生器、５・・・タイミ
ング測定器、６・・・制御装置、７−１〜７−Ｎ・・・
ビームスプリッタ、８−１〜８−Ｎ・・・ビームモニタ
、９・・・モニタ信号処理機。
Claims (1)
- 複数の増幅器を所定のタイミングで放電させて発振器か
ら出力されるレーザ光を順次増幅して出力する増幅光学
系と、前記発振器および複数の増幅器の各々に対して放
電タイミング信号を出力するタイミング信号発生手段と
、前記発振器および複数の増幅器間での放電時間差を測
定する放電タイミング測定手段と、この放電タイミング
測定手段で測定された放電時間差に基づいて前記発振器
および複数の増幅器間の放電時間差が予め設定されてい
る放電時間差となるように前記放電タイミング信号を出
力するタイミングを修正する手段とを備えた放電タイミ
ング自動調整装置において、前記増幅光学系で増幅され
たレーザ光の一部を抽出する分光手段と、この分光手段
によって抽出されたレーザ光のビームプロファイルに基
づいて装置自体の現在の最適放電タイミングを求め、前
記タイミング修正手段に予め定められている放電時間差
を、現在の最適放電タイミングによる放電時間差に更新
する手段とを具備したことを特徴とする放電タイミング
自動調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276038A JP2585441B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 放電タイミング自動調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276038A JP2585441B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 放電タイミング自動調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03139892A true JPH03139892A (ja) | 1991-06-14 |
| JP2585441B2 JP2585441B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=17563921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1276038A Expired - Lifetime JP2585441B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 放電タイミング自動調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585441B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002353545A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-12-06 | Komatsu Ltd | 注入同期式又はｍｏｐａ方式のレーザ装置 |
-
1989
- 1989-10-25 JP JP1276038A patent/JP2585441B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002353545A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-12-06 | Komatsu Ltd | 注入同期式又はｍｏｐａ方式のレーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2585441B2 (ja) | 1997-02-26 |
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