JPH03138991A - 複数波長発生固体レーザ - Google Patents
複数波長発生固体レーザInfo
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- JPH03138991A JPH03138991A JP27666689A JP27666689A JPH03138991A JP H03138991 A JPH03138991 A JP H03138991A JP 27666689 A JP27666689 A JP 27666689A JP 27666689 A JP27666689 A JP 27666689A JP H03138991 A JPH03138991 A JP H03138991A
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- 239000007787 solid Substances 0.000 title abstract 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 60
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、非線形光学効果によって複数の波長を発生す
る複数波長発生固体レーザに関するものである。
る複数波長発生固体レーザに関するものである。
［従来技術］
従来、固体レーザと非線形光学結晶を用いた第二高調波
発生及び和周波の発生装置は第６図のように光共振器１
０、レーザ活性媒体１２、励起用半導体レーザ１４、集
光レンズ系１５、非線形光学結晶１６から構成されてい
る。ここで光共振器１０は入力ミラー１８と出力ミラー
２０によって形成されている。固体レーザによって発生
する基本波は非線形光学結晶内を進行することにより第
二高調波及び和周波にエネルギーが移行される。
発生及び和周波の発生装置は第６図のように光共振器１
０、レーザ活性媒体１２、励起用半導体レーザ１４、集
光レンズ系１５、非線形光学結晶１６から構成されてい
る。ここで光共振器１０は入力ミラー１８と出力ミラー
２０によって形成されている。固体レーザによって発生
する基本波は非線形光学結晶内を進行することにより第
二高調波及び和周波にエネルギーが移行される。
このとき基本波の位相速度と第二高調波及び和周波の位
相速度がある一定の条件を満たすとき効率よくエネルギ
ーの移行が行われ、この条件を位相整合条件という。よ
って非線形光学結晶１６は光共振器１０内に前記位相整
合条件を満たすように設置される。この装置においてレ
ーザ活性媒体１２にＮｄ ： ＹＡＧを使用すると１１
０６４ｎのレーザ光２４が基本波として得られる。この
とき非線形光学結晶がグリーン光用ＫＴＰ結晶（ＫＴｉ
ＯＰＯ，）１６である場合、第二高調波である５３２ｎ
ｍのグリーン光２６が発生する。また、非線形光学結晶
がブルー光用ＫＴＰ結晶１７である場合半導体レーザ１
４からの８０８ ｎ、 ｍのレーザ光２２とＮｄ ：
ＹＡＧレーザの基本波である１１０６４ｎのレーザ光２
４との和周波として４５９ｎｍのブルー光２７が発生す
る。グリーン光２６の発生時とブルー光２７の発生時で
はＫＴＰ結晶の結晶軸に対する位相整合条件を満たす方
向が違うため、グリーン光用ＫＴＰ結晶１６とブルー光
用ＫＴＰ結晶１７ではそれぞれの位相整合条件を満たす
方向に基本波が入射するように結晶面が切断されている
。そのためグリーン光用ＫＴＰ結晶１６とブルー光用Ｋ
ＴＰ結晶１７では違う切断面をもった別の結晶が使用さ
れていた。
相速度がある一定の条件を満たすとき効率よくエネルギ
ーの移行が行われ、この条件を位相整合条件という。よ
って非線形光学結晶１６は光共振器１０内に前記位相整
合条件を満たすように設置される。この装置においてレ
ーザ活性媒体１２にＮｄ ： ＹＡＧを使用すると１１
０６４ｎのレーザ光２４が基本波として得られる。この
とき非線形光学結晶がグリーン光用ＫＴＰ結晶（ＫＴｉ
ＯＰＯ，）１６である場合、第二高調波である５３２ｎ
ｍのグリーン光２６が発生する。また、非線形光学結晶
がブルー光用ＫＴＰ結晶１７である場合半導体レーザ１
４からの８０８ ｎ、 ｍのレーザ光２２とＮｄ ：
ＹＡＧレーザの基本波である１１０６４ｎのレーザ光２
４との和周波として４５９ｎｍのブルー光２７が発生す
る。グリーン光２６の発生時とブルー光２７の発生時で
はＫＴＰ結晶の結晶軸に対する位相整合条件を満たす方
向が違うため、グリーン光用ＫＴＰ結晶１６とブルー光
用ＫＴＰ結晶１７ではそれぞれの位相整合条件を満たす
方向に基本波が入射するように結晶面が切断されている
。そのためグリーン光用ＫＴＰ結晶１６とブルー光用Ｋ
ＴＰ結晶１７では違う切断面をもった別の結晶が使用さ
れていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、第二高調波と和周波の両方が必要とされ
る装置の場合、第二高調波用非線形光学結晶及び固体レ
ーザと和周波用非線形光学結晶及び固体レーザを設置し
なければならず、コストを低く抑えることが困難であっ
た。
る装置の場合、第二高調波用非線形光学結晶及び固体レ
ーザと和周波用非線形光学結晶及び固体レーザを設置し
なければならず、コストを低く抑えることが困難であっ
た。
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
のであり、使用する非線形光学結晶の数を減らし、低コ
ストで信頼性の高い複数波長発生固体レーザを提供する
ことを目的としている。
のであり、使用する非線形光学結晶の数を減らし、低コ
ストで信頼性の高い複数波長発生固体レーザを提供する
ことを目的としている。
［課題を解決するための手段］
この目的を達成するために本発明の複数波長発生固体レ
ーザは、第二高調波と和周波の位相整合条件をそれぞれ
満たす２つの方向に光が進行できるように成形された非
線形光学結晶を使用している。
ーザは、第二高調波と和周波の位相整合条件をそれぞれ
満たす２つの方向に光が進行できるように成形された非
線形光学結晶を使用している。
［作用］
上記の構成を有する本発明の複数波長発生レーザは基本
波が一つの非線形結晶中を異なった位相整合条件の方向
に進行することにより第二高調波及び和周波を発生する
。
波が一つの非線形結晶中を異なった位相整合条件の方向
に進行することにより第二高調波及び和周波を発生する
。
［実施例］
以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
まず最初に第１図を参照して構成を説明する。
ここで従来技術に示されている部分と同一の部分には同
一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。本実施例
の装置は光共振器１０、Ｎｄ：ＹＡＧロッド１２、グリ
ーン光ブルー光兼用ＫＴＰ結晶（ＫＴ ｉ ＯＰ Ｏａ
） ３０、ＫＴＰ結晶回転台３２、励起用半導体レー
ザ１４、集光レンズ系１５から構成されている。光共振
器１０は入力ミラー１８と出力ミラー２０によって形成
され、入力ミラー１８は８０８ｎｍ付近の波長に対して
非反射、１１０６４ｎ付近および５３２ｎｍ付近の波長
に対して高反射、出力ミラー２０は１１０６４ｎ付近の
波長に対して高反射、５３２ｎｍ付近及び４５９ｎｍ付
近の波長に対して非反射であるようにコーティングが施
されている。従来技術で述べたように、グリーン光用Ｋ
ＴＰ結晶とブルー光用ＫＴＰ結晶では位相整合条件を満
たすときの結晶軸に対する光の進行方向が異なる。つま
りグリーン光となる第二高調波を発生するには、ｘ、
ｙ、 ｚをＫＴＰの結晶とするとｘｙ平面に平行で
Ｘ軸から一定の角度の方向（以後Ｇ方向）に基本波を入
射させたときが位相整合条件を見たし、グリーン光への
変換の効率が最も高く、それに対してブルー光となる和
周波を発生するには、ｙ軸に平行な方向（以後Ｂ方向）
に基本波を入射させたときブルー光への変換効率が最も
高い。この２つの入射方向に対してそれぞれ垂直な面を
ＫＴＰ結晶がもつように本実施例で使用したグリーン光
ブルー光兼用ＫＴＰ結晶３０は第２図で示されるような
形に成形されている。ここで第２図はＺ方向からこのＫ
ＴＰ結晶３０を見たものであり、立体的にはこの平行四
辺形を底面に持つ四角柱となっている。
一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。本実施例
の装置は光共振器１０、Ｎｄ：ＹＡＧロッド１２、グリ
ーン光ブルー光兼用ＫＴＰ結晶（ＫＴ ｉ ＯＰ Ｏａ
） ３０、ＫＴＰ結晶回転台３２、励起用半導体レー
ザ１４、集光レンズ系１５から構成されている。光共振
器１０は入力ミラー１８と出力ミラー２０によって形成
され、入力ミラー１８は８０８ｎｍ付近の波長に対して
非反射、１１０６４ｎ付近および５３２ｎｍ付近の波長
に対して高反射、出力ミラー２０は１１０６４ｎ付近の
波長に対して高反射、５３２ｎｍ付近及び４５９ｎｍ付
近の波長に対して非反射であるようにコーティングが施
されている。従来技術で述べたように、グリーン光用Ｋ
ＴＰ結晶とブルー光用ＫＴＰ結晶では位相整合条件を満
たすときの結晶軸に対する光の進行方向が異なる。つま
りグリーン光となる第二高調波を発生するには、ｘ、
ｙ、 ｚをＫＴＰの結晶とするとｘｙ平面に平行で
Ｘ軸から一定の角度の方向（以後Ｇ方向）に基本波を入
射させたときが位相整合条件を見たし、グリーン光への
変換の効率が最も高く、それに対してブルー光となる和
周波を発生するには、ｙ軸に平行な方向（以後Ｂ方向）
に基本波を入射させたときブルー光への変換効率が最も
高い。この２つの入射方向に対してそれぞれ垂直な面を
ＫＴＰ結晶がもつように本実施例で使用したグリーン光
ブルー光兼用ＫＴＰ結晶３０は第２図で示されるような
形に成形されている。ここで第２図はＺ方向からこのＫ
ＴＰ結晶３０を見たものであり、立体的にはこの平行四
辺形を底面に持つ四角柱となっている。
このＫＴＰ結晶３０は第３図のようにＫＴＰ結晶回転台
３２の上に設置され、共振器１０内で２軸を中心に回転
し、共振器中の基本波の進行方向がＧ方向あるいはＢ方
向に一致するように切り替えが可能である。
３２の上に設置され、共振器１０内で２軸を中心に回転
し、共振器中の基本波の進行方向がＧ方向あるいはＢ方
向に一致するように切り替えが可能である。
次にグリーン光及びブルー光が発生する過程を順を追っ
て説明する。まずＫＴＰ結晶３０のＧ方向つまりグリー
ン光発生用の方向が基本波の進行方向に一致するように
設置された場合、半導体レーザ１４からのレーザ光２２
は集光レンズ系１５で集光され入力ミラー１８ＫＴＰ結
晶３０を透過し、ＹＡＧロッド１２に吸収される。この
入射光によって励起されたＹＡＧロッド１２は１１０６
４ｎの光２４を増幅し共振器内に光の場が生じる。
て説明する。まずＫＴＰ結晶３０のＧ方向つまりグリー
ン光発生用の方向が基本波の進行方向に一致するように
設置された場合、半導体レーザ１４からのレーザ光２２
は集光レンズ系１５で集光され入力ミラー１８ＫＴＰ結
晶３０を透過し、ＹＡＧロッド１２に吸収される。この
入射光によって励起されたＹＡＧロッド１２は１１０６
４ｎの光２４を増幅し共振器内に光の場が生じる。
１．０６４ｎｍのレーザ光２４はＫＴＰ結晶３０を通過
することにより一部が第二高調波に変換され５３２ｎｍ
のグリーンのレーザ光２６となり出力ミラー２０を透過
し外部に出力される。次にＫＴＰ結晶回転台３２を回転
しＫＴＰ結晶３０のＢ方向つまりブルー光発生用の方向
が基本波の進行方向に一致するように設置された場合、
半導体レーザ１４から発生した８０８ｎｍのレーザ光２
２は集光レンズ系１５で集光され、人力ミラー１８、Ｋ
ＴＰ結晶３０を透過し、ＹＡＧロッド１２に吸収されて
グリーン光発生時と同様に共振器内に光の場が生じる。
することにより一部が第二高調波に変換され５３２ｎｍ
のグリーンのレーザ光２６となり出力ミラー２０を透過
し外部に出力される。次にＫＴＰ結晶回転台３２を回転
しＫＴＰ結晶３０のＢ方向つまりブルー光発生用の方向
が基本波の進行方向に一致するように設置された場合、
半導体レーザ１４から発生した８０８ｎｍのレーザ光２
２は集光レンズ系１５で集光され、人力ミラー１８、Ｋ
ＴＰ結晶３０を透過し、ＹＡＧロッド１２に吸収されて
グリーン光発生時と同様に共振器内に光の場が生じる。
このとき、ＫＴＰ結晶３０内で１１０６４ｎのレーザ光
２４と８０８ｎｍのレーザ光２２が周波数上昇変換され
、和周波である４５９ｎｍのブルーのレーザ光２７を発
生する。グリーン光発生時は、半導体レーザ１４からの
励起光はＹＡＧロッド１２が吸収しやすい波長でよいが
ブルー光発生時は位相整合の関係上８０８ｎｍの励起光
が最も効率よく和周波を発生する。また８Ｑ３ｎｍの波
長はＹＡＧロッドの吸収ピーク付近でもあるため、この
波長に固定しておけば、半導体レーザの波長を調整しな
おす必要がなく、ＫＴＰ結晶３０を回転するだけでグリ
ーン光とブルー光の変換ができる。
２４と８０８ｎｍのレーザ光２２が周波数上昇変換され
、和周波である４５９ｎｍのブルーのレーザ光２７を発
生する。グリーン光発生時は、半導体レーザ１４からの
励起光はＹＡＧロッド１２が吸収しやすい波長でよいが
ブルー光発生時は位相整合の関係上８０８ｎｍの励起光
が最も効率よく和周波を発生する。また８Ｑ３ｎｍの波
長はＹＡＧロッドの吸収ピーク付近でもあるため、この
波長に固定しておけば、半導体レーザの波長を調整しな
おす必要がなく、ＫＴＰ結晶３０を回転するだけでグリ
ーン光とブルー光の変換ができる。
前記の実施例以外に１つのＫＴＰ結晶からグリーン光と
ブルー光を発生する装置として第４図のような実施例も
ある。まず第４図を参照して構成を説明する。本実施例
の装置はブルー光用の光軸４０とグリーン光用の光軸５
０がグリーン光ブルー光兼用ＫＴＰ結晶３０中で交わっ
ている。ブルー光用アライメントは励起用半導体レーザ
４２、集光レンズ系４３、出力ミラー４４、人力ミラー
４５、ＹＡＧロッド４６、ＫＴＰ結晶３０から構成され
ており、グリーン光用アライメントは励起用半導体レー
ザ５２、集光レンズ系５３、出力ミラー５４、ＹＡＧロ
ッド５６、ＫＴＰ結晶３０から構成されている。ここで
ＫＴＰ結晶３０はブルー光用アライメントとグリーン光
用アライメントに共有され、ブルー光、グリーン光がそ
れぞれ位相整合条件を満たす方向に入射するように設定
されている。また、グリーン光用アライメントではＹＡ
Ｇロッド５６の入射面が励起光に対して非反射ＹＡＧレ
ーザ基本波に対して高反射のコーティングがなされてお
り、出力ミラー５４とで共振器を形成している。本実施
例ではＫＴＰ結晶を回転させることなく、光軸４０に沿
ってブルー光４８、光軸５０に沿ってグリーン光５８が
発生する。また第５図は第４図の実施例の変形例であり
、入力ミラー６４、出力ミラー６５で形成される共振器
内にＹＡＧロッド６６、ハーフミラ−６８，７０、ミラ
ー７２，７３，７４，７５．７６．７７を設置してＫＴ
Ｐ結晶３０に二方向から基本波を入射し、レーザ装置を
一組だけ使用してグリーン光８０及びブルー光８２を同
時に出力できる。その他この発明の趣旨を逸脱しない範
囲において種々の変更を加えることができる。例えば、
本実施例では、グリーン光ブルー光兼用結品ＫＴＰを第
２図のように平行四辺形を底面にもつ四角柱としたが、
Ｇ方向とＢ方向に光が進行できればよく、この形にかぎ
らない。またＫＴＰ結晶以外の他の適当な非線形光学材
料を使用してもよい。
ブルー光を発生する装置として第４図のような実施例も
ある。まず第４図を参照して構成を説明する。本実施例
の装置はブルー光用の光軸４０とグリーン光用の光軸５
０がグリーン光ブルー光兼用ＫＴＰ結晶３０中で交わっ
ている。ブルー光用アライメントは励起用半導体レーザ
４２、集光レンズ系４３、出力ミラー４４、人力ミラー
４５、ＹＡＧロッド４６、ＫＴＰ結晶３０から構成され
ており、グリーン光用アライメントは励起用半導体レー
ザ５２、集光レンズ系５３、出力ミラー５４、ＹＡＧロ
ッド５６、ＫＴＰ結晶３０から構成されている。ここで
ＫＴＰ結晶３０はブルー光用アライメントとグリーン光
用アライメントに共有され、ブルー光、グリーン光がそ
れぞれ位相整合条件を満たす方向に入射するように設定
されている。また、グリーン光用アライメントではＹＡ
Ｇロッド５６の入射面が励起光に対して非反射ＹＡＧレ
ーザ基本波に対して高反射のコーティングがなされてお
り、出力ミラー５４とで共振器を形成している。本実施
例ではＫＴＰ結晶を回転させることなく、光軸４０に沿
ってブルー光４８、光軸５０に沿ってグリーン光５８が
発生する。また第５図は第４図の実施例の変形例であり
、入力ミラー６４、出力ミラー６５で形成される共振器
内にＹＡＧロッド６６、ハーフミラ−６８，７０、ミラ
ー７２，７３，７４，７５．７６．７７を設置してＫＴ
Ｐ結晶３０に二方向から基本波を入射し、レーザ装置を
一組だけ使用してグリーン光８０及びブルー光８２を同
時に出力できる。その他この発明の趣旨を逸脱しない範
囲において種々の変更を加えることができる。例えば、
本実施例では、グリーン光ブルー光兼用結品ＫＴＰを第
２図のように平行四辺形を底面にもつ四角柱としたが、
Ｇ方向とＢ方向に光が進行できればよく、この形にかぎ
らない。またＫＴＰ結晶以外の他の適当な非線形光学材
料を使用してもよい。
［発明の効果］
以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、−個の非線形光学結晶で必要に応じて第二高調波及び
和周波を発生させることができるため部品数を減少させ
、信頼性を高くする効果が期待できる。
、−個の非線形光学結晶で必要に応じて第二高調波及び
和周波を発生させることができるため部品数を減少させ
、信頼性を高くする効果が期待できる。
第１図から第５図までは本発明を具体化した実施例を示
すもので、第１図は複数波長発生固体レーザの構成を側
面から見た図、第２図はグリーン光ブルー光兼用ＫＴＰ
結晶の形状を示した断面図、第３図はグリーン光ブルー
光兼用ＫＴＰ結晶と、基本波の入射方向を切りかえる回
転台の概略図、第４図はＫＴＰ結晶１個とＹＡＧレーザ
装置２組を組み合わせた実施例の構成図、第５図はＹＡ
Ｇレーザ装置を１組だけ使用した第４図の変形例の構成
図、第６図は従来のグリーン光発生レーザ及びブルー光
発生レーザの構成図である。 図中、１０は共振器、１２はレーザ活性媒体、１４は半
導体レーザ、１５は集光レンズ系、１６はグリーン光用
ＫＴＰ結晶、１７はブルー光用ＫＴＰ結晶、３０はグリ
ーン光ブルー光兼用ＫＴＰ結晶、３２は回転台である。
すもので、第１図は複数波長発生固体レーザの構成を側
面から見た図、第２図はグリーン光ブルー光兼用ＫＴＰ
結晶の形状を示した断面図、第３図はグリーン光ブルー
光兼用ＫＴＰ結晶と、基本波の入射方向を切りかえる回
転台の概略図、第４図はＫＴＰ結晶１個とＹＡＧレーザ
装置２組を組み合わせた実施例の構成図、第５図はＹＡ
Ｇレーザ装置を１組だけ使用した第４図の変形例の構成
図、第６図は従来のグリーン光発生レーザ及びブルー光
発生レーザの構成図である。 図中、１０は共振器、１２はレーザ活性媒体、１４は半
導体レーザ、１５は集光レンズ系、１６はグリーン光用
ＫＴＰ結晶、１７はブルー光用ＫＴＰ結晶、３０はグリ
ーン光ブルー光兼用ＫＴＰ結晶、３２は回転台である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、２枚の鏡によって構成された一組あるいは複数組の
共振器とこの共振器内に配置され、所定の基板を発生す
るレーザ活性媒体と基本波が複数の方向に進行すること
により、その方向に平行に複数の波長を発生する非線形
光学結晶を有することを特徴とする複数波長発生固体レ
ーザ。 ２、底面が複数の平行な辺の対を持つ多角柱に成形され
た非線形光学結晶を使用することを特徴とする請求項１
に記載の複数波長発生固体レーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27666689A JPH03138991A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 複数波長発生固体レーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27666689A JPH03138991A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 複数波長発生固体レーザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03138991A true JPH03138991A (ja) | 1991-06-13 |
Family
ID=17572626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27666689A Pending JPH03138991A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 複数波長発生固体レーザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03138991A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04318527A (ja) * | 1991-04-17 | 1992-11-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光波長変換装置 |
| US5249193A (en) * | 1991-03-20 | 1993-09-28 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Solid-state laser system |
| JPH06194707A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-07-15 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光学装置及びレーザシステム |
| KR950023991A (ko) * | 1994-01-31 | 1995-08-21 | 김광호 | 제2고조파 발생(shg)용 케이티피(ktp) 코팅막 |
| WO2000007269A1 (en) * | 1998-07-29 | 2000-02-10 | Uniphase Corporation | Decoupled intracavity laser alignment |
| JP2004128087A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Nidek Co Ltd | レーザ装置 |
| JP2009251005A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Seiko Epson Corp | 光源装置及びプロジェクタ |
-
1989
- 1989-10-24 JP JP27666689A patent/JPH03138991A/ja active Pending
Cited By (7)
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