JPH03138579A - ディジタルｉｃ用試験装置 - Google Patents
ディジタルｉｃ用試験装置Info
- Publication number
- JPH03138579A JPH03138579A JP1276785A JP27678589A JPH03138579A JP H03138579 A JPH03138579 A JP H03138579A JP 1276785 A JP1276785 A JP 1276785A JP 27678589 A JP27678589 A JP 27678589A JP H03138579 A JPH03138579 A JP H03138579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- circuit
- sampling
- output
- digital
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 5
- 101100444142 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) dut-1 gene Proteins 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000011990 functional testing Methods 0.000 description 4
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 2
- 101100117775 Arabidopsis thaliana DUT gene Proteins 0.000 description 1
- 101150091805 DUT1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013142 basic testing Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は高速ディジタルＩＣの種々の特性を測定し、
その測定結果に基づいて良否判定を行うディジタルＩＣ
用試験装置に関する。
その測定結果に基づいて良否判定を行うディジタルＩＣ
用試験装置に関する。
（従来の技術）
半導体集積回路（ＩＣ）は出荷前に試験装置により最終
的な測定が行われ、良否判定がなされた後に良品のみが
出荷される。この測定及び良否判定の際に使用される試
験装置はアナログＩＣＪｔｊとディジタルＩＣ用とに大
きく分けられており、どちらの場合にもＤ Ｕ Ｔ （
ｄｃｖｉｃｃ ｕｎｄｃｒ ｔｃｓｔ）と称され、Ｌ、
Ｃ，Ｒの受動部品やアンプ等の能動部品と共にＩＣが組
まれた試験回を用いて各種測定が行イつれる。
的な測定が行われ、良否判定がなされた後に良品のみが
出荷される。この測定及び良否判定の際に使用される試
験装置はアナログＩＣＪｔｊとディジタルＩＣ用とに大
きく分けられており、どちらの場合にもＤ Ｕ Ｔ （
ｄｃｖｉｃｃ ｕｎｄｃｒ ｔｃｓｔ）と称され、Ｌ、
Ｃ，Ｒの受動部品やアンプ等の能動部品と共にＩＣが組
まれた試験回を用いて各種測定が行イつれる。
ここで従来のディジタルＩＣ用試験装置について説明す
る。ディジタルＩＣ用試験装置の基本的な試験項目には
、ＤＣ特性試験、機能試験、ＡＣ特性試験があげられる
。ＤＣ特性試験は一般にＤＵＴの被測定端子にＤＣ特性
試験部を接続して行われ、入力電流、出力電圧、消費電
流等の値が測定される。機能試験はＤＵＴの入力端子に
各種パターンデータを印加し、出力が期待値と一致して
いるかどうかが判別される。ＡＣ特性試験では出力波形
の立ち上り、立ち下がり時間や伝搬遅延時間の測定が行
われる。このＡＣ特性試験では機能試験部が使用される
。すなわち、ＤＵＴから出力される波形を定められた時
刻でコンパレータにより基準電圧とアナログ比較した後
、期待値との論理比較を行う機能試験部を用いて、前記
基準電圧と時刻とを変化させたときの期待値との論理比
較結果の波形を得て、その良否の境界の境界を知ること
により、ＡＣ特性を測定するものである。
る。ディジタルＩＣ用試験装置の基本的な試験項目には
、ＤＣ特性試験、機能試験、ＡＣ特性試験があげられる
。ＤＣ特性試験は一般にＤＵＴの被測定端子にＤＣ特性
試験部を接続して行われ、入力電流、出力電圧、消費電
流等の値が測定される。機能試験はＤＵＴの入力端子に
各種パターンデータを印加し、出力が期待値と一致して
いるかどうかが判別される。ＡＣ特性試験では出力波形
の立ち上り、立ち下がり時間や伝搬遅延時間の測定が行
われる。このＡＣ特性試験では機能試験部が使用される
。すなわち、ＤＵＴから出力される波形を定められた時
刻でコンパレータにより基準電圧とアナログ比較した後
、期待値との論理比較を行う機能試験部を用いて、前記
基準電圧と時刻とを変化させたときの期待値との論理比
較結果の波形を得て、その良否の境界の境界を知ること
により、ＡＣ特性を測定するものである。
このＡＣ特性試験の場合、各回路相互のタイミング精度
が重要となっており、硯在、ＧａＡｓ集積回路、ＨＢ
Ｔ （ｈｏｔ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂａｓｅｔｒａｎｓ
ｉｓｔｏｒ） ＨＥ Ｍ Ｔ （ｈｉｇｈ
ｅｌｅｃｔｒｏｎＩＩｌｏｂｉｌｉｔｙ ｔｒａｎｓｉ
ｓｔｏｒ）などの高速ディジタルＩＣにおける高速度動
作時の特性を測定するにあたり、人力から出力までの信
号の伝達遅延時間や速度や出力信号レベルの経時変化の
測定が困難であることから、これらの測定が可能な測定
装置が望まれている。
が重要となっており、硯在、ＧａＡｓ集積回路、ＨＢ
Ｔ （ｈｏｔ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂａｓｅｔｒａｎｓ
ｉｓｔｏｒ） ＨＥ Ｍ Ｔ （ｈｉｇｈ
ｅｌｅｃｔｒｏｎＩＩｌｏｂｉｌｉｔｙ ｔｒａｎｓｉ
ｓｔｏｒ）などの高速ディジタルＩＣにおける高速度動
作時の特性を測定するにあたり、人力から出力までの信
号の伝達遅延時間や速度や出力信号レベルの経時変化の
測定が困難であることから、これらの測定が可能な測定
装置が望まれている。
（発明が解決しようとする課題）
このように従来では、高速ディジタルＩＣの高速度動作
時の特性を測定する際に、入力から出力までの信号の伝
達遅延時間の測定や出力信号レベルの経時変化の測定が
不可能であるという欠点がある。
時の特性を測定する際に、入力から出力までの信号の伝
達遅延時間の測定や出力信号レベルの経時変化の測定が
不可能であるという欠点がある。
この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
あり、その目的は、高速ディジタルＩＣにおける入力か
ら出力に至る信号の伝達遅延時間の測定や出力信号レベ
ルの経時変化の測定を行うことができるディジタルＩＣ
用試験装置を提供することにある。
あり、その目的は、高速ディジタルＩＣにおける入力か
ら出力に至る信号の伝達遅延時間の測定や出力信号レベ
ルの経時変化の測定を行うことができるディジタルＩＣ
用試験装置を提供することにある。
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段）
この発明のディジタルＩＣ用試験装置は、供試１ｃが組
み込まれた被試験回路と、前記被試験回路に低給すべき
試験用信号を発生すると共にトリガ信号を発生する信号
源回路と、前記信号源回路で発生されたトリガ信号に基
づき前記被試験回路の論理出力信号と同期したサンプリ
ング信号並びにメモリアドレス信号を発生するサンプリ
ング信号発生回路と、前記サンプリング信号発生回路で
発生されたサンプリング信号に基づいて前記被試験回路
の論理出力信号電位をサンプリングする波形サンプリン
グ回路と、前記波形サンプリング回路でサンプリングさ
れた電位をディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換回路と、
前記Ａ／Ｄ変換回路の出力ディジタル値と前記サンプリ
ング信号発生回路で発生されたメモリアドレス信号に基
づき時間軸データとして記憶する記憶回路とから構成さ
れる。
み込まれた被試験回路と、前記被試験回路に低給すべき
試験用信号を発生すると共にトリガ信号を発生する信号
源回路と、前記信号源回路で発生されたトリガ信号に基
づき前記被試験回路の論理出力信号と同期したサンプリ
ング信号並びにメモリアドレス信号を発生するサンプリ
ング信号発生回路と、前記サンプリング信号発生回路で
発生されたサンプリング信号に基づいて前記被試験回路
の論理出力信号電位をサンプリングする波形サンプリン
グ回路と、前記波形サンプリング回路でサンプリングさ
れた電位をディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換回路と、
前記Ａ／Ｄ変換回路の出力ディジタル値と前記サンプリ
ング信号発生回路で発生されたメモリアドレス信号に基
づき時間軸データとして記憶する記憶回路とから構成さ
れる。
（作用）
サンプリング信号発生回路で発生されるサンプリング信
号に基づき、波形サンプリング回路で被試験回路の論理
出力信号電位がサンプリングされる。一方、このサンプ
リング信号に基づき、前記波形サンプリング回路のサン
プリング出力がＡ／Ｄ変換回路でディジタル値に変換さ
れる。変換されたディジタル値は、前記サンプリング信
号発生回路で発生されるメモリアドレス信号に基づき記
憶回路に時間軸データとして順次記憶される。
号に基づき、波形サンプリング回路で被試験回路の論理
出力信号電位がサンプリングされる。一方、このサンプ
リング信号に基づき、前記波形サンプリング回路のサン
プリング出力がＡ／Ｄ変換回路でディジタル値に変換さ
れる。変換されたディジタル値は、前記サンプリング信
号発生回路で発生されるメモリアドレス信号に基づき記
憶回路に時間軸データとして順次記憶される。
（実施例）
以下、図面を参照してこの発明を実施例により説明する
。
。
第１図はこの発明に係るディジタルＩＣ用試験装置の構
成を示すブロック図である。例えばＧａＡｓ集積回路、
ＨＢ Ｔ （ｈｏｔ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂａｓｅｔｒ
ａｎｓｉｓｔｏｒ） ＨＥ Ｍ Ｔ （ｈｉｇｈ
ｅｌｅｃｔｒｏｎｍｏｂｉｌｉｔｙ ｔｒａｎｓｉｓｔ
ｏｒ）などの供試ＩＣは、Ｌ、Ｃ。
成を示すブロック図である。例えばＧａＡｓ集積回路、
ＨＢ Ｔ （ｈｏｔ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂａｓｅｔｒ
ａｎｓｉｓｔｏｒ） ＨＥ Ｍ Ｔ （ｈｉｇｈ
ｅｌｅｃｔｒｏｎｍｏｂｉｌｉｔｙ ｔｒａｎｓｉｓｔ
ｏｒ）などの供試ＩＣは、Ｌ、Ｃ。
Ｒの受動部品やアンプ等の能動部品と共にＤＵＴ（ｄｅ
ｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ＬｅｓＬ）１内に組み込まれて
いる。
ｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ＬｅｓＬ）１内に組み込まれて
いる。
（、；号源２はＤＵＴ １に供給するための試験ｆム号
Ｓ１と、この信号Ｓ１と同期し、かっこの信号Ｓ］が供
給されたＤＵＴｌからの論理出力とも同期したトリが信
号Ｓ２を発生する。このトリガ信号Ｓ２はサンプリング
信号発生回路３に供給される。このサンプリング信号発
生回路３は前記信号Ｓ２に基づき、この信号Ｓ２に同期
したサンプリング信号Ｓ３とメモリアドレス信号Ｓ４と
を発生する。波形サンプリング回路４は前記信号ｓ３に
基づいて前記ＤＵＴＩからの論理出力信号をアンログ的
にサンプリングする。前記波形サンプリング回路４のサ
ンプリング電位（アナログ値）は、前記信号Ｓ３のタイ
ミングでＡ／Ｄ変換回路５に取り込まれ、ここでディジ
タル値に順次変換される。前記Ａ／Ｄ変換回路５の出力
ディジタル値Ｄ］は前記メモリアドレス信号Ｓ４の値及
び出力タイミングで、連続した時間軸データとしてメモ
リ回路６に記憶される。
Ｓ１と、この信号Ｓ１と同期し、かっこの信号Ｓ］が供
給されたＤＵＴｌからの論理出力とも同期したトリが信
号Ｓ２を発生する。このトリガ信号Ｓ２はサンプリング
信号発生回路３に供給される。このサンプリング信号発
生回路３は前記信号Ｓ２に基づき、この信号Ｓ２に同期
したサンプリング信号Ｓ３とメモリアドレス信号Ｓ４と
を発生する。波形サンプリング回路４は前記信号ｓ３に
基づいて前記ＤＵＴＩからの論理出力信号をアンログ的
にサンプリングする。前記波形サンプリング回路４のサ
ンプリング電位（アナログ値）は、前記信号Ｓ３のタイ
ミングでＡ／Ｄ変換回路５に取り込まれ、ここでディジ
タル値に順次変換される。前記Ａ／Ｄ変換回路５の出力
ディジタル値Ｄ］は前記メモリアドレス信号Ｓ４の値及
び出力タイミングで、連続した時間軸データとしてメモ
リ回路６に記憶される。
前記サンプリング信号発生回路３は、信号源２から出力
される前記トリガ信号ｓ２のエツジの時刻をｔｏ、周期
をＴとすると、ｔｌ（ｔｏ≦ｔｌ＜Ｔ）からｔ２（ｔｌ
＜ｔ２≦Ｔ）までの時間軸上で時間間隔Δｔおきにサン
プリング信号Ｓ３とメモリアドレス信号Ｓ４とを発生す
る。そして、この時間間隔Δｔの幅及び精度によって分
解性能が決定される。なお、この間隔Δｔが極めて小さ
く、発生が困難な場合は、信号源２で複数のトリガ信号
Ｓ２を発生させ、ατ＋Δｔ（αは正数）として複数種
のサンプリング信号を生成し、疑似的に微小間隔のサン
プリング信号を発生させることもできる。
される前記トリガ信号ｓ２のエツジの時刻をｔｏ、周期
をＴとすると、ｔｌ（ｔｏ≦ｔｌ＜Ｔ）からｔ２（ｔｌ
＜ｔ２≦Ｔ）までの時間軸上で時間間隔Δｔおきにサン
プリング信号Ｓ３とメモリアドレス信号Ｓ４とを発生す
る。そして、この時間間隔Δｔの幅及び精度によって分
解性能が決定される。なお、この間隔Δｔが極めて小さ
く、発生が困難な場合は、信号源２で複数のトリガ信号
Ｓ２を発生させ、ατ＋Δｔ（αは正数）として複数種
のサンプリング信号を生成し、疑似的に微小間隔のサン
プリング信号を発生させることもできる。
前記波形サンプリング回路４は、サンプリング信号発生
回路３で発生されたサンプリング信号３のタイミングで
前記ＤＵＴ １の出力電位をアナログ的に取り込み、保
持する。
回路３で発生されたサンプリング信号３のタイミングで
前記ＤＵＴ １の出力電位をアナログ的に取り込み、保
持する。
前記Ａ／Ｄ変換回路５は、前記波形サンプリング回路４
で取り込まれ、保持されたアナログ値をディジタル値に
変換する回路であり、このＡ／Ｄ変換回路５の変換ビッ
ト数に比例して電位軸の分解性能が決定される。
で取り込まれ、保持されたアナログ値をディジタル値に
変換する回路であり、このＡ／Ｄ変換回路５の変換ビッ
ト数に比例して電位軸の分解性能が決定される。
前記メモリ回路６は、前記Ａ／Ｄ変換回路５で得られた
ディジタル値を時間軸に従って順次記憶する回路である
。
ディジタル値を時間軸に従って順次記憶する回路である
。
このような構成によれば、微小間隔のサンプリング信号
に基づいてＤＵＴｌからの論理出力信号がメモリ回路６
に記憶されるので、メモリ回路６の記憶内容を読み出し
、基準のデータと比較、判定することによって、高速デ
ィジタルＩＣの入力から出力までの信号の伝達延長時間
の測定並びに出力信号レベルの経時変化の測定を行うこ
とかできる。
に基づいてＤＵＴｌからの論理出力信号がメモリ回路６
に記憶されるので、メモリ回路６の記憶内容を読み出し
、基準のデータと比較、判定することによって、高速デ
ィジタルＩＣの入力から出力までの信号の伝達延長時間
の測定並びに出力信号レベルの経時変化の測定を行うこ
とかできる。
第２図はこの発明に係るディジタルＩＣ用試験装置の第
２の実施例の構成を示すブロック図であり、前記第１の
実施例装置に対し、予め比較用のデータを記憶する比較
値メモリ回路７と前記メモリ回路６の内容と前記比較値
メモリ回路７の内容とを比較して良否判定を行う比較回
路８を追加するようにしたものである。
２の実施例の構成を示すブロック図であり、前記第１の
実施例装置に対し、予め比較用のデータを記憶する比較
値メモリ回路７と前記メモリ回路６の内容と前記比較値
メモリ回路７の内容とを比較して良否判定を行う比較回
路８を追加するようにしたものである。
第３図はこの発明に係るディジタルＩＣ用試験装置の第
３の実施例に係る構成を示すブロック図である。この実
施例装置は、前記第２図の実施例装置において、ＤＵＴ
ｌ、信号源２及びザンプリング信号発生回路３以外の回
路、すなイっち、波形サンプリング回路４、Ａ／Ｄ変換
回路５、メモリ回路６、比較値メモリ回路７及び比較回
路８をそれぞれ２系統以上設け、多系統とし、異なる２
種類以上の特性測定並びに比較、判定を並列的に行うこ
とにより試験時間の短縮化を図ると共に、出力端子間で
の位相のｆｌｌｌｌ定をもｒ＋Ｊ能にしたものである。
３の実施例に係る構成を示すブロック図である。この実
施例装置は、前記第２図の実施例装置において、ＤＵＴ
ｌ、信号源２及びザンプリング信号発生回路３以外の回
路、すなイっち、波形サンプリング回路４、Ａ／Ｄ変換
回路５、メモリ回路６、比較値メモリ回路７及び比較回
路８をそれぞれ２系統以上設け、多系統とし、異なる２
種類以上の特性測定並びに比較、判定を並列的に行うこ
とにより試験時間の短縮化を図ると共に、出力端子間で
の位相のｆｌｌｌｌ定をもｒ＋Ｊ能にしたものである。
［発明の効果］
以上説明したようにこの発明によれば、高速ディジタル
ＩＣにおける入力から出力に至る信号の伝達遅延時間の
測定や出力信号の経時変化の測定を行うことができるデ
ィジタルＩＣ用試験装置を提供することができる。
ＩＣにおける入力から出力に至る信号の伝達遅延時間の
測定や出力信号の経時変化の測定を行うことができるデ
ィジタルＩＣ用試験装置を提供することができる。
第１図はこの発明の第１の実施例による構成を示すブロ
ック図、第２図はこの発明の第２の実施例による構成を
示すブロック図、第３図はこの０ 発明の第３図の実施例による構成を示すブロック図であ
る。 １・・・ＤＵＴ、２・・・信号源、３・・・サンプリン
グ信号発生回路、４・・・波形サンプリング回路、５・
・・Ａ／Ｄ変換回路、６・・・メモリ回路、７・・・比
較値メモリ回路、８・・・比較回路。
ック図、第２図はこの発明の第２の実施例による構成を
示すブロック図、第３図はこの０ 発明の第３図の実施例による構成を示すブロック図であ
る。 １・・・ＤＵＴ、２・・・信号源、３・・・サンプリン
グ信号発生回路、４・・・波形サンプリング回路、５・
・・Ａ／Ｄ変換回路、６・・・メモリ回路、７・・・比
較値メモリ回路、８・・・比較回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 供試ＩＣが組み込まれた被試験回路と、 前記被試験回路に供給すべき試験用信号を発生すると共
にトリガ信号を発生する信号源回路と、前記信号源回路
で発生されたトリガ信号に基づき前記被試験回路の論理
出力信号と同期したサンプリング信号並びにメモリアド
レス信号を発生するサンプリング信号発生回路と、 前記サンプリング信号発生回路で発生されたサンプリン
グ信号に基づいて前記被試験回路の論理出力信号電位を
サンプリングする波形サンプリング回路と、 前記波形サンプリング回路でサンプリングされた電位を
ディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換回路と、 前記Ａ／Ｄ変換回路の出力ディジタル値と前記サンプリ
ング信号発生回路で発生されたメモリアドレス信号に基
づき時間軸データとして記憶する記憶回路と を具備したことを特徴とするディジタルＩＣ用試験装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276785A JPH03138579A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ディジタルｉｃ用試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276785A JPH03138579A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ディジタルｉｃ用試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03138579A true JPH03138579A (ja) | 1991-06-12 |
Family
ID=17574339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1276785A Pending JPH03138579A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ディジタルｉｃ用試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03138579A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004081949A1 (ja) * | 2000-08-31 | 2004-09-23 | Hideo Takeuchi | Dc試験装置及び半導体試験装置 |
| WO2022082917A1 (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-28 | 南京宏泰半导体科技有限公司 | 一种高速信号频率测量与信号完整性的测试方法 |
-
1989
- 1989-10-24 JP JP1276785A patent/JPH03138579A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004081949A1 (ja) * | 2000-08-31 | 2004-09-23 | Hideo Takeuchi | Dc試験装置及び半導体試験装置 |
| WO2022082917A1 (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-28 | 南京宏泰半导体科技有限公司 | 一种高速信号频率测量与信号完整性的测试方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100499849B1 (ko) | 반도체 테스트 시스템용 전원 전류 측정 유닛 | |
| KR100269704B1 (ko) | 지연 소자 시험 장치 및 시험 기능을 갖는 집적 회로 | |
| US20070091991A1 (en) | Strobe technique for test of digital signal timing | |
| JP4495308B2 (ja) | 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置 | |
| JPH03138579A (ja) | ディジタルｉｃ用試験装置 | |
| JP2009156580A (ja) | 入力容量測定回路 | |
| JPH11101850A (ja) | Ｉｃ試験装置 | |
| JP4129723B2 (ja) | 集積回路試験装置及びアナログ波形測定方法 | |
| JP3323121B2 (ja) | 半導体装置の測定方法及び測定装置 | |
| JP2944307B2 (ja) | Ａ／ｄコンバータの非直線性の検査方法 | |
| JP3398755B2 (ja) | Ｉｃテスタの電流測定装置 | |
| Tarter | A novel circuit for the evaluation of thermal impedance characteristics of MOS integrated circuits | |
| JP2737442B2 (ja) | 接続検査装置 | |
| Narayanan et al. | Jitter-Based Reconstruction Of Transmission Line Pulse Using On-Chip Sensor | |
| JPH11101852A (ja) | 可変遅延素子試験回路 | |
| US20030016041A1 (en) | Method and apparatus for testing semiconductor integrated circuit, and semiconductor integrated circuit manufactured thereby | |
| JPH04225177A (ja) | 半導体装置のスルーレート測定装置 | |
| JPH076544Y2 (ja) | 差信号測定器 | |
| JPH0434703B2 (ja) | ||
| JPH06201768A (ja) | スイツチング特性測定装置 | |
| JPH06249921A (ja) | ミックスドシグナルｉｃテスタ | |
| JP2005164447A (ja) | 半導体集積回路の検査装置及び検査方法 | |
| JPS592348B2 (ja) | パルス応答波形の測定方式 | |
| JPS639315A (ja) | デイジタル・アナログ変換回路の直線性検出回路 | |
| JP2000075001A (ja) | 半導体試験装置 |