JPH03137064A - セラミック素子の焼成方法 - Google Patents
セラミック素子の焼成方法Info
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- JPH03137064A JPH03137064A JP1274148A JP27414889A JPH03137064A JP H03137064 A JPH03137064 A JP H03137064A JP 1274148 A JP1274148 A JP 1274148A JP 27414889 A JP27414889 A JP 27414889A JP H03137064 A JPH03137064 A JP H03137064A
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- ceramic element
- ceramic
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000005245 sintering Methods 0.000 title abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 22
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 3
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 claims description 3
- 230000004927 fusion Effects 0.000 abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 5
- 229910018404 Al2 O3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 abstract 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 abstract 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 abstract 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 13
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 230000003141 anti-fusion Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はセラミックチップコンデンサ等のセラミック素
子の焼成方法に関するものである。
子の焼成方法に関するものである。
従来の技術
従来の技術をセラミックチップコンデンサを例にとり説
明する。多少の不純物(Si02゜Fe2O3等)を含
むZ r 02. Ae203. M g O等の融着
防止材をチップコンデンサ素子にまぶし、アルミナ質か
らなるサヤに詰め、トンネル炉又は単炉にて焼成してい
た。
明する。多少の不純物(Si02゜Fe2O3等)を含
むZ r 02. Ae203. M g O等の融着
防止材をチップコンデンサ素子にまぶし、アルミナ質か
らなるサヤに詰め、トンネル炉又は単炉にて焼成してい
た。
発明が解決しようとする課題
ところが、従来方法では融着防止材中に含まれる不純物
が焼成過程でチップコンデンサ素子と反応し、焼結体素
子表面の変色やピンホール、さらには表面が凹凸になる
という現象を誘発していた。この対策として、従来から
チップコンデンサ素子と同一成分の材料をチップコンデ
ンサ素子の焼成温度以上で焼成・粉砕して融着防止材と
して利用する試みがなされているが、この場合、チップ
コンデンサ素子と同一成分の焼成体は硬度が硬く粉砕に
労力がかかるとともに粉砕時に不純物の混入を招き、そ
の結果、焼成体素子表面の変色やピンホール及び素子表
面の凹凸を完全に抑制できないという問題があった。
が焼成過程でチップコンデンサ素子と反応し、焼結体素
子表面の変色やピンホール、さらには表面が凹凸になる
という現象を誘発していた。この対策として、従来から
チップコンデンサ素子と同一成分の材料をチップコンデ
ンサ素子の焼成温度以上で焼成・粉砕して融着防止材と
して利用する試みがなされているが、この場合、チップ
コンデンサ素子と同一成分の焼成体は硬度が硬く粉砕に
労力がかかるとともに粉砕時に不純物の混入を招き、そ
の結果、焼成体素子表面の変色やピンホール及び素子表
面の凹凸を完全に抑制できないという問題があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、変色、ピ
ンホール及び表面の凹凸がないセラミック素子の焼成方
法を提供することを目的とするものである。
ンホール及び表面の凹凸がないセラミック素子の焼成方
法を提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
この問題点を解決する為、本発明の焼成方法は、チップ
コンデンサに代表されるセラミック素子を焼成する時に
用いる融着防止材として、焼成しようとするセラミック
素子と同一成分又はそのセラミック素子の主成分を添加
したものを用いることを特徴とするものである。
コンデンサに代表されるセラミック素子を焼成する時に
用いる融着防止材として、焼成しようとするセラミック
素子と同一成分又はそのセラミック素子の主成分を添加
したものを用いることを特徴とするものである。
具体的には、焼成しようとするセラミック素子と同一成
分又はそのセラミック素子の主成分を融着防止剤100
部に対して1〜30部添加したものが用いられ、セラミ
ック素子の焼成温度から50℃の高い温度範囲で予め熱
処理して利用される。
分又はそのセラミック素子の主成分を融着防止剤100
部に対して1〜30部添加したものが用いられ、セラミ
ック素子の焼成温度から50℃の高い温度範囲で予め熱
処理して利用される。
作用
本発明の融着防止材を用いてセラミック素子を焼成する
ことにより、焼結体素子表面の変色、ピンホール、さら
には表面の凹凸を完全に抑制する事が可能となる。この
焼結体素子表面の不純物との反応抑制により、高信頼度
、高品質のセラミック素子としてのチップコンデンサを
高歩留りで製造することが可能となる。
ことにより、焼結体素子表面の変色、ピンホール、さら
には表面の凹凸を完全に抑制する事が可能となる。この
焼結体素子表面の不純物との反応抑制により、高信頼度
、高品質のセラミック素子としてのチップコンデンサを
高歩留りで製造することが可能となる。
融着防止材に添加するセラミック素子と同一成分又はセ
ラミック素子の主成分の添加量を制限する理由は、第2
図からも理解されるように、融着防止材ZrO2100
部に対しセラミック素子成分又は主成分の添加量が1部
未満では素子表面にピンホールが発生し、30部を越え
ると融着防止材の熱処理時に添加材が焼結凝集し、1■
粒の融着防止材となり、粗粒の粉砕が必要となるととも
に焼成時のセラミック素子同志の融着防止効果が損なわ
れるためである。
ラミック素子の主成分の添加量を制限する理由は、第2
図からも理解されるように、融着防止材ZrO2100
部に対しセラミック素子成分又は主成分の添加量が1部
未満では素子表面にピンホールが発生し、30部を越え
ると融着防止材の熱処理時に添加材が焼結凝集し、1■
粒の融着防止材となり、粗粒の粉砕が必要となるととも
に焼成時のセラミック素子同志の融着防止効果が損なわ
れるためである。
実施例
本発明の一実施例を第1図のBaTiO3CeO2系材
料セラミックチップコンデンサの焼成フローチャートを
用いて説明する。先ず第1稀元素■製ZrCh粉末(A
S−2100)100部に対しセラミックチップコンデ
ンサの素子成分であるBaTiO3−CeO2を0,0
.5.1゜10.20.30部秤量添加し、lot!(
7)ポリポット中で8Orpmの回転数で1時間混合す
る。そののち、混合されたZr(h粉末と素子成分混合
物をポットから取り出しアルミナ質サヤに詰め、133
0℃で2時間熱処理して融着防止材を作製した。
料セラミックチップコンデンサの焼成フローチャートを
用いて説明する。先ず第1稀元素■製ZrCh粉末(A
S−2100)100部に対しセラミックチップコンデ
ンサの素子成分であるBaTiO3−CeO2を0,0
.5.1゜10.20.30部秤量添加し、lot!(
7)ポリポット中で8Orpmの回転数で1時間混合す
る。そののち、混合されたZr(h粉末と素子成分混合
物をポットから取り出しアルミナ質サヤに詰め、133
0℃で2時間熱処理して融着防止材を作製した。
次にセラミックチップコンデンサ焼成用のサヤにうずく
均一に前記した融着防止材を敷き、その上にBaTiO
3−CeO2系材料のセラミックチップコンデンサ積層
切断試料をのせ、さらにその上から融着防止材を軽くま
ぶしてサヤ詰めした。その後、トンネル炉又は単炉にて
1320℃で2時間焼成を行った。焼成後の素子表面は
50倍の光学顕微鏡にて観察した。観察した結果を第2
図に示す。このようにて焼成されたセラミックチップコ
ンデンサの表面にはピンホールや凹凸の異常は全く見ら
れなかった。ここでZrO2粉末への添加材はBaTi
O3−CeO2材を使用したが、主成分であるBaTi
O3を添加しても実施例と同様の効果が得られる。
均一に前記した融着防止材を敷き、その上にBaTiO
3−CeO2系材料のセラミックチップコンデンサ積層
切断試料をのせ、さらにその上から融着防止材を軽くま
ぶしてサヤ詰めした。その後、トンネル炉又は単炉にて
1320℃で2時間焼成を行った。焼成後の素子表面は
50倍の光学顕微鏡にて観察した。観察した結果を第2
図に示す。このようにて焼成されたセラミックチップコ
ンデンサの表面にはピンホールや凹凸の異常は全く見ら
れなかった。ここでZrO2粉末への添加材はBaTi
O3−CeO2材を使用したが、主成分であるBaTi
O3を添加しても実施例と同様の効果が得られる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、焼成しようとするセラミ
ック素子と同一成分又はそのセラミック素子の主成分を
添加した融着防止材を用いるため、変色、ピンホール及
び表面の凹凸が全くないセラミック素子の焼成が可能と
なり、高信頼度。
ック素子と同一成分又はそのセラミック素子の主成分を
添加した融着防止材を用いるため、変色、ピンホール及
び表面の凹凸が全くないセラミック素子の焼成が可能と
なり、高信頼度。
高品質のセラミック素子を高歩留りで製造する事が可能
となり、その産業的効果は大なるものがある。
となり、その産業的効果は大なるものがある。
第1図は本発明に係るセラミック素子の焼成方法の工程
フローチャート、第2図は本発明方法にて焼成されたセ
ラミック素子の表面ピンホール発生率を示す特性図であ
る。
フローチャート、第2図は本発明方法にて焼成されたセ
ラミック素子の表面ピンホール発生率を示す特性図であ
る。
Claims (3)
- (1)セラミック素子と同一成分又はセラミック素子の
主成分を添加した融着防止材を用いて焼成することを特
徴とするセラミック素子の焼成方法。 - (2)融着防止材に添加するセラミック素子と同一成分
又はセラミック素子の主成分の比率は融着防止材100
部に対し1〜30部である特許請求の範囲第(1)項記
載のセラミック素子の焼成方法。 - (3)セラミック素子と同一成分又はセラミック素子の
主成分を添加した融着防止材はセラミック素子の焼成に
先立ち、セラミック素子の焼成温度から50℃高い温度
範囲で熱処理することを特徴とする特許請求の範囲第(
1)項記載のセラミック素子の焼成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1274148A JPH03137064A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | セラミック素子の焼成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1274148A JPH03137064A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | セラミック素子の焼成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03137064A true JPH03137064A (ja) | 1991-06-11 |
Family
ID=17537694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1274148A Pending JPH03137064A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | セラミック素子の焼成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03137064A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01320271A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-26 | Taiyo Yuden Co Ltd | 融着防止用粉末およびその製造方法 |
-
1989
- 1989-10-20 JP JP1274148A patent/JPH03137064A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01320271A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-26 | Taiyo Yuden Co Ltd | 融着防止用粉末およびその製造方法 |
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