JPH03124646A - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
- Publication number
- JPH03124646A JPH03124646A JP26146489A JP26146489A JPH03124646A JP H03124646 A JPH03124646 A JP H03124646A JP 26146489 A JP26146489 A JP 26146489A JP 26146489 A JP26146489 A JP 26146489A JP H03124646 A JPH03124646 A JP H03124646A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- board
- holding means
- holding
- holding device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- XTKDAFGWCDAMPY-UHFFFAOYSA-N azaperone Chemical compound C1=CC(F)=CC=C1C(=O)CCCN1CCN(C=2N=CC=CC=2)CC1 XTKDAFGWCDAMPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は主に電子回路を形成する基板を保持して移動す
る装置に用いられる基板保持装置に関するものである。
る装置に用いられる基板保持装置に関するものである。
第７図及び第８図は夫々従来の基板保持装置の一例を示
す正面図と側面図である。これらの図において吸着パッ
ド１０１が略Ｔ字状のアーム１０２の下面に固定されて
おり、アーム１０２の上端近傍を回転中心としてロータ
リーアクチュエータ１０３が接続されている。又ロータ
リーアクチュエータ１０３は固定板１０４を介して一部
のみ図示する昇降ユニット１０５に固定され、全体が昇
降するものとする。保持すべき基板１０６は搬送メソシ
ュヘルド１０７上を傾斜した状態で搬送されてくる。
す正面図と側面図である。これらの図において吸着パッ
ド１０１が略Ｔ字状のアーム１０２の下面に固定されて
おり、アーム１０２の上端近傍を回転中心としてロータ
リーアクチュエータ１０３が接続されている。又ロータ
リーアクチュエータ１０３は固定板１０４を介して一部
のみ図示する昇降ユニット１０５に固定され、全体が昇
降するものとする。保持すべき基板１０６は搬送メソシ
ュヘルド１０７上を傾斜した状態で搬送されてくる。
この場合の動作を説明すると、ある工程を終えて基板１
０６が第８図に示すように搬送メソシュベルｌ−１０７
上を凸部１０７ａに一辺を乗せた形で斜めに搬送されて
くれば、基板保持装置全体が定められた位置へ移動し、
そこで搬送されてくる基板１０６の傾斜角度（図中α１
）に吸着パッド１０１の吸着面を合わせるため、ロータ
リーアクチュエータ１０３を用いてアーム１０２を同角
度（図中α２）だけ傾ける（図中二点鎖線の状態）。こ
の状態で昇降ユニット１０５により吸着パッド１０１を
基板１０６の位置まで降下させて基板１０６を吸着し、
その後基板１０６と共にアーム１０２を上昇させる。そ
して上昇したらロータリーアクチュエータ１０３の傾け
た角度を元に戻し、基板１０６を次工程の所定位置へ移
動させる。
０６が第８図に示すように搬送メソシュベルｌ−１０７
上を凸部１０７ａに一辺を乗せた形で斜めに搬送されて
くれば、基板保持装置全体が定められた位置へ移動し、
そこで搬送されてくる基板１０６の傾斜角度（図中α１
）に吸着パッド１０１の吸着面を合わせるため、ロータ
リーアクチュエータ１０３を用いてアーム１０２を同角
度（図中α２）だけ傾ける（図中二点鎖線の状態）。こ
の状態で昇降ユニット１０５により吸着パッド１０１を
基板１０６の位置まで降下させて基板１０６を吸着し、
その後基板１０６と共にアーム１０２を上昇させる。そ
して上昇したらロータリーアクチュエータ１０３の傾け
た角度を元に戻し、基板１０６を次工程の所定位置へ移
動させる。
しかしながら上述の第７図及び第８図の構成においては
、回動中心と吸着パッドの取付高さに大きな隔たりがあ
るため、アーム１０２を傾けない状態と傾けた状態とで
は吸着パッド１０１には図中Ａに示す位置ずれが生じる
。このため基板１０６の中央と吸着パッド１０１の中心
を合わせようとすれば、あらかじめ位置ずれ分を見込ん
で基板吸着装置全体の位置を設定する必要がある。しか
しその位置ずれ量Ａは搬送されてくる基板の大きさによ
り傾斜角度α１が変化することで変わるものであり、そ
のつど位置を決める必要があるという問題点を有してい
た。又基板を搬送するメツシュベルトの凸部の高さが変
動したり、凸部と基板との接触位置が変化することによ
り基板の傾斜角度も変わり、吸着ミス等が発生すること
もあるという欠点があった。
、回動中心と吸着パッドの取付高さに大きな隔たりがあ
るため、アーム１０２を傾けない状態と傾けた状態とで
は吸着パッド１０１には図中Ａに示す位置ずれが生じる
。このため基板１０６の中央と吸着パッド１０１の中心
を合わせようとすれば、あらかじめ位置ずれ分を見込ん
で基板吸着装置全体の位置を設定する必要がある。しか
しその位置ずれ量Ａは搬送されてくる基板の大きさによ
り傾斜角度α１が変化することで変わるものであり、そ
のつど位置を決める必要があるという問題点を有してい
た。又基板を搬送するメツシュベルトの凸部の高さが変
動したり、凸部と基板との接触位置が変化することによ
り基板の傾斜角度も変わり、吸着ミス等が発生すること
もあるという欠点があった。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもの
であって、搬送されて（る傾斜した基板の角度に合わせ
て基板保持装置全体の中心と位置ずれなく基板を保持で
きるようにすることを技術的課題とする。
であって、搬送されて（る傾斜した基板の角度に合わせ
て基板保持装置全体の中心と位置ずれなく基板を保持で
きるようにすることを技術的課題とする。
本発明は下面に基板を保持する保持手段と、保持手段を
保持する基板の方向に移動させる移動部と、保持手段が
固定され、保持手段の取付位置と実質的に同一のレベル
で移動部に回動自在に取付けられたプレートと、移動部
とプレートとの間に配置された弾性部材と、を具備する
ことを特徴とするものである。
保持する基板の方向に移動させる移動部と、保持手段が
固定され、保持手段の取付位置と実質的に同一のレベル
で移動部に回動自在に取付けられたプレートと、移動部
とプレートとの間に配置された弾性部材と、を具備する
ことを特徴とするものである。
このような特徴を有する本発明によれば、基板が搬送さ
れてくるとその中心に基板保持装置の中心を合わせ保持
手段を基板の方向に移動させる。
れてくるとその中心に基板保持装置の中心を合わせ保持
手段を基板の方向に移動させる。
このとき基板が保持手段の保持面と違う角度に傾斜して
いた場合、保持手段の一端が基板に当たり始めたところ
から弾性部材が徐々に変形し保持面が傾斜してゆき、保
持手段の傾きが基板の傾斜と一致したところで基板が保
持される。更に保持した状態で保持手段を元の位置に復
帰させる。そうすれば弾性部材の変形も元の状態に復帰
し、保持手段は基板を一定位置及び一定角度に保持でき
る。
いた場合、保持手段の一端が基板に当たり始めたところ
から弾性部材が徐々に変形し保持面が傾斜してゆき、保
持手段の傾きが基板の傾斜と一致したところで基板が保
持される。更に保持した状態で保持手段を元の位置に復
帰させる。そうすれば弾性部材の変形も元の状態に復帰
し、保持手段は基板を一定位置及び一定角度に保持でき
る。
従ってあらかじめ別の手段で基板の傾斜角度と保持部の
保持面を同じ角度に合わせる必要がないこととなる。
保持面を同じ角度に合わせる必要がないこととなる。
次に本発明の一実施例による基板保持装置について図面
を参照しつつ説明する。第１図〜第４図において基板の
保持手段１は中央がコ字状に折り曲げられた平板状のプ
レート２に取付けられた一対の吸着パッドｌａ、ｌｂか
ら形成されている。
を参照しつつ説明する。第１図〜第４図において基板の
保持手段１は中央がコ字状に折り曲げられた平板状のプ
レート２に取付けられた一対の吸着パッドｌａ、ｌｂか
ら形成されている。
この吸着パッドはダクト３を介して図示しない真空発生
装置に連結されており、その下面がほぼコ字状に折り曲
げられたプレート２の中央平板部２ａの面と同一レベル
となるように形成される。さてプレート２の中央平板部
２ａは第４図に示すように平板部２ａの四方４箇所にコ
字状の切込み２ｂを有している。又第１〜３図に一部の
みを示す昇降ユニット４の下方には移動部５が取付けら
れる。移動部５はプレート２のガイド部２ｂの切込み内
に挿入される４本の棒状の垂直ガイド５ａを有しており
、その先端が第３図に示すように内側に折り曲げられて
プレート２の平板部２ａの下面を保持している。この移
動部５とプレート２の中央平板部２ａの間にはコイルバ
ネ等から成る弾性部材６が設けられ、プレート２を下方
に押圧している。そして保持すべきプリント基板７は搬
送ベルト８によって搬送される。
装置に連結されており、その下面がほぼコ字状に折り曲
げられたプレート２の中央平板部２ａの面と同一レベル
となるように形成される。さてプレート２の中央平板部
２ａは第４図に示すように平板部２ａの四方４箇所にコ
字状の切込み２ｂを有している。又第１〜３図に一部の
みを示す昇降ユニット４の下方には移動部５が取付けら
れる。移動部５はプレート２のガイド部２ｂの切込み内
に挿入される４本の棒状の垂直ガイド５ａを有しており
、その先端が第３図に示すように内側に折り曲げられて
プレート２の平板部２ａの下面を保持している。この移
動部５とプレート２の中央平板部２ａの間にはコイルバ
ネ等から成る弾性部材６が設けられ、プレート２を下方
に押圧している。そして保持すべきプリント基板７は搬
送ベルト８によって搬送される。
第５図、第６図はこの基板保持装置が用いられる搬送機
構の全体構成を示す平面図及び正面図である。本図に示
すようにプレート２とその下方の吸着パッドｌａ、ｌｂ
及び移動部５を上下に移動させる昇降ユニット４がサー
ボスライダ９によって矢印方向に移動自在に保持されて
いる。そして搬送ベルト８の側方には他の搬送ベルトｌ
Ｏが設けられ、基板を次工程に搬送するように構成され
ている。次工程に基板を搬送するためのコンヘア部１０
によって基板を次工程に搬送するようにしている。又プ
リント基板が所定の位置に達したことを検知するための
センサ１１が搬送ヘルド８上に設けられている。
構の全体構成を示す平面図及び正面図である。本図に示
すようにプレート２とその下方の吸着パッドｌａ、ｌｂ
及び移動部５を上下に移動させる昇降ユニット４がサー
ボスライダ９によって矢印方向に移動自在に保持されて
いる。そして搬送ベルト８の側方には他の搬送ベルトｌ
Ｏが設けられ、基板を次工程に搬送するように構成され
ている。次工程に基板を搬送するためのコンヘア部１０
によって基板を次工程に搬送するようにしている。又プ
リント基板が所定の位置に達したことを検知するための
センサ１１が搬送ヘルド８上に設けられている。
次に本実施例の動作について説明する。プリント基板７
は前工程より搬送ベルト８の上の凸部８ａによって傾斜
状態で搬送されてくる。センサ１１によってプリント基
板７が検知されると、サーボスライダ９によって昇降ユ
ニット４と共に移動部５やプレート２を検知した位置ま
で移動させる。
は前工程より搬送ベルト８の上の凸部８ａによって傾斜
状態で搬送されてくる。センサ１１によってプリント基
板７が検知されると、サーボスライダ９によって昇降ユ
ニット４と共に移動部５やプレート２を検知した位置ま
で移動させる。
そして保持手段１をプリント基板７の搬送経路の中心と
同位置で待機させる。プリント基板７が保持手段１の真
下に到来すると、昇降ユニット４を介して移動部５及び
プレート２と保持手段１を降下させる。このときプリン
ト基板７が傾斜していることで吸着パッドｌａ、ｌｂの
一端が先に当たり、それから更に降下していくと弾性部
材６が徐々に変形する。そして第３図に示すように吸着
パッドｌａ、ｌｂとプレート２との傾斜角度が同じにな
る。このとき吸着パッドｌａ、ｌｂの保持面は回動軸と
ほとんど同一の高さの位置にあるため中心が位置ずれす
ることなくプリント基板７に当接する。ここで図示しな
い真空発生装置によりダクト３を介して吸着パッドｌａ
、ｌｂより空気を吸引し、プリント基板７を真空吸着に
よって保持しつつ昇降ユニット４によって上昇させると
、弾性部材６の作用により保持手段１は始めの状態に戻
り、プリント基板７は第２図の二点鎖線で示すように一
定位置及び一定角度で保持される。こうして基板保持装
置により保持した状態でサーボスライダ９を矢印方向に
駆動させてプリント基板７を搬送ベルト１０上に移動さ
せて切込ベルトｌＯによって次工程に搬送する。こうし
て同様の動作を繰り返して基板を順次次工程に搬送して
いく。
同位置で待機させる。プリント基板７が保持手段１の真
下に到来すると、昇降ユニット４を介して移動部５及び
プレート２と保持手段１を降下させる。このときプリン
ト基板７が傾斜していることで吸着パッドｌａ、ｌｂの
一端が先に当たり、それから更に降下していくと弾性部
材６が徐々に変形する。そして第３図に示すように吸着
パッドｌａ、ｌｂとプレート２との傾斜角度が同じにな
る。このとき吸着パッドｌａ、ｌｂの保持面は回動軸と
ほとんど同一の高さの位置にあるため中心が位置ずれす
ることなくプリント基板７に当接する。ここで図示しな
い真空発生装置によりダクト３を介して吸着パッドｌａ
、ｌｂより空気を吸引し、プリント基板７を真空吸着に
よって保持しつつ昇降ユニット４によって上昇させると
、弾性部材６の作用により保持手段１は始めの状態に戻
り、プリント基板７は第２図の二点鎖線で示すように一
定位置及び一定角度で保持される。こうして基板保持装
置により保持した状態でサーボスライダ９を矢印方向に
駆動させてプリント基板７を搬送ベルト１０上に移動さ
せて切込ベルトｌＯによって次工程に搬送する。こうし
て同様の動作を繰り返して基板を順次次工程に搬送して
いく。
尚本実施例においてはプリント基板を吸着によって保持
するものについて説明したが、機械的にプリント基板の
端面を挟持するようにしてもよい。
するものについて説明したが、機械的にプリント基板の
端面を挟持するようにしてもよい。
更に傾斜して搬送されてくる基板を保持する場合につい
て説明をしたが、傾斜させて搬送ベルト１０上に置く場
合も同様の方法で可能となる。
て説明をしたが、傾斜させて搬送ベルト１０上に置く場
合も同様の方法で可能となる。
そのため本発明によれば、保持手段の取付位置と同一の
レベルで移動部にブレーＩ・を回動自在に取付けておく
ことにより、プレートが保持手段と共に回動しても基板
保持装置の中心とほとんど位置ずれすることがない。従
って搬送されてきた基板を位置ずれなく保持することが
できる。又その傾斜角度が変化しても自動的に保持手段
の角度を合わせて基板を保持することができ、更に保持
手段を移動させることで常に基板は一定位置、一定角度
で保持できるという効果が得られる。
レベルで移動部にブレーＩ・を回動自在に取付けておく
ことにより、プレートが保持手段と共に回動しても基板
保持装置の中心とほとんど位置ずれすることがない。従
って搬送されてきた基板を位置ずれなく保持することが
できる。又その傾斜角度が変化しても自動的に保持手段
の角度を合わせて基板を保持することができ、更に保持
手段を移動させることで常に基板は一定位置、一定角度
で保持できるという効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例における基板保持装置の正面
図、第２図は同じく基板保持装置の側面図、第３図は同
じく基板保持装置で基板を保持する状態を示す側面図、
第４図は同じく基板保持装置の斜視図、第５図はこの基
板保持装置が用いられる搬送機構の全体構成を示す平面
図、第６図はその正面図、第７図は従来例における基板
保持装置の正面図、第８図は同じ（従来例における基板
保持装置の側面図である。 １−一一一保持手段 １ａ＋ パッド ２−・−プレート 部 ２ｂ−・−切込み １０５＝−・−昇降ユニット ａ−−一平面ガイド ６ プリント基板 ８．１０ １−−−−−−一吸着 中央平板 ４゜ １ｂ、１０ ２ ａ−・・ ３−・−ダクト ５−・−〜〜−−移動部 弾性部材 ７ ・・−・搬送ベルト
図、第２図は同じく基板保持装置の側面図、第３図は同
じく基板保持装置で基板を保持する状態を示す側面図、
第４図は同じく基板保持装置の斜視図、第５図はこの基
板保持装置が用いられる搬送機構の全体構成を示す平面
図、第６図はその正面図、第７図は従来例における基板
保持装置の正面図、第８図は同じ（従来例における基板
保持装置の側面図である。 １−一一一保持手段 １ａ＋ パッド ２−・−プレート 部 ２ｂ−・−切込み １０５＝−・−昇降ユニット ａ−−一平面ガイド ６ プリント基板 ８．１０ １−−−−−−一吸着 中央平板 ４゜ １ｂ、１０ ２ ａ−・・ ３−・−ダクト ５−・−〜〜−−移動部 弾性部材 ７ ・・−・搬送ベルト
Claims (1)
- （１）下面に基板を保持する保持手段と、 前記保持手段を保持する基板の方向に移動させる移動部
と、 前記保持手段が固定され、前記保持手段の取付位置と実
質的に同一のレベルで前記移動部に回動自在に取付けら
れたプレートと、 前記移動部と前記プレートとの間に配置された弾性部材
と、を具備することを特徴とする基板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26146489A JP2839913B2 (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26146489A JP2839913B2 (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 基板保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03124646A true JPH03124646A (ja) | 1991-05-28 |
| JP2839913B2 JP2839913B2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=17362262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26146489A Expired - Fee Related JP2839913B2 (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2839913B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103910196A (zh) * | 2013-01-09 | 2014-07-09 | 三星钻石工业股份有限公司 | 吸附反转装置 |
| WO2019012584A1 (ja) * | 2017-07-10 | 2019-01-17 | シャープ株式会社 | 搬送装置、及び、搬送方法 |
-
1989
- 1989-10-05 JP JP26146489A patent/JP2839913B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103910196A (zh) * | 2013-01-09 | 2014-07-09 | 三星钻石工业股份有限公司 | 吸附反转装置 |
| WO2019012584A1 (ja) * | 2017-07-10 | 2019-01-17 | シャープ株式会社 | 搬送装置、及び、搬送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2839913B2 (ja) | 1998-12-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100664777B1 (ko) | 부품실장장치 및 부품실장방법 | |
| JPH0231520B2 (ja) | ||
| JP4084393B2 (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 | |
| JPH03124646A (ja) | 基板保持装置 | |
| JPH02187166A (ja) | 液体付着装置及び方法 | |
| JPH0377679B2 (ja) | ||
| US4633584A (en) | Accurate positioning of solid components for a robotic pickup | |
| JP2007266393A (ja) | 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、プラズマディスプレイ用背面板の製造装置。 | |
| JPH07335723A (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2000307299A (ja) | 部品装着装置 | |
| JPH083035Y2 (ja) | 基板支持装置 | |
| CN104221137A (zh) | 基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置及元件制造方法 | |
| JPS624142A (ja) | 薄板材の移し替え装置 | |
| JP2538337B2 (ja) | 基板位置決め装置 | |
| EP1051893B1 (en) | Component placement apparatus | |
| JP2003273591A (ja) | 基板固定方法及び基板固定装置、並びにこれを用いた部品実装装置 | |
| JP2001267794A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
| JPH0783999A (ja) | 基板保持装置 | |
| JPH0462951A (ja) | ウエハ移し換え装置 | |
| JP2841855B2 (ja) | 電子部品実装方法 | |
| JP2666078B2 (ja) | 基板保持固定装置 | |
| JPH09148796A (ja) | 回路基板保持装置 | |
| TW202347582A (zh) | 用於半導體裝置的多軸直接轉移的方法及設備 | |
| JP3659724B2 (ja) | 基板搬送装置および基板搬送方法 | |
| JP2001274600A (ja) | マウンタの基板セット装置及びバックアップピン切替え方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |