JPH03117721A

JPH03117721A - 真空機器用転がり軸受

Info

Publication number: JPH03117721A
Application number: JP25205289A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Matsumoto; 弘之松本
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1989-09-29
Filing date: 1989-09-29
Publication date: 1991-05-20
Anticipated expiration: 2013-07-16
Also published as: JP2775898B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明に係る真空機器用転がり軸受は、半導体製造装
置等に組み込み、真空中に設けられる回転部分を支承す
る為に利用される。

（従来の技術）内周面に内方軌道を有する外輪と、外周面に外方軌道を
有する内輪と、上記内方軌道と外方軌道との間に設けら
れた複数の転動体と、この複数の転動体を転動自在に保
持する保持器とから構成される転がり軸受が、各種回転
部分を支承する為、従来から広く使用されている。

ところで、半導体製造装置等の真空機器に組み込まれる
転がり軸受は、グリース等の液体による潤滑を行なう事
が出来ない為、従来から、上記転動体の表面、或は内方
軌道と外方軌道との表面に、固体潤滑剤の皮膜を形成す
る事により、転動体と、内方、外方両軌道との間の潤滑
を図っていた。固体潤滑剤として従来は、銀、金、鉛等
の金属が使用されていた。

（発明が解決しようとする課題）ところが、上述の様な固体潤滑剤を使用した従来の真空
機器用転がり軸受の場合、固体潤滑剤の摩耗に伴ない、
若干の塵が発生する事が避けられない。

転がり軸受が組み込まれた真空機器が、半導体製造装置
の様な、異物の進入を極端に嫌う装置であった場合、上
述の様な塵の発生は避けなければならない。

この為従来は、半導体製造装置の様な、異物の進入を極
端に嫌う装置に組み込む転がり軸受は、潤滑剤を全く設
けず、無潤滑の状態で使用していたが、転がり軸受の寿
命が短くなる事が避けられなかった。

本発明の真空機器用転がり軸受は、上述の様な不都合を
解消するものである。

（課題を解決する為の手段）本発明の真空機器用転がり軸受は、従来の真空機器用転
がり軸受と同様に、内周面に内方軌道を有する外輪と、
外周面に外方軌道を有する内輪と、上記内方軌道と外方
軌道との間に設けられた複数の転動体と、この複数の転
動体を転動自在に保持する保持器とから成り、真空機器
に設けられる回転部分に組み込まれて使用される。

但し、本発明の真空機器用転がり軸受に於いては、上記
保持器を、ポリフェニレンサルファイド樹脂を主成分と
した、自己潤滑性を有する材料により造っている。

（作　　用）上述の様に構成される本発明の真空機器用転がり軸受に
より、真空機器に設けられた回転部分を支承する際の作
用自体は、従来の転がり軸受の場合と同様である。

但し、本発明の真空機器用転がり軸受の場合、複数の転
動体を保持した保持器が、ポリフェニレンサルファイド
樹脂を主成分とした、自己潤滑性を有する材料により造
られており、転動体の転動に伴なって、上記自己潤滑性
を有する材料の転移膜が、各転動体の表面に付着する為
、各転動体と、内方軌道及び外方軌道との間の潤滑が図
られる。

又、上述の様にして、各転動体の表面に付着する転移膜
を構成する、ポリフェニレンサルファイド樹脂を主成分
とする自己潤滑性を有する材料の微粒子の大きさは、従
来の固体潤滑剤の粒子の犬きざに比べて指速に小さく、
しかも転動体表面への付着性も強い為、周囲の環境を汚
す事も殆どない。

（実施例）次に、図示の実施例を説明しつつ、本発明を更に詳しく
説明する。

第１〜２図は本発明の第一実施例を示しており、第１図
は転がり軸受の部分断面図、第２図は保持器の部分斜視
図である。

第１図に於いて、１は内周面に内方軌道２を有する外輪
、３は外周面に外方軌道４を有する内輪、５は上記内方
軌道２と外方軌道４との間に設けられた複数の転動体、
６はこの複数の転動体を転動自在に保持する保持器であ
る。

全体を環状に形成された保持器６は、冠型保持器と呼ば
れるもので、第２図に示す様に、それぞれの内側に上記
転動体５を回転自在に保持する為のポケット７．７を形
成している。

更に、本発明の真空機器用転がり軸受に於いては、上記
保持器６全体を、ポリフェニレンサルファイド樹脂を主
成分とした、自己潤滑性を有する材料により造っている
。

上述の様に構成される本発明の真空機器用転がり軸受に
より、真空機器に設けられた回転部分を支承する際の作
用自体は、従来の転がり軸受の場合と同様であり、複数
の転動体５の転動に基づき、外輪１を内嵌固定したハウ
ジング等と、内輪３を外嵌固定した軸等との相対的回転
を自在とする。

但し、本発明の真空機器用転がり軸受の場合、複数の転
動体５を保持した保持器６が、ポリフェニレンサルファ
イド樹脂を主成分とした、自己潤滑性を有する材料によ
り造られており、外輪１と内輪３との相対的回転に伴な
う転動体５の転動に伴なって、保持器６を構成する、ポ
リフェニレンサルファイド樹脂を主成分とした、自己潤
滑性を有する材料の転移膜が、各転動体５の表面に付着
する。この為、各転動体５と、外輪１内周面の内方軌道
２及び内輪３外周面の外方軌道４との間の潤滑が図られ
、転がり軸受の長寿命化が図られる。

この場合に於いて、各転動体５の表面に付着する、ポリ
フェニレンサルファイド樹脂を主成分とした、自己潤滑
性を有する材料の転移膜を構成する微粒子の大きさは、
従来の銀、金、鉛等の固体潤滑剤の粒子の大きさに比べ
て指速に小さく、しかも転動体５表面への付着性も強い
為、周囲の環境を汚す事も殆どない。

次に、第３〜４図は本発明の第二実施例を示している。

本実施例の場合、複数の転動体５を転動自在に保持する
為の保持器６として、所謂もみ抜き保持器を使用してい
る。この保持器６に、ポケット７．７を形成する作業は
、切削又は射出成形により行なう。本実施例の場合も、
保持器６全体を、ポリフェニレンサルファイド樹脂を主
成分とした、自己潤滑性を有する材料により造り、保持
器６から各転動体５への、上記自己潤滑性を有する材料
の転移膜により、各転動体５と、外輪１内周面の内方軌
道２及び内輪２外周面の外方軌道４との間の潤滑を図り
、転がり軸受の長寿命化を図る様にしている。

尚、これら第一〜第二実施例に於いて、外輪１と内輪２
と複数の転動体５とは、それぞれＳＯ５４４０Ｃにより
造る事が好ましい。更に、外輪１と内輪３とをＳＯ５４
４０Ｇにより造り、転動体５をセラミック族とする事も
出来る。

更に、第５〜６図は本発明の第三〜第四実施例を示して
いる。

これら第三〜第四実施例の場合、複数の転動体５の表面
に、二硫化モリブデンのコーテイング膜８を形成してい
る。

この結果、これら第三〜第四実施例の場合、各転動体５
と、外輪１内周面の内方軌道２及び内輪３外周面の外方
軌道４との間の潤滑が、保持器６から各転動体５への、
ポリフェニレンサルファイド樹脂を主成分とした、自己
潤滑性を有する材料の転移膜だけでなく、各転動体５の
表面にコーティングされた二硫化モリブデンによりても
図られ、上記潤滑がより一層良好になる。

４゜（発明の効果）本発明の真空機器用転がり軸受は、以上に述べた通り構
成され作用する為、半導体製造装置等、異物の進入を極
端に嫌う装置内の回転支持部分に設けて、塵の発生を確
実に防止しつつ、軸受の寿命を十分に確保する事が出来
る。

【図面の簡単な説明】

第１〜２図は本発明の第一実施例を示しており、第１図
は転がり軸受の部分断面図、第２図は保持器の部分斜視
図、第３〜４図は本発明の第二実施例を示しており、第
３図は転がり軸受の部分断面図、第４図は保持器の斜視
図、第５〜６図は本発明の第三〜第四実施例を示す、そ
れぞれ転がり軸受の断面図である。１：外輪、２：内方軌道、３：内輪、４：外方軌、道、
５：転動体、６：保持器、７：ポケット、８：コーテイ
ング膜。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）内周面に内方軌道を有する外輪と、外周面に外方
軌道を有する内輪と、上記内方軌道と外方軌道との間に
設けられた複数の転動体と、この複数の転動体を転動自
在に保持する保持器とから成り、真空機器に設けられる
回転部分に組み込まれて使用される真空機器用転がり軸
受に於いて、上記保持器を、ポリフェニレンサルファイ
ド樹脂を主成分とした、自己潤滑性を有する材料により
造った事を特徴とする真空機器用転がり軸受。
（２）転動体の表面に二硫化モリブデンをコーティング
した、請求項１に記載の真空機器用転がり軸受。