JPH03111800A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
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- JPH03111800A JPH03111800A JP25133189A JP25133189A JPH03111800A JP H03111800 A JPH03111800 A JP H03111800A JP 25133189 A JP25133189 A JP 25133189A JP 25133189 A JP25133189 A JP 25133189A JP H03111800 A JPH03111800 A JP H03111800A
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 title 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 7
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
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- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
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- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、直流高電圧発生源により加速した電子ビーム
を被処理物に照射して、架橋・硬化等の処理を行う電子
線照射装置に関するものである。
を被処理物に照射して、架橋・硬化等の処理を行う電子
線照射装置に関するものである。
第３図は従来の電子線照射装置の加速用電源の回路図で
ある。従来の電子線照射装置では、電子線発生部１０の
電子線を加速するための加速電圧Ｖは、第３図に示すよ
うに交流電源Ｅから可変゛変圧器ＶＴを介して直流高電
圧発生源ＨＶＰＳに送りこまれる電圧によって調節する
。また、取り出されるビームの電流値は、ここには図示
しない別の電子取り出し電源（グリッド川霧ａ＞にょっ
て調節する。
ある。従来の電子線照射装置では、電子線発生部１０の
電子線を加速するための加速電圧Ｖは、第３図に示すよ
うに交流電源Ｅから可変゛変圧器ＶＴを介して直流高電
圧発生源ＨＶＰＳに送りこまれる電圧によって調節する
。また、取り出されるビームの電流値は、ここには図示
しない別の電子取り出し電源（グリッド川霧ａ＞にょっ
て調節する。
ところで、電子ビームを被処理物に照射している際に、
−時的に電子線の照射を停止したい場合、上記の電子取
り出し電源をＯＦＦにしても、実際には、直流高電圧発
生源ＶＨＰＳの加速電圧Ｖによって発生してしまう漏れ
電流を完全にゼロにすることはできない。このため、従
来の電子線照射装置では、電子線の照射を停止するとき
には可変変圧器ＶＴの出力をゼロにするが、あるいはコ
ンタクタＭＣＩを開路してやる必要があった。
−時的に電子線の照射を停止したい場合、上記の電子取
り出し電源をＯＦＦにしても、実際には、直流高電圧発
生源ＶＨＰＳの加速電圧Ｖによって発生してしまう漏れ
電流を完全にゼロにすることはできない。このため、従
来の電子線照射装置では、電子線の照射を停止するとき
には可変変圧器ＶＴの出力をゼロにするが、あるいはコ
ンタクタＭＣＩを開路してやる必要があった。
ここで、ＳはコンタクタＭＣ，を開路するための加速電
圧検知装置である。
圧検知装置である。
しかしながら、−船釣に可変変圧器ＶＴには、スライダ
ック等が使用されているため・、この値を変更してしま
うと、電子ビームを停止した後、再び電子ビームを出す
際に、電子線停止前の元通りの値を即座に再現すること
が困難である。したがって、可変変圧器ＶＴの値は変化
させないほうが望ましい。
ック等が使用されているため・、この値を変更してしま
うと、電子ビームを停止した後、再び電子ビームを出す
際に、電子線停止前の元通りの値を即座に再現すること
が困難である。したがって、可変変圧器ＶＴの値は変化
させないほうが望ましい。
また、他に選びうる手段として可変変圧器ＶＴは固定し
たままで、コンタクタＭＣ，を開閉する方法がある。こ
の方法であれば、電子線の加速電圧Ｖの再現性の点では
優れている。しかしながら、この方法においては、コン
タクタＭＣ，を再投入するときに、直流高電圧発生源Ｈ
Ｖ Ｐ Ｓの出力電圧が急激に上昇するために、直流高
電圧発生ｐＪｔｉｖｐｓ内および電子線発生部１０の加
速管内で、異常放電を誘発する恐れがあるという問題が
あった。
たままで、コンタクタＭＣ，を開閉する方法がある。こ
の方法であれば、電子線の加速電圧Ｖの再現性の点では
優れている。しかしながら、この方法においては、コン
タクタＭＣ，を再投入するときに、直流高電圧発生源Ｈ
Ｖ Ｐ Ｓの出力電圧が急激に上昇するために、直流高
電圧発生ｐＪｔｉｖｐｓ内および電子線発生部１０の加
速管内で、異常放電を誘発する恐れがあるという問題が
あった。
本発明は、上記事情に基づいてなされたものであり、電
子線の照射を一時的に停止した場合でも、異常放電を誘
発することなく、加速電圧を速やかに再供給し、停止前
の電子線強度で再び照射を開始することができる電子線
照射装置を提供することを目的とするものである。
子線の照射を一時的に停止した場合でも、異常放電を誘
発することなく、加速電圧を速やかに再供給し、停止前
の電子線強度で再び照射を開始することができる電子線
照射装置を提供することを目的とするものである。
上記の目的を達成するための本発明は、交流電源からの
電力の供給を断接する第１断接手段と、前記交流電源の
電圧を調整する可変手段と、該可変手段からの交流を整
流して電子線を加速するための直流高電圧を発生する直
流高電圧発生源と、前記直流高電圧が予め定めた一定値
以下になると前記第１断接手段を開状態とする検知手段
とを有する電子線照射装置において、 前記可変手段の入力側に、前記検知手段からの信号を受
けると開状態になる第２断接手段と抵抗器との並列回路
とを少なくとも一組設けたことを特徴とするものである
。
電力の供給を断接する第１断接手段と、前記交流電源の
電圧を調整する可変手段と、該可変手段からの交流を整
流して電子線を加速するための直流高電圧を発生する直
流高電圧発生源と、前記直流高電圧が予め定めた一定値
以下になると前記第１断接手段を開状態とする検知手段
とを有する電子線照射装置において、 前記可変手段の入力側に、前記検知手段からの信号を受
けると開状態になる第２断接手段と抵抗器との並列回路
とを少なくとも一組設けたことを特徴とするものである
。
本発明は前記の構成により、電子線の照射を一時的に停
止したい場合には、第２断接手段を開状態にする。これ
により、抵抗器を介して交流電力が直流高圧発生源に供
給され、このため加速電圧が降下し、検知手段が作動し
て第１断接手段を開状態にし、交流電力の供給を断つ。
止したい場合には、第２断接手段を開状態にする。これ
により、抵抗器を介して交流電力が直流高圧発生源に供
給され、このため加速電圧が降下し、検知手段が作動し
て第１断接手段を開状態にし、交流電力の供給を断つ。
この結果、加速電圧は完全にゼロになり、−切の漏れ電
流の発生を防ぐことができる。
流の発生を防ぐことができる。
一方、−旦供給を停止した加速電圧を回復する場合には
、先ず第１断続手段を閉状態とし、直流高電圧発生源に
は抵抗器を介して交流電力を供給する。次に、その俊速
やかに第２断接手段を閉路とすることにより、抵抗器を
短絡して直接交流電力を供給する。このようにして交流
電圧を直流高電圧発生源に供給することにより、加速電
圧を段階的に昇圧する。
、先ず第１断続手段を閉状態とし、直流高電圧発生源に
は抵抗器を介して交流電力を供給する。次に、その俊速
やかに第２断接手段を閉路とすることにより、抵抗器を
短絡して直接交流電力を供給する。このようにして交流
電圧を直流高電圧発生源に供給することにより、加速電
圧を段階的に昇圧する。
以下に本発明の実施例を第１図及び第２図を参照して説
明する。第２図は本発明の一実施例である電子線照射装
置の概略回路図である。電子線照射装置は電子ビームを
発生する電子線発生部１０を有し、加熱用電源Ｅ１とグ
リッド用電源Ｅ２と加速用電源Ｅ３とにより電子ビーム
を発生・制御する。
明する。第２図は本発明の一実施例である電子線照射装
置の概略回路図である。電子線照射装置は電子ビームを
発生する電子線発生部１０を有し、加熱用電源Ｅ１とグ
リッド用電源Ｅ２と加速用電源Ｅ３とにより電子ビーム
を発生・制御する。
電子線発生部１０は、電子線を放出するフィラメント１
１と、放出された電子線をコントロールするグリッド１
２と、電子線発生部１０内の真空雲囲気と照射雰囲気と
を仕切ると共に、電子線を取り出すための窓１３とを含
むものである。
１と、放出された電子線をコントロールするグリッド１
２と、電子線発生部１０内の真空雲囲気と照射雰囲気と
を仕切ると共に、電子線を取り出すための窓１３とを含
むものである。
加熱用型ＲＥ ＋はフィラメント１１を加熱するための
電源であり、グリッド用電源Ｅ２はフィラメント１１か
らの熱電子の放出を制御する電源である。加速用電源Ｅ
３はグリッド１２から取り出された電子を加速するため
の電源である。
電源であり、グリッド用電源Ｅ２はフィラメント１１か
らの熱電子の放出を制御する電源である。加速用電源Ｅ
３はグリッド１２から取り出された電子を加速するため
の電源である。
加熱用電源Ｅ１と加速用型ａＩＸＥ、とは予め適当な値
に設定され、グリッド用電源Ｅ２によりグリッド１２の
電位を可変して、被処理物に適した所定のビーム電流に
制御して、電子線照射をおこなう。
に設定され、グリッド用電源Ｅ２によりグリッド１２の
電位を可変して、被処理物に適した所定のビーム電流に
制御して、電子線照射をおこなう。
第１図は本実施例である電子線照射装置の加速用電源の
回路図である。加速用電源Ｅ、は、電気的信号によって
開閉可能なコンタクタＭＣ，と、スライダック等を用い
た可変変圧器ＶＴと、直流高電圧発生源ＨＶＰＳとを含
むものである。また、可変変圧器ＶＴとコンタクタＭＣ
，の・あいだには計算によって求められたある値を有す
る抵抗器Ｒが挿入され、その抵抗器Ｒと並列に通常は閉
まっているコンタクタＭＣ２が設けられている。被処理
物に電子線を照射しているときには、このコンタクタＭ
Ｃ，は閉路しているため、電子線照射時においては、こ
の回路は従来の電子線照射装置のものと何ら変わりなく
動作する。
回路図である。加速用電源Ｅ、は、電気的信号によって
開閉可能なコンタクタＭＣ，と、スライダック等を用い
た可変変圧器ＶＴと、直流高電圧発生源ＨＶＰＳとを含
むものである。また、可変変圧器ＶＴとコンタクタＭＣ
，の・あいだには計算によって求められたある値を有す
る抵抗器Ｒが挿入され、その抵抗器Ｒと並列に通常は閉
まっているコンタクタＭＣ２が設けられている。被処理
物に電子線を照射しているときには、このコンタクタＭ
Ｃ，は閉路しているため、電子線照射時においては、こ
の回路は従来の電子線照射装置のものと何ら変わりなく
動作する。
今、被処理物に電子線を所定の強度で照射している場合
において、電子線の照射を一時的に停止したいときには
、このコンタクタＭＣ，を開路する。すると、電［Ｅに
対して、負荷として可変変圧器ＶＴの他に抵抗器Ｒが加
わるため、可変変圧器ＶＴに加わる電圧は、可変変圧器
ＶＴと抵抗器Ｒとのインピーダンスの割合に応じて分圧
される。
において、電子線の照射を一時的に停止したいときには
、このコンタクタＭＣ，を開路する。すると、電［Ｅに
対して、負荷として可変変圧器ＶＴの他に抵抗器Ｒが加
わるため、可変変圧器ＶＴに加わる電圧は、可変変圧器
ＶＴと抵抗器Ｒとのインピーダンスの割合に応じて分圧
される。
その結果、可変変圧器ＶＴの出力電圧も降下し、ひいて
は、直流高電圧発生源Ｈｖｐｓの出力である加速電圧Ｖ
が降下する。従来の装置もそうであるが、一般に電子線
照射装置には、加速管の窓１３ ｆＩ′Ｊ部分を保護す
るために、加速電圧Ｖがなんらかの原因により、ある一
定の電圧以下に降下すると、加速電圧Ｖをゼロにするた
めにブレーカＣＢもしくは、コンタクタＭＣ，を開路す
る機構である加速電圧検知装置Ｓが設けられている。こ
のため、コンタクタＭＣ２が開路するとまもなく、コン
タクタＭＣＩ もしくはブレーカＣＢが開路することに
なる５その結果、直流高電圧発生源ＨＶ ＰＳの出力で
ある電子線の加速電圧■は完全にゼロになり、漏れ電流
等も一切発生しない。
は、直流高電圧発生源Ｈｖｐｓの出力である加速電圧Ｖ
が降下する。従来の装置もそうであるが、一般に電子線
照射装置には、加速管の窓１３ ｆＩ′Ｊ部分を保護す
るために、加速電圧Ｖがなんらかの原因により、ある一
定の電圧以下に降下すると、加速電圧Ｖをゼロにするた
めにブレーカＣＢもしくは、コンタクタＭＣ，を開路す
る機構である加速電圧検知装置Ｓが設けられている。こ
のため、コンタクタＭＣ２が開路するとまもなく、コン
タクタＭＣＩ もしくはブレーカＣＢが開路することに
なる５その結果、直流高電圧発生源ＨＶ ＰＳの出力で
ある電子線の加速電圧■は完全にゼロになり、漏れ電流
等も一切発生しない。
次に、−旦停止した加速電圧Ｖを再供給するときには、
まずコンタクタＭ Ｃ＋を閉じ、その俊速やかにコンタ
クタＭ Ｃｔを閉じる。これにより、まず可変変圧器Ｖ
Ｔには交流電力が抵抗器Ｒを介して供給され、次に、コ
ンタクタＭＣ１を介して直接供給される。これにより可
変変圧器ＶＴの出力電圧は段階的に上昇する。この出力
電圧が直流高電圧発生源Ｈｖｐｓに供給されるので、直
流高電圧発生源ＨＶＰＳの出力電圧である加速電圧■も
段階的に上昇する。したがって、本実施例によれば、直
流高電圧発生源ＨＶＰＳや電子線発生部１０内で異常放
電を誘発することなく、加速電圧Ｖを再供給することが
できる。
まずコンタクタＭ Ｃ＋を閉じ、その俊速やかにコンタ
クタＭ Ｃｔを閉じる。これにより、まず可変変圧器Ｖ
Ｔには交流電力が抵抗器Ｒを介して供給され、次に、コ
ンタクタＭＣ１を介して直接供給される。これにより可
変変圧器ＶＴの出力電圧は段階的に上昇する。この出力
電圧が直流高電圧発生源Ｈｖｐｓに供給されるので、直
流高電圧発生源ＨＶＰＳの出力電圧である加速電圧■も
段階的に上昇する。したがって、本実施例によれば、直
流高電圧発生源ＨＶＰＳや電子線発生部１０内で異常放
電を誘発することなく、加速電圧Ｖを再供給することが
できる。
また、本実施例では、電子線の照射を一時的に停止する
前には、可変変圧器ＶＴの値に何ら変更を加えていない
ので、再照射時には停止時の加速電圧を速やかに供給し
、所定の強度で電子線を照射することができる。更に、
本実施例では、加速電圧Ｖの異常降下を検知するのに、
既存の検知装置を併用しているので、構造が簡易で、か
つ廉価な装置となる。
前には、可変変圧器ＶＴの値に何ら変更を加えていない
ので、再照射時には停止時の加速電圧を速やかに供給し
、所定の強度で電子線を照射することができる。更に、
本実施例では、加速電圧Ｖの異常降下を検知するのに、
既存の検知装置を併用しているので、構造が簡易で、か
つ廉価な装置となる。
抵抗器Ｒの抵抗値は、コンタクタＭＣ２を開路して抵抗
器Ｒが回路に挿入されたときに、直流高電圧発生源ＨＶ
ＰＳの出力が加速電圧検知装置Ｓの作動する電圧にまで
下がるような値を計算して求める。抵抗器Ｒの容量は連
続定格値で採用する必要はなく、コンタクタＭＣ２が開
路してからコンタクタＭ Ｃ＋が開路するまでの時間、
またはコンタクタＭＣ，が閉路してからコンタクタＭＣ
。
器Ｒが回路に挿入されたときに、直流高電圧発生源ＨＶ
ＰＳの出力が加速電圧検知装置Ｓの作動する電圧にまで
下がるような値を計算して求める。抵抗器Ｒの容量は連
続定格値で採用する必要はなく、コンタクタＭＣ２が開
路してからコンタクタＭ Ｃ＋が開路するまでの時間、
またはコンタクタＭＣ，が閉路してからコンタクタＭＣ
。
が閉路するまでの時間だけもちこたえればよ（、連続定
格値の１１５から１／２０で十分である。
格値の１１５から１／２０で十分である。
また、この抵抗器ＲとコンタクタＭＣ，の組み合わせは
１組に限られるものではなく、必要に応じて複数組用い
てもよい。
１組に限られるものではなく、必要に応じて複数組用い
てもよい。
以上説明したように本発明によれば、電子線の照射を一
時的に停止した場合でも、再照射時には加速電圧を段階
的に上昇することにより、異常放電を誘発することなく
、加速電圧を速やかに再供給し、停止時の電子線強度で
容易に再照射することができる電子線照射装置を提供す
ることができる。
時的に停止した場合でも、再照射時には加速電圧を段階
的に上昇することにより、異常放電を誘発することなく
、加速電圧を速やかに再供給し、停止時の電子線強度で
容易に再照射することができる電子線照射装置を提供す
ることができる。
第１図は本実施例である電子線照射装置の加速用電源の
回路図、第２図は本発明の一実施例である電子線照射装
置の概略回路図、第３図は従来の電子線照射装置の加速
用電源の回路図である。
回路図、第２図は本発明の一実施例である電子線照射装
置の概略回路図、第３図は従来の電子線照射装置の加速
用電源の回路図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 交流電源からの電力の供給を断接する第１断接手段と、
前記交流電源の電圧を調整する可変手段と、該可変手段
からの交流を整流して電子線を加速するための直流高電
圧を発生する直流高電圧発生源と、前記直流高電圧が予
め定めた一定値以下になると前記第１断接手段を開状態
とする検知手段とを有する電子線照射装置において、 前記可変手段の入力側に、前記検知手段からの信号を受
けると開状態になる第２断接手段と抵抗器との並列回路
とを少なくとも一組設けたことを特徴とする電子線照射
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25133189A JPH03111800A (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25133189A JPH03111800A (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03111800A true JPH03111800A (ja) | 1991-05-13 |
Family
ID=17221229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25133189A Pending JPH03111800A (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03111800A (ja) |
-
1989
- 1989-09-26 JP JP25133189A patent/JPH03111800A/ja active Pending
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