JPH10319197A - 電子線照射装置の電子流制御装置 - Google Patents
電子線照射装置の電子流制御装置Info
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- JPH10319197A JPH10319197A JP9163197A JP16319797A JPH10319197A JP H10319197 A JPH10319197 A JP H10319197A JP 9163197 A JP9163197 A JP 9163197A JP 16319797 A JP16319797 A JP 16319797A JP H10319197 A JPH10319197 A JP H10319197A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 放電の発生等により電子流の検出値が急激に
大きく変化をしても、放電消滅時には速やかに定常値の
電子流にすることができ、安定した電子線照射装置の運
転が確保できる電子線照射装置の電子流制御装置を提供
すること。 【解決手段】 電子流を検出する検出器８の検出値と電
子流を設定する設定器６の設定値とを制御回路９の比較
回路９ｂで比較し、その偏差量に対応する制御信号によ
り電子流を制御する電子流制御装置であって、比較回路
９ｂの出力側にダイオードｄからなる抑制回路９ｃを設
け、放電発生時の検出値の増大による偏差量の拡大を抑
制回路９ｃにより抑制し、そのときの制御信号の変化を
小幅にして放電消滅時の電子流の定常値への復帰を小幅
の制御信号に行い、電子流の定常値への復帰時のハンチ
ングを抑制する。
大きく変化をしても、放電消滅時には速やかに定常値の
電子流にすることができ、安定した電子線照射装置の運
転が確保できる電子線照射装置の電子流制御装置を提供
すること。 【解決手段】 電子流を検出する検出器８の検出値と電
子流を設定する設定器６の設定値とを制御回路９の比較
回路９ｂで比較し、その偏差量に対応する制御信号によ
り電子流を制御する電子流制御装置であって、比較回路
９ｂの出力側にダイオードｄからなる抑制回路９ｃを設
け、放電発生時の検出値の増大による偏差量の拡大を抑
制回路９ｃにより抑制し、そのときの制御信号の変化を
小幅にして放電消滅時の電子流の定常値への復帰を小幅
の制御信号に行い、電子流の定常値への復帰時のハンチ
ングを抑制する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、電子線照射装置の
電子流制御装置に関するものである。
電子流制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子線照射装置は、周知のように、フィ
ラメントで発生した熱電子を高電圧が印加された加速器
により加速して電子流として出力するようにされてい
る。このような電子線照射装置では、出力する電子流の
安定化を図る等のために電子流を検出して出力電子流を
制御するようにされている。図２はこのような制御を行
う電子線照射装置の電子流制御装置の一例を示す回路図
である。
ラメントで発生した熱電子を高電圧が印加された加速器
により加速して電子流として出力するようにされてい
る。このような電子線照射装置では、出力する電子流の
安定化を図る等のために電子流を検出して出力電子流を
制御するようにされている。図２はこのような制御を行
う電子線照射装置の電子流制御装置の一例を示す回路図
である。
【０００３】図２において、１は電源、２は電圧調整回
路、３は昇圧整流回路等からなる高電圧発生回路、４は
加速器、５は制御回路で、例えば商用電源１の電圧を電
圧調整回路２で制御回路５からの信号により所望の出力
電圧に調整して高電圧発生回路３に送り、ここで電圧調
整回路２の出力電圧に対応した直流高電圧に変換されて
加速電圧として加速器４に印加するようにされている。
路、３は昇圧整流回路等からなる高電圧発生回路、４は
加速器、５は制御回路で、例えば商用電源１の電圧を電
圧調整回路２で制御回路５からの信号により所望の出力
電圧に調整して高電圧発生回路３に送り、ここで電圧調
整回路２の出力電圧に対応した直流高電圧に変換されて
加速電圧として加速器４に印加するようにされている。
【０００４】電子流は加速電圧に依存することから電子
流の制御は加速電圧を制御することにより行われ、電子
流の検出は高電圧発生回路３の出力部８で検出される。
制御回路５は、検出信号を入力して増幅等の処理をする
入力信号処理部５ａ、入力信号処理部５ａの出力すなわ
ち電子流検出値と電子流の目標値を設定する設定器６の
設定値とを比較し、その偏差を出力する比較部５ｂおよ
び比較部５ｂの出力偏差について比例、微分、積分等の
演算をなし、偏差に対応した制御信号を出力する演算処
理部５ｄを備えて構成され、偏差がゼロとなるように電
圧調整回路２の出力電圧、すなわち高電圧発生回路３の
出力電圧を制御し、これにより電子流を制御する。
流の制御は加速電圧を制御することにより行われ、電子
流の検出は高電圧発生回路３の出力部８で検出される。
制御回路５は、検出信号を入力して増幅等の処理をする
入力信号処理部５ａ、入力信号処理部５ａの出力すなわ
ち電子流検出値と電子流の目標値を設定する設定器６の
設定値とを比較し、その偏差を出力する比較部５ｂおよ
び比較部５ｂの出力偏差について比例、微分、積分等の
演算をなし、偏差に対応した制御信号を出力する演算処
理部５ｄを備えて構成され、偏差がゼロとなるように電
圧調整回路２の出力電圧、すなわち高電圧発生回路３の
出力電圧を制御し、これにより電子流を制御する。
【０００５】また、電子線照射装置では、装置内部（例
えば、電子流を形成する真空絶縁部や高圧電源等を配置
するＳＦ６ガス絶縁部）で放電が発生する場合がある。
このような場合に装置全体の運転を停止することなくそ
の放電をいちはやく消滅させるために、放電を検出した
ときごく短時間高電圧のみを低下させるファーストリカ
バリスイッチが設けられる。
えば、電子流を形成する真空絶縁部や高圧電源等を配置
するＳＦ６ガス絶縁部）で放電が発生する場合がある。
このような場合に装置全体の運転を停止することなくそ
の放電をいちはやく消滅させるために、放電を検出した
ときごく短時間高電圧のみを低下させるファーストリカ
バリスイッチが設けられる。
【０００６】この例では制御回路５の出力側にファース
トリカバリスイッチ７が設けられ、放電が検出されると
２０ｍＳ程度の間オフ作動し、その間、制御信号の電圧
調整回路２への入力を遮断し、電圧調整回路２の出力を
オフし、高電圧発生回路３の出力電圧を大幅に下げて放
電を消滅させるようにされている。
トリカバリスイッチ７が設けられ、放電が検出されると
２０ｍＳ程度の間オフ作動し、その間、制御信号の電圧
調整回路２への入力を遮断し、電圧調整回路２の出力を
オフし、高電圧発生回路３の出力電圧を大幅に下げて放
電を消滅させるようにされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な電子流制御装置では、放電が発生すると電子流が大幅
に増加したものとして検出され、検出値と設定値との偏
差が拡大し、制御信号は電子流を大きく急減少させる制
御信号となるが、放電の発生によりファーストリカバリ
スイッチ７が作動して放電が収束あるいは消滅した状態
でファーストリカバリスイッチ７がオン復帰したとき、
制御信号は放電が発生したときの偏差分、電子流を大き
く急増加させる制御信号となる。
な電子流制御装置では、放電が発生すると電子流が大幅
に増加したものとして検出され、検出値と設定値との偏
差が拡大し、制御信号は電子流を大きく急減少させる制
御信号となるが、放電の発生によりファーストリカバリ
スイッチ７が作動して放電が収束あるいは消滅した状態
でファーストリカバリスイッチ７がオン復帰したとき、
制御信号は放電が発生したときの偏差分、電子流を大き
く急増加させる制御信号となる。
【０００８】この制御信号により電子流は急増するが、
この増加は、定常値を一旦越え、ついで定常値よりも減
少するいわゆるハンチング現象を生じ、定常値の電子流
に復帰させるのに時間がかかり、場合によって被照射物
に大きな電子線照射むらを生じるという問題がある。
この増加は、定常値を一旦越え、ついで定常値よりも減
少するいわゆるハンチング現象を生じ、定常値の電子流
に復帰させるのに時間がかかり、場合によって被照射物
に大きな電子線照射むらを生じるという問題がある。
【０００９】本発明は、上記の問題に鑑みなされたもの
で、放電の発生等により電子流の検出値が急激に大きく
変化をしても、放電消滅時には速やかに定常値の電子流
にすることができ、安定した電子線照射装置の運転が確
保できる電子線照射装置の電子流制御装置を提供するこ
とを目的とする。
で、放電の発生等により電子流の検出値が急激に大きく
変化をしても、放電消滅時には速やかに定常値の電子流
にすることができ、安定した電子線照射装置の運転が確
保できる電子線照射装置の電子流制御装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、電子流
の検出値と設定値とを比較し、その偏差を出力する比較
回路を備え、前記偏差にしたがい電子流を制御してなる
電子線照射装置の電子流制御装置において、前記比較回
路の出力側に前記検出値の増加による偏差の拡大を抑制
する抑制回路を設けてなることを特徴とすることによっ
て達成される。
の検出値と設定値とを比較し、その偏差を出力する比較
回路を備え、前記偏差にしたがい電子流を制御してなる
電子線照射装置の電子流制御装置において、前記比較回
路の出力側に前記検出値の増加による偏差の拡大を抑制
する抑制回路を設けてなることを特徴とすることによっ
て達成される。
【００１１】本発明の特徴によれば、放電の発生等によ
り電子流の検出値が急激に大きく増加変化し、検出値と
設定値の偏差が拡大しても、その拡大は抑制回路によっ
て抑制され、電子流を制御する制御信号の大幅な変動は
抑えられる。したがって放電が消滅したときは電子流の
大幅な急増が避けられ、電子流のハンチング現象を抑制
し、速やかに定常値へ復帰させることができる。
り電子流の検出値が急激に大きく増加変化し、検出値と
設定値の偏差が拡大しても、その拡大は抑制回路によっ
て抑制され、電子流を制御する制御信号の大幅な変動は
抑えられる。したがって放電が消滅したときは電子流の
大幅な急増が避けられ、電子流のハンチング現象を抑制
し、速やかに定常値へ復帰させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図１を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明の実施の形
態に係る電子線照射装置の電子流制御装置の回路図であ
る。なお、図１において図２と同一部分には同一の符号
を付している。
施の形態について説明する。図１は、本発明の実施の形
態に係る電子線照射装置の電子流制御装置の回路図であ
る。なお、図１において図２と同一部分には同一の符号
を付している。
【００１３】図１において、１は電源、２は電圧調整回
路、３は昇圧整流回路等からなる高電圧発生回路、４は
加速器、６は電子流の目標値を設定する設定器、７はフ
ァーストリカバリスイッチ、８は電子流検出器、９は制
御回路であり、ファーストリカバリスイッチ７がオンで
あるとき（通常オン状態にある）には、例えば商用電源
１の電圧を電圧調整回路２で制御回路９からの信号によ
り所望の出力電圧に調整して高電圧発生回路３に送り、
ここで電圧調整回路２の出力電圧に対応した直流高電圧
に変換されて加速電圧として加速器４に印加するように
され、これにより電子流が制御される点、および放電の
発生によりファーストリカバリスイッチ７が２０ｍＳ程
度の間オフ作動し、その間、制御信号の電圧調整回路２
への入力を遮断し、電圧調整回路２の出力をオフし、高
電圧発生回路３の出力電圧を大幅に下げて放電を消滅さ
せる点は、図２の従来の電子流制御装置と同様である。
路、３は昇圧整流回路等からなる高電圧発生回路、４は
加速器、６は電子流の目標値を設定する設定器、７はフ
ァーストリカバリスイッチ、８は電子流検出器、９は制
御回路であり、ファーストリカバリスイッチ７がオンで
あるとき（通常オン状態にある）には、例えば商用電源
１の電圧を電圧調整回路２で制御回路９からの信号によ
り所望の出力電圧に調整して高電圧発生回路３に送り、
ここで電圧調整回路２の出力電圧に対応した直流高電圧
に変換されて加速電圧として加速器４に印加するように
され、これにより電子流が制御される点、および放電の
発生によりファーストリカバリスイッチ７が２０ｍＳ程
度の間オフ作動し、その間、制御信号の電圧調整回路２
への入力を遮断し、電圧調整回路２の出力をオフし、高
電圧発生回路３の出力電圧を大幅に下げて放電を消滅さ
せる点は、図２の従来の電子流制御装置と同様である。
【００１４】制御回路９は、電子流検出器８からの検出
信号を入力して増幅等の処理をする入力信号処理回路９
ａと、入力信号処理回路９ａの出力すなわち電子流検出
値（この実施の形態では０Ｖから＋１０Ｖの直流正電圧
の範囲内）と設定器６の設定値（この実施の形態では０
Ｖから−１０Ｖの直流負電圧の範囲内）とを比較（この
実施の形態では加算）し、その偏差（差電圧）を出力す
る比較回路９ｂと、アノードが比較回路９ｂの出力端に
接続され、カソードがゼロ電位に接続されたダイオード
ｄからなり比較回路９ｂの偏差の拡大を抑制する抑制回
路９ｃと、抑制回路９ｃの出力について比例、微分、積
分等の適宜の演算をなし、抑制回路９ｃの出力に対応し
た制御信号を出力する演算処理回路９ｄを備えて構成さ
れている。
信号を入力して増幅等の処理をする入力信号処理回路９
ａと、入力信号処理回路９ａの出力すなわち電子流検出
値（この実施の形態では０Ｖから＋１０Ｖの直流正電圧
の範囲内）と設定器６の設定値（この実施の形態では０
Ｖから−１０Ｖの直流負電圧の範囲内）とを比較（この
実施の形態では加算）し、その偏差（差電圧）を出力す
る比較回路９ｂと、アノードが比較回路９ｂの出力端に
接続され、カソードがゼロ電位に接続されたダイオード
ｄからなり比較回路９ｂの偏差の拡大を抑制する抑制回
路９ｃと、抑制回路９ｃの出力について比例、微分、積
分等の適宜の演算をなし、抑制回路９ｃの出力に対応し
た制御信号を出力する演算処理回路９ｄを備えて構成さ
れている。
【００１５】このように構成された制御回路９を備える
電子流制御装置は、通常、電子流検出値と設定値が比較
され、その偏差分に対応する制御信号が出力され、前述
のように電子流が制御される。放電の発生などにより電
子流検出値が設定値を越えて増大すると、比較回路９ｂ
は設定値を越える電子流検出値の増大分の正電圧の偏差
を出力する。
電子流制御装置は、通常、電子流検出値と設定値が比較
され、その偏差分に対応する制御信号が出力され、前述
のように電子流が制御される。放電の発生などにより電
子流検出値が設定値を越えて増大すると、比較回路９ｂ
は設定値を越える電子流検出値の増大分の正電圧の偏差
を出力する。
【００１６】その偏差が抑制回路９ｃのダイオードｄの
順方向導通電圧（例えば＋０．６Ｖ）を越えるとダイオ
ードｄが導通し、この場合、抑制回路９ｃの出力はダイ
オードｄの順方向導通電圧となり、このダイオードｄの
順方向導通電圧に対応する制御信号を出力する。つま
り、検出値の増加による偏差の拡大はダイオードｄによ
り抑制される。
順方向導通電圧（例えば＋０．６Ｖ）を越えるとダイオ
ードｄが導通し、この場合、抑制回路９ｃの出力はダイ
オードｄの順方向導通電圧となり、このダイオードｄの
順方向導通電圧に対応する制御信号を出力する。つま
り、検出値の増加による偏差の拡大はダイオードｄによ
り抑制される。
【００１７】このダイオードｄの順方向導通電圧に対応
する制御信号は、ファーストリカバリスイッチ７のオフ
作動の間保持され、ファーストリカバリスイッチ７のオ
フ作動により放電が消滅し、ファーストリカバリスイッ
チ７がオン復帰したとき、この制御信号による電圧調整
回路２の出力電圧の電子流から設定値の出力電圧の電子
流に戻される。この間の電子流の増加は０．６Ｖの偏差
分で小幅であり、したがって、電子流のハンチング現象
を抑制し、速やかに定常値へ復帰させることができる。
またこの実施の形態では、加速電圧の制御により電子流
を制御しているので、放電消滅時の高電圧発生回路３の
出力電圧の跳上りが抑えられ、高電圧発生回路３の出力
電圧の跳上りによる放電の再発も防止される。
する制御信号は、ファーストリカバリスイッチ７のオフ
作動の間保持され、ファーストリカバリスイッチ７のオ
フ作動により放電が消滅し、ファーストリカバリスイッ
チ７がオン復帰したとき、この制御信号による電圧調整
回路２の出力電圧の電子流から設定値の出力電圧の電子
流に戻される。この間の電子流の増加は０．６Ｖの偏差
分で小幅であり、したがって、電子流のハンチング現象
を抑制し、速やかに定常値へ復帰させることができる。
またこの実施の形態では、加速電圧の制御により電子流
を制御しているので、放電消滅時の高電圧発生回路３の
出力電圧の跳上りが抑えられ、高電圧発生回路３の出力
電圧の跳上りによる放電の再発も防止される。
【００１８】なお、実施の形態では電子流の制御を加速
電圧の制御により行っているが、フィラメントに流れる
電流の制御により電子流の制御を行うようにしても、あ
るいはグリッド電圧の制御により電子流の制御を行うよ
うにしても良い。またファーストリカバリスイッチは制
御回路の出力側に設けることに限られるものでなく、高
電圧を低下できる任意の位置であって良い。さらに抑制
回路は１個のダイオードに限らず複数であっても良く、
ツェナーダイオード等の定電圧素子や回路であっても良
い。
電圧の制御により行っているが、フィラメントに流れる
電流の制御により電子流の制御を行うようにしても、あ
るいはグリッド電圧の制御により電子流の制御を行うよ
うにしても良い。またファーストリカバリスイッチは制
御回路の出力側に設けることに限られるものでなく、高
電圧を低下できる任意の位置であって良い。さらに抑制
回路は１個のダイオードに限らず複数であっても良く、
ツェナーダイオード等の定電圧素子や回路であっても良
い。
【００１９】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
放電が発生しても速やかに電子流を定常値へ復帰させる
ことができるので、信頼性の高い電子線照射装置が得ら
れる。
放電が発生しても速やかに電子流を定常値へ復帰させる
ことができるので、信頼性の高い電子線照射装置が得ら
れる。
【図１】本発明の実施の形態の電子線照射装置の電子流
制御装置の回路図である。
制御装置の回路図である。
【図２】従来の電子線照射装置の電子流制御装置の回路
図である。
図である。
２ 電圧調整回路 ３ 高電圧発生回路 ４ 加速器 ６ 設定器 ７ ファーストリカバリスイッチ ８ 電子流検出器 ９ 制御回路 ９ａ 入力信号処理回路 ９ｂ 比較回路 ９ｃ 抑制回路 ９ｄ 演算処理回路 ｄ ダイオード
Claims (1)
- 【請求項１】 電子流の検出値と設定値とを比較し、そ
の偏差を出力する比較回路を備え、前記偏差にしたがい
電子流を制御してなる電子線照射装置の電子流制御装置
において、前記比較回路の出力側に前記検出値の増加に
よる偏差の拡大を抑制する抑制回路を設けてなることを
特徴とする電子線照射装置の電子流制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9163197A JPH10319197A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 電子線照射装置の電子流制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9163197A JPH10319197A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 電子線照射装置の電子流制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10319197A true JPH10319197A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15769129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9163197A Pending JPH10319197A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 電子線照射装置の電子流制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10319197A (ja) |
-
1997
- 1997-05-15 JP JP9163197A patent/JPH10319197A/ja active Pending
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Legal Events
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