JP2833076B2 - イオン源安定運転制御方法 - Google Patents
イオン源安定運転制御方法Info
- Publication number
- JP2833076B2 JP2833076B2 JP1319964A JP31996489A JP2833076B2 JP 2833076 B2 JP2833076 B2 JP 2833076B2 JP 1319964 A JP1319964 A JP 1319964A JP 31996489 A JP31996489 A JP 31996489A JP 2833076 B2 JP2833076 B2 JP 2833076B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- mon
- adj
- filament
- arc current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 8
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 7
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
Description
この発明は、フィラメントから熱電子を発生させ、フ
ィラメントとチャンバ壁またはその他の電極との間でア
ーク放電を生じさせることによって気体をイオン化する
イオン源を安定に運転することのできる方法に関する。
ィラメントとチャンバ壁またはその他の電極との間でア
ーク放電を生じさせることによって気体をイオン化する
イオン源を安定に運転することのできる方法に関する。
第２図によって従来例に係るイオン源の制御方法を説
明する。 アーク電流１はフィラメントとチャンバ壁（陽極を兼
ねる）又は適当な陽極との間にアークを生じさせ、これ
を維持するための電源である。 フィラメント電源２はイオン源のフィラメントに給電
するための電源である。コントローラ３はアーク電源１
及びフィラメント電源２を制御する装置である。 コントローラ３はアーク電源の電圧を設定する。これ
をアーク電流設定値VA-ADJという。アーク電源１はこれ
に等しい電圧を出力する。 アーク電流１はアーク放電の実際の電圧、電流の値を
モニタしている。これをそれぞれアーク電圧運転値V
A-MON、アーク電流運転値IA-MONと呼ぶことにする。 このうちアーク電流運転値IA-MONがフィラメント電源
２に入力される。これとコントローラ３から与えられた
フィラメント電流の望ましい設定値IF-O（一定）とアー
ク電流設定値IA-ADJとから、フィラメント電源２が、フ
ィラメントに供給するフィラメント電流設定値IF-ADJを
決定する。 実際には次のようにする。 最初適切なある値にアーク電圧設定値VA-ADJとフィラ
メント電流設定値IF-ADJとを決定しておきアークチャン
バにおいてプラズマ点灯させる。プラズマ点灯のあと
は、 アーク電流運転値IA-MON＞アーク電流設定値IA-ADJの
時は、フィラメント電流設定値IF-ADJを減少させる。 アーク電流運転値IA-MON＜アーク電流設定値IA-ADJの
時は、フィラメント電流設定値IF-ADJを増大させる。 このようにアーク電流運転値IA-MONとアーク電流設定
値IA-ADJの値を比較して、フィラメント電流設定値I
F-ADJを増減していた。 の場合はアークが設定値より強すぎるのであるか
ら、フィラメント電流設定値を減少させ熱電子放出を抑
制することによってアークの勢いを弱める。 反対にの場合はアークが設定値より弱すぎるのであ
るからフィラメント電流設定値を増大させ熱電子放出を
増大させてアークの勢いを強める。 結局、望ましいアークが維持される事になる。
明する。 アーク電流１はフィラメントとチャンバ壁（陽極を兼
ねる）又は適当な陽極との間にアークを生じさせ、これ
を維持するための電源である。 フィラメント電源２はイオン源のフィラメントに給電
するための電源である。コントローラ３はアーク電源１
及びフィラメント電源２を制御する装置である。 コントローラ３はアーク電源の電圧を設定する。これ
をアーク電流設定値VA-ADJという。アーク電源１はこれ
に等しい電圧を出力する。 アーク電流１はアーク放電の実際の電圧、電流の値を
モニタしている。これをそれぞれアーク電圧運転値V
A-MON、アーク電流運転値IA-MONと呼ぶことにする。 このうちアーク電流運転値IA-MONがフィラメント電源
２に入力される。これとコントローラ３から与えられた
フィラメント電流の望ましい設定値IF-O（一定）とアー
ク電流設定値IA-ADJとから、フィラメント電源２が、フ
ィラメントに供給するフィラメント電流設定値IF-ADJを
決定する。 実際には次のようにする。 最初適切なある値にアーク電圧設定値VA-ADJとフィラ
メント電流設定値IF-ADJとを決定しておきアークチャン
バにおいてプラズマ点灯させる。プラズマ点灯のあと
は、 アーク電流運転値IA-MON＞アーク電流設定値IA-ADJの
時は、フィラメント電流設定値IF-ADJを減少させる。 アーク電流運転値IA-MON＜アーク電流設定値IA-ADJの
時は、フィラメント電流設定値IF-ADJを増大させる。 このようにアーク電流運転値IA-MONとアーク電流設定
値IA-ADJの値を比較して、フィラメント電流設定値I
F-ADJを増減していた。 の場合はアークが設定値より強すぎるのであるか
ら、フィラメント電流設定値を減少させ熱電子放出を抑
制することによってアークの勢いを弱める。 反対にの場合はアークが設定値より弱すぎるのであ
るからフィラメント電流設定値を増大させ熱電子放出を
増大させてアークの勢いを強める。 結局、望ましいアークが維持される事になる。
しかしこのような装置には次の難点がある。 I.前記の、の動作はフィラメント電源２内で行われ
る。このため多くの変数を扱うような制御ができず、ア
ーク電流運転値IA-MONと、アーク電流設定値IA-ADJの大
小関係だけで、フィラメント電流設定値を制御してい
た。 アーク電流運転値IA-MONは急激に変化することもあ
り、緩やかに変化することもある。これら変化の態様を
区別せず、同じ量だけフィラメント電流設定値を増加
し、或は減少させるのではプラズマを安定に維持するよ
うに運転することが難しい。 II.前記、の操作をする機能をフィラメント電源２
の中に持つため、回路が複雑で高価になる。フィラメン
ト電源は高圧であり大地電圧から浮いている。充分な絶
縁が必要であるし、回路素子に高圧がかかる惧れもあ
り、地上で使う安価な回路素子を使えないことが多い。 プラズマの急激な変化、遅い変化に対応して常に適切
な制御を行えるようにした運転制御方法を提供すること
が本発明の第１の目的である。さらにフィラメント電源
の簡素化を計り、低価格にすることのできる運転制御方
法を提供することが本発明の第２の目的である。
る。このため多くの変数を扱うような制御ができず、ア
ーク電流運転値IA-MONと、アーク電流設定値IA-ADJの大
小関係だけで、フィラメント電流設定値を制御してい
た。 アーク電流運転値IA-MONは急激に変化することもあ
り、緩やかに変化することもある。これら変化の態様を
区別せず、同じ量だけフィラメント電流設定値を増加
し、或は減少させるのではプラズマを安定に維持するよ
うに運転することが難しい。 II.前記、の操作をする機能をフィラメント電源２
の中に持つため、回路が複雑で高価になる。フィラメン
ト電源は高圧であり大地電圧から浮いている。充分な絶
縁が必要であるし、回路素子に高圧がかかる惧れもあ
り、地上で使う安価な回路素子を使えないことが多い。 プラズマの急激な変化、遅い変化に対応して常に適切
な制御を行えるようにした運転制御方法を提供すること
が本発明の第１の目的である。さらにフィラメント電源
の簡素化を計り、低価格にすることのできる運転制御方
法を提供することが本発明の第２の目的である。
本発明は、フィラメント電源でフィラメント電流設定
値を設定せず、コントローラ３で設定するようにする。
アークが生じプラズマが発生するまでは従来と同じであ
る。その後の動作をコントローラ３で行う。この動作に
おいては、 アーク電流設定値IA-ADJをアーク電流運転値IA-MONに
比較するのは従来法と同じであるが、さらにアーク電流
運転値IA-MONの時間的な変化をも考慮する。 このためアーク電流運転値IA-MONを一定時間毎にサン
プリングするが、前回のアーク電流運転値（前回運転値
IA-OLD）と今回のアーク電流運転値IA-MONとを比較し、
これらの大小関係によってフィラメント電流設定値を変
化させる。 アーク電流運転値IA-MONがアーク電流設定値IA-ADJよ
り大きいときと、小さいときに分けてフィラメント電流
設定値の与え方を説明する。第１図に本発明の構成を示
し、第３図にアーク電流運転値IA-MONの変動を例示す
る。第３図において基準線はアーク電流設定値IA-ADJを
示す。 本発明の動作は次のように行われる。 アーク電流運転値IA-MON＞アーク電流設定値IA-ADJの
場合、（基準線より上の領域） （ア）アーク電流運転値IA-MON＞＞前回運転値IA-OLDの
時は（第３図のア点） フィラメント電流設定値IF-ADJを急激に減少させる。 （イ）アーク電流運転値IA-MON＞前回運転値IA-OLDの時
は（第３図のイ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを中程度の速度で減少
させる。 （ウ）アーク電流運転値IA-MON＝前回運転値IA-OLDの時
は（第３図のウ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを遅く減少させる。 （エ）アーク電流運転値IA-MON＜前回運転値IA-OLDの時
は（第３図のエ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを前回と同じに保つ。 IIアーク電流運転値IA-MON＜アーク電流設定値IA-ADJの
場合（基準線より下の領域） （オ）アーク電流運転値IA-MON＜＜前回運転値IA-OLDの
場合（オ点）、 フィラメント電流設定値IF-ADJを急激に増加する。 （カ）アーク電流運転値IA-MON＜前回運転値IA-OLDの場
合（カ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを中程度の速度で増加
する。 （キ）アーク電流運転値IA-MON＝前回運転値IA-OLDの場
合（キ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを遅く増加する。 （ク）アーク電流運転値IA-MON＞前回運転値IA-OLDの場
合（ク点） フィラメント電流設定値IF-ADJを前回と同じ値に保
つ。 同じことを一覧表にすると第一表のようになる。
値を設定せず、コントローラ３で設定するようにする。
アークが生じプラズマが発生するまでは従来と同じであ
る。その後の動作をコントローラ３で行う。この動作に
おいては、 アーク電流設定値IA-ADJをアーク電流運転値IA-MONに
比較するのは従来法と同じであるが、さらにアーク電流
運転値IA-MONの時間的な変化をも考慮する。 このためアーク電流運転値IA-MONを一定時間毎にサン
プリングするが、前回のアーク電流運転値（前回運転値
IA-OLD）と今回のアーク電流運転値IA-MONとを比較し、
これらの大小関係によってフィラメント電流設定値を変
化させる。 アーク電流運転値IA-MONがアーク電流設定値IA-ADJよ
り大きいときと、小さいときに分けてフィラメント電流
設定値の与え方を説明する。第１図に本発明の構成を示
し、第３図にアーク電流運転値IA-MONの変動を例示す
る。第３図において基準線はアーク電流設定値IA-ADJを
示す。 本発明の動作は次のように行われる。 アーク電流運転値IA-MON＞アーク電流設定値IA-ADJの
場合、（基準線より上の領域） （ア）アーク電流運転値IA-MON＞＞前回運転値IA-OLDの
時は（第３図のア点） フィラメント電流設定値IF-ADJを急激に減少させる。 （イ）アーク電流運転値IA-MON＞前回運転値IA-OLDの時
は（第３図のイ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを中程度の速度で減少
させる。 （ウ）アーク電流運転値IA-MON＝前回運転値IA-OLDの時
は（第３図のウ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを遅く減少させる。 （エ）アーク電流運転値IA-MON＜前回運転値IA-OLDの時
は（第３図のエ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを前回と同じに保つ。 IIアーク電流運転値IA-MON＜アーク電流設定値IA-ADJの
場合（基準線より下の領域） （オ）アーク電流運転値IA-MON＜＜前回運転値IA-OLDの
場合（オ点）、 フィラメント電流設定値IF-ADJを急激に増加する。 （カ）アーク電流運転値IA-MON＜前回運転値IA-OLDの場
合（カ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを中程度の速度で増加
する。 （キ）アーク電流運転値IA-MON＝前回運転値IA-OLDの場
合（キ点） フィラメント電流設定値IF-ADJを遅く増加する。 （ク）アーク電流運転値IA-MON＞前回運転値IA-OLDの場
合（ク点） フィラメント電流設定値IF-ADJを前回と同じ値に保
つ。 同じことを一覧表にすると第一表のようになる。
アーク電流運転値IA-MONがアーク電流設定値IA-ADJよ
り大きいということは、所望の値よりアークが強すぎる
ということである。この場合フィラメント電流を減少さ
せた方が良い。ところが本発明ではそれだけではなくア
ーク電流運転値IA-MONが増加しているのか、減少してい
るのか、その速度はどの程度かということも考慮する。 もしもアーク電流運転値IA-MONがなお増加しているの
であれば（ア点）フィラメント電流を急激に減少させる
必要がある。増加の度合いを見るために前回運転値I
A-OLDと今回のアーク電流運転値IA-MONとを比較する。
アーク電流運転値IA-MONが急激に増加しているというこ
とは、 アーク電流運転値IA-MON＞＞アーク電流設定値IA-ADJ ということで分かる。そこでこの場合はフィラメント電
流設定値IF-ADJを急減することにしている。二重不等号
＞＞の範囲は目的によって適当に決定する。 IA-MON＞IA-ADJであって、IA-MONが中程度で増加して
いる時（イ）はやはりフィラメント電流を下げる必要が
ある。中程度の速度で増加しているということはIA-MON
＞IA-OLDと言うことで分かる。この場合はフィラメント
電流設定値を中程度の速度で減少させる。 二重不等号と一重不等号の境界は先程述べたように適
当に決定する。ただしここでは不等号を便宜的に使って
おり、「＞」というのは「＞＞」と排他的な意味に使わ
れている。つまり不等号に差が含まれているのである。 ウ点では、IA-MON＞IA-ADJであるが、IA-MONが減少も
増加もしていない。この場合はIF-ADJをゆっくりと減少
させると良い。 エ点では、IA-MON＞IA-ADJであるが、IA-MONが減少し
ている。この場合はアーク電流が多すぎるけれども減少
しているので正しい方向に自己修正しているということ
ができる。この場合はフィラメント電流を減少させると
アーク放電が急激に弱くなり却って不安定になる。そこ
でこの場合はフィラメント電流を前回と同じ値に保持す
る方が良い。 このように本発明はアーク電流運転値IA-MONの変動の
方向、大きさをも考慮して、フィラメント電流設定値を
決定する。このような多段階の制御はコントローラ３で
行うから容易に可能になる。高圧の掛かっているフィラ
メント電源２でそのようなことを行うことは容易でな
い。
り大きいということは、所望の値よりアークが強すぎる
ということである。この場合フィラメント電流を減少さ
せた方が良い。ところが本発明ではそれだけではなくア
ーク電流運転値IA-MONが増加しているのか、減少してい
るのか、その速度はどの程度かということも考慮する。 もしもアーク電流運転値IA-MONがなお増加しているの
であれば（ア点）フィラメント電流を急激に減少させる
必要がある。増加の度合いを見るために前回運転値I
A-OLDと今回のアーク電流運転値IA-MONとを比較する。
アーク電流運転値IA-MONが急激に増加しているというこ
とは、 アーク電流運転値IA-MON＞＞アーク電流設定値IA-ADJ ということで分かる。そこでこの場合はフィラメント電
流設定値IF-ADJを急減することにしている。二重不等号
＞＞の範囲は目的によって適当に決定する。 IA-MON＞IA-ADJであって、IA-MONが中程度で増加して
いる時（イ）はやはりフィラメント電流を下げる必要が
ある。中程度の速度で増加しているということはIA-MON
＞IA-OLDと言うことで分かる。この場合はフィラメント
電流設定値を中程度の速度で減少させる。 二重不等号と一重不等号の境界は先程述べたように適
当に決定する。ただしここでは不等号を便宜的に使って
おり、「＞」というのは「＞＞」と排他的な意味に使わ
れている。つまり不等号に差が含まれているのである。 ウ点では、IA-MON＞IA-ADJであるが、IA-MONが減少も
増加もしていない。この場合はIF-ADJをゆっくりと減少
させると良い。 エ点では、IA-MON＞IA-ADJであるが、IA-MONが減少し
ている。この場合はアーク電流が多すぎるけれども減少
しているので正しい方向に自己修正しているということ
ができる。この場合はフィラメント電流を減少させると
アーク放電が急激に弱くなり却って不安定になる。そこ
でこの場合はフィラメント電流を前回と同じ値に保持す
る方が良い。 このように本発明はアーク電流運転値IA-MONの変動の
方向、大きさをも考慮して、フィラメント電流設定値を
決定する。このような多段階の制御はコントローラ３で
行うから容易に可能になる。高圧の掛かっているフィラ
メント電源２でそのようなことを行うことは容易でな
い。
サンプリング時間を0.1sec（100msec）とし、フィラ
メント電流設定値IF-ADJの値の変動を次のように与え
た。 急増又は急減 0.05A/0.1sec＝1.5A/sec 中程度の増減 0.025A/0.1sec＝0.25A/sec 遅い増加減少 0.025A/5sec＝0.005A/sec プラズマ発生後暫くは従来と同じようにアーク電流の
変動があった。しかしその後はアーク電流が安定し、８
時間にわたってアーク電流が±0.01A以内の変動に収ま
った。従来法では、±0.2〜0.3A程度の変動がみられ
た。
メント電流設定値IF-ADJの値の変動を次のように与え
た。 急増又は急減 0.05A/0.1sec＝1.5A/sec 中程度の増減 0.025A/0.1sec＝0.25A/sec 遅い増加減少 0.025A/5sec＝0.005A/sec プラズマ発生後暫くは従来と同じようにアーク電流の
変動があった。しかしその後はアーク電流が安定し、８
時間にわたってアーク電流が±0.01A以内の変動に収ま
った。従来法では、±0.2〜0.3A程度の変動がみられ
た。
アーク電流運転値IA-MONとアーク電流設定値IA-ADJの
大小関係だけでなく、アーク電流運転値IA-MONの変動を
も考慮してきめ細かくフィラメント電流設定値を制御す
るので、アーク電流運転値IA-MONの変動が極めて小さく
なる。この結果アーク放電が安定する。 このような制御を高圧の掛かるフィラメント電源では
なく、コントローラ３で行う（接地電位）ので、フィラ
メント電源の構造が単純化され、安価になる。コントロ
ーラ３の機能は増加するが、これは大地で使える安価な
電気回路素子を用いて構成できるので、これによってコ
ントローラ３が高価にはならない。
大小関係だけでなく、アーク電流運転値IA-MONの変動を
も考慮してきめ細かくフィラメント電流設定値を制御す
るので、アーク電流運転値IA-MONの変動が極めて小さく
なる。この結果アーク放電が安定する。 このような制御を高圧の掛かるフィラメント電源では
なく、コントローラ３で行う（接地電位）ので、フィラ
メント電源の構造が単純化され、安価になる。コントロ
ーラ３の機能は増加するが、これは大地で使える安価な
電気回路素子を用いて構成できるので、これによってコ
ントローラ３が高価にはならない。
第１図は本発明のイオン源安定運転制御のための構成を
示す略構成図。 第２図は従来例にかかるイオン源制御装置の略構成図。 第３図は本発明においてアーク電流運転値IA-MONが変動
する場合の異なる状態を示す図。 １……アーク電源 ２……フィラメント電源 ３……コントローラ IA-MON……アーク電流運転値 IA-ADJ……アーク電流設定値 IF-ADJ……フィラメント電流設定値 VA-ADJ……アーク電圧設定値 IA-OLD……前回運転値
示す略構成図。 第２図は従来例にかかるイオン源制御装置の略構成図。 第３図は本発明においてアーク電流運転値IA-MONが変動
する場合の異なる状態を示す図。 １……アーク電源 ２……フィラメント電源 ３……コントローラ IA-MON……アーク電流運転値 IA-ADJ……アーク電流設定値 IF-ADJ……フィラメント電流設定値 VA-ADJ……アーク電圧設定値 IA-OLD……前回運転値
Claims (1)
- 【請求項１】熱電子を発生するフィラメントに電力を供
給するフィラメント電源と、フィラメントとチャンバ壁
または電極の間にアークを発生させこれを維持するアー
ク電源とを制御するために、アーク電流運転値IA-MONを
一定時間ごとにサンプリングし、アーク電流設定値I
A-ADJとアーク電流運転値IA-MONとをサンプリング時ご
とに比較し、アーク電流運転値IA-MONと前回のサンプリ
ング時のアーク電流運転値IA-OLDとを比較して、これら
の比較結果によってフィラメント電流設定値IF-ADJを修
正する方法であって、 アーク電流運転値IA-MONがアーク電流設定値IA-ADJより
大きい時であって、 アーク電流運転値IA-MONが前回のサンプリング時の値
（前回運転値）IA-OLDより極めて大きい時は、フィラメ
ント電流設定値IF-ADJを急激に減少させ、 アーク電流運転値IA-MONが前回運転値IA-OLDより少し大
きい時は、フィラメント電流設定値IF-ADJを中程度の速
度で減少させ、 アーク電流運転値IA-MONが前回運転値IA-OLDと同じであ
る時は、フィラメント電流設定値IF-ADJを遅く減少さ
せ、 アーク電流運転値IA-MONが前回運転値IA-OLDより小さい
時は、フィラメント電流設定値IF-ADJをそのまま保つこ
ととし、 アーク電流運転値IA-MONがアーク電流設定値IA-ADJより
小さい時であって、 アーク電流運転値IA-MONが前回運転値IA-OLDより極めて
小さい時はフィラメント電流設定値IF-ADJを急激に増加
させ、 アーク電流運転値IA-MONが前回運転値IA-OLDより少し小
さい時はフィラメント電流設定値IF-ADJを中程度の速度
で増加させ、 アーク電流運転値IA-MONが前回運転値IA-OLDと同じ時は
フィラメント電流設定値IF-ADJを遅く増加させ、 アーク電流運転値IA-MONが前回運転値IA-OLDより大きい
時はフィラメント電流設定値IF-ADJをそのまま保つ ようにしたことを特徴とするイオン源安定電源制御方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1319964A JP2833076B2 (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | イオン源安定運転制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1319964A JP2833076B2 (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | イオン源安定運転制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03182033A JPH03182033A (ja) | 1991-08-08 |
| JP2833076B2 true JP2833076B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=18116218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1319964A Expired - Fee Related JP2833076B2 (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | イオン源安定運転制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833076B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100553780B1 (ko) | 1999-04-30 | 2006-02-20 | 닛신덴키 가부시키 가이샤 | 이온주입장치 |
-
1989
- 1989-12-08 JP JP1319964A patent/JP2833076B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03182033A (ja) | 1991-08-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4650258B2 (ja) | 電源装置 | |
| US10314120B2 (en) | System for powering dual magnetrons using a dual power supply | |
| JP2833076B2 (ja) | イオン源安定運転制御方法 | |
| JP2818014B2 (ja) | 電界放射形電子銃 | |
| JP4054525B2 (ja) | 間接加熱される陰極を有するイオン源の出力制御装置 | |
| JPH04169041A (ja) | イオン源 | |
| JP2733628B2 (ja) | イオン発生装置 | |
| JPH11144663A (ja) | 電界放出形電子顕微鏡 | |
| JPH051431B2 (ja) | ||
| JP3014206B2 (ja) | 電界放射型電子銃のアノード電圧制御方法 | |
| JPS61158204A (ja) | 自動電力制御回路 | |
| JPH0720296A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPS62219449A (ja) | 電界放射型イオンビ−ム発生装置 | |
| JPH0722034Y2 (ja) | 荷電粒子ビーム発生装置 | |
| US2707766A (en) | Cold cathode voltage regulator | |
| JPS5935346A (ja) | Ｉｍａのイオン銃 | |
| JPH04115442A (ja) | イオン源用フィラメント電源 | |
| JPS63231841A (ja) | イオン源用放電電源装置 | |
| JPH10319197A (ja) | 電子線照射装置の電子流制御装置 | |
| JPH01114917A (ja) | 電源装置 | |
| JP2001060118A (ja) | 太陽電池の最大電力制御方法 | |
| JPS60154500A (ja) | イオン源用電源 | |
| JP2001141863A (ja) | 粒子ビーム装置 | |
| JPS63178433A (ja) | 液体金属イオン源の安定化方法及び装置 | |
| JPH06162978A (ja) | 電界放出形電子顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |