JPH0720296A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
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- JPH0720296A JPH0720296A JP18719293A JP18719293A JPH0720296A JP H0720296 A JPH0720296 A JP H0720296A JP 18719293 A JP18719293 A JP 18719293A JP 18719293 A JP18719293 A JP 18719293A JP H0720296 A JPH0720296 A JP H0720296A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィラメントに供給する電力を削減すること
のできる電子線照射装置を提供する。 【構成】 比較回路２６は、フィラメント電力モニタ２
５により出力される直流電圧信号ａが信号切換え器２９
により出力される信号、すなわち電子線照射装置の運転
が行われているときは第一フィラメント電力設定器２７
が出力する直流電圧信号ｂと、電子線照射装置の運転が
行われていないときは第二フィラメント電力設定器２７
が出力する直流電圧信号ｃと等しくなるように電力調整
器２３を制御する。したがって、フィラメントに供給さ
れる電力は、電子線照射装置の運転が行われているとき
は６００Ｗとなり、電子線照射装置の運転が行われてい
ないときは６００Ｗ以下の電力となる。
のできる電子線照射装置を提供する。 【構成】 比較回路２６は、フィラメント電力モニタ２
５により出力される直流電圧信号ａが信号切換え器２９
により出力される信号、すなわち電子線照射装置の運転
が行われているときは第一フィラメント電力設定器２７
が出力する直流電圧信号ｂと、電子線照射装置の運転が
行われていないときは第二フィラメント電力設定器２７
が出力する直流電圧信号ｃと等しくなるように電力調整
器２３を制御する。したがって、フィラメントに供給さ
れる電力は、電子線照射装置の運転が行われているとき
は６００Ｗとなり、電子線照射装置の運転が行われてい
ないときは６００Ｗ以下の電力となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被処理物にカーテン状
の電子線を照射する電子線照射装置に関するものであ
る。
の電子線を照射する電子線照射装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子線照射装置では、所定の長さ
を有するフィラメントを加熱して熱電子を発生させ、こ
の熱電子のグリッドからの放出量をグリッド電圧を調整
することにより制御するとともに、グリッドから放出さ
れた熱電子に高電圧を印加することにより加速させフィ
ラメントの長さと略同じ長さを有するカーテン状の電子
電流とした後、このカーテン状の電子電流を被処理物に
照射している。
を有するフィラメントを加熱して熱電子を発生させ、こ
の熱電子のグリッドからの放出量をグリッド電圧を調整
することにより制御するとともに、グリッドから放出さ
れた熱電子に高電圧を印加することにより加速させフィ
ラメントの長さと略同じ長さを有するカーテン状の電子
電流とした後、このカーテン状の電子電流を被処理物に
照射している。
【０００３】図４は、従来の電子線照射装置におけるフ
ィラメント電力供給装置を示す概略ブロック図である。
図４に示すフィラメント電力供給装置５０は、商用電源
５１と、保護ヒューズ５２と、電力調整器５３と、絶縁
トランス５４と、フィラメント電力モニタ５５と、比較
回路５６と、フィラメント電力設定器５７とを備えて構
成される。電力調整器５３は、制御信号に基づき商用電
源５１から入力された電力を調整する。フィラメント電
力モニタ５５は、電力調整器５３により調整された電力
に応じた直流電圧信号ａを出力する。フィラメント電力
モニタ５５には、電力トランスデューサ等が用いられ
る。フィラメント電力設定器５７は、予め設定された内
容に基づき直流電圧信号ｂを出力する。比較回路５６
は、直流電圧信号ａと直流電圧信号ｂとを比較し、その
結果に基づき制御信号を出力し、直流電圧信号ａが直流
電圧信号ｂと等しくなるように電力調整器５３を制御す
る。絶縁トランス５４は、フィラメント６０（高圧側）
とフィラメント電力供給装置５０（低圧側）とを電気的
に絶縁する。
ィラメント電力供給装置を示す概略ブロック図である。
図４に示すフィラメント電力供給装置５０は、商用電源
５１と、保護ヒューズ５２と、電力調整器５３と、絶縁
トランス５４と、フィラメント電力モニタ５５と、比較
回路５６と、フィラメント電力設定器５７とを備えて構
成される。電力調整器５３は、制御信号に基づき商用電
源５１から入力された電力を調整する。フィラメント電
力モニタ５５は、電力調整器５３により調整された電力
に応じた直流電圧信号ａを出力する。フィラメント電力
モニタ５５には、電力トランスデューサ等が用いられ
る。フィラメント電力設定器５７は、予め設定された内
容に基づき直流電圧信号ｂを出力する。比較回路５６
は、直流電圧信号ａと直流電圧信号ｂとを比較し、その
結果に基づき制御信号を出力し、直流電圧信号ａが直流
電圧信号ｂと等しくなるように電力調整器５３を制御す
る。絶縁トランス５４は、フィラメント６０（高圧側）
とフィラメント電力供給装置５０（低圧側）とを電気的
に絶縁する。
【０００４】上記構成によるフィラメント電力供給装置
５０では、商用電源５１から出力された電力は、電力調
整器５３により比較回路５６から出力された制御信号に
基づき調整された後、絶縁トランス５４を介してフィラ
メント６０に供給される。比較回路５６は、フィラメン
ト電力モニタ５５により出力される直流電圧信号ａがフ
ィラメント電力設定器５７により出力される直流電圧信
号ｂと等しくなるように電力調整器５３を制御するの
で、従来の電子線照射装置では、常に一定の電力がフィ
ラメントに供給される。
５０では、商用電源５１から出力された電力は、電力調
整器５３により比較回路５６から出力された制御信号に
基づき調整された後、絶縁トランス５４を介してフィラ
メント６０に供給される。比較回路５６は、フィラメン
ト電力モニタ５５により出力される直流電圧信号ａがフ
ィラメント電力設定器５７により出力される直流電圧信
号ｂと等しくなるように電力調整器５３を制御するの
で、従来の電子線照射装置では、常に一定の電力がフィ
ラメントに供給される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
電子線照射装置では、フィラメントに供給される電力は
常に一定となるので、フィラメントから電子を取り出す
最大値に対応する電力をフィラメントに供給するように
フィラメント電力供給装置５０を設定しなければなら
ず、また、フィラメントへの電力の供給についてオン・
オフを繰り返すとフィラメントの寿命が低下するため、
常にフィラメントに電力を供給するようにしなければな
らない。このため、たとえば電子電流の最大出力が２０
ｍＡの場合、この２０ｍＡの電子電流を取り出すにはフ
ィラメントに約６００Ｗの電力を供給する必要がある
が、従来の電子線照射装置では、約６００Ｗの電力をフ
ィラメントに供給するようにフィラメント電力供給装置
を設定しなければならず、したがって夜間等電子線照射
装置を使用しないときでも常に約６００Ｗの電力が消費
され無駄が生ずるという問題がある。
電子線照射装置では、フィラメントに供給される電力は
常に一定となるので、フィラメントから電子を取り出す
最大値に対応する電力をフィラメントに供給するように
フィラメント電力供給装置５０を設定しなければなら
ず、また、フィラメントへの電力の供給についてオン・
オフを繰り返すとフィラメントの寿命が低下するため、
常にフィラメントに電力を供給するようにしなければな
らない。このため、たとえば電子電流の最大出力が２０
ｍＡの場合、この２０ｍＡの電子電流を取り出すにはフ
ィラメントに約６００Ｗの電力を供給する必要がある
が、従来の電子線照射装置では、約６００Ｗの電力をフ
ィラメントに供給するようにフィラメント電力供給装置
を設定しなければならず、したがって夜間等電子線照射
装置を使用しないときでも常に約６００Ｗの電力が消費
され無駄が生ずるという問題がある。
【０００６】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、フィラメントに供給する電力を削減することの
できる電子線照射装置を提供することを目的とするもの
である。
であり、フィラメントに供給する電力を削減することの
できる電子線照射装置を提供することを目的とするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの請求項１記載の発明は、電子を発生するための電子
源としてのフィラメントと、前記フィラメントより発生
した電子を加速するための直流高電圧源とを備える電子
線照射装置において、値の異なる複数の制御信号を出力
する制御信号生成手段と、前記制御信号生成手段からの
制御信号に応じてフィラメントに供給する電力を調整す
る電力調整手段とを設けたことを特徴とするものであ
る。
めの請求項１記載の発明は、電子を発生するための電子
源としてのフィラメントと、前記フィラメントより発生
した電子を加速するための直流高電圧源とを備える電子
線照射装置において、値の異なる複数の制御信号を出力
する制御信号生成手段と、前記制御信号生成手段からの
制御信号に応じてフィラメントに供給する電力を調整す
る電力調整手段とを設けたことを特徴とするものであ
る。
【０００８】上記の目的を達成するための請求項２記載
の発明は、前記制御信号生成手段が、前記電力調整手段
の出力を検出してその値に応じた信号を出力するフィラ
メント電力検出手段と、前記フィラメントが最高出力に
対応する電子を放出するための供給電力に応じた第一信
号を出力する第一フィラメント電力設定手段と、前記最
高出力よりも低い出力に対応する電子を放出するための
供給電力に応じた第二信号を出力する第二フィラメント
電力設定手段と、前記第一フィラメント電力設定手段と
前記第二フィラメント電力設定手段からの信号を切り換
えていずれか一方の信号を出力する切換え手段と、前記
フィラメント電力検出手段と前記切換え手段からの信号
を得て両者の信号値の差に応じた出力信号を前記制御信
号として出力する比較手段とを有するものである
の発明は、前記制御信号生成手段が、前記電力調整手段
の出力を検出してその値に応じた信号を出力するフィラ
メント電力検出手段と、前記フィラメントが最高出力に
対応する電子を放出するための供給電力に応じた第一信
号を出力する第一フィラメント電力設定手段と、前記最
高出力よりも低い出力に対応する電子を放出するための
供給電力に応じた第二信号を出力する第二フィラメント
電力設定手段と、前記第一フィラメント電力設定手段と
前記第二フィラメント電力設定手段からの信号を切り換
えていずれか一方の信号を出力する切換え手段と、前記
フィラメント電力検出手段と前記切換え手段からの信号
を得て両者の信号値の差に応じた出力信号を前記制御信
号として出力する比較手段とを有するものである
【０００９】上記の目的を達成するための請求項３記載
の発明は、前記切換え手段は運転状態のときには前記第
一フィラメント電力設定手段からの信号を出力し、非運
転状態のときには前記第二フィラメント電力設定手段か
らの信号を出力するものである。
の発明は、前記切換え手段は運転状態のときには前記第
一フィラメント電力設定手段からの信号を出力し、非運
転状態のときには前記第二フィラメント電力設定手段か
らの信号を出力するものである。
【００１０】上記の目的を達成するための請求項４記載
の発明は、前記切換え手段は前記直流高電圧源から直流
高電圧が供給されているときには前記第一フィラメント
電力設定手段からの信号を出力し、前記直流高電圧源か
ら直流高電圧が供給されていないときには前記第二フィ
ラメント電力設定手段からの信号を出力するものであ
る。
の発明は、前記切換え手段は前記直流高電圧源から直流
高電圧が供給されているときには前記第一フィラメント
電力設定手段からの信号を出力し、前記直流高電圧源か
ら直流高電圧が供給されていないときには前記第二フィ
ラメント電力設定手段からの信号を出力するものであ
る。
【００１１】
【作用】請求項１記載の発明は上記の構成としたことに
より、制御信号の値を変えることによってフィラメント
に供給する電力を変えることができ、これにより必要に
応じてフィラメントへの供給電力を低減してフィラメン
トへの電力の供給を停止することなくフィラメントの消
費電力を削減することができる。
より、制御信号の値を変えることによってフィラメント
に供給する電力を変えることができ、これにより必要に
応じてフィラメントへの供給電力を低減してフィラメン
トへの電力の供給を停止することなくフィラメントの消
費電力を削減することができる。
【００１２】請求項２記載の発明は上記の構成としたこ
とにより、切換え手段によって第一信号と第二信号とを
切り換えて出力することができ、これにより必要に応じ
て第二信号を出力して最高出力よりも低い出力となるよ
うにフィラメントへの供給電力を変更することができ、
したがってフィラメントへの電力の供給を停止すること
なくフィラメントの消費電力を削減することができる。
とにより、切換え手段によって第一信号と第二信号とを
切り換えて出力することができ、これにより必要に応じ
て第二信号を出力して最高出力よりも低い出力となるよ
うにフィラメントへの供給電力を変更することができ、
したがってフィラメントへの電力の供給を停止すること
なくフィラメントの消費電力を削減することができる。
【００１３】請求項３記載の発明は上記の構成としたこ
とにより、切換え手段によって装置が運転状態のときに
は、最高出力を出せるようにフィラメントに電力を供給
し、装置が非運転状態のときには、最高出力よりも低い
出力となるようにフィラメントに電力を供給することが
でき、したっがてフィラメントへの電力の供給を停止す
ることなくフィラメントの消費電力を削減することがで
きる。
とにより、切換え手段によって装置が運転状態のときに
は、最高出力を出せるようにフィラメントに電力を供給
し、装置が非運転状態のときには、最高出力よりも低い
出力となるようにフィラメントに電力を供給することが
でき、したっがてフィラメントへの電力の供給を停止す
ることなくフィラメントの消費電力を削減することがで
きる。
【００１４】請求項４記載の発明は上記の構成としたこ
とにより、切換え手段によって直流高電圧源から直流高
電圧が供給されていないときには最高出力よりも低い出
力となるようにフィラメントに電力を供給することがで
き、したっがてフィラメントへの電力の供給を停止する
ことなくフィラメントの消費電力を削減することができ
る。
とにより、切換え手段によって直流高電圧源から直流高
電圧が供給されていないときには最高出力よりも低い出
力となるようにフィラメントに電力を供給することがで
き、したっがてフィラメントへの電力の供給を停止する
ことなくフィラメントの消費電力を削減することができ
る。
【００１５】
【実施例】以下に本発明の実施例について図１乃至図３
を参照して説明する。図１は本発明の実施例である電子
線照射装置の概略正面図、図２は図１に示す電子線照射
装置の概略側面図、図３は図１に示す電子線照射装置の
フィラメント電力供給装置の概略ブロック図である。
を参照して説明する。図１は本発明の実施例である電子
線照射装置の概略正面図、図２は図１に示す電子線照射
装置の概略側面図、図３は図１に示す電子線照射装置の
フィラメント電力供給装置の概略ブロック図である。
【００１６】本発明の実施例である電子線照射装置１
は、電子線を放出する電子銃１１と、電子銃１１の周囲
の雰囲気を真空にする真空チャンバー１４と、電子銃１
１から放出された電子線を外部に取り出す金属箔で形成
された窓箔１５と、フィラメント電力供給装置１６と、
制御用電源１７と、直流高電圧源である加速用電源１８
とを具備する。電子銃１１は、所定の長さを有する線状
のフィラメント１２と、フィラメント１２の下方を除い
て覆うように配置された円筒状のシールド１３ａと、シ
ールド１３ａの下部に形成された開口部に配置された格
子状のグリッド１３ｂとからなる。制御用電源１７は、
フィラメント１２とシールド１３ａ及びグリッド１３ｂ
との間に印加する電圧を供給する。加速用電源１８は、
シールド１３ａ及びグリッド１３ｂと真空チャンバー１
４等のシャーシとの間に印加される高電圧を供給する。
は、電子線を放出する電子銃１１と、電子銃１１の周囲
の雰囲気を真空にする真空チャンバー１４と、電子銃１
１から放出された電子線を外部に取り出す金属箔で形成
された窓箔１５と、フィラメント電力供給装置１６と、
制御用電源１７と、直流高電圧源である加速用電源１８
とを具備する。電子銃１１は、所定の長さを有する線状
のフィラメント１２と、フィラメント１２の下方を除い
て覆うように配置された円筒状のシールド１３ａと、シ
ールド１３ａの下部に形成された開口部に配置された格
子状のグリッド１３ｂとからなる。制御用電源１７は、
フィラメント１２とシールド１３ａ及びグリッド１３ｂ
との間に印加する電圧を供給する。加速用電源１８は、
シールド１３ａ及びグリッド１３ｂと真空チャンバー１
４等のシャーシとの間に印加される高電圧を供給する。
【００１７】フィラメント電力供給装置１６は、図３に
示すように、制御信号生成部２０と、商用電源２１と、
保護ヒューズ２２と、電力調整器２３と、絶縁トランス
２４とを備えている。制御信号生成部２０は、フィラメ
ント電力モニタ２５と、比較回路２６と、第一フィラメ
ント電力設定器２７と、第二フィラメント電力設定器２
８と、信号切換え器２９とを備えて構成される。電力調
整器２３は、制御信号に基づき商用電源２１から入力さ
れた電力を調整して出力する。フィラメント電力モニタ
２５は、電力調整器２３により調整された電力に応じた
直流電圧信号ａを出力する。フィラメント電力モニタ２
５には、電力トランスデューサ等が用いられる。第一フ
ィラメント電力設定器２７は、フィラメントが最高出力
に対応する電子を放出するための供給電力、例えばフィ
ラメント１２から最高出力に対応する電子を取り出すと
きの電子電流が２０ｍＡの場合は６００Ｗに応じた直流
電圧信号（第一信号）ｂを出力する。第二フィラメント
電力設定器２８は、前記最高出力よりも低い出力に対応
する電子を放出するための供給電力、上記の例の場合は
６００Ｗより低い電力（たとえば２００〜３００Ｗ）に
応じた直流電圧信号（第二信号）ｃを出力する。信号切
換え器２９は、出力する信号を電子線照射装置１の運転
に連動したタイミングに基づき、運転が行われていると
きは信号ｂに、運転が行われていないときは信号ｃに切
換える。比較回路２６は、直流電圧信号ａと信号切換え
器２９が出力する信号とを比較し、その結果に基づき制
御信号を出力し、直流電圧信号ａが信号切換え器２９が
出力する信号と等しくなるように電力調整器２３を制御
する。絶縁トランス２４は、フィラメント１２（高圧
側）とフィラメント電力供給装置１６（低圧側）とを電
気的に絶縁する。
示すように、制御信号生成部２０と、商用電源２１と、
保護ヒューズ２２と、電力調整器２３と、絶縁トランス
２４とを備えている。制御信号生成部２０は、フィラメ
ント電力モニタ２５と、比較回路２６と、第一フィラメ
ント電力設定器２７と、第二フィラメント電力設定器２
８と、信号切換え器２９とを備えて構成される。電力調
整器２３は、制御信号に基づき商用電源２１から入力さ
れた電力を調整して出力する。フィラメント電力モニタ
２５は、電力調整器２３により調整された電力に応じた
直流電圧信号ａを出力する。フィラメント電力モニタ２
５には、電力トランスデューサ等が用いられる。第一フ
ィラメント電力設定器２７は、フィラメントが最高出力
に対応する電子を放出するための供給電力、例えばフィ
ラメント１２から最高出力に対応する電子を取り出すと
きの電子電流が２０ｍＡの場合は６００Ｗに応じた直流
電圧信号（第一信号）ｂを出力する。第二フィラメント
電力設定器２８は、前記最高出力よりも低い出力に対応
する電子を放出するための供給電力、上記の例の場合は
６００Ｗより低い電力（たとえば２００〜３００Ｗ）に
応じた直流電圧信号（第二信号）ｃを出力する。信号切
換え器２９は、出力する信号を電子線照射装置１の運転
に連動したタイミングに基づき、運転が行われていると
きは信号ｂに、運転が行われていないときは信号ｃに切
換える。比較回路２６は、直流電圧信号ａと信号切換え
器２９が出力する信号とを比較し、その結果に基づき制
御信号を出力し、直流電圧信号ａが信号切換え器２９が
出力する信号と等しくなるように電力調整器２３を制御
する。絶縁トランス２４は、フィラメント１２（高圧
側）とフィラメント電力供給装置１６（低圧側）とを電
気的に絶縁する。
【００１８】次に、上記構成による電子線照射装置１の
動作について説明する。先ず、フィラメント電力供給装
置１６によりフィラメント１２に電力を供給し、フィラ
メント１２を加熱することにより熱電子Ａを発生させ
る。上記構成によるフィラメント電力供給装置１６で
は、商用電源２１から出力された電力は、電力調整器２
３により比較回路２６から出力された制御信号に基づき
調整された後、絶縁トランス２４を介してフィラメント
１２に供給される。比較回路２６は、フィラメント電力
モニタ２５により出力される直流電圧信号ａが信号切換
え器２９により出力される信号、すなわち電子線照射装
置１の運転が行われているときは第一フィラメント電力
設定器２７が出力する直流電圧信号ｂと、電子線照射装
置１の運転が行われていないときは第二フィラメント電
力設定器２８が出力する直流電圧信号ｃと等しくなるよ
うに電力調整器２３を制御する。したがって、フィラメ
ント１２に供給される電力は、電子線照射装置１の運転
が行われているときは６００Ｗとなり、電子線照射装置
１の運転が行われていないときは６００Ｗ以下の電力と
なる。
動作について説明する。先ず、フィラメント電力供給装
置１６によりフィラメント１２に電力を供給し、フィラ
メント１２を加熱することにより熱電子Ａを発生させ
る。上記構成によるフィラメント電力供給装置１６で
は、商用電源２１から出力された電力は、電力調整器２
３により比較回路２６から出力された制御信号に基づき
調整された後、絶縁トランス２４を介してフィラメント
１２に供給される。比較回路２６は、フィラメント電力
モニタ２５により出力される直流電圧信号ａが信号切換
え器２９により出力される信号、すなわち電子線照射装
置１の運転が行われているときは第一フィラメント電力
設定器２７が出力する直流電圧信号ｂと、電子線照射装
置１の運転が行われていないときは第二フィラメント電
力設定器２８が出力する直流電圧信号ｃと等しくなるよ
うに電力調整器２３を制御する。したがって、フィラメ
ント１２に供給される電力は、電子線照射装置１の運転
が行われているときは６００Ｗとなり、電子線照射装置
１の運転が行われていないときは６００Ｗ以下の電力と
なる。
【００１９】次に、この熱電子Ａのグリッド１３ｂから
の放出量を制御用電源１７の電圧値を調整することによ
り制御する。そして、加速用電源１８によりグリッド１
３ｂから放出された熱電子Ａに高電圧を印加して加速
し、これによりフィラメント１２の長さと略同じ長さを
有するカーテン状の電子電流Ｂとした後、このカーテン
状の電子電流Ｂを窓箔１５から取り出して被処理物に照
射する。
の放出量を制御用電源１７の電圧値を調整することによ
り制御する。そして、加速用電源１８によりグリッド１
３ｂから放出された熱電子Ａに高電圧を印加して加速
し、これによりフィラメント１２の長さと略同じ長さを
有するカーテン状の電子電流Ｂとした後、このカーテン
状の電子電流Ｂを窓箔１５から取り出して被処理物に照
射する。
【００２０】上記の本実施例によれば、上記構成とした
ことにより、フィラメント１２に供給される電力は、電
子線照射装置１の運転が行われているときは電子線照射
装置１がフィラメント１２から最大出力に対応する電子
を取り出すための定格電力となり、電子線照射装置１の
運転が行われていないときは定格電力より低い電力とな
るので、フィラメントの寿命を低下させることなく、電
子線照射装置の消費電力を削減することができる。
ことにより、フィラメント１２に供給される電力は、電
子線照射装置１の運転が行われているときは電子線照射
装置１がフィラメント１２から最大出力に対応する電子
を取り出すための定格電力となり、電子線照射装置１の
運転が行われていないときは定格電力より低い電力とな
るので、フィラメントの寿命を低下させることなく、電
子線照射装置の消費電力を削減することができる。
【００２１】また、フィラメント１２に供給される電力
の切換えは、フィラメント電力供給装置１６により自動
的に行われるので、電子線照射装置の操作上の煩わしさ
を軽減し、電子線照射装置の操作性を向上させることが
できる。
の切換えは、フィラメント電力供給装置１６により自動
的に行われるので、電子線照射装置の操作上の煩わしさ
を軽減し、電子線照射装置の操作性を向上させることが
できる。
【００２２】尚、本発明は、本実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨の範囲内において数々の変形が可能
である。たとえば、本実施例では、フィラメント電力供
給装置１６の信号切換え器２９は出力する信号を電子線
照射装置１の運転に連動したタイミングに基づき切り換
えるものについて説明したが、信号切換え器２９は加速
用電源１８が供給する高電圧のシールド１３ａ及びグリ
ッド１３ｂと、真空チャンバー１４等のシャーシとの間
の印加される直流高電圧に連動したタイミングに基づ
き、直流高電圧が印加されているときは信号ｂに、印加
されていないときは信号ｃに切換えるものであってもよ
い。この場合、フィラメント１２に供給される電力は、
シールド１３ａ及びグリッド１３ｂと真空チャンバー１
４等のシャーシとの間に高電圧が印加されているとき、
すなわち電子電流Ｂを被処理物に照射するときは定格電
力となり、高電圧が印加されていないとき、すなわち電
子電流Ｂを被処理物に照射しないときは定格電力より低
い電力となるので、フィラメントの寿命を低下させるこ
となく、さらに電子線照射装置の消費電力を削減するこ
とができる。
ではなく、その要旨の範囲内において数々の変形が可能
である。たとえば、本実施例では、フィラメント電力供
給装置１６の信号切換え器２９は出力する信号を電子線
照射装置１の運転に連動したタイミングに基づき切り換
えるものについて説明したが、信号切換え器２９は加速
用電源１８が供給する高電圧のシールド１３ａ及びグリ
ッド１３ｂと、真空チャンバー１４等のシャーシとの間
の印加される直流高電圧に連動したタイミングに基づ
き、直流高電圧が印加されているときは信号ｂに、印加
されていないときは信号ｃに切換えるものであってもよ
い。この場合、フィラメント１２に供給される電力は、
シールド１３ａ及びグリッド１３ｂと真空チャンバー１
４等のシャーシとの間に高電圧が印加されているとき、
すなわち電子電流Ｂを被処理物に照射するときは定格電
力となり、高電圧が印加されていないとき、すなわち電
子電流Ｂを被処理物に照射しないときは定格電力より低
い電力となるので、フィラメントの寿命を低下させるこ
となく、さらに電子線照射装置の消費電力を削減するこ
とができる。
【００２３】また、本実施例では、フィラメント電力供
給装置１６のフィラメント電力設定器が二つある場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されず、フィラ
メント電力設定器を三個以上設け、信号切換え器２９に
よって切り換えることによりフィラメントに供給する電
力をさらに細かく設定するものであってもよい。更にフ
ィラメントへの供給電力を無段階で調整するようにして
もよい。
給装置１６のフィラメント電力設定器が二つある場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されず、フィラ
メント電力設定器を三個以上設け、信号切換え器２９に
よって切り換えることによりフィラメントに供給する電
力をさらに細かく設定するものであってもよい。更にフ
ィラメントへの供給電力を無段階で調整するようにして
もよい。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、上記の構成としたことにより、制御信号の値
を変えることによってフィラメントに供給する電力を変
えることができ、これにより必要に応じてフィラメント
への供給電力を低減してフィラメントへの電力の供給を
停止することなくフィラメントの消費電力を削減するこ
とができ、しかもこれを自動で行うことが可能となり操
作性を向上させることができる電子線照射装置を提供す
ることができる。
によれば、上記の構成としたことにより、制御信号の値
を変えることによってフィラメントに供給する電力を変
えることができ、これにより必要に応じてフィラメント
への供給電力を低減してフィラメントへの電力の供給を
停止することなくフィラメントの消費電力を削減するこ
とができ、しかもこれを自動で行うことが可能となり操
作性を向上させることができる電子線照射装置を提供す
ることができる。
【００２５】以上説明したように請求項２記載の発明に
よれば、上記の構成としたことにより、切換え手段によ
って第一信号と第二信号とを切り換えて出力することが
でき、これにより必要に応じて第二信号を出力して最高
出力よりも低い出力となるようにフィラメントへの供給
電力を変更することができ、したがってフィラメントへ
の電力の供給を停止することなくフィラメントの消費電
力を削減することができ、しかもこれを自動で行うこと
が可能となり操作性を向上させることができる電子線照
射装置を提供することができる。
よれば、上記の構成としたことにより、切換え手段によ
って第一信号と第二信号とを切り換えて出力することが
でき、これにより必要に応じて第二信号を出力して最高
出力よりも低い出力となるようにフィラメントへの供給
電力を変更することができ、したがってフィラメントへ
の電力の供給を停止することなくフィラメントの消費電
力を削減することができ、しかもこれを自動で行うこと
が可能となり操作性を向上させることができる電子線照
射装置を提供することができる。
【００２６】以上説明したように請求項３記載の発明に
よれば、上記の構成としたことにより、切換え手段によ
って装置が運転状態のときには、最高出力を出せるよう
にフィラメントに電力を供給し、装置が非運転状態のと
きには、最高出力よりも低い出力となるようにフィラメ
ントに電力を供給することができ、したっがてフィラメ
ントへの電力の供給を停止することなくフィラメントの
消費電力を削減することができ、しかもこれを自動で行
うことが可能となり操作性を向上させることができる電
子線照射装置を提供することができる。
よれば、上記の構成としたことにより、切換え手段によ
って装置が運転状態のときには、最高出力を出せるよう
にフィラメントに電力を供給し、装置が非運転状態のと
きには、最高出力よりも低い出力となるようにフィラメ
ントに電力を供給することができ、したっがてフィラメ
ントへの電力の供給を停止することなくフィラメントの
消費電力を削減することができ、しかもこれを自動で行
うことが可能となり操作性を向上させることができる電
子線照射装置を提供することができる。
【００２７】以上説明したように請求項４記載の発明に
よれば、上記の構成としたことにより、切換え出力によ
って直流高電圧源から直流高電圧が供給されていないと
きには最高出力よりも低い出力となるようにフィラメン
トに電力を供給することができ、したっがてフィラメン
トへの電力の供給を停止することなくフィラメントの消
費電力を削減することができ、しかもこれを自動で行う
ことが可能となり操作性を向上させることができる電子
線照射装置を提供することができる。
よれば、上記の構成としたことにより、切換え出力によ
って直流高電圧源から直流高電圧が供給されていないと
きには最高出力よりも低い出力となるようにフィラメン
トに電力を供給することができ、したっがてフィラメン
トへの電力の供給を停止することなくフィラメントの消
費電力を削減することができ、しかもこれを自動で行う
ことが可能となり操作性を向上させることができる電子
線照射装置を提供することができる。
【図１】本発明の実施例である電子線照射装置の概略正
面図である。
面図である。
【図２】図１に示す電子線照射装置の概略背面図であ
る。
る。
【図３】図１に示す電子線照射装置のフィラメント電力
供給装置の概略ブロック図である。
供給装置の概略ブロック図である。
【図４】従来の電子線照射装置のフィラメント電力供給
装置の概略ブロック図である。
装置の概略ブロック図である。
１ 電子線照射装置 １１ 電子銃 １２ フィラメント １３ａ シールド １３ｂ グリッド １４ 真空チャンバー １５ 窓箔 １６ フィラメント電力供給装置 １７ 制御用電源 １８ 加速用電源 ２０ 制御信号生成部 ２１ 商用電源 ２２ 保護ヒューズ ２３ 電力調整器 ２４ 絶縁トランス ２５ フィラメント電力モニタ ２６ 比較回路 ２７ 第一フィラメント電力設定器 ２８ 第二フィラメント電力設定器 ２９ 信号切換え器
Claims (4)
- 【請求項１】 電子を発生するための電子源としてのフ
ィラメントと、前記フィラメントより発生した電子を加
速するための直流高電圧源とを備える電子線照射装置に
おいて、値の異なる複数の制御信号を出力する制御信号
生成手段と、前記制御信号生成手段からの制御信号に応
じてフィラメントに供給する電力を調整する電力調整手
段とを設けたことを特徴とする電子線照射装置。 - 【請求項２】 前記制御信号生成手段は、前記電力調整
手段の出力を検出してその値に応じた信号を出力するフ
ィラメント電力検出手段と、前記フィラメントが最高出
力に対応する電子を放出するための供給電力に応じた第
一信号を出力する第一フィラメント電力設定手段と、前
記最高出力よりも低い出力に対応する電子を放出するた
めの供給電力に応じた第二信号を出力する第二フィラメ
ント電力設定手段と、前記第一フィラメント電力設定手
段と前記第二フィラメント電力設定手段からの信号を切
り換えていずれか一方の信号を出力する切換え手段と、
前記フィラメント電力検出手段と前記切換え手段からの
信号を得て両者の信号値の差に応じた出力信号を前記制
御信号として出力する比較手段とを有するものである請
求項１記載の電子線照射装置。 - 【請求項３】 前記切換え手段は、運転状態のときには
前記第一フィラメント電力設定手段からの信号を出力
し、非運転状態のときには前記第二フィラメント電力設
定手段からの信号を出力するものである請求項２記載の
電子線照射装置。 - 【請求項４】 前記切換え手段は、前記直流高電圧源か
ら直流高電圧が供給されているときには前記第一フィラ
メント電力設定手段からの信号を出力し、前記直流高電
圧源から直流高電圧が供給されていないときには前記第
二フィラメント電力設定手段からの信号を出力するもの
である請求項２記載の電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18719293A JPH0720296A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18719293A JPH0720296A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0720296A true JPH0720296A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=16201718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18719293A Pending JPH0720296A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720296A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006507023A (ja) * | 2002-04-11 | 2006-03-02 | バクスター・インターナショナル・インコーポレイテッド | 滅菌器のモニタリングならびに制御システムおよび方法 |
| WO2018074450A1 (ja) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 岩崎電気株式会社 | 電子線照射装置 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP18719293A patent/JPH0720296A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006507023A (ja) * | 2002-04-11 | 2006-03-02 | バクスター・インターナショナル・インコーポレイテッド | 滅菌器のモニタリングならびに制御システムおよび方法 |
| US7270790B2 (en) * | 2002-04-11 | 2007-09-18 | Baxter International Inc. | Sterilizer monitoring and controlling system and method |
| US7780920B2 (en) | 2002-04-11 | 2010-08-24 | Baxter International, Inc. | Sterilizer monitoring and controlling system |
| WO2018074450A1 (ja) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 岩崎電気株式会社 | 電子線照射装置 |
| JP2018066700A (ja) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 岩崎電気株式会社 | 電子線照射装置 |
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