JP2848136B2 - 電子線照射装置用制御方式 - Google Patents
電子線照射装置用制御方式Info
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- JP2848136B2 JP2848136B2 JP4180271A JP18027192A JP2848136B2 JP 2848136 B2 JP2848136 B2 JP 2848136B2 JP 4180271 A JP4180271 A JP 4180271A JP 18027192 A JP18027192 A JP 18027192A JP 2848136 B2 JP2848136 B2 JP 2848136B2
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- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- spark
- output
- electron beam
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子線照射装置用制御方
式に関する。
式に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように電子線照射装置、たとえば
エリアビーム形電子線照射装置は、真空化された加速チ
ャンバの内部にフィラメント、下方に電子線を取り出す
照射窓を備えており、加熱されたフィラメントから放出
された熱電子は加速電圧によって加速され、照射窓の金
属箔を通して大気中に取り出される。取り出された電子
は試料に照射される。
エリアビーム形電子線照射装置は、真空化された加速チ
ャンバの内部にフィラメント、下方に電子線を取り出す
照射窓を備えており、加熱されたフィラメントから放出
された熱電子は加速電圧によって加速され、照射窓の金
属箔を通して大気中に取り出される。取り出された電子
は試料に照射される。
【０００３】加速チャンバ内のフィラメントは高電圧絶
縁を保持するため、コロナシールドで覆い、電界を緩和
している。しかし時により真空容器内で絶縁破壊を起こ
し、スパークを発生することがある。これを放置してお
くと、装置全体の破壊につながる恐れがあるので、この
ようなスパークが発生した場合は、速やかに装置の運転
を停止する必要がある。
縁を保持するため、コロナシールドで覆い、電界を緩和
している。しかし時により真空容器内で絶縁破壊を起こ
し、スパークを発生することがある。これを放置してお
くと、装置全体の破壊につながる恐れがあるので、この
ようなスパークが発生した場合は、速やかに装置の運転
を停止する必要がある。
【０００４】従来ではこのようなスパークが発生したと
きは、加速電圧用の直流高圧電源およびフィラメント加
熱用のフィラメント電源をオフさせ、スパークを消滅さ
せるようにしている。
きは、加速電圧用の直流高圧電源およびフィラメント加
熱用のフィラメント電源をオフさせ、スパークを消滅さ
せるようにしている。
【０００５】しかしこのように両電源をオフさせて、運
転を停止させた場合、その運転の再開には各電源を昇圧
させる必要があり、そのために電子ビームが再び発生す
るまでには、たとえば数１０秒乃至１分間程度を要す
る。
転を停止させた場合、その運転の再開には各電源を昇圧
させる必要があり、そのために電子ビームが再び発生す
るまでには、たとえば数１０秒乃至１分間程度を要す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、加速チャン
バ内でスパークが発生した場合、そのスパークを消滅さ
せて、運転を再開させるまでの時間を短縮させることを
目的とする。
バ内でスパークが発生した場合、そのスパークを消滅さ
せて、運転を再開させるまでの時間を短縮させることを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、スパークが発
生した場合、フィラメントの電源の出力をそのときの値
に固定し、加速電圧用の直流高圧電源の出力をスパーク
に応じた値に絞り込み、スパークが消滅したときには直
流高圧電源の出力をスパーク発生以前の値に戻し、フィ
ラメントの電源の出力の固定を解除することを特徴とす
る。
生した場合、フィラメントの電源の出力をそのときの値
に固定し、加速電圧用の直流高圧電源の出力をスパーク
に応じた値に絞り込み、スパークが消滅したときには直
流高圧電源の出力をスパーク発生以前の値に戻し、フィ
ラメントの電源の出力の固定を解除することを特徴とす
る。
【０００８】
【作用】スパークが発生すると、直流高圧電源からの電
流が急激に低下する。この変化を検出器によって検出し
たときは、直流高圧電源の出力を調整する電源調整器を
スパークに応じて調整して、加速電圧を絞り込む。この
絞り込みによってスパークは消滅する。その消滅後、電
源調整器を調整して直流高圧電源の出力をスパーク発生
以前の値に戻す。フィラメント電源の出力は固定されて
いるため、直ちに電子ビームが発生し、運転が再開でき
るようになる。
流が急激に低下する。この変化を検出器によって検出し
たときは、直流高圧電源の出力を調整する電源調整器を
スパークに応じて調整して、加速電圧を絞り込む。この
絞り込みによってスパークは消滅する。その消滅後、電
源調整器を調整して直流高圧電源の出力をスパーク発生
以前の値に戻す。フィラメント電源の出力は固定されて
いるため、直ちに電子ビームが発生し、運転が再開でき
るようになる。
【０００９】
【実施例】この発明の実施例を図によって説明する。１
は電子線照射装置、たとえばエリア形電子線照射装置
で、前記したように加速チャンバ、フィラメント、照射
窓などから構成されている。２はフィラメントを加熱す
るためのフィラメント電源、３はその電源電圧を調整す
るフィラメント電源調整器である。
は電子線照射装置、たとえばエリア形電子線照射装置
で、前記したように加速チャンバ、フィラメント、照射
窓などから構成されている。２はフィラメントを加熱す
るためのフィラメント電源、３はその電源電圧を調整す
るフィラメント電源調整器である。
【００１０】４はフィラメントから放出された電子を加
速する加速電圧を発生させる直流高圧電源で、たとえば
商用周波電圧を昇圧する変圧器、昇圧された電圧を直流
高電圧化するカスケード接続された倍電圧整流回路など
から構成されている。５は直流高圧電源３に入力される
電圧を調整する電源調整器で、たとえばサイリスタから
なり、その点弧角を調整することによって入力電圧を調
整する。
速する加速電圧を発生させる直流高圧電源で、たとえば
商用周波電圧を昇圧する変圧器、昇圧された電圧を直流
高電圧化するカスケード接続された倍電圧整流回路など
から構成されている。５は直流高圧電源３に入力される
電圧を調整する電源調整器で、たとえばサイリスタから
なり、その点弧角を調整することによって入力電圧を調
整する。
【００１１】これらの構成は、従来のものと特に相違す
るものではないが、従来ではスパークが発生した場合
は、フィラメント電源２および直流高圧電源４をオフし
ていたことは、既に述べたとおりである。
るものではないが、従来ではスパークが発生した場合
は、フィラメント電源２および直流高圧電源４をオフし
ていたことは、既に述べたとおりである。
【００１２】これに対し本発明ではスパークが発生した
場合は、フィラメント電源２の出力を固定し、スパーク
に応じて直流高圧電源４の出力を電源調整器５によって
絞り込むようにしている。
場合は、フィラメント電源２の出力を固定し、スパーク
に応じて直流高圧電源４の出力を電源調整器５によって
絞り込むようにしている。
【００１３】これを具体的に説明すると、スパークが発
生したときは、直流高圧電源４からの電流が急激に低下
する。この変化を検出器６によって検出する。検出器６
はたとえば電流測定用の抵抗などから構成されてあり、
スパークの規模に応じて検出器６の出力が異なる。
生したときは、直流高圧電源４からの電流が急激に低下
する。この変化を検出器６によって検出する。検出器６
はたとえば電流測定用の抵抗などから構成されてあり、
スパークの規模に応じて検出器６の出力が異なる。
【００１４】検出器６の検出出力が所定の値を越えたと
き、その検出出力によってフィラメント電源調整器３は
固定され、フィラメント電源２の出力は固定される。ま
た検出器６の出力によって電源調整器５が駆動され、発
生したスパークに応じて直流高圧電源４の入力電圧を減
少させる。これによって直流高圧電源４による加速電圧
が絞り込まれる。
き、その検出出力によってフィラメント電源調整器３は
固定され、フィラメント電源２の出力は固定される。ま
た検出器６の出力によって電源調整器５が駆動され、発
生したスパークに応じて直流高圧電源４の入力電圧を減
少させる。これによって直流高圧電源４による加速電圧
が絞り込まれる。
【００１５】この絞り込みによって、電子線照射装置の
加速チャンバ内で発生しているスパークは消滅される。
このようにしてスパークが消滅したときは、検出器６の
検出出力がスパーク発生以前の値に復帰することによっ
て検出される。この復帰した検出出力によって、フィラ
メント電源調整器３の固定を解除し、および電源調整器
５を調整して直流高圧電源４の出力をスパーク発生以前
の値に戻す。
加速チャンバ内で発生しているスパークは消滅される。
このようにしてスパークが消滅したときは、検出器６の
検出出力がスパーク発生以前の値に復帰することによっ
て検出される。この復帰した検出出力によって、フィラ
メント電源調整器３の固定を解除し、および電源調整器
５を調整して直流高圧電源４の出力をスパーク発生以前
の値に戻す。
【００１６】それまでフィラメント電源２の出力は固定
されていたことと、直流高圧電源４はオフにされておら
ず、単にその出力が絞り込まれていただけであるため、
直流高圧電源４の出力が復帰したことによって、直ちに
フィラメントから電子が放出され、運転が再開できるよ
うになる。これによれば運転再開には数ミリ秒乃至数１
０ミリ秒といった短時間ですむことが確認されている。
されていたことと、直流高圧電源４はオフにされておら
ず、単にその出力が絞り込まれていただけであるため、
直流高圧電源４の出力が復帰したことによって、直ちに
フィラメントから電子が放出され、運転が再開できるよ
うになる。これによれば運転再開には数ミリ秒乃至数１
０ミリ秒といった短時間ですむことが確認されている。
【００１７】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、電
子線照射装置にスパークが発生した場合でも、そのスパ
ークを消滅させて運転を再開させるまでに要する時間
を、従来構成に比較して充分に短縮させることができる
効果を奏する。
子線照射装置にスパークが発生した場合でも、そのスパ
ークを消滅させて運転を再開させるまでに要する時間
を、従来構成に比較して充分に短縮させることができる
効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示すブロック線図である。
１ 電子線照射装置 ２ フィラメント電源 ３ フィラメント電源調整器 ４ 直流高圧電源 ５ 電源調整器 ６ 検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 37/248 H01J 37/06 - 37/07 G21K 5/04
Claims (1)
- 【請求項１】 電子線照射装置の内部に発生するスパー
クを検出する検出手段、前記検出手段によってスパーク
の発生を検出したときに、前記電子線照射装置のフィラ
メントの電源の出力をそのときの値に固定する手段、お
よび前記検出手段によってスパークの発生を検出したと
きに、前記電子線照射装置の加速電圧用の直流高圧電源
の出力を前記検出手段の検出値に応じた値に絞り込む手
段、前記直流高圧電源の出力の絞り込みにより前記検出
手段によって前記スパークの消滅を検出したときに、前
記直流高圧電源の出力をスパーク発生以前の値に戻す手
段、および前記直流高圧電源の出力の絞り込みにより前
記検出手段によって前記スパークの消滅を検出したとき
に、前記フィラメントの電源の出力の固定を解除する手
段とを備えた電子線照射装置用制御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4180271A JP2848136B2 (ja) | 1992-05-27 | 1992-05-27 | 電子線照射装置用制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4180271A JP2848136B2 (ja) | 1992-05-27 | 1992-05-27 | 電子線照射装置用制御方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05325866A JPH05325866A (ja) | 1993-12-10 |
| JP2848136B2 true JP2848136B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=16080316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4180271A Expired - Lifetime JP2848136B2 (ja) | 1992-05-27 | 1992-05-27 | 電子線照射装置用制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2848136B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008117641A1 (ja) | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Shibuya Kogyo Co., Ltd. | 電子線殺菌装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56116000A (en) * | 1980-02-16 | 1981-09-11 | Osaka Transformer Co Ltd | Charged particle beam machining equipmint |
| JP2656542B2 (ja) * | 1988-05-23 | 1997-09-24 | 株式会社日立製作所 | イオンビーム加工装置 |
-
1992
- 1992-05-27 JP JP4180271A patent/JP2848136B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008117641A1 (ja) | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Shibuya Kogyo Co., Ltd. | 電子線殺菌装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05325866A (ja) | 1993-12-10 |
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